CN201857044U

CN201857044U - 液体存储装置

Info

Publication number: CN201857044U
Application number: CN2010202649220U
Authority: CN
Inventors: 王世明
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2010-07-20
Filing date: 2010-07-20
Publication date: 2011-06-08
Anticipated expiration: 2020-07-20

Abstract

本实用新型公开了一种液体存储装置，所述液体存储装置包括：储液罐、进液管路、出液管路、进气管路以及液体保压装置，所述进液管路、出液管路以及进气管路均与所述储液罐连接，所述液体保压装置包括溢流管以及液封槽，所述液封槽内存储有液体，所述溢流管的一端与所述储液罐连接，所述溢流管的另一端伸入到所述液体内。所述液体保压装置结构简单，使用方便，可确保储液罐内的压力值恒定，并有利于降低生产成本。

Description

液体存储装置

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种液体存储装置。

背景技术

在集成电路制造过程中，会涉及到多种液体，这些液体需要具有极高的纯度。例如，在进行蚀刻工艺时，需要使用氢氟酸、硫酸、盐酸、氨水等化学试剂；在进行化学机械研磨工艺时，需要使用研磨液、柠檬酸清洗液等化学试剂。这些液体通常经液体存储装置输送至各个机台。

具体请参考图1，其为现有的液体存储装置的示意图。如图1所示，现有的液体存储装置100通常包括：储液罐110、进液管路120、出液管路130、进气管路140、泄压管路150、设置在泄压管路150上的压力释放阀151、真空破坏管路160、以及设置在真空破坏管路160上的真空破坏阀161，所述进液管路120、出液管路130以及进气管路140均与所述储液罐110连接。

所述进液管路120用于向储液罐110内供应工艺生产所需的液体(如各种化学试剂)，存储在储液罐110内的液体则通过出液管路130输送至各个机台。所述进气管路140用于向储液罐110内供应高纯度的气体，以防止所述储液罐110内的液体与空气接触，避免这些液体吸收空气中的水分或与空气发生反应而变质。当所述进液管路120快速的向储液罐110内供应液体时，所述储液罐110内的液面急剧上升，所述储液罐110内的高纯气体被压缩，储液罐110内的压力变大，所述压力释放阀151会自动打开，以防止储液罐110内的压力超过预定值，当储液罐110内的压力恢复正常时，所述压力释放阀151自动关闭，阻止储液罐110内的压力继续释放。一旦所述储液罐110内的液面急剧下降，而导致所述储液罐110内的压力低于预定值时，所述真空破坏阀161会自动打开，经所述真空破坏管路160向所述储液罐110内补充气体，以确保液体存储装置100的安全。

然而，在实际生产中发现，现有的液体存储装置100具有以下几个缺点：首先，由于所述压力释放阀151和真空破坏阀161是机械连锁装置，当使用一段时间后，所述压力释放阀151和真空破坏阀161易发生机械故障，进而出现机械动作不灵敏的情况，导致所述储液罐110内的压力不稳定，损坏所述储液罐110，影响工艺生产的顺利进行；并且，所述压力释放阀151和真空破坏阀161的价格昂贵，不利于降低生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种液体存储装置，以解决现有的液体存储装置的压力释放阀和真空破坏阀极易发生机械故障，而导致储液罐内压力不稳定的问题，并可节约生产成本。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种液体存储装置，包括：储液罐、进液管路、出液管路以及进气管路，所述进液管路、出液管路以及进气管路均与所述储液罐连接，其特征在于，还包括液体保压装置，所述液体保压装置包括溢流管以及液封槽，所述液封槽内存储有液体，所述溢流管的一端与所述储液罐连接，所述溢流管的另一端伸入到所述液体内。

可选的，在所述液体存储装置中，所述液封槽包括侧壁以及与所述侧壁连接的底壁。所述液封槽的形状为圆桶形或方形。

可选的，在所述液体存储装置中，所述液体保压装置还包括补液管路和排液管路，所述补液管路和排液管路与所述液封槽的侧壁连接。

可选的，在所述液体存储装置中，所述液封槽内存储的液体是去离子水。

可选的，在所述液体存储装置中，所述储液罐包括顶壁、底壁以及与所述顶壁和底壁连接的侧壁。所述储液罐的形状为圆桶形或方形。

可选的，在所述液体存储装置中，所述进液管路和出液管路与所述储液罐的侧壁连接，所述进气管路与所述储液罐的顶壁连接。

可选的，在所述液体存储装置中，所述溢流管的一端与储液罐的侧壁连接。

可选的，在所述液体存储装置中，所述进液管路上设置有第一阀，所述出液管路上设置有第二阀，所述进气管路上设置有第三阀。

与现有技术相比，本实用新型提供的液体存储装置利用液体保压装置代替传统的压力释放阀和真空破坏阀，当储液罐内的压力超过预定值时，所述储液罐内的压力会经所述液体保压装置的溢流管释放到空气中；当储液罐内的压力低于预定值时，所述溢流管会倒吸液封槽内的液体，防止由于储液罐内出现真空而损坏储液罐。由于所述液体保压装置未使用机械连锁装置，不会由于机械故障导致液封失效，可确保所述储液罐内的压力值恒定，从而确保液体存储装置的安全；并且，所述液体保压装置结构简单，有利于降低生产成本。

附图说明

图1为现有的液体存储装置的示意图；

图2为本实用新型实施例提供的液体存储装置的示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型的核心思想在于，提供一种液体存储装置，所述液体存储装置利用液体保压装置代替传统的压力释放阀和真空破坏阀，当储液罐内的压力超过预定值时，所述储液罐内的压力会经液体保压装置的溢流管释放到空气中，当储液罐内的压力低于预定值时，所述溢流管会倒吸液封槽内的液体，确保液体存储装置的安全。

请参考图2，其为本实用新型实施例提供的液体存储装置的示意图。如图2所示，所述液体存储装置200包括：储液罐210、进液管路220、出液管路230、进气管路240以及液体保压装置，所述进液管路220、出液管路230以及进气管路240均与储液罐210连接，所述液体保压装置包括溢流管250以及液封槽260，所述液封槽260内存储有液体，所述溢流管250的一端与储液罐210连接，所述溢流管250的另一端伸入到所述液体内。所述液体保压装置未使用机械连锁装置，不会由于机械故障导致液封失效，可确保所述储液罐210内的压力值恒定；并且，所述液体保压装置使用方便，结构简单，有利于降低生产成本。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述液封槽260为开口容器，详细的，所述液封槽260包括侧壁261以及与侧壁261连接的底壁262，所述液封槽210的形状为方形。当然，本实用新型并不限于此，所述液封槽210的形状也可以是其它形状，例如圆桶形。

进一步的，所述液体保压装置还包括补液管路270和排液管路280，所述补液管路270和排液管路280均与所述液封槽210的侧壁211连接。所述补液管路270用于向所述液封槽210内补充液体，所述排液管路280用于排出液封槽210内存储的液体。可通过所述补液管路270和排液管路280的配合，确保液封槽210内的液体的液面高度恒定。

所述液封槽210内存储的液体优选为去离子水，所述溢流管250的另一端伸入到所述去离子水内。由于所述去离子水内的杂质较少，所述溢流管250上不易结垢；并且，所述去离子水是洁净间内最常用的液体，成本较低。

所述溢流管250伸入到所述液体内的深度(也称为液封高度)可根据储液罐210内的预设压力计算，本领域技术人员可通过实验获知，在此不再赘述。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述储液罐210包括顶壁211、底壁212以及与顶壁211和底壁212连接的侧壁213，所述储液罐210的形状为方形。当然，所述储液罐210的形状也可以是其它形状，例如圆桶形。

所述进液管路220和出液管路230与所述储液罐210的侧壁213连接，所述进气管路240与所述储液罐210的顶壁211连接，所述溢流管250的一端与所述储液罐210的侧壁213连接。所述进液管路220用于向储液罐210内供应工艺生产所需的液体，例如，各种化学试剂，存储在所述储液罐210内的液体通过出液管路230输送至各个机台。所述进气管路240用于向储液罐210内供应高纯度的气体(例如高纯度的氮气)，以防止储液罐210内的液体与空气接触，避免这些液体吸收空气中的水分或与空气发生反应而变质。

较佳的，所述进液管路220上设置有第一阀221，所述第一阀221用于控制所述进液管路220的通断；所述出液管路230上设置有第二阀231；所述进气管路240上设置有第三阀241。

请继续参考图2，本实用新型实施例提供的液体存储装置200是这样工作的：

当所述进液管路220快速的向储液罐210内供应液体时，所述储液罐210内的液面急剧上升，储液罐210内的高纯气体被压缩，所述储液罐210内的压力变大，所述储液罐210内的高纯气体会冲破液封的阻力释放到空气中，以防止储液罐110内的压力超过预定值。

当所述储液罐210内的液体经出液管路230快速排放到制程机台时，若所述进气管路240未能及时补充足够的高纯气体，所述储液罐210内的压力将低于预定值时，所述溢流管250会倒吸液封槽260内的液体，以使储液罐210内的压力恒定，确保所述液体存储装置200的安全。

需要说明的是，可通过调整溢流管250伸入到液封槽260内的液体的深度，来确保溢流管250倒吸液封槽260内的液体时，液封槽260内的液体刚好停留在溢流管250内，从而确保所述液封槽260内的液体不会倒灌到储液罐210内，避免液封槽260内的液体污染储液罐210。

综上所述，所述液体存储装置200利用液体保压装置替代传统的压力释放阀和真空破坏阀，所述液体保压装置未使用机械连锁装置，不会由于机械故障导致液封失效，可确保所述储液罐内的压力值恒定；并且，所述液体保压装置仅包括溢流管250以及液封槽260，使用方便，结构简单，有利于降低生产成本。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种液体存储装置，包括：储液罐、进液管路、出液管路以及进气管路，所述进液管路、出液管路以及进气管路均与所述储液罐连接，其特征在于，还包括液体保压装置，所述液体保压装置包括溢流管以及液封槽，所述液封槽内存储有液体，所述溢流管的一端与所述储液罐连接，所述溢流管的另一端伸入到所述液体内。

2.如权利要求1所述的液体存储装置，其特征在于，所述液封槽包括侧壁以及与所述侧壁连接的底壁。

3.如权利要求2所述的液体存储装置，其特征在于，所述液封槽的形状为圆桶形或方形。

4.如权利要求2所述的液体存储装置，其特征在于，所述液体保压装置还包括补液管路和排液管路，所述补液管路和排液管路均与液封槽的侧壁连接。

5.如权利要求4所述的液体存储装置，其特征在于，所述液封槽内存储的液体是去离子水。

6.如权利要求1至5中任意一项所述的液体存储装置，其特征在于，所述储液罐包括顶壁、底壁以及与所述顶壁和底壁连接的侧壁。

7.如权利要求6所述的液体存储装置，其特征在于，所述储液罐的形状为圆桶形或方形。

8.如权利要求6所述的液体存储装置，其特征在于，所述进液管路和出液管路均与所述储液罐的侧壁连接，所述进气管路与所述储液罐的顶壁连接。

9.如权利要求6所述的液体存储装置，其特征在于，所述溢流管的一端与所述储液罐的侧壁连接。

10.如权利要求1所述的液体存储装置，其特征在于，所述进液管路上设置有第一阀，所述出液管路上设置有第二阀，所述进气管路上设置有第三阀。