CN202185421U - 一种多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统 - Google Patents

Abstract

钟罩又称炉筒，本实用新型为一种多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统，包括：电气控制系统，高压热水动力装置：内含高压泵及阀组、进水加热器；清洗剂箱；内部含有清洗剂；清洗烘干工作台：放置待清洗工件；洗灌装置：设置于工作台上，与清洗剂箱通过管道相连，由高压热水动力装置射出高压水流作为驱动动力，对钟罩表面及工作台表面进行水力冲洗；净化热风烘干装置：烘干排除余留在钟罩内部的和工作台表面的液体和湿气；洗灌装置为三维喷洒喷头：使用水力自驱动式，对钟罩表面形成360度球形网状喷射。本实用新型可大大改善清洗烘干作业环境。通过PLC及触摸屏控制，可实现钟罩的全自动清洗烘干，与人工清洗烘干比大量节约人力资源。

Description

一种多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统

技术领域

本实用新型涉及一种工业自动清洁烘干系统，具体涉及一种多晶硅还原炉及氢化炉炉筒自动清洗烘干系统。 

背景技术

多晶硅产业是一种新兴的能源产业，钟罩又称炉筒，在多晶硅生产工艺中，还原炉以及氢化炉钟罩的清洗和烘干是不可缺少的环节。通常的清洗过程包括清洗和烘干两个过程，过去以人工清洗为主，不安全，不环保，清洗的一致性也难以保证，清洗效果差，自动化程度低，效率不高。 

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是现有多晶硅还原炉及氢化炉钟罩的清洗烘干不安全，不环保，不具有一致性和均匀性，清洗效果差，自动化程度低，效率不高。 

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统，包括： 

电气控制系统：用于控制清洗系统工作；

高压热水动力装置：内含高压泵及阀组、进水加热器，用于缓存漂洗冲洗的脱盐水及高纯水的漂洗冲洗水箱，高压泵进水受控加热，提供加热高压水流；

清洗剂箱：内部含有清洗剂，与所述高压热水动力装置通过管道相连；

清洗烘干工作台：用于放置待清洗工件；

洗灌装置：设置于工作台上，与所述清洗剂箱通过管道相连，由所述高压热水动力装置射出高压水流作为驱动动力，对钟罩表面及工作台表面进行水力冲洗；

净化热风烘干装置：用于烘干排除余留在钟罩内部的和工作台表面的液体和湿气；

所述洗灌装置为三维喷洒喷头：使用水力自驱动式，对钟罩表面形成360度球形网状喷射表面。

作为优选，所述高压热水动力装置射出高压水流驱动所述三维喷洒喷头自由升降。 

作为优选，所述清洗剂箱中设置对清洗剂进行搅拌的搅拌器。 

作为优选，所述清洗剂箱中装有氢氧化钠溶液。 

作为优选，所述清洗烘干工作台：布置进排水、进出风管路，放置洗罐装置。 

作为优选，所述电气控制系统设置有用于输入控制指令的PLC触摸屏。 

作为优选，净化热风烘干装置设置有进风系统，所述进风系统通过管道将十万级净化纯度的空气送入净化热风烘干装置对钟罩及工作台进行烘干； 

净化热风烘干装置：设置有进风、净化、排风、风机、加热部件，出风口受控加热。

作为优选，设置耐酸碱和耐高温的橡胶密封圈于钟罩和工作台的连接面处。 

本实用新型的工作原理： 

以高压水动力装置产生的热水射流为动力，以水力自驱动三维的洗罐器为执行喷头，在一定的工作时间形成360°的网状喷射表面，完成钟罩内部表面的水力扫射，用氢氧化钠溶液等为主要清洗液，用脱盐水预洗、漂洗，高纯水冲洗，完成清洗过程。用净化热风烘干装置，经过三级净化（10万级）的纯净空气，通过梯级加热，通过连续干燥，完成干燥过程。

整套工艺在一个工作平台上，一次吊装，依次全部实现自动清洗和烘干。 

本实用新型相对于现有技术来说的有益效果是： 

由于本实用新型所述的多晶硅还原炉钟罩的清洗系统中，三维喷洒喷头由高压热水动力装置射出高压水流作为驱动动力，对钟罩表面形成360度网状喷射表面并且所述高压热水动力装置射出高压水流驱动所述三维喷洒喷头自由升降，因此可以全面的对钟罩进行喷洒，而且清洗安全可靠，不污染环境，能够保证清洗的一致性和均匀性，保护人身健康不受危害，提高自动化程度和生产效率。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中： 

图1为本实用新型所述多晶硅还原炉钟罩的清洗系统的平面布置示意图；

图2为本实用新型所述多晶硅还原炉钟罩的清洗系统侧面布置示意图；

图3为图2的A-A剖视图；

图4是本实用新型的立体结构示意图。

其中附图标记为： 

其中的附图标记为：1、高压热水动力装置，2、清洗剂箱，3、洗灌装置，4、净化热风烘干装置，5、工作台，6、进风系统，7、排风系统，8、电气控制系统，9、一楼，10、二楼，11、三楼。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型提供本实用新型提供了一种多晶硅还原炉炉筒自动清洗烘干系统，包括： 

电气控制系统：用于控制清洗系统工作；

高压热水动力装置1：射出高压水流；

清洗剂箱2：内部含有清洗剂，与所述高压热水动力装置1通过管道相连；

洗灌装置3：设置于工作台5上，与所述清洗剂箱2通过管道相连，由所述高压热水动力装置1射出高压水流作为驱动动力，对钟罩表面及工作台5表面进行水力冲洗；

净化热风烘干装置4：设置有进风系统6和排风系统7，用于烘干余留在钟罩内部的和工作台5表面的液体；

所述洗灌装置3为三维喷洒喷头，对钟罩表面形成360度网状喷射表面。

所述高压热水动力装置1射出高压水流驱动所述三维喷洒喷头自由升降。 

所述清洗剂箱2中设置对清洗剂进行搅拌的搅拌器。 

所述清洗剂箱2中装有氢氧化钠溶液。 

所述电气控制系统设置有用于输入控制指令的PLC触摸屏。 

所述进风系统6通过管道将十万级净化纯度的空气送入净化热风烘干装置4对钟罩及工作台5进行烘干。 

设置耐酸碱和耐高温的橡胶密封圈于钟罩和工作台5的连接面处。 

本套系统通过合理的设计，实现了一次吊装到一个工作台5上，完成预清洗、清洁剂清洗、漂洗冲洗、热风烘干等全过程，可以实现一键操作。采用PLC触摸屏控制，可以方便实现清洗烘干工艺参数和流程的调整，也可也以实现手动、半自动、全自动操作转换。本套系统可根据客户需要分别采取全一楼布置，一、二楼布置，一、二、三楼布置方式。本发明可以满足多种清洗剂（可耐酸碱）的使用。本系统可以对水、空气可以使用各种换热方式（电、蒸汽、余热蒸汽、水、油），尤其是余热蒸汽、余热水、余热油等起到节能作用。 

本实用新型可同时满足多种型号钟罩（炉筒）的清洗和烘干。 

虽然本实用新型已经通过具体实施方式对其进行了详细阐述，但是，本专业普通技术人员应该明白，在此基础上所做出的未超出权利要求保护范围的任何形式和细节的变化，均属于本实用新型所要保护的范围。 

Claims (8)

1.一种多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统，其特征在于，包括：

电气控制系统：用于控制清洗系统工作；

高压热水动力装置：内含高压泵及阀组、进水加热器，用于缓存漂洗冲洗的脱盐水及高纯水的漂洗冲洗水箱，高压泵进水受控加热，提供加热高压水流；

清洗剂箱：内部含有清洗剂，与所述高压热水动力装置通过管道相连；

清洗烘干工作台：用于放置待清洗工件；

洗灌装置：设置于工作台上，与所述清洗剂箱通过管道相连，由所述高压热水动力装置射出高压水流作为驱动动力，对钟罩表面及工作台表面进行水力冲洗；

净化热风烘干装置：用于烘干排除余留在钟罩内部的和工作台表面的液体和湿气；

所述洗灌装置为三维喷洒喷头：使用水力自驱动式，对钟罩表面形成360度球形网状喷射表面。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统，其特征在于：

所述高压热水动力装置射出高压水流驱动所述三维喷洒喷头自由升降。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统，其特征在于：

所述清洗剂箱中设置对清洗剂进行搅拌的搅拌器。

4.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统，其特征在于：

所述清洗剂箱中装有氢氧化钠溶液。

5.根据权利要求1或2所述的多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统，其特征在于：

所述清洗烘干工作台：布置进排水、进出风管路，放置洗罐装置。

6.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统，其特征在于：

所述电气控制系统设置有用于输入控制指令的PLC触摸屏。

7.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统，其特征在于：

净化热风烘干装置设置有进风系统，所述进风系统通过管道将十万级净化纯度的空气送入净化热风烘干装置对钟罩及工作台进行烘干；

净化热风烘干装置：设置有进风、净化、排风、风机、加热部件，出风口受控加热。

8.根据权利要求6所述的多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统，其特征在于：

设置耐酸碱和耐高温的橡胶密封圈于钟罩和工作台的连接面处。

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