CN202220214U - 一种直拉单晶炉二次加料装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及单晶硅加工技术领域，具体地说是涉及一种直拉单晶炉二次加料装置。本实用新型所述的加料内筒焊接设置在加料外筒中，加料内筒上段与加料外筒上段平齐，内加料筒筒底面为斜面其短边筒外壁与外加料筒的筒内壁焊接连接；所述的外加料筒直径大于内加料筒；挡料阀拉杆下端焊接挡料阀，挡料阀与内加料筒斜面长边筒子壁下端设置的内筒下料孔紧密连接，挡料阀拉杆上段设置有避免拉杆向下滑动拉杆固定螺母。本实用新型有如下有益效果：由于设置了二次加料装置，增大了单炉的投料量，提高了产量和生产效率，提升了设备的利用率。现现有技术相比较，拉等量的单晶，可减少石英坩埚的消耗，大幅度降低了成本。可节约大量拉晶时间，生产效率显著提高。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅加工技术领域，具体地说是涉及一种进拉单晶炉二次加料装置。
背景技术
目前国内单晶炉生产技术相对成熟，提高生产效率，提升设备的性能和稳定性，增大投料量，增大单炉的产量和效率，成为行业发展的方向。但是目前光伏行业大多数单晶炉采用18＂、20＂、22＂的热场，18＂石英坩埚量大投料量可达到60kg，增大单炉的投料量有一定的局限性。直拉单晶炉拉制单晶硅仍存在一次性生产只投一交料的问题，投料量不足导致耗材的利用率低，同时每一炉都要停炉、折炉、清炉，增大了拉晶时间，使得的利用率降低，所以增大单炉的投料量是提高生产效率的有效办法。目前国内拥有十多种型号的单晶炉，由于各单晶炉之间的尺寸、技术参数各有所不同，行业之间的技术工艺也有差异，以至于目前已有的二次加料装置不能满足申请人实际生产需要。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是针对现有单晶炉结构和装料工艺，提供一种可在生产中实现二次加料的直拉单晶炉二次加料装置。
本实用新型一种直拉单晶炉二次加料装置包括挡料阀钩、翻板阀、外加料筒、内加料筒、挡料阀拉杆、挡料阀、内筒下料孔、坩埚、外筒下料孔、硅料，所述的加料内筒焊接设置在加料外筒中，加料内筒上段与加料外筒上段平齐，加料内筒下端长度小于加料外筒80~120mm，内加料筒筒底面为斜面其短边筒外壁与外加料筒的筒内壁焊接连接；所述的外加料筒直径大于内加料筒；挡料阀拉杆纵向贯穿于外加料筒与内加料筒之间，挡料阀拉杆下端焊接挡料阀，挡料阀与内加料筒斜面长边筒子壁下端设置的内筒下料孔紧密连接，挡料阀拉杆上段设置有避免拉杆向下滑动拉杆固定螺母。
本实用新型一种直拉单晶炉二次加料装置与现有技术相比较有如下有益效果：由于本实用新型在直拉单晶炉副炉室设置了二次加料装置，增大了单炉的投料量，提高了产量和生产效率，提升了设备的利用率。现现有技术相比较，拉等量的单晶，可减少石英坩埚的消耗，大幅度降低了成本。并且还可节约大量拉晶时间，即减少了一炉生长完毕后的单晶炉的降温冷却、拆装炉等工序，生产效率显著提高。
附图说明
本实用新型一种直拉单晶炉二次加料装置有如下附图：
图1为本实用新型一种直拉单晶炉二次加料装置结构示意图；
图2为本实用新型一种直拉单晶炉二次加料装置内加料筒结构示意图；
图3为本实用新型一种直拉单晶炉二次加料装置挡料阀拉杆结构示意图。
其中：1、挡料阀钩；2、翻板阀；3、外加料筒；4、内加料筒；5、挡料阀拉杆；6、挡料阀；7、内筒加料孔；8、未完全熔化的硅料；9、坩埚；10、外筒加料孔；11、硅料；12、吊环；13、固定螺母；14、重锤；15、钼丝；16、单晶炉副室。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型一种直拉单晶炉二次加料装置技术方案作进一步描述。
如图1—图3所示，本实用新型一种直拉单晶炉二次加料装置包括挡料阀钩1、翻板阀2、加料外筒3、加料内筒4、挡料阀拉杆5、挡料阀6、内筒下料孔7、坩埚9、外筒下料孔10、硅料11，所述的加料内筒4焊接设置在加料外筒3中，加料内筒4上段与加料外筒3上段平齐，加料内筒4下端长度小于加料外筒3 尺寸80~120mm，内加料筒 4筒底面为斜面其短边筒外壁与外加料筒3的筒内壁焊接连接；所述的外加料筒3直径大于内加料筒4；挡料阀拉杆5纵向贯穿于外加料筒3与内加料筒4之间，挡料阀拉杆5下端焊接挡料阀6，挡料阀6与内加料筒4底面斜面一侧的长边筒子壁下端设置的门型内筒下料孔7紧密连接，挡料阀拉杆5上段设置有避免拉杆5向下滑动拉杆固定螺母13。
所述的外加料筒3上沿设置有与重锤14连接的吊环12，其底边设置外筒加料孔10。
所述的挡料阀拉杆5为T型，上端为向一侧弯曲呈W型的挡料阀钩1，中部焊接一个拉杆固定螺母13，下端焊接一个门型挡料阀6。
实施例1。
本实用新型一种直拉单晶炉二次加料装置包括挡料阀钩1、翻板阀2、加料外筒3、加料内筒4、挡料阀拉杆5、挡料阀6、内筒下料孔7、坩埚9、外筒下料孔10、硅料11，所述的加料内筒4焊接设置在加料外筒3中，加料内筒4上段与加料外筒3上段平齐，加料内筒4下端长度小于加料外筒3 尺寸100mm，内加料筒 4筒底面为斜面其短边筒外壁与外加料筒3的筒内壁焊接连接，内加料筒筒底面斜面与长边外壁之间的夹角为75o斜角；所述的外加料筒3直径大于内加料筒4；挡料阀拉杆5纵向贯穿于外加料筒3与内加料筒4之间，挡料阀拉杆5下端焊接挡料阀6，挡料阀6与内加料筒4底面斜面一侧的长边筒子壁下端设置的门型内筒下料孔7紧密连接，挡料阀拉杆5上段设置有避免拉杆5向下滑动拉杆固定螺母13。
所述的外加料筒3上沿设置有与重锤14连接的吊环12，其底边设置外筒加料孔10。
所述的挡料阀拉杆5为T型，上端为向一侧弯曲呈W型的挡料阀钩1，中部焊接一个拉杆固定螺母13，下端焊接一个门型挡料阀6。
加料过程中，首先关闭翻板阀2，打开单晶炉副炉室16，保证主炉室中密封性，避免杂质进入。然后把加料装置提升到副炉室16内，同时抽真空，打开翻板阀2，降下加料装置，加料装用重锤14上的钼丝15吊起，加料装置整体下降，这时用挡料阀拉杆5上段的勾具挡料阀钩子勾主翻板阀2，此时挡料阀拉杆5下端连接的挡料阀6上升，内筒加料孔7打开使得硅料11依靠重力进入石英坩埚9中，完成二次加料。
Claims (3)
1.一种直拉单晶炉二次加料装置，包括挡料阀钩（1）、翻板阀（2）、加料外筒（3）、加料内筒（4）、挡料阀拉杆（5）、挡料阀（6）、内筒下料孔（7）、坩埚（9）、外筒下料孔（10）、硅料（11）、吊环（12）、固定螺母（13），其特征在于：所述的加料内筒（4）焊接设置在加料外筒（3）中，加料内筒（4）上段与加料外筒（3）上段平齐，加料内筒（4）下端长度小于加料外筒（3）80~120mm，内加料筒（4）筒底面为斜面其短边筒外壁与外加料筒（3）的筒内壁焊接连接；所述的外加料筒（3）直径大于内加料筒（4）；挡料阀拉杆（5）纵向贯穿于外加料筒（3）与内加料筒（4）之间，挡料阀拉杆（5）下端焊接挡料阀（6），挡料阀（6）与内加料筒（4）底面斜面一侧的长边筒子壁下端设置的门型内筒下料孔（7）紧密连接，挡料阀拉杆（5）上段设置有避免拉杆（5）向下滑动拉杆固定螺母（13）。
2.根据权利要求1所述的直拉单晶炉二次加料装置，其特征在于：所述的外加料筒（3）上沿设置有与重锤（14）连接的吊环（12），其底边设置外筒加料孔（10）。
3.根据权利要求1所述的直拉单晶炉二次加料装置，其特征在于：所述的挡料阀拉杆（5）为T型，上端为向一侧弯曲呈W型的挡料阀钩（1），中部焊接一个拉杆固定螺母（13），下端焊接一个门型挡料阀（6）。
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| CN2011202658440U CN202220214U (zh) | 2011-07-26 | 2011-07-26 | 一种直拉单晶炉二次加料装置 |
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Cited By (2)
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| CN103014837A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-03 | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 | 一种单晶炉二次加料方法 |
| CN108166053A (zh) * | 2015-12-25 | 2018-06-15 | 安徽华芯半导体有限公司 | 一种单晶炉二次加料方法 |
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