CN201930946U - 非晶硅太阳电池pecvd系统基片装载盒的清洁装置 - Google Patents

非晶硅太阳电池pecvd系统基片装载盒的清洁装置 Download PDF

Info

Publication number
CN201930946U
CN201930946U CN2010206585976U CN201020658597U CN201930946U CN 201930946 U CN201930946 U CN 201930946U CN 2010206585976 U CN2010206585976 U CN 2010206585976U CN 201020658597 U CN201020658597 U CN 201020658597U CN 201930946 U CN201930946 U CN 201930946U
Authority
CN
China
Prior art keywords
box body
clean box
solar cell
amorphous silicon
silicon solar
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2010206585976U
Other languages
English (en)
Inventor
汪洋
郭增良
曹丽冉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TIANJIN JINNENG SOLAR CELL CO Ltd
Original Assignee
TIANJIN JINNENG SOLAR CELL CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TIANJIN JINNENG SOLAR CELL CO Ltd filed Critical TIANJIN JINNENG SOLAR CELL CO Ltd
Priority to CN2010206585976U priority Critical patent/CN201930946U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201930946U publication Critical patent/CN201930946U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置,包括工作平台、清洁箱体、喷淋器、滚刷、移送轨道及风机,在工作平台上固装清洁箱体,在清洁箱体两侧设置有密封门,在对应密封门的清洁箱体内底部固装有移送轨道,在清洁箱体内顶部对应移送轨道依次分别固装有滚刷、喷淋设备,清洁箱体内顶部还安装有吹风口及排风口,吹风口安装在装载盒入口。本装置采用密闭的腔体设计,能够有效避免粉尘在车间环境中飘散,减少了生产环境被污染,尽可能的降低员工直接接触粉尘的概率,保障了操作人员的身体健康和安全。

Description

非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置
技术领域
本专利属于光伏发电领域,用于双结非晶硅太阳电池生产线中,尤其是一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置。
背景技术
在玻璃衬底非晶硅太阳电池的生产过程中,PECVD(等离子体增强型化学气相沉积)是最为核心的环节,其中对于基片装载盒的清洁直接影响太阳电池的质量和可靠使用寿命。目前使用的清洁方式主要采用人工清洁,存在着清洁程度受操作人员影响大、对生产环境造成污染以及对操作人员健康有不良影响等问题。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足之处,提供一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置,该装置可有效清洁装载盒且对环境无污染。
本实用新型解决其技术问题是采取以下技术方案实现的:
一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置,其特征在于:包括工作平台、清洁箱体、喷淋器、滚刷、移送轨道及风机,在工作平台上固装清洁箱体,在清洁箱体两侧设置有密封门,在对应密封门的清洁箱体内底部固装有移送轨道,在清洁箱体内顶部对应移送轨道依次分别固装有滚刷、喷淋设备,清洁箱体内顶部还安装有吹风口及排风口,吹风口安装在装载盒入口。
而且,在对应喷淋器位置的清洁箱体内底部固装有一收集水槽,该收集水槽连通固装在工作平台内的水循环装置。
本实用新型的优点和积极效果是:
1、本装置采用密闭的腔体设计,能够有效避免粉尘在车间环境中飘散,减少了生产环境被污染,尽可能的降低员工直接接触粉尘的概率。
2、本装置采用自动装置代替了人工操作的方式,提高了生产效率,保障了操作人员的身体健康和安全。
附图说明
图1为本实用新型的结构简图。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本实用新型作进一步详述,以下实施例只是描述性的,不是限定性的,不能以此限定本实用新型的保护范围。
一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置,包括工作平台10、清洁箱体7、喷淋器3、滚刷4、移送轨道6及风机15,工作平台固装在支架11上,在支架侧边安装有电控箱12,在工作平台上固装清洁箱体,在清洁箱体两侧设置有密封门9,在对应密封门的清洁箱体内底部固装有移送轨道,在该轨道上运行有装载盒5。在清洁箱体内顶部对应移送轨道依次分别固装有滚刷、喷淋设备,在清洁箱体内顶部还安装有吹风口8及排风口2。其中吹风口固装在装载盒入口,排风口通过管路1连通风机,风机再通过其连接的过滤装置16与大气连通。在对应喷淋器位置的清洁箱体内底部固装有一收集水槽13,该收集水槽连通固装在工作平台内的水循环装置14,该水循环装置也即是包括水泵及一水箱,收集水槽的水进入水箱并再通过水泵送到喷淋器。
本实施例中,排风口连接风机,吹风口连接高压气泵,这种连接方式是现有技术,因此没有给出具体的连接关系。
上述未详细叙述的各部件的连接关系是惯用手段。
本实用新型的工作原理是:
装载盒自清洁箱体的入口端进入清洁箱体内,吹风口采用高压气泵对装载盒进行吹扫,喷淋器对装载盒及清洁箱体内的灰尘进行降尘及清洁,排风口使用风机将经过喷淋和过滤的空气排出清洁箱体外。

Claims (2)

1.一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置,其特征在于:包括工作平台、清洁箱体、喷淋器、滚刷、移送轨道及风机,在工作平台上固装清洁箱体,在清洁箱体两侧设置有密封门,在对应密封门的清洁箱体内底部固装有移送轨道,在清洁箱体内顶部对应移送轨道依次分别固装有滚刷、喷淋设备,清洁箱体内顶部还安装有吹风口及排风口,吹风口安装在装载盒入口。
2.根据权利要求1所述的非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置,其特征在于:在对应喷淋器位置的清洁箱体内底部固装有一收集水槽,该收集水槽连通固装在工作平台内的水循环装置。
CN2010206585976U 2010-12-14 2010-12-14 非晶硅太阳电池pecvd系统基片装载盒的清洁装置 Expired - Fee Related CN201930946U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010206585976U CN201930946U (zh) 2010-12-14 2010-12-14 非晶硅太阳电池pecvd系统基片装载盒的清洁装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010206585976U CN201930946U (zh) 2010-12-14 2010-12-14 非晶硅太阳电池pecvd系统基片装载盒的清洁装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201930946U true CN201930946U (zh) 2011-08-17

Family

ID=44442485

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010206585976U Expired - Fee Related CN201930946U (zh) 2010-12-14 2010-12-14 非晶硅太阳电池pecvd系统基片装载盒的清洁装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201930946U (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102698996A (zh) * 2012-05-30 2012-10-03 圣睿太阳能科技(镇江)有限公司 非晶硅薄膜太阳能电池pecvd基片装载箱清洁系统及清洁方法
CN104353817A (zh) * 2014-11-28 2015-02-18 江苏永昌新能源科技有限公司 一种铝压铸件集合清理除杂装置
CN114273318A (zh) * 2021-12-29 2022-04-05 嵊州陌桑高科股份有限公司 工厂化养蚕的载体清洗工艺

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102698996A (zh) * 2012-05-30 2012-10-03 圣睿太阳能科技(镇江)有限公司 非晶硅薄膜太阳能电池pecvd基片装载箱清洁系统及清洁方法
CN104353817A (zh) * 2014-11-28 2015-02-18 江苏永昌新能源科技有限公司 一种铝压铸件集合清理除杂装置
CN114273318A (zh) * 2021-12-29 2022-04-05 嵊州陌桑高科股份有限公司 工厂化养蚕的载体清洗工艺

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN204035163U (zh) 一种车间除尘装置
CN203220825U (zh) 一种激光机除尘过滤筒清洁装置
CN201930946U (zh) 非晶硅太阳电池pecvd系统基片装载盒的清洁装置
CN109174896A (zh) 一种用于制备负极材料过程中的吸尘装置
CN108043219B (zh) 一种工业废气的净化装置
CN112090220A (zh) 一种湿熄焦烟气除尘脱白多重净化处理装置及方法
CN108079709B (zh) 一种高温废气的处理装置
CN216024067U (zh) 一种流量可调式烟气脱硝装置
CN202539131U (zh) 一种非晶硅太阳能电池激光设备的除尘装置
CN102784789A (zh) 净化车间空气用吸尘装置
CN214261198U (zh) 一种湿熄焦烟气除尘脱白多重净化处理装置
CN205217517U (zh) 核电站用干冰去污设备
CN211274095U (zh) 一种建筑工地用高效降尘装置
CN211465819U (zh) 一种钣金机箱加工用打磨装置
CN207254853U (zh) 变速器清洗机
CN108006830B (zh) 一种固定式高效空气净化机器人
CN206604838U (zh) 直流输电换流阀阀塔清灰工具
CN219804402U (zh) 一种含尘尾气处理系统
CN111760385A (zh) 一种隧道工程空气净化系统
CN201375981Y (zh) 适用于焊线工位的排烟系统
CN217748573U (zh) 一种烧结梭式布料车除尘罩装置
CN209428456U (zh) 一种生物质热解炉的除灰装置
CN109772038B (zh) 污染物流道模块
CN201975461U (zh) 一种具有防尘装置的铅板分片机
CN104043261A (zh) 一种空气净化系统

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20110817

Termination date: 20141214

EXPY Termination of patent right or utility model