CN202212084U - 一种用于六氟化硫气体分解产物净化处理系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于六氟化硫(SF6)气体分解产物净化处理系统，该系统包括进气管路、活性硅胶发生池室、F-03型分子筛发生池室、活性氧化铝发生池室、5?型分子筛发生池室和出气管路；并依次串联；进气管路上串联着控制阀门和气体过滤装置，输出管路上安装有真空泵。本实用新型采用混合型净化剂，主要用于SF6气体分解产物测试仪器的尾气处理，也可以用于SF6气体回收再生装置使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于六氟化硫(SF6)气体分解产物净化处理系统。
背景技术
当前的SF6气体分解产物净化处理方法主要有碱洗法、深度冷凝法、吸附法等。
碱洗法是利用碱水溶液来吸收纯化SF6气体的方法。碱水溶液一般采用NaOH、KOH、NaCO3、Ca(OH)2先将粗品的SF6气体加热至250℃，再通过250℃~400℃装有碳或者矾土的铜管裂解器，用碱水洗涤得到纯净的SF6气体。碱洗法一般用于生产SF6气体工艺中的净化程序，在试验室和现场工作中，难以用此方法实现对SF6气体的净化处理；深度冷凝法是通过冷媒对混合气体进行冷却，使气体状态发生变化后进行分离的方法。由于在特定的压力下SF6气体的固化温度远远高于空气的固化温度，所以在SF6气体制备过程中，常常使用深度冷凝法来将SF6气体的中的其他杂质气体分离出去。标准大气压力下，氮气的固化温度为-209.86℃。此种方法，对操作条件要求过高，一般试验室无法满足此操作条件；吸附法是用固体吸附剂吸附处理废气中有害气体的方法。吸附法能安全、有效地去除SF6气体中的多种杂质，因此被广泛应用于SF6气体的净化处理。常用的吸附剂有分子筛、活性氧化铝、硅胶等，分子筛的吸附效果比活性氧化铝、硅胶的吸附效果要好，但其吸附饱和时外观无明显变化，其更换频率不容易确定。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是：提供一套装置，满足对试验后的SF6气体分解产物的净化处理。
具体的技术解决方案如下：
一种用于SF6气体分解产物净化处理系统，所述包括进气管路、活性硅胶发生池室3、第一分子筛发生池室4、活性氧化铝发生池室5、第二分子筛发生池室6和出气管路；所述进气管路与出气管路之间的工作管路上依次串联着活性硅胶发生池室3、第一分子筛发生池室4、活性氧化铝发生池室5和第二分子筛发生池室6；
所述进气管路上依次串联着控制阀门1和气体过滤装置2；所述输出管路上安装有真空泵7。
所述第一分子筛发生池室内填充着F-03型分子筛。
所述第二分子筛发生池室内填充着5Å型分子筛。
本实用新型的积极效果是：该新型SF6气体分解产物净化处理装置采用混合型净化剂，主要用于SF6气体分解产物测试仪器的尾气处理，也可以用于SF6气体回收再生装置使用。将SF6样品气体通过依次通过装载有F-03型分子筛、5Å型分子筛、活性硅胶、活性氧化铝的发生池室，通过SF6气体净化剂充分接触，达到净化的目的。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
实施例：
参见图1，一种用于SF6气体分解产物净化处理系统，所述包括进气管路、活性硅胶发生池室3、第一分子筛发生池室4、活性氧化铝发生池室5、第二分子筛发生池室6和出气管路；所述进气管路与出气管路之间的工作管路上依次串联着活性硅胶发生池室3、填充着F-03型分子筛的第一分子筛发生池室4、活性氧化铝发生池室5和填充着5Å型分子筛的第二分子筛发生池室6；
所述进气管路上依次串联着控制阀门1和气体过滤装置2，用以过滤气体中的机械杂质。所述输出管路上安装有真空泵7，净化后的气体经由真空泵打压输出。
其工作原理是：
对SF6气体中的杂质气进行过滤：其中活性硅胶作为除去SF6气体中的水分并防护微量水分对分子筛造成的影响；F-03型分子筛主要用于除去SF6气体中的S2F10O、SOF2、硫的氧化物等物质；5Å型分子筛主要用于除去样品气中的微量水分、二氧化碳、油气及烃类物质。活性氧化铝的主要作用为除氟剂，除去样品气中氟元素的氢化物质。四种填充不同净化剂的发生池依次串联在一起，构成整体的净化系统。系统输出管路上配合一个真空发生装置，如需要更换净化剂时启动真空发生器，将装置抽真空，同时对净化剂进行中和后再取出，更换成新的净化剂，真正的达到零排放。
工作状态：打开旋柄控制阀门1、SF6气体经过过滤装置2后依次通入活性硅胶发生池室3除去其中的微量水分；通入填充F-03型分子筛的第一分子筛发生池室4除去其中的硫的氧化物、硫的氟化物；通入活性氧化铝发生池5除去其中的酸性物质及微量水分；通入填充5Å型分子筛的第二分子筛发生池室6除去其中的二氧化碳、烃类物质、微量空气、微量水分等物质。净化结束后，经由真空泵7抽气输出。
关闭旋柄控制阀门1、真空泵7关闭，此时整个净化装置气路流程与外界隔离，不受外界环境的干扰。
Claims (3)
1.一种用于六氟化硫气体分解产物净化处理系统，其特征在于：所述包括进气管路、活性硅胶发生池室(3)、第一分子筛发生池室(4)、活性氧化铝发生池室(5)、第二分子筛发生池室(6)和出气管路；所述进气管路与出气管路之间的工作管路上依次串联着活性硅胶发生池室(3)、第一分子筛发生池室(4)、活性氧化铝发生池室(5)和第二分子筛发生池室(6)；
所述进气管路上依次串联着控制阀门(1)和气体过滤装置(2)；所述输出管路上安装有真空泵(7)。
2.根据权利要求1所述的一种用于六氟化硫气体分解产物净化处理系统，其特征在于：所述第一分子筛发生池室内填充着F-03型分子筛。
3.根据权利要求1所述的一种用于六氟化硫气体分解产物净化处理系统，其特征在于：所述第二分子筛发生池室内填充着5Å型分子筛。
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