CN201514459U - 芯片测试台 - Google Patents

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王琳
唐国强
陈云
顾方成
沈国平
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Abstract

本实用新型涉及半导体芯片测试技术领域，尤其是一种芯片测试台，具有测试台和探针驱动机构，其特征是：测试台上开设有吸附孔，测试台设置在精密二维滑台上，探针驱动机构设置在另一精密滑台上，芯片测试台由电机驱动。本实用新型的有益效果是对整体结构进行了简化，采用直线电机来驱动，通过直线导轨来导向，进而实现检测探针的升降运动，替代了直线导轨、滚珠丝杆联轴器和电机，结构简化，方便安装维护，体积也大为减小，避免占用机器内部过多的空间，加工零件少，降低了成本。

Description

芯片测试台
技术领域
本实用新型涉及半导体芯片测试技术领域，尤其是一种芯片测试台。
背景技术
半导体芯片尺寸微小，在测试分选过程中，芯片的准确定位和探针与芯片电极准确接触至关重要。目前普遍采用的方式是采用滚珠丝杠、直线导轨，通过电机经联轴器连接来驱动，安装时对零件的加工精度要求很高，安装调试也比较困难，而且成本也较高。目前芯片检测台普遍存在的问题是结构复杂，给安装和调试带来很多不便，采用直线导轨和滚珠丝杠，结构上不能减小体积，在机器内部占用很大的空间。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为了解决上述存在的缺点与不足，提供一种芯片测试台。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种芯片测试台，具有测试台和探针驱动机构，测试台上开设有吸附孔，测试台设置在精密二维滑台上，探针驱动机构设置在另一精密滑台上。
进一步，为了整体结构简单，容易驱动，芯片测试台由电机驱动。
本实用新型的芯片测试台设置在精密二维滑台上，通过调节二维滑台的进给丝杠的旋钮，来调节芯片测试台中心位置，以使被拾取的芯片能准确放置在芯片测试台中心的吸附小孔上；芯片测试台位置固定后，通过调节另一滑台，来调整设置在滑台上的测试探针驱动装置，使测试探针达到所需要的位置，进而保证测试探针能准确接触到半导体芯片的电极。
本实用新型的有益效果是，本实用新型的芯片测试台，对整体结构进行了简化，采用直线电机来驱动，通过直线导轨来导向，进而实现检测探针的升降运动，替代了直线导轨、滚珠丝杆联轴器和电机，结构简化，方便安装维护，体积也大为减小，避免占用机器内部过多的空间，加工零件少，降低了成本。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是图1的俯视图。
图中1.底座，2.精密二维滑台，3.支架，4.芯片测试台，5.探针，6.探针夹具，7.探针座，8.电机，9.螺母，10精密滑台，11气管接头，12.直线导轨，13.导轨底座，14.底板，15.测试台，16.探针驱动机构。
具体实施方式
现在结合附图和优选实施例对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1、图2所示的最佳实施方式的芯片测试台，具有测试台15和探针驱动机构16，测试台15上开设有吸附孔，测试台15设置在精密二维滑台2上，探针驱动机构16设置在另一精密滑台10上，芯片测试台由电机驱动。
底板14安装在底座1上，精密二维滑台2和精密滑台10分别安装在底板14上，支架3安装在二维滑台2上，芯片测试台4安装在支架3上；导轨底座13安装在精密滑台10上，电机8和直线导轨12安装在导轨底座13上，探针座7安装在直线导轨12上，通过直线导轨12来保证探针座7的运动精度，丝杆螺母9安装在电机8的螺杆上，并与探针座7相连，探针夹具6安装在探针座7上，随探针座7的移动而移动，测试探针5安装在探针夹具6上，通过夹具上的锁紧螺母来进行锁紧。
直线导轨12安装在导轨底座13上，气管接头11安装在芯片测试台4上。
气管接头11安装气管后接入真空，通过芯片测试台4中心吸附小孔来吸着放置在小孔上的芯片。
确认半导体芯片的放置点，并确认芯片放置点与芯片测试台4中心的相对位置，通过旋转精密二维滑台2上的进给丝杆调节旋钮来调节芯片测试台4的位置，使芯片测试台4的中心与芯片放置点重合，锁紧精密二维滑台2上的锁紧螺钉，固定精密二维滑台2的两轴的位置。
电机8通电转动，安装在电机8丝杆轴上的丝杆螺母9受探针座7的限制而不能随着转动，进而将电机8的旋转运动转换为直线运动，通过直线导轨12的导向，推动探针座7沿直线运动，驱动探针5一起上下运动。
确认半导体芯片电极位置，并确认芯片电极位置与测试探针5针尖的相对位置，通过旋转精密滑台10上的进给丝杆调节旋钮来调节探针5的位置，使测试探针5的针尖位置与芯片电极重合，锁紧二维滑台10上的锁紧螺钉，固定精密滑台10的两轴的位置。
当完成以上操作之后，即可放置芯片，接入真空吸着芯片，给探针5和芯片测试台4通电，控制电机8的运动，驱动探针5接触芯片电极来实现芯片测试。

Claims (2)

1.一种芯片测试台，具有测试台(15)和探针驱动机构(16)，其特征是：测试台(15)上开设有吸附孔，测试台(15)设置在精密二维滑台(2)上，探针驱动机构(16)设置在另一精密滑台(10)上。
2.根据权利要求1所述的芯片测试台，其特征是：所述的芯片测试台由电机(8)驱动。
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