CN201808268U

CN201808268U - 贴合装置

Info

Publication number: CN201808268U
Application number: CN2010201409376U
Authority: CN
Inventors: 平井明; 石田刚; 海津拓哉; 中山幸德
Original assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Ai Meike Technology Co Ltd
Priority date: 2010-03-15
Filing date: 2010-03-15
Publication date: 2011-04-27
Anticipated expiration: 2020-03-15

Abstract

本实用新型的课题在于提供一种贴合装置，其具备能够以简单的结构保持大型的玻璃基板的基板保持装置。贴合装置通过具有基板保持部(41)的上基板保持装置(4)而粘着保持玻璃基板，所述基板保持部(41)中在圆环状的周缘部(41a)上安装有以不饱和聚丁二烯树脂为材料且呈圆环状的粘着垫(41d)、和配置成覆盖周缘部(41a)的圆环状的中空部(41b)的可动膜(41c)。其特征在于，使玻璃基板从粘着垫(41d)脱离时，可动膜(41c)随着增压室(42)的气压上升，朝向粘着在粘着垫(41d)上的玻璃基板突出。

Description

贴合装置

技术领域

本发明涉及一种在真空中将两片基板贴合的贴合装置，特别是涉及一种在液晶显示面板的制造工序中对玻璃基板进行贴合的贴合装置。

背景技术

在液晶显示面板的制造工序中将两片基板(玻璃基板)在真空中贴合的贴合装置，将滴下液晶的一片玻璃基板保持在下方，并且将另一片保持在上方，将装置内的作业区域抽成真空，将两片玻璃基板在上下方向上贴合。

这种贴合装置中，需要在上方保持一片玻璃基板的保持机构、和解除保持而卸下玻璃基板的拆卸机构。

例如，专利文献1中公开了一种粘着夹紧装置，其具备通过供给到气动室的负压向上移动且通过供给到气动室的正压向下移动的刚体部，通过粘着部件粘着保持玻璃基板，并且，使刚体部向下移动而卸下玻璃基板。

另外，专利文献2中公开了一种基板贴合装置，其通过吸附头将基板吸起，通过由丁二烯橡胶构成的粘着片和真空吸附来保持基板。

此外，专利文献3中公开了一种基板保持装置，通过由二烯类系树脂构成的粘着垫保持基板，通过使粘着垫向上移动而使基板脱离。

专利文献1：(日本)专利第3917651号公报

专利文献2：(日本)专利第4163242号公报

专利文献3：(日本)专利第4134907号公报

例如，专利文献1所公开的粘着夹紧装置，使用硅类、丙烯类粘着材料制成的粘着片，但存在不能保持对粘着力的控制和粘着面的平坦度而制作这样的问题。

另外，还存在不能从上侧提起保持在上侧的基板这样的问题。

另外，专利文献2所公开的基板贴合装置，存在需要在粘着机构部利用空压进行动作的升降机构而使结构变得复杂这样的问题。

另外，专利文献3所公开的基板保持装置，存在需要使粘着垫向上移动的构成从而使结构变得复杂这样的问题。

发明内容

于是，本发明的课题在于，提供一种具备能够以简单的结构保持大型的玻璃基板的基板保持装置的贴合装置。

为了解决所述课题，本发明的贴合装置具有基板保持装置，该基板保持装置通过不饱和聚丁二烯树脂的粘着垫对玻璃基板进行粘着保持，并且通过朝向玻璃基板突出的膜状部件使玻璃基板脱离粘着垫。

根据本发明，可提供具备能够以简单的结构保持大型的玻璃基板的基板保持装置的贴合装置。

本发明提供一种贴合装置，在真空室内具备使基板相对而进行保持的两个基板保持装置，将由两个所述基板保持装置各保持一片的两片所述基板在真空状态下贴合，其特征在于，

所述两个基板保持装置的至少一个基板保持装置具有粘着保持所述基板的基板保持部，

所述基板保持部中，具备：

粘着垫，以不饱和聚丁二烯树脂为材料并粘着于所述基板；以及

可动膜，从所述粘着垫一侧朝向粘着在该粘着垫上的所述基板突出，使所述基板从所述粘着垫脱离。

所述可动膜配置成堵塞开口部，所述开口部在设置在所述基板保持装置内且能够使内部气压上升的增压室、及粘着在所述粘着垫上的所述基板之间的位置上开口，

所述可动膜为下述构造：随着所述增压室的气压上升，所述可动膜从所述开口部朝向粘着在所述粘着垫上的所述基板突出。

附图说明

图1是表示本实施方式的贴合装置的概略结构的剖面图；

图2是表示下基板保持装置的结构之一例的图，(a)为俯视图，(b)为图2(a)的X1-X1剖面图；

图3是表示本实施方式的上基板保持装置的构成的图，(a)为仰视图，(b)为图3(a)的X2-X2剖面图，(c)为图3(b)的A1部放大图；

图4(a)是基板保持部的仰视图，(b)是图4(a)的X3-X3剖面图，(c)是表示微小突起的配置的图；

图5是表示对上基板保持装置安装或卸下玻璃基板的图，(a)是表示使上基板保持装置保持玻璃基板的状态的剖面图，(b)是表示粘着垫粘着玻璃基板的状态的剖面图，(c)是表示将玻璃基板从粘着垫上卸下的状态的剖面图；

图6(a)～(d)是以时间序列表示贴合玻璃基板时的贴合装置的状态的剖面图；

图7(a)是表示经由缓冲件将粘着垫安装在周缘部的状态的图，(b)是表示将周缘部和可动膜一体成型而成的基板保持部的图，(c)是表示非圆环状的多个粘着垫的配置的一例的仰视图。

标号说明

1贴合装置

2真空室

3A、3B玻璃基板(基板)

4上基板保持装置(基板保持装置)

5下基板保持装置(基板保持装置)

40上载物台

41基板保持部

41c 可动膜

41d粘着垫

41S粘着面

42增压室

44通气口

46吸起垫

411、412凸部

413微小突起

具体实施方式

下面，利用附图说明本发明的实施方式。

如图1所示，本实施方式的贴合装置1是在已成为真空状态的真空室2内将形成液晶显示面板的两片玻璃基板3A、3B(基板)贴合的装置。

在两片玻璃基板3A、3B的一方(例如3B)上，在前面工序滴下液晶7，进而涂敷有用于防止液晶7的扩散的密封剂6。

贴合装置1通过下方的基板保持装置(以下称为“下基板保持装置5”)保持滴下了液晶7的玻璃基板3B，通过上方的基板保持装置 (以下称为“上基板保持装置4”)保持与玻璃基板3B贴合的玻璃基板3A。

这时，玻璃基板3A、3B以相对的方式被保持。

另外，未图示的是，在上基板保持装置4或下基板保持装置5的任一方上具备对水平方向的位置进行微调的调节机构，优选能够将两片玻璃基板3A、3B在水平方向上高精度地进行定位的构成。

另外，贴合装置1如下构成：能够通过开关门8开关用于将玻璃基板3A、3B搬入及搬出真空室2的基板入出口9，当基板入出口9被开关门8关闭时，真空室2被密封。

而且，贴合装置1在使真空室2内成为真空状态后，使上基板保持装置4下降而将两片玻璃基板3A、3B贴合。

如图2(a)、(b)所示，下基板保持装置5具备：载置玻璃基板3B(参照图1)的下载物台50、粘着玻璃基板3B的多个粘着垫51、以及安装粘着垫51的基体部52。

另外，下基板保持装置5中，以具备下载物台50的一侧为上侧设定上下方向。

下载物台50可水平移动地设置在贴合装置1(参照图1)上，形成载置玻璃基板3B(参照图1)的平面。

另外，基体部52可相对于下载物台50沿上下方向移动地配置在下载物台50的下方。

基体部52上朝向上方形成有凸状的台座部52a，在下载物台50 上开口有供台座部52a松脱嵌合的贯通孔50a。

而且，台座部52a上安装有粘着垫51，且与基体部52一体地上下移动。

在粘着垫51上配置有和玻璃基板3B(参照图1)贴紧的凸部51a和吸附部51b。

吸附部51b形成为和凸部51a相同高度的凸状，粘着垫51为圆形时，吸附部51b形成为围绕中心部的圆形。而且，在吸附部51b的中心形成有上下方向的贯通孔51c。

粘着垫51具有橡胶状的弹性，厚度为数mm。另外，凸部51a及吸附部51b的高度优选100～1000μm，更优选300～500μm。

在基体部52的内部形成有由中空的空洞部构成的真空室52b，真空室52b和粘着垫51的贯通孔51c连通，进而经由真空引入孔52c和外部连通。

另外，如图2(a)所示，在本实施方式中，使凸部51a构成为六边形，但其形状没有限定，也可以为四边形、五边形等多边形、圆形、直线状、波线状等，只要适当决定即可。

此外，将凸部51a构成为六边形时，如图2(a)所示将粘着垫51做成圆形时，具有能够无间隙地紧密配置凸部51a等优点。

通过这样构成的下基板保持装置5保持玻璃基板3B(参照图1)时，通过未图示的机械臂等搬运单元将玻璃基板3B配置在下载物台50的上方。

使未图示的升降销从下基板保持装置5上升而支承玻璃基板3B，使搬运单元退出后使升降销下降，将玻璃基板3B载置于下载物台50上。

这时，使基体部52上升，以使下载物台50的上面和粘着垫51成为同一面。

玻璃基板3B(参照图1)被载置于下载物台50上之后，通过与真空引入孔52c连接的未图示的真空泵等，将真空室52b抽成真空。

由此，玻璃基板3B(参照图1)被从粘着垫51的贯通孔51c吸引，并被凸部51a及吸附部51b通过粘着力粘着保持在粘着垫51上。

另外，卸下被粘着保持在粘着垫51上的玻璃基板3B(参照图1)时，使真空室52b的气压上升到和真空室2(参照图1)的气压相同程度以后，使基体部52下降。由此能够容易地将玻璃基板3B从粘着垫51上卸下。

如图3(a)、(b)所示，为了从后述的机械臂10(参照图5(a))等搬运单元接收并提升玻璃基板3A，上基板保持装置4上设有具备未图示的升降机构的吸起垫46。

此外，上基板保持装置4中，在可上下移动地配置在真空室2(参照图1)内的上载物台40上，配置有至少一个基板保持部41。

此外，上基板保持装置4中，以具备基板保持部41的一侧为下侧设定上下方向。

另外，图3(a)中图示了15个基板保持部41，但其数量没有限定，只要根据上基板保持装置4粘着保持的玻璃基板3A(参照图1) 的重量、大小等适当设定即可。

如图3(b)所示，在上载物台40的内部形成有由中空的空洞部构成的增压室42，该增压室42经由空气注入口43向外部开口。

增压室42经由空气注入口43与空气压调节单元(空气泵等)45连接，可调节内部的空气压。

具体地说，通过空气压调节单元45能够使增压室42内部的气压上升。

另外，增压室42中，与安装基板保持部41的位置相对应形成有通气口44。通气口44贯通上载物台40而形成增压室42的开口部，其被配置在基板保持部41上的可动膜41c堵塞。

如图3的(a)、(c)所示，基板保持部41包括：具有中空部41b的圆环状的周缘部41a、以覆盖周缘部41a的中空部41b的方式安装的可动膜41c、以及在中空部41b的周围且在形成于周缘部41a的安装槽41e内配置成圆环状的粘着件(以下称为“粘着垫41d”)。

可动膜41c以覆盖中空部41b的方式安装，因此，圆环状地配置在中空部41b的周围的粘着垫41d配置在可动膜41c的周围。

另外，周缘部41a优选以金属(不锈钢等)为材料，但也可以树脂、硬质橡胶等作为材料。

粘着垫41d优选通过具有二烯类树脂那样的粘性及弹性的材料形成。而且，形成为例如图3(a)所示的圆环状。

另外，在本实施方式中，粘着垫41d以二烯类树脂的不饱和聚丁二烯树脂作为材料。

另外，优选在粘着垫41d的表面形成作为与玻璃基板3A(参照图1)相对的粘着面的多个凸部。

例如，如图4(a)所示，由径向延伸的放射状的多个凸部411、411、……和沿着周方向的同心圆状的多个凸部412、412、……大致格子状地形成凸部，其顶部成为粘着面41S。

图4(b)所示的凸部411、412的高度h1没有限定，但和粘着垫51的凸部51a(参照图2(a))同样优选100～1000μm，更优选300～500μm。

另外，图4(a)的符号4a1是用于使将基板保持部41固定在上载物台40(参照图3(b))的未图示的固定部件(联接螺栓等)通过的贯通孔。

另外，如图4(b)所示，凸部411、412的截面形状优选为例如梯形且顶部形成平面的粘着面41S，进一步优选在凸部411、412的粘着面41S上形成有高度h2为10～100μm(更优选20～40μm)的、例如呈圆柱状的多个微小突起413、413、……。

图4(b)表示凸部411的截面、凸部412的侧面。

这样构成的粘着垫41d优选如上所述形成为圆环状，例如图3(c)所示，安装在以与中空部41b同心圆状地形成于周缘部41a中的安装槽41e内，多个微小突起413、413、……突出至相比周缘部41a的下表面靠下方处。

根据该构成，如后所述，能够将玻璃基板3A(参照图1)粘着保持在粘着垫41d上。

本实施方式中，鉴于粘着垫41d所粘着保持的玻璃基板3A(参照图1)的重量、不饱和聚丁二烯树脂的粘着力、将玻璃基板3A从粘着垫41d上卸下来时的作业容易性等，做成沿径方向及周方向都每隔1英寸(25.4mm)形成200～400个微小突起413的粘着垫41d。

例如，如图4(c)所示，做成形成有微小突起413的粘着垫41d，所述微小突起413例如是直径为0.04mm的大致圆柱状的突起以0.127～0.063mm的间距P1有规则地配置而成。

也就是说，每一平方英寸(645.16mm²)形成有40000～160000个微小突起413，且在由直径0.04mm的大致圆柱状构成的微小突起413的情况下，网眼率(微小突起413与玻璃基板3A相接触的面积的、相对于粘着面41S的面积的比例)为7.8～31.2％。

另外，并不限定于多个微小突起413、413、……有规则地配置的粘着垫41d，也可以是多个微小突起413、413、……随机地配置的粘着垫41d。

这种情况下，也优选每一平方英寸(645.16mm²)形成40000～160000个微小突起413，且使网眼率为7.8～31.2％。

此外，微小突起413的形状也不限定于大致圆柱状，也可以是棱柱状等其他形状，还可以是多个微小突起413、413、……连续的线形。

任何情况下，都优选使网眼率为7.8～31.2％。

此外，凸部411、412(参照图4(a))的配置并不限定于格子状，例如，也可以是未图示的配置成六边形邻接而成的蜂窝状等其它形状的凸部。

例如，在比重为2.8、厚度为0.7mm的玻璃基板3A(参照图1)的情况下，每一平方毫米的重量为约1.96×10^-5N(2.0×10^-3gf)。

另外，不饱和聚丁二烯树脂的粘着力为3.86×10^-2Pa(394×10^-2gf/mm²)，因此，粘着玻璃基板3A的整个面时粘着力过剩，玻璃基板3A从粘着垫41d(参照图4(a))脱离时，过大的应力会施加在玻璃基板3A上。

玻璃基板3A的每一平方毫米的重量为约1.96×10^-5N(2.0×10^-3gf)时，如果具有3.86×10^-2Pa(394×10^-2gf/mm²)粘着力的粘着垫41d做成表面(和玻璃基板3A相对的面)的约0.05％(＝2.0×10^-3/(394×10^-2))以上和玻璃基板3A相接触的构成，就能够通过粘着垫41d吸附保持玻璃基板3A。

另外，玻璃基板3A(参照图1)和粘着垫41d(参照图4(a))相接触的粘着面41S(参照图4(b))的面积相同时，与玻璃基板3A和粘着垫41d在粘着面41S的整个面上相接触的情况相比，多个微小突起413、413、……(参照图4(b))形成的点状的粘着面41S能够相对于玻璃基板3A在较广范围形成粘着面41S。

玻璃基板3A从粘着垫41d脱离时，应力加在玻璃基板3A的、粘着面41S粘着的部位，因此，通过在较广范围形成粘着面41S，能够使从粘着垫41d脱离时加在玻璃基板3A上的应力分散，能够使应力带来的残余应力分散。

因而，为了使玻璃基板3A的残余应力适宜地分散，优选在粘着垫41d上形成多个微小突起413、413、……组成的点状的粘着面41S。

另一方面，如图4(a)所示，使玻璃基板3A(参照图1)脱离粘着垫41d的可动膜41c配置在圆环状配置的粘着垫41d的中心，因此，可动膜41c突出而使玻璃基板3A脱离粘着垫41d时，随着离开可动膜41c，玻璃基板3A的变形增大。该变形增大时，玻璃基板3A上就会产生残余应力。

因而，为了适宜地抑制变形造成的残余应力，需要将粘着面41S从可动膜41c(参照图4(b))的扩展抑制在适宜的范围内。

考虑到以上情况，适宜地抑制玻璃基板3A(参照图1)脱离粘着垫41d(参照图4(a))时的残余应力，并为了确保需要面积的粘着面41S，7.8～31.2％的网眼率是适宜的。

以饱和聚丁二烯树脂为材料的粘着垫41d，例如可以用如下所示的方法制作。

在曝光装置的玻璃板(下侧玻璃板)上，依次安放印有图4(a)所示的凸部411、412的图案的负片、覆盖膜、未硬化的不饱和聚丁二烯树脂、基膜，从上方用玻璃板(上侧玻璃板)按压。

从上侧玻璃板的上方进行背面曝光，使不饱和聚丁二烯树脂的上方硬化后，从下侧玻璃板的下方进行浮雕曝光。

在通过该工序硬化的部分形成作为凸部411、412((参照图4(a))的部分。

然后，通过清洗液将不饱和聚丁二烯树脂洗净而除去未硬化部分，进行干燥。

接着，根据需要进行再曝光，以使微细部分可靠地硬化。

通过以上所述的工序，可制作出如图4(a)所示形成有凸部411、412的粘着垫41d。

粘着垫41d(参照图4(a))上形成的凸部411、412(参照图4(a))的形状及数量根据负片的印刷图案来确定，通过变更负片的印刷图案，能够容易地变更凸部411、412(参照图4(a))的形状及数量。

另外，在上述的工序中制作的粘着垫41d能够以较高尺寸精度做成。

本实施方式的基板保持部41上，如图3(c)所示，例如配置有在上述工序中做成的粘着垫41d，还配置有可动膜41c。

可动膜41c由橡胶等弹性高的材料构成，以从上载物台40一侧堵塞周缘部41a的中空部41b的方式配置。另外，如上所述，可动膜41c堵塞上载物台40上形成的通气口44。

通气口44成为在粘着于粘着垫41d的玻璃基板3A(参照图1)和增压室42之间的位置开口的开口部，可动膜41c配置成堵塞该开口部。

另外，由于可动膜41c以覆盖中空部41b的方式配置，因此下方被开放，增压室42内的气压上升时，可动膜41c从增压室42膨出并朝向玻璃基板3A从通气口44(开口部)突出。

而且，基板保持部41优选通过未图示的固定部件(联接螺栓等)固定在上载物台40(参照图3(b))上。

根据该构成，基板保持部41被装卸自如地安装在上载物台40上，能够实现基板保持部41的维护等作业的容易化。

另外，可动膜41c优选通过适宜的张力进行安装。

本实施方式中的适宜的张力为下述程度的张力：上载物台40的增压室42的气压和真空室2(参照图1)内的气压相等时，可动膜41c不会相比周缘部41a的下表面向下方突出(不会下垂)。

另外，只要是将可动膜41c固定在周缘部41a的构成、或通过周缘部41a和上载物台40夹持可动膜41c的构成，就能够通过将基板保持部41从上载物台40(参照图3(b))卸下而容易地卸下可动膜41c。

根据这种构成，例如可提高需要更换可动膜41c时的工艺性。

通过这样构成的上基板保持装置4保持玻璃基板3A(参照图1)时，如图5(a)所示，以通过机械臂10等搬运单元将玻璃基板3A的膜面(和玻璃基板3B相贴合的一侧的面)的相反侧保持在配置于机械臂10上的吸附头10a的状态，向上载物台40的上方搬运玻璃基板3A。在该状态下，使上载物台40的吸起垫46下降直至与玻璃基板3A相接触的位置，向吸起垫46供给真空压，以保持玻璃基板3A。

停止真空压向吸附头10a的供给后，机械臂10上升而退出。

进而，机械臂10从上载物台40的下方退出后，使吸起垫46上升。

然后，当玻璃基板3A与粘着垫41d的凸部411、412上形成的多个微小突起413、413、……(参照图4(b))接触时，如图5(b)所示，粘着垫41d利用不饱和聚丁二烯树脂的粘着力粘着保持玻璃基板3A。

然后，停止真空压对吸起垫46的供给，使吸起垫46进一步上升直至规定的退出位置。

另外，使玻璃基板3A从粘着垫41d上脱离时，通过空气压调节单元45对增压室42(参照图5(a))内进行加压。

如图5(c)所示，将与增压室42连通的通气口44堵塞的可动膜41c通过增压室42内的压力朝向增压室42的外侧、即朝向下方突出，其一部分突出至相比周缘部41a的下表面靠下方处。

然后，突出至周缘部41a的下方的可动膜41c向下方按压玻璃基板3A，使玻璃基板3A从粘着垫41d脱离。

如上所述，图3(a)～(c)所示的上基板保持装置4通过具备基板保持部41而能够利用粘着垫41d的粘着力粘着保持玻璃基板3A(参照图1)，进而，能够通过可动膜41c的动作使玻璃基板3A从粘着垫41d脱离。

另外，如图4(a)所示，由于和玻璃基板3A粘着的粘着垫41d配置在可动膜41c的周围，因此能够使由突出来的可动膜41c加在玻璃基板3A上的力(更详细地说，是加在粘着垫41d粘着玻璃基板3A的点上的力)的分布在周方向上均匀地分散。因而，使玻璃基板3A从粘着垫41d上脱离时，能够使残留在玻璃基板3A上的应力(残余应力)在周方向上均匀地分散。

参照图6，说明通过贴合装置1(参照图1)将两片玻璃基板3A、3B贴合的顺序，该贴合装置1具备如图2(a)、(b)所示构成的下基板保持装置5及如图3(a)～(c)所示构成的上基板保持装置4。

如图6(a)所示，在前面的工序中贴合玻璃基板3A、3B而成的液晶显示面板3PNL被载置在下基板保持装置5上的状态时，将玻璃基板3A搬入真空室2，如前所述通过上基板保持装置4粘着保持玻璃基板3A。

然后，搬出液晶显示面板3PNL后，如图6(b)所示，将玻璃基板3B搬入真空室2并保持在下基板保持装置5上，如前所述，通过配置在基体部52上的粘着垫51粘着保持玻璃基板3B。

这时，在前面的工序中，在玻璃基板3B上滴下液晶7，再涂敷密封剂6。

然后，如图6(c)所示，通过开闭门8关闭基板入出口9而将真空室2密封，通过真空泵等未图示的真空发生装置将真空室2内抽成真空状态后，使上基板保持装置4下降，直至玻璃基板3A和玻璃基板3B即将接触之间(玻璃基板3A和玻璃基板3B并未贴合)。

然后，对上基板保持装置4的水平位置进行微调，高精度地对齐玻璃基板3A、3B的水平位置，对上载物台(上托盘)40的增压室42加压，如图5(c)所示使可动膜41c突出，使玻璃基板3A从粘着垫41d上脱离。

玻璃基板3A向玻璃基板3B落下，玻璃基板3A、3B贴合而形成液晶显示面板3PNL。

然后，如图6(d)所示，提升上基板保持装置4。

在此，高精度地对齐水平位置后，也可以使上基板保持装置4下降，通过加压将密封剂6压扁，对上载物台(上托盘)40的增压室42加压，如图5(c)所示使可动膜41c突出，同时提升上基板保持装置4，使玻璃基板3A脱离粘着垫41d。

在下基板保持装置5上，载置有夹持液晶7及密封剂6而贴合玻璃基板3A、3B所形成的液晶显示面板3PNL。

解除真空室2内的真空状态，如前所述将液晶显示面板3PNL(玻璃基板3B)从基体部52的粘着垫51上卸下，如图6(a)所示打开基板入出口9，将玻璃基板3A搬入真空室2。

这样，贴合装置1重复图6(a)～(d)所示的动作，连续地组装液晶显示面板3PNL。

使粘着保持在上基板保持装置4的玻璃基板3A向玻璃基板3B上落下而进行贴合、或将密封剂6压扁而进行贴合，由此能够不残留残余变形而将两片玻璃基板3A、3B贴合。

如上所述，本实施方式的贴合装置1(参照图1)具有图3(a)～(c)所示构成的具备基板保持部41的上基板保持装置4，能够将玻璃基板3A(参照图1)粘着保持在上侧。

在基板保持部41上配置有以不饱和聚丁二烯树脂为材料的粘着垫41d。由于不饱和聚丁二烯树脂粘着力强且稳定，因此能够可靠地粘着保持玻璃基板3A(参照图1)。

进而，在基板保持部41上配置有通过对上载物台40的增压室42加压而动作的可动膜41c，能够通过可动膜41c使基板保持部41粘着保持的玻璃基板3A容易地脱离。

另外，可动膜41c的结构极其简单，构成零件也少，所以能够形成可靠性高的基板保持部41，进而，也提高了更换可动膜41c时的工艺性。

另外，本实施方式在不脱离发明的宗旨的范围内可以进行适当的设计变更。

例如，如图7(a)所示，其构成也可以为，经由缓冲部件41f将粘着垫41d安装在周缘部41a上。

如图5(a)所示，使玻璃基板3A抵接于粘着垫41d而粘着保持，因此，如图7(a)所示经由缓冲部件41f将粘着垫41d安装在周缘部41a上时，可减小粘着垫41d和玻璃基板3A之间的接触压，进而能够通过缓冲部件41f吸收玻璃基板3A与粘着垫41d抵接时的冲击。

作为这种缓冲部件41f的材料，优选具有弹性的软质橡胶等。

另外，如图7(b)所示，也可将可动膜41c和周缘部41a一体成型。

例如，使由橡胶等弹性高的材料构成的适当厚度的圆盘状部件的中心部变薄而作为可动膜41c。而且，将可动膜41c周围的壁厚部分作为周缘部41a。

这样，通过将可动膜41c和周缘部41a一体成型，可使基板保持部41的结构简单化，获得降低基板保持部41的制造成本、将基板保持部41安装在上载物台40(参照图3(b))时的作业容易化等效果。

另外，也可以不像图4(a)所示那样将粘着垫41d形成圆环状，而是例如图7(c)所示，将多个粘着垫41d配置在可动膜41c的周围。此外，其形状也并不限定于图7(c)所示的大致扇形，也可以适当地设定为未图示的圆形、四边形等。

Claims

1.一种贴合装置，在真空室内具备使基板相对而进行保持的两个基板保持装置，将由两个所述基板保持装置各保持一片的两片所述基板在真空状态下贴合，其特征在于，

所述基板保持部中，具备：

可动膜，从所述粘着垫一侧朝向粘着在该粘着垫上的所述基板突出。

2.如权利要求1所述的贴合装置，其特征在于，

在所述粘着垫上形成有凸部，作为和所述基板相接触的粘着面，

在所述粘着面上形成有突起，

所述突起与所述基板相接触的面积相对于所述粘着面的面积的比例为7.8～31.2％。

3.如权利要求1或权利要求2所述的贴合装置，其特征在于，

4.如权利要求3所述的贴合装置，其特征在于，所述粘着垫配置在所述可动膜的周围。

5.如权利要求4所述的贴合装置，其特征在于，所述基板保持装置中的设置在上方的上基板保持装置中，具备通过真空吸引将所述基板吸起的至少一个吸起垫、和使所述吸起垫升降的升降机构。