CN201959653U - 真空粉尘收集器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种真空粉尘收集器，包括收集器壁、收集器盖以及收集器底，所述收集器盖上设置有进风口，所述收集器壁上设置有出风口，所述收集器底上设置有排渣阀门。本实用新型利用流体动力学原理，通过改变气流的速度，使里面的固体颗粒沉降下来，以收集在底部，可以防止堵塞管道和破坏泵组件。因此应用本实用新型可以提前收集粉尘，从而降低了维修次数和维护费用，并且考虑到泵的拆卸与安装会降低设备的开机率，所以应用本实用新型后可以大大提高泵的使用效率以及生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及需要抽真空镀膜的工艺控制系统，尤其是镀硬质膜的工艺控制系统中颗粒沉降装置，具体地，涉及镀硬质膜的工艺控制系统中真空粉尘收集器。
背景技术
在一些需要抽真空镀膜的工艺中，如果镀的是Si、SiN、SiO2、SiC等硬质膜，在产业化的过程中，整个腔室和抽真空通道都会有沉积的膜和一些粉尘，那么真空泵里就容易残留很多硬颗粒，从而损伤泵的使用，频繁的清洗使维修和维护成本非常高。一台泵每年的维护费用大概4万元。
例如图1所示，在现有技术中，抽真空通道包括依次连接的上游管道6、连接段管道9、下游管道5以及真空泵8，在所述真空泵8的抽气作用下，气流从所述上游管道6的开口处进入，通过所述下游管道5从所述真空泵8的排气管道81流出。在这一过程中，由于气流的流速没有得到明显的减缓，因此若气流中携带着大量Si、SiN、SiO2、SiC等硬质膜的粉尘，则这些粉尘将被气流带入到所述真空泵8中，导致所述真空泵8使用寿命缩短。
实用新型内容
针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种真空粉尘收集器。
根据本实用新型的一个方面，提供一种真空粉尘收集器，包括收集器壁、收集器盖以及收集器底，所述收集器盖上设置有进风口，所述收集器壁上设置有出风口，所述收集器底上设置有排渣阀门。
优选地，所述收集器底向外部凸出。
优选地，所述收集器底为圆弧形。
优选地，所述收集器盖向外部凸出。
优选地，所述收集器盖为圆弧形。
优选地，还包括进风管道以及第一法兰盘，其中，所述进风管道的两端分别连接所述进风口与所述第一法兰盘，还包括出风管道以及第二法兰盘，其中，所述出风管道的两端分别连接所述出风口与所述第二法兰盘。
优选地，所述收集器壁的径向截面为环状。
优选地，所述出风口设置在所述收集器壁上靠近所述进风口的位置处。
优选地，还包括连接所述出风口的真空泵。
优选地，所述出风口的风口面积大于所述进风口的风口面积。
本实用新型利用流体动力学原理，通过改变气流的速度，使里面的固体颗粒沉降下来，以收集在底部，可以防止堵塞管道和破坏泵组件。因此应用本实用新型可以提前收集粉尘，从而降低了维修次数和维护费用，并且考虑到泵的拆卸与安装会降低设备的开机率，所以应用本实用新型后可以大大提高泵的使用效率和生产效率。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1示出现有技术中抽真空管道的结构示意图；
图2示出根据本实用新型的第一实施例的，真空粉尘收集器的结构示意图；
图3示出根据本实用新型的第二实施例的，真空粉尘收集器的结构示意图。
具体实施方式
图2示出根据本实用新型的第一实施例的，真空粉尘收集器的结构示意图。具体地，在本实施例中，所述真空粉尘收集器包括收集器壁11、收集器盖12以及收集器底，其中，所述收集器盖12上设置有进风口，所述收集器壁11上设置有出风口，所述收集器底上设置有排渣阀门。优选地，如图2所示，所述收集器盖向外部凸出，其形状优选地为圆弧形；进一步地，所述收集器底向外部凸出，其形状优选地为圆弧形。
更为具体地，所述真空粉尘收集器还包括进风管道17以及第一法兰盘15，其中，所述进风管道17的两端分别连接所述进风口与所述第一法兰盘15，还包括出风管道18以及第二法兰盘16，其中，所述出风管道18的两端分别连接所述出风口与所述第二法兰盘16。优选地，所述收集器壁11的径向截面为环状，所述出风口设置在所述收集器壁11上靠近所述进风口的位置处。进一步优选地，所述出风口的风口面积大于所述进风口的风口面积。
图3示出根据本实用新型的第二实施例的，真空粉尘收集器的结构示意图。图3所示抽真空通道与图1所示抽真空通道的区别在于，在图3所示的实施例中，所述上游管道6与所述下游管道5之间通过根据本实用新型提供的真空粉尘收集器连接。具体地，在本实施例中，所述真空粉尘收集器包括收集器壁11、收集器盖12以及收集器底13，其中，所述收集器盖12上设置有进风口，所述收集器壁11上设置有出风口，所述收集器底13上设置有排渣阀门14。优选地，所述收集器壁11的径向截面为环状。
进一步地，所述收集器底13向外部凸出呈圆弧形，所述收集器盖12向外部凸出呈圆弧形。本领域技术人员理解，所述收集器底13和所述收集器盖12向外部凸出可以增加所述粉尘收集收集器内部的中空空间，以使得气流通过所述粉尘收集收集器时可以适当减缓流速。
更为具体地，所述真空粉尘收集器的进风口连接所述上游管道6，所述出风口连接所述下游管道5。其中，所述真空粉尘收集器包括进风管道17以及第一法兰盘15，其中，所述进风管道17的两端分别连接所述进风口与所述第一法兰盘15，通过将所述第一法兰盘15安装到所述上游管道6的法兰盘61，使得所述粉尘收集收集器连接到所述上游管道6。所述真空粉尘收集器包括出风管道18以及第二法兰盘16，其中，所述出风管道18的两端分别连接所述出风口与所述第二法兰盘16，通过将所述第二法兰盘16安装到所述下游管道5的法兰盘51，使得所述粉尘收集收集器连接到所述下游管道5。
进一步地，所述粉尘收集收集器还包括连接所述出风口的真空泵8，其中，所述真空泵8的一端连接所述下游管道5，另一端连接所述排气管道81。优选地，所述出风口设置在所述收集器壁11上靠近所述进风口的位置处。优选地，所述出风口的风口面积大于所述进风口的风口面积。
在一个具体实施方式中，携带有粉尘的气流从所述上游管道6的一端按箭头所指方向流向所述下游管道5，该气流首先流入到所述粉尘收集收集器内，由于所述粉尘收集收集器内部为中空结构，因此该气流在所述粉尘收集收集器内通过时其流速减慢，进而粉尘可以被收集在所述收集器底的上方，这样，流入所述真空泵8中的气流便是脱尘后的气体。在所述粉尘收集收集器使用了一段时间后，只需要打开所述排渣阀门14便可以清理收集在所述粉尘收集收集器内底部的粉尘。
本领域技术人员理解，所述粉尘收集收集器的体积越大则对气流的减速效果越明显，但是若所述粉尘收集收集器的体积过大则会占用较大场地、收集器的体积过大使真空泵的工作量增加会延长抽真空时间，并且安装不便，因此在一个优选例中，所述粉尘收集收集器的出风口的风口面积大于所述进风口的风口面积，这样，气体通过所述出风口的流速可以低于其通过所述进风口的流速。
以上对本实用新型的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改，这并不影响本实用新型的实质内容。
Claims (10)
1.一种真空粉尘收集器，包括收集器壁、收集器盖以及收集器底，其特征在于，所述收集器盖上设置有进风口，所述收集器壁上设置有出风口，所述收集器底上设置有排渣阀门。
2.根据权利要求1所述的真空粉尘收集器，其特征在于，所述收集器底向外部凸出。
3.根据权利要求2所述的真空粉尘收集器，其特征在于，所述收集器底为圆弧形。
4.根据权利要求1所述的真空粉尘收集器，其特征在于，所述收集器盖向外部凸出。
5.根据权利要求4所述的真空粉尘收集器，其特征在于，所述收集器盖为圆弧形。
6.根据权利要求1所述的真空粉尘收集器，其特征在于，还包括进风管道以及第一法兰盘，其中，所述进风管道的两端分别连接所述进风口与所述第一法兰盘，还包括出风管道以及第二法兰盘，其中，所述出风管道的两端分别连接所述出风口与所述第二法兰盘。
7.根据权利要求1所述的真空粉尘收集器，其特征在于，所述收集器壁的径向截面为环状。
8.根据权利要求1所述的真空粉尘收集器，其特征在于，所述出风口设置在所述收集器壁上靠近所述进风口的位置处。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的真空粉尘收集器，其特征在于，还包括连接所述出风口的真空泵。
10.根据权利要求9所述的真空粉尘收集器，其特征在于，所述出风口的风口面积大于所述进风口的风口面积。
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Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
| CN103071659A (zh) * | 2012-12-27 | 2013-05-01 | 肇庆理士电源技术有限公司 | 除尘系统和辅助除尘装置 |
| CN109411385A (zh) * | 2017-08-17 | 2019-03-01 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 真空规连接组件和半导体设备 |
| CN109550766A (zh) * | 2017-09-25 | 2019-04-02 | 高淳县龙宁精密铸造有限公司 | 除尘机构 |
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