CN201614431U - 一种支撑坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用的支撑坩埚。所述的支撑坩埚用炭纤维编织成炭绳或者炭带作基材，炭绳或者炭带之间按规律交叉连接，形成网状结构的支撑坩埚，支撑坩埚上开有多个网孔。该支撑坩埚生产成本低、轻质及节能。
Description
技术领域
本发明涉及工艺装备，具体涉及一种单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用的支撑坩埚。
背景技术
单晶硅是半导体工业最重要的主体材料之一，现今95％以上的集成电路芯片和各类半导体器件都是由硅片制造的。多晶硅是生产单晶硅的原料，也是生产太阳能电池板的主要材料之一。在单晶硅拉制及多晶硅冶炼(如铸锭法或者其他物理方法)过程中为了防止硅与石墨发生反应必须使用石英玻璃坩埚，将原料放置在石英玻璃坩埚内。由于石英玻璃坩埚在高温时会软化变形，因此又必须使用支撑坩埚来保持石英玻璃坩埚的形状。
实用新型内容
为解决上述问题，本实用新型提供一种生产成本低、轻质、节能的单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用支撑坩埚。
本实用新型的这种支撑坩埚用炭纤维编织成炭绳或者炭带作基材，炭绳或者炭带之间按规律交叉连接，形成网状结构的支撑坩埚，支撑坩埚上开有多个网孔。
本实用新型提供的这种支撑坩埚由于是网状结构具有的多个网孔可以在生产过程中浸渍增重更容易、生产周期更短，同时可以让发热体产生的热量更容易加热到硅原料，另外更轻的质量可以减少旋转机构的功率，也达到了节能的目的。
附图说明
图1为本实用新型支撑坩埚的一体式结构示意图。
图2为本实用新型支撑坩埚的分体式结构示意图。
具体实施方式
从附图中可知，本实用新型的支撑坩埚为具有多个网孔的网状结构。图1为一体式网状结构的支撑坩埚。图2为分体式网状结构的支撑坩埚，其上、下两层可分离或合并。
本实用新型的支撑坩埚采用炭纤维编织成炭绳或者炭带，炭绳或炭带呈交叉连接按照一定的规律编织成网状结构，相邻炭绳或炭带之间的距离是10～20毫米，即构成具有多个网孔的支撑坩埚。在单晶硅拉制及多晶硅冶炼过程中将石英玻璃坩埚放置于本实用新型的支撑坩埚内，即使在高温下也可保持石英玻璃坩埚的形状。
Claims (1)
1.一种支撑坩埚，采用炭纤维编织成炭绳或者炭带作基材，其特征在于：炭绳或者炭带之间按规律交叉连接，形成网状结构的支撑坩埚，支撑坩埚上开有多个网孔。
Priority Applications (1)
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| CN2009201661557U CN201614431U (zh) | 2009-07-16 | 2009-07-16 | 一种支撑坩埚 |
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Publications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN201614431U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103348206A (zh) * | 2010-12-21 | 2013-10-09 | 费纳克颂环境股份有限公司 | 加热模块、有多个加热模块的加热系统和有该系统的设备 |
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2009
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Cited By (2)
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| CN103348206A (zh) * | 2010-12-21 | 2013-10-09 | 费纳克颂环境股份有限公司 | 加热模块、有多个加热模块的加热系统和有该系统的设备 |
| CN103348206B (zh) * | 2010-12-21 | 2016-02-24 | 费纳克颂环境股份有限公司 | 加热模块、有多个加热模块的加热系统和有该系统的设备 |
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Legal Events
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Granted publication date: 20101027 Termination date: 20160716 |