CN201534360U - 单晶硅棒料开方检验设备组合 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及单晶硅晶片的制造设备的组合结构，具体是一种用来对单晶硅棒料进行检验的单晶硅棒料开方检验设备组合。该单晶硅棒料开方检验设备组合包括有尺寸测量及划线工具、红外测试仪和少子测试机，所述测量及划线工具、红外测试仪和少子测试机三个部分依次排布，三个部分之间通过自动传送带连接。本实用新型在传统检测设备之间设置自动传送带，可以将棒料在各检测环节自动传送，降低了操作人员的劳动强度，也减少了转动过程中对材料的损耗和浪费。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅晶片的制造设备的组合结构，具体是一种用来对单晶硅棒料进行检验的单晶硅棒料开方检验设备组合。
背景技术
现有的单晶硅晶硅晶片的生产过程是：1、将圆柱形的单晶硅棒料的四个侧面切割形成平面，即开方工序；2、将开方后的棒料经过测量划线、红外测试、少子测试等检验工序；3、将检验后的开方棒料在切片机上切割形成晶片。在检验工序中，棒料需要在各检测设备之间转动，而通常的棒料重量较重(达十余千克)，转动过程中容易造成材料损耗浪费，操作人员的劳动强度也较大。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种结构简单、可减少材料损耗、降低劳动强度的单晶硅棒料开方检验设备组合。
本实用新型的单晶硅棒料开方检验设备组合包括有尺寸测量及划线工具、红外测试仪和少子测试机，所述测量及划线工具、红外测试仪和少子测试机三个部分依次排布，三个部分之间通过自动传送带连接。
所述的由自动传送带连接的划线工具、红外测试仪和少子测试机设置有多组，各组之间由检测操作空间间隔。
本实用新型在传统检测设备之间设置自动传送带，可以将棒料在各检测环节自动传送，降低了操作人员的劳动强度，也减少了转动过程中对材料的损耗和浪费。
附图说明
图1是本实用新型实施例的平面布局结构示意图。
具体实施方式
如图所示，该单晶硅棒料开方检验设备组合包括有常规的尺寸测量及划线工具1、红外测试仪2和少子测试机3，测量及划线工具、红外测试仪和少子测试机三个部分依次排布，三个部分之间通过自动传送带4连接。由自动传送带连接的划线工具、红外测试仪和少子测试机设置有两组，两组之间由检测操作空间5间隔。
Claims (2)
1.一种单晶硅棒料开方检验设备组合，包括有尺寸测量及划线工具(1)、红外测试仪(2)和少子测试机(3)，其特征是：所述测量及划线工具、红外测试仪和少子测试机三个部分依次排布，三个部分之间通过自动传送带(4)连接。
2.根据权利要求1所述的单晶硅棒料开方检验设备组合，其特征是：由自动传送带(4)连接的划线工具(1)、红外测试仪(2)和少子测试机(3)设置有多组，各组之间由检测操作空间(5)间隔。
Priority Applications (1)
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| CN2009200429558U CN201534360U (zh) | 2009-06-30 | 2009-06-30 | 单晶硅棒料开方检验设备组合 |
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Publications (1)
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| CN201534360U true CN201534360U (zh) | 2010-07-28 |
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| CN (1) | CN201534360U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105382949A (zh) * | 2015-10-30 | 2016-03-09 | 江苏耀阳电子有限公司 | 一种多晶硅片的切片作业工艺 |
| CN108732307A (zh) * | 2018-05-04 | 2018-11-02 | 扬州连城金晖金刚线切片研发有限公司 | 一种金刚线切片的单、多晶硅棒检验方法 |
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2009
- 2009-06-30 CN CN2009200429558U patent/CN201534360U/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN105382949A (zh) * | 2015-10-30 | 2016-03-09 | 江苏耀阳电子有限公司 | 一种多晶硅片的切片作业工艺 |
| CN108732307A (zh) * | 2018-05-04 | 2018-11-02 | 扬州连城金晖金刚线切片研发有限公司 | 一种金刚线切片的单、多晶硅棒检验方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100728 Termination date: 20130630 |