CN202185442U - 单晶坩埚自动高压清洗机 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开一种单晶坩埚自动高压清洗机，其包括机柜以及设置于机柜内放置待清洗坩埚的旋转平台，所述旋转平台连接驱动电机，所述旋转平台的周边设置有若干个清洗管，所述清洗管上开设有若干个喷淋清洗孔，所述机柜的顶部设置有顶部喷嘴，所述旋转平台的中心处设置有底部喷嘴，所述清洗管、顶部喷嘴和底部喷嘴均与纯水增压泵相连通，所述纯水增压泵连接纯水源，所述机柜内于旋转平台的下方设置有排污口。上述单晶坩埚自动高压清洗机清洗时喷淋清洗孔始终垂直于坩埚外壁，内壁通过底部喷嘴进行清洗，旋转平台的旋转使横向也产生作用力，可彻底清洗掉坩埚上烧结牢度不够的沙粒，清洗效果好，可使坩埚在拉晶时的传热性和安全性得到提高。

Description

单晶坩埚自动高压清洗机
技术领域
本实用新型涉及一种坩埚清洗设备，尤其涉及一种单晶坩埚自动高压清洗机。
背景技术
目前，坩埚主要采用高纯石英砂烧结而成的内壁23mm玻璃体，向外10mm左右的非玻璃体结构，在非玻璃体结构的外壁有一些烧结牢度不够的沙粒存在，为了不影响使用或在使用单晶生长过程中避免损伤坩埚或三瓣石墨坩埚，故必须在清洗过程中采取一定的压力达到清洗坩埚去除浮砂的目的，传统的坩埚清洗过程大多没有针对烧结牢度不够的沙粒进行清洗，即使有进行清洗，其清洗力度并不能彻底清除沙粒，清洗效果不好，没有起到实际的作用。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型的目的在于提供一种单晶坩埚自动高压清洗机，其具有结构简单、可彻底清洗掉坩埚上烧结牢度不够的沙粒，清洗效果好，可使坩埚在拉晶时的传热性和安全性得到提高的特点。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：
一种单晶坩埚自动高压清洗机，其包括机柜以及设置于机柜内放置待清洗坩埚的旋转平台，所述旋转平台连接驱动电机，其中，所述旋转平台的周边设置有若干个清洗管，所述清洗管上开设有若干个喷淋清洗孔，所述机柜的顶部设置有顶部喷嘴，所述旋转平台的中心处设置有底部喷嘴，所述清洗管、顶部喷嘴和底部喷嘴均与纯水增压泵相连通，所述纯水增压泵连接纯水源，所述机柜内于旋转平台的下方设置有排污口。
特别地，所述旋转平台由若干个自上而下直径依次减小的圆盘叠加而成，各个圆盘上对应开设有通孔，利用固定螺栓和固定螺母将所有圆盘连接为一体。
特别地，所述清洗管设置为三个，均布于旋转平台周边。
特别地，所述清洗管的下半段平行于待清洗坩埚的侧壁，上半段配合待清洗坩埚的底部为弧形结构。
特别地，所述旋转平台的中心处安装有中空的转动轴，所述转动轴连接皮带轮，所述皮带轮连接驱动电机的动力输出轴，且所述转动轴的空腔内设置有输液管，所述输液管与底部喷嘴相连通。
本实用新型的有益效果为，所述单晶坩埚自动高压清洗机于旋转平台的周边安装有清洗管，清洗管的喷淋清洗孔垂直于坩埚外壁进行喷淋清洗，使喷出的水作用力直接作用到外壁浮砂上，内壁通过底部喷嘴进行清洗，清洗时旋转平台同时旋转，横向也产生作用力，不仅结构简单；操作方便；而且可彻底清洗掉坩埚上烧结牢度不够的沙粒，清洗效果好，可使坩埚在拉晶时的传热性和安全性得到提高。
附图说明
下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
图1为本实用新型单晶坩埚自动高压清洗机的结构示意图。
图中：
1、机柜；2、旋转平台；3、待清洗坩埚；4、清洗管；5、喷淋清洗孔；6、顶部喷嘴；7、转动轴；8、皮带轮；9、底部喷嘴；10、纯水增压泵；11、排污口；12、固定螺栓。
具体实施方式
请参照图1所示，图1为本实用新型单晶坩埚自动高压清洗机的结构示意图。于本实施例中，一种单晶坩埚自动高压清洗机包括机柜1，所述机柜1内设置有用于放置待清洗坩埚3的旋转平台2，所述旋转平台2连接驱动电机，所述旋转平台2的周边均布有三个清洗管4，所述清洗管4上开设有若干个喷淋清洗孔5，且所述清洗管4的下半段平行于待清洗坩埚3的侧壁，上半段配合待清洗坩埚3的底部为弧形结构，所述机柜1的顶部设置有顶部喷嘴6，所述旋转平台2的中心处安装有中空的转动轴7，所述转动轴7连接皮带轮8，所述皮带轮8连接驱动电机的动力输出轴，且所述转动轴7的空腔内设置有输液管，所述输液管与底部喷嘴9相连通，所述清洗管4、顶部喷嘴6和底部喷嘴9均与纯水增压泵10相连通，所述纯水增压泵10连接纯水源，且所述机柜1内于旋转平台2的下方设置有排污口11。
为了清洗不同大小的待清洗坩埚3，所述旋转平台2由若干个自上而下直径依次减小的圆盘叠加而成，各个圆盘上对应开设有通孔，利用固定螺栓12和固定螺母将所有圆盘连接为一体，根据待清洗坩埚3的口径扣合于对应大小的圆盘之上。
上述单晶坩埚自动高压清洗机在清洗时，首先将待清洗坩埚3放置于旋转平台2之上，开启纯水增压泵10，由纯水增压泵10将清洗用的纯净水注入清洗管4、顶部喷嘴6和底部喷嘴9中进行清洗，同时开启驱动电机带动旋转平台2旋转，清洗管4的喷淋清洗孔5垂直于待清洗坩埚3外壁进行喷淋清洗，顶部喷嘴6垂直于待清洗坩埚3的底部喷淋清洗，使喷出的水作用力直接作用到外壁浮砂上，内壁通过底部喷嘴9进行清洗，清洗时旋转平台2同时旋转，横向也产生作用力，可彻底清洗掉坩埚上烧结牢度不够的沙粒，清洗效果好，可使坩埚在拉晶时的传热性和安全性得到提高。

Claims (5)

1.一种单晶坩埚自动高压清洗机，其包括机柜以及设置于机柜内放置待清洗坩埚的旋转平台，所述旋转平台连接驱动电机，其特征在于：所述旋转平台的周边设置有若干个清洗管，所述清洗管上开设有若干个喷淋清洗孔，所述机柜的顶部设置有顶部喷嘴，所述旋转平台的中心处设置有底部喷嘴，所述清洗管、顶部喷嘴和底部喷嘴均与纯水增压泵相连通，所述纯水增压泵连接纯水源，所述机柜内于旋转平台的下方设置有排污口。
2.根据权利要求1所述的单晶坩埚自动高压清洗机；其特征在于：所述旋转平台由若干个自上而下直径依次减小的圆盘叠加而成，各个圆盘上对应开设有通孔，利用固定螺栓和固定螺母将所有圆盘连接为一体。
3.根据权利要求1所述的单晶坩埚自动高压清洗机；其特征在于：所述清洗管设置为三个，均布于旋转平台周边。
4.根据权利要求1所述的单晶坩埚自动高压清洗机；其特征在于：所述清洗管的下半段平行于待清洗坩埚的侧壁，上半段配合待清洗坩埚的底部为弧形结构。
5.根据权利要求1或2任一项所述的单晶坩埚自动高压清洗机；其特征在于：所述旋转平台的中心处安装有中空的转动轴，所述转动轴连接皮带轮，所述皮带轮连接驱动电机的动力输出轴，且所述转动轴的空腔内设置有输液管，所述输液管与底部喷嘴相连通。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103480619A (zh) * 2012-06-14 2014-01-01 浙江五环钛业股份有限公司 一种清洗装置
CN103521489A (zh) * 2013-10-24 2014-01-22 浙江迦南科技股份有限公司 竖喷升降式旋转架料斗清洗室
CN108356016A (zh) * 2018-04-24 2018-08-03 石建光 微孔反应板清洗机
CN109092783A (zh) * 2018-08-14 2018-12-28 信阳师范学院 一种清洗瓷坩埚的方法
CN110328176A (zh) * 2019-07-08 2019-10-15 中国科学院近代物理研究所 一种小间隙超导腔内表面高压冲洗设备
WO2020224401A1 (zh) * 2019-05-08 2020-11-12 北京北方华创微电子装备有限公司 清洗腔室及清洗设备
CN112296043A (zh) * 2019-07-23 2021-02-02 中国石油化工股份有限公司 用于研磨机金属钵的自动清洗机及清洗方法
CN114425545A (zh) * 2020-09-24 2022-05-03 中国石油化工股份有限公司 用于研磨机金属钵的自动清洗机及方法

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103480619A (zh) * 2012-06-14 2014-01-01 浙江五环钛业股份有限公司 一种清洗装置
CN103480619B (zh) * 2012-06-14 2016-04-27 浙江五环钛业股份有限公司 一种清洗装置
CN103521489A (zh) * 2013-10-24 2014-01-22 浙江迦南科技股份有限公司 竖喷升降式旋转架料斗清洗室
CN103521489B (zh) * 2013-10-24 2015-08-05 浙江迦南科技股份有限公司 竖喷升降式旋转架料斗清洗室
CN108356016A (zh) * 2018-04-24 2018-08-03 石建光 微孔反应板清洗机
CN108356016B (zh) * 2018-04-24 2023-12-22 石建光 微孔反应板清洗机
CN109092783A (zh) * 2018-08-14 2018-12-28 信阳师范学院 一种清洗瓷坩埚的方法
CN109092783B (zh) * 2018-08-14 2021-08-27 信阳师范学院 一种清洗瓷坩埚的方法
TWI720875B (zh) * 2019-05-08 2021-03-01 大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 清洗腔室及清洗設備
WO2020224401A1 (zh) * 2019-05-08 2020-11-12 北京北方华创微电子装备有限公司 清洗腔室及清洗设备
CN110328176B (zh) * 2019-07-08 2021-11-19 中国科学院近代物理研究所 一种小间隙超导腔内表面高压冲洗设备
CN110328176A (zh) * 2019-07-08 2019-10-15 中国科学院近代物理研究所 一种小间隙超导腔内表面高压冲洗设备
CN112296043A (zh) * 2019-07-23 2021-02-02 中国石油化工股份有限公司 用于研磨机金属钵的自动清洗机及清洗方法
CN114425545A (zh) * 2020-09-24 2022-05-03 中国石油化工股份有限公司 用于研磨机金属钵的自动清洗机及方法

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