CN202865390U - 用于单晶硅棒加工的二次加料装置 - Google Patents
用于单晶硅棒加工的二次加料装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202865390U CN202865390U CN 201220165009 CN201220165009U CN202865390U CN 202865390 U CN202865390 U CN 202865390U CN 201220165009 CN201220165009 CN 201220165009 CN 201220165009 U CN201220165009 U CN 201220165009U CN 202865390 U CN202865390 U CN 202865390U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- single crystal
- charging basket
- diameter
- quartz crucible
- supporting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置，包括吊杆、档栓、支撑件、装料桶、出料口、下档板、单晶炉、石英坩埚、进料口、单晶炉口，其特征在于所述的吊杆穿过装料桶，所述的装料桶为圆柱形，其上口直径大于下口直径，上口为进料口，下口为出料口，档栓装配在吊杆的上部，下档板与吊杆的下端部固定连接，支撑杆和支撑圈组成支撑件，所述的支撑件有二组，支撑圈套装在吊杆上，支撑杆的一端与支撑圈连接，另一端与装料桶连接，装料桶出料口的直径大于单晶炉口的直径，下档板的直径小于单晶炉口的直径，石英坩埚位于单晶炉中。本实用新型由于进行了二次加料，提高了单晶炉石英坩蜗的利用率，节约拆装炉时间，缩短了生产周期，降低了生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种提高生产单晶硅棒的单晶炉石英坩蜗利用率的装置，进一步来说是具体涉及到一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置。
背景技术
目前，单晶硅棒的生产加工，主要是将多晶硅块放入到单晶炉内的石英坩埚中，在高温的作用下，多晶硅块化为液态硅，进行拉晶作业，制成单晶硅棒，由于多晶硅在块的状态时，在石英坩埚中体积大于液体状态，所以，当多晶硅在块状时装入到单晶炉内石英坩埚中，待化为液态硅时，其体积小于多晶硅在块状时的体积，在石英坩埚中多晶硅块的容量与熔解后的液态硅的容量有很大的差距，直接导致石英坩埚不能充分利用，影响单晶硅的炉产量，由于石英坩埚的容积是相对固定的，因而单晶炉一次装料无法用足石英坩埚的容积，严重影响单晶炉石英坩埚的利用率，也增加了热量损失，因此，生产中需要一种装置，当石英坩埚内固体硅熔化后，在石英坩埚中空出的部分中，能够最大限度二次加入固体硅至石英坩埚中熔化，在拉晶前使石英坩埚中的液态硅达到满埚程度。
发明内容
本实用新型目的是克服了现有技术中的不足而提供结构简单、安装容易、方便操作的一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置。
为了解决上述存在的技术问题，本实用新型采用下列技术方案：
一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置，包括吊杆、档栓、支撑件、装料桶、出料口、下档板、单晶炉、石英坩埚、进料口、单晶炉口，其特征在于所述的吊杆穿过装料桶，所述的装料桶为圆柱形，其上口直径大于下口直径，上口为进料口，下口为出料口，档栓装配在吊杆的上部，下档板与吊杆的下端部固定连接，支撑杆和支撑圈组成支撑件，所述的支撑件有二组，支撑圈套装在吊杆上，支撑杆的一端与支撑圈连接，另一端与装料桶连接，装料桶出料口的直径大于单晶炉口的直径，下档板的直径小于单晶炉口的直径，石英坩埚位于单晶炉中。
本实用新型所述的一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置，操作时通过吊杆的上端与升降装置连接。
进一步说明，本实用新型一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置，通过升降装置将本装置吊装在单晶炉口上方，当单晶炉内的石英坩埚中第一次加入多晶硅块化为液态硅时，石英坩埚中空出了部分容量，通过升降装置将本装置下降，当本装置下降至单晶炉的单晶炉口时， 由于装料桶下端的出料口的直径大于单晶炉口的直径，装料桶停止下降，又由于下档板的直径小于单晶炉口的直径，此时，下档板在装料桶中的硅料重力作用下，并通过升降装置继续操作，下档板继续下降，并与出料口之间分离产生通道，装料桶中的硅料由这一通道，下落至单晶炉内的石英坩埚中，再将加料装置迅速升起，同时将炉内温度快速加高进行二次化料，等液化完后进行正常拉晶操作。
本实用新型与现有技术相比有如下有益之处：本实用新型提高了单晶炉石英坩蜗的利用率，也减少了热能损失，加工同样数量与品质的单晶棒，可少损耗电量8～10％，同时降低了工人的劳动强度，提高了劳动生产率，由于进行了二次加料，节约拆装炉时间，缩短了生产周期，降低了生产成本。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
在图1中：1-吊杆、2-档栓、3-第一支撑杆、4-第一支撑圈、5-装料桶、13-第二支撑杆、14-第二支撑圈、6-出料口、7-下档板、8-单晶炉、9-石英坩埚、10-进料口、11-单晶炉口、12-硅料。
具体实旋方式
下面结合附图对本实用新型进行详细描述：
如图所示，一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置，包括吊杆1、档栓2、第一支撑杆3、第一支撑圈4、装料桶5、第二支撑杆13、第二支撑圈14、出料口6、下档板7、单晶炉8、石英坩埚9、进料口10、单晶炉口11、硅料12，其特征在于所述的吊杆1穿过装料桶5，所述的装料桶5为圆柱形，其上口直径大于下口直径，上口为进料口10，下口为出料口6，档栓2装配在吊杆1的上部，下档板7与吊杆1的下端部固定连接，第一支撑杆3、第一支撑圈4组成支撑件位于装料桶5的上端，第一支撑圈4套装在吊杆1上，第一支撑杆3的一端与第一支撑圈4连接，另一端与装料桶5连接，第二支撑杆13、第二支撑圈14组成的支撑件，位于装料桶5的中端，第二支撑圈14套装在吊杆1上，第二支撑杆13的一端与第二支撑圈14连接，另一端与装料桶5连接，装料桶5出料口6的直径大于单晶炉口11的直径，下档板7的直径小于单晶炉口11的直径，石英坩埚9位于单晶炉8中。
下面用实施例对本实用新型所述的一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置作进一步说明。
当单晶炉8内的石英坩埚9中第一次加入多晶硅料化为液态硅时，石英坩埚9中空出了部分容量，当本装置下降至单晶炉8的单晶炉口11时，由于装料桶5的下端的出料口6的直 径大于单晶炉口11的直径，装料桶5停止下降，又由于下档板7的直径小于单晶炉口11的直径，此时，下档板7在装料桶5中的硅料12重力作用下，并通过升降装置继续操作，下档板7继续下降，并与出料口6之间分离产生通道，装料桶5中的硅料12由这一通道，下落至单晶炉8内的石英坩埚9中，再将加料装置迅速升起，同时将炉内温度快速加高进行二次化料，等液化完后进行正常拉晶操作。
Claims (2)
1.一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置，包括吊杆(1)、档栓(2)、第一支撑杆(3)、第一支撑圈(4)、装料桶(5)、第二支撑杆(13)、第二支撑圈(14)、出料口(6)、下档板(7)、单晶炉(8)、石英坩埚(9)、进料口(10)、单晶炉口(11)，其特征是所述的吊杆(1)穿过装料桶(5)，所述的装料桶(5)为圆柱形，上口为进料口(10)，下口为出料口(6)，档栓(2)装配在吊杆(1)的上部，下档板(7)与吊杆(1)的下端部固定连接，第一支撑杆(3)、第一支撑圈(4)组成支撑件位于装料桶(5)的上端，第一支撑圈(4)套装在吊杆(1)上，第一支撑杆(3)的一端与支第一撑圈(4)连接，另一端与装料桶(5)连接，第二支撑杆(13)、第二支撑圈(14)组成的支撑件，位于装料桶(5)的中端，第二支撑圈(14)套装在吊杆(1)上，第二支撑杆(13)的一端与第二支撑圈(14)连接，另一端与装料桶(5)连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置，其特征是所述的装料桶(5)出料口(6)的直径大于单晶炉口(11)的直径，下档板(7)的直径小于单晶炉口(11)的直径，石英坩埚(9)位于单晶炉(8)中。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220165009 CN202865390U (zh) | 2012-04-09 | 2012-04-09 | 用于单晶硅棒加工的二次加料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220165009 CN202865390U (zh) | 2012-04-09 | 2012-04-09 | 用于单晶硅棒加工的二次加料装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202865390U true CN202865390U (zh) | 2013-04-10 |
Family
ID=48032124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201220165009 Expired - Fee Related CN202865390U (zh) | 2012-04-09 | 2012-04-09 | 用于单晶硅棒加工的二次加料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202865390U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105420806A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-03-23 | 安徽华芯半导体有限公司 | 一种单晶炉二次加料系统及加料方法 |
| CN111850679A (zh) * | 2020-08-14 | 2020-10-30 | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 | 一种半导体级直拉复投筒 |
| CN112665383A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-04-16 | 浙江英洛华磁业有限公司 | 一种感应熔炼快速装料装置和熔炼方法 |
-
2012
- 2012-04-09 CN CN 201220165009 patent/CN202865390U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105420806A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-03-23 | 安徽华芯半导体有限公司 | 一种单晶炉二次加料系统及加料方法 |
| CN105420806B (zh) * | 2015-12-25 | 2018-04-03 | 安徽华芯半导体有限公司 | 一种单晶炉二次加料系统 |
| CN108166053A (zh) * | 2015-12-25 | 2018-06-15 | 安徽华芯半导体有限公司 | 一种单晶炉二次加料方法 |
| CN111850679A (zh) * | 2020-08-14 | 2020-10-30 | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 | 一种半导体级直拉复投筒 |
| CN112665383A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-04-16 | 浙江英洛华磁业有限公司 | 一种感应熔炼快速装料装置和熔炼方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201506846U (zh) | 用于单晶炉的二次加料圆棒夹具 | |
| CN202804115U (zh) | 一种真空熔炼速凝甩带炉装置 | |
| CN202865390U (zh) | 用于单晶硅棒加工的二次加料装置 | |
| CN204779921U (zh) | 一种新型多晶硅侧分层加热装置 | |
| CN202543383U (zh) | 用于颗粒原料的复投加料器 | |
| CN202968746U (zh) | 一种加料装置 | |
| CN202390560U (zh) | 大容量多晶硅铸锭炉热场结构 | |
| CN202730297U (zh) | 直拉法单晶炉热场结构 | |
| CN102433585A (zh) | 准单晶铸锭炉热场结构 | |
| CN201351185Y (zh) | 单晶炉热场投料装置 | |
| CN202450183U (zh) | 一种单晶炉二次加料器 | |
| CN206486622U (zh) | 一种用于gt多晶炉铸造g7多晶硅锭的装置 | |
| CN202744660U (zh) | 用于超大晶粒铸锭炉的热场结构 | |
| CN201634795U (zh) | 直拉单晶炉石墨坩埚 | |
| CN201801631U (zh) | 石英埚吊具 | |
| CN201626996U (zh) | 单晶炉用导流筒提升机构 | |
| CN202220214U (zh) | 一种直拉单晶炉二次加料装置 | |
| CN202925152U (zh) | 一种单晶炉石英加料装置 | |
| CN209144315U (zh) | 一种单晶炉二次加料的金属底块装置 | |
| CN201648562U (zh) | 直拉硅单晶炉装置 | |
| CN207998652U (zh) | 一种单晶炉的物料缓冲装置 | |
| CN102312289B (zh) | 多晶铸锭炉二次加料的装置 | |
| CN202658268U (zh) | 多晶硅铸锭炉 | |
| CN206721390U (zh) | 一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉 | |
| CN102234836A (zh) | 直拉硅单晶炉装置及硅单晶拉制方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130410 Termination date: 20140409 |