CN201495278U - 电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源，包括引弧系统(21)、阴极座(15)、屏蔽盘(9)、法兰盘(20)、调节盘组件(17)、调节盘螺杆(18)；调节盘固定件(16)位于调节盘组件(17)与阴极座(15)之间，调节盘螺杆(18)一端与调节盘组件(17)相连，另一端位于阴极座(15)中；所述引弧系统(21)由引弧丝(1)、引弧杆(2)、引弧杆外套(4)、引弧线圈外套(5)、线圈支架(6)、引弧线圈外套后盖(7)组成。这样，本实用新型采用电动引弧，冷却水间接冷却，进一步提高了弧靶靶材表面的垂直磁场，提高了膜层结合力，提高了镀膜质量。

Description

电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源
技术领域
本实用新型涉及一种电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源。
背景技术
在真空镀膜设备上采用阴极电弧离子源进行镀膜，具有膜层沉积速度快，结合力牢固的特点，为进一步提高膜层结合力，在阴极电弧离子源的设计上需要考虑弧靶靶材表面的垂直磁场，磁场强度是直接影响膜层结合力的关键因素之一，而目前对此没有很好的解决办法。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种采用电动引弧；调节盘螺杆一端位于阴极座内，接近靶材中心，提高靶材表面的垂直磁场的电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源。
为实现上述目的，本实用新型电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源，包括引弧系统、阴极座、屏蔽盘、法兰盘、调节盘组件、调节盘螺杆；阴极座与法兰盘之间通过螺钉连接，阴极座绝缘垫位于阴极座与螺钉之间，阴极绝缘套位于阴极座与法兰盘之间，套在阴极座上；调节盘固定件位于调节盘组件与阴极座之间，调节盘螺杆一端与调节盘组件相连，另一端位于阴极座中；屏蔽盘支撑杆位于法兰盘与屏蔽盘之间。
所述引弧系统由引弧丝、引弧杆、引弧杆外套、引弧线圈外套、线圈支架、引弧线圈外套后盖组成；引弧丝与引弧杆相连，引弧杆位于引弧杆外套内，引弧杆外套通过螺钉紧固在法兰盘上，引弧杆外套绝缘垫位于螺钉与引弧杆外套之间，引弧绝缘法兰位于引弧杆外套、引弧杆与法兰盘之间。
屏蔽环位于所述屏蔽盘上。
进水口，出水口位于所述阴极座上，水道位于阴极座内。
磁钢位于调节盘组件中，盖板位于磁钢外面。
法兰盘绝缘垫位于法兰盘与真空炉体连接处，法兰绝缘盘位于法兰盘与真空炉体之间。
采用这样的结构后，电磁线圈可安装在引弧线圈外套内，电磁线圈可套在线圈支架上，电磁线圈通电后，可带动引弧杆，从而带动引弧丝前后移动，使引弧丝点触靶材表面，使靶材表面产生电弧；可拆卸引弧线圈外套后盖，取出电磁线圈，方便更换；引弧绝缘法兰使引弧杆与法兰盘绝缘；引弧杆可在引弧杆外套内前后移动；引弧杆外套通过螺钉紧固在法兰盘上，引弧杆外套绝缘垫使之与法兰盘绝缘。
调节盘组件中镶嵌磁钢，并用盖板封闭，可产生磁钢磁场；磁钢磁场通过调节盘螺杆传递到阴极座上；调节盘螺杆一端与调节盘组件相连，另一端位于阴极座内；进一步提高弧靶靶材表面的垂直磁场，提高了膜层结合力。
调节盘固定件将调节盘组件固定在阴极座上。
阴极绝缘套套在阴极座上，使阴极座与法兰盘绝缘；阴极座安装在法兰盘上，通过螺钉紧固，阴极座绝缘垫隔离紧固螺钉和法兰盘；阴极座安装在法兰盘上，通过法兰盘固定在真空炉上。
阴极座上可安装靶材，由于进水口，出水口位于所述阴极座上，水道位于阴极座内部，可接通冷却水，从而对靶材冷却，降低靶材温度，提高镀膜质量，冷却水与靶材不接触，所以是间接冷却，冷却水不会进入真空炉体内，保证了真空炉体内真空效果。
屏蔽盘可套在靶材上，对靶材带电粒子进行屏蔽；屏蔽盘支撑杆安装在法兰盘上，支撑屏蔽盘；屏蔽环安装在屏蔽盘上，可调整间隙。
法兰盘可用螺钉固定在真空炉体接口上，法兰盘绝缘垫隔离螺钉与炉体；法兰盘安装在真空室炉体上，中间夹法兰绝缘盘，使法兰盘与炉体绝缘。
本实用新型采用电动引弧，从而减少了密封圈接口，使引弧丝与真空炉隔离，减少了漏气点，大大简化了结构，使安装维护更为简便，操作更为容易。
附图说明
图1是本实用新型电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源的结构示意图。
具体实施方式
图1所示的本实用新型电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源，包括引弧系统21、阴极座15、屏蔽盘9、法兰盘20、调节盘组件17、调节盘螺杆18；阴极座15与法兰盘20之间通过螺钉22连接，阴极座绝缘垫12位于阴极座15与螺钉22之间，阴极绝缘套11位于阴极座15与法兰盘20之间，套在阴极座15上；调节盘固定件16位于调节盘组件17与阴极座15之间，调节盘螺杆18一端与调节盘组件17相连，另一端位于阴极座15中；屏蔽盘支撑杆8位于法兰盘20与屏蔽盘9之间。
所述引弧系统21由引弧丝1、引弧杆2、引弧杆外套4、引弧线圈外套5、线圈支架6、引弧线圈外套后盖7组成；引弧丝1与引弧杆2相连，引弧杆2位于引弧杆外套4内，引弧杆外套4通过螺钉23紧固在法兰盘20上，引弧杆外套绝缘垫13位于螺钉23与引弧杆外套4间，引弧绝缘法兰3位于引弧杆外套4、引弧杆2与法兰盘20之间。
屏蔽环10位于所述屏蔽盘9上。
进水口24，出水口25位于所述阴极座15上，水道26位于阴极座2内。
磁钢27位于调节盘组件17中，盖板28位于磁钢27外面。
法兰盘绝缘垫14位于法兰盘20与真空炉体连接处29，法兰绝缘盘19位于法兰盘20与真空炉体之间。
这样，引弧线圈外套5内电磁线圈通电后，可带动引弧丝1前后移动，使引弧丝1点触靶材表面，产生电弧，磁钢磁场通过调节盘螺杆18传递到阴极座15中，调节盘螺杆18一端位于阴极座15内，进一步提高弧靶靶材表面的垂直磁场，提高了膜层结合力。

Claims (6)

1.一种电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源，其特征在于：包括引弧系统(21)、阴极座(15)、屏蔽盘(9)、法兰盘(20)、调节盘组件(17)、调节盘螺杆(18)；阴极座(15)与法兰盘(20)之间通过螺钉(22)连接，阴极座绝缘垫(12)位于阴极座(15)与螺钉(22)之间，阴极绝缘套(11)位于阴极座(15)与法兰盘(20)之间，套在阴极座(15)上；调节盘固定件(16)位于调节盘组件(17)与阴极座(15)之间，调节盘螺杆(18)一端与调节盘组件(17)相连，另一端位于阴极座(15)中；屏蔽盘支撑杆(8)位于法兰盘(20)与屏蔽盘(9)之间。
2.根据权利要求1所述的电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源，其特征在于：所述引弧系统(21)由引弧丝(1)、引弧杆(2)、引弧杆外套(4)、引弧线圈外套(5)、线圈支架(6)、引弧线圈外套后盖(7)组成；引弧丝(1)与引弧杆(2)相连，引弧杆(2)位于引弧杆外套(4)内，引弧杆外套(4)通过螺钉(23)紧固在法兰盘(20)上，引弧杆外套绝缘垫(13)位于螺钉(23)与引弧杆外套(4)之间，引弧绝缘法兰(3)位于引弧杆外套(4)、引弧杆(2)与法兰盘(20)之间。
3.根据权利要求1所述的电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源，其特征在于：屏蔽环(10)位于所述屏蔽盘(9)上。
4.根据权利要求1所述的电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源，其特征在于：进水口(24)，出水口(25)位于所述阴极座(15)上，水道(26)位于阴极座(2)内。
5.根据权利要求1所述的电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源，其特征在于：磁钢(27)位于调节盘组件(17)中，盖板(28)位于磁钢(27)外面。
6.根据权利要求1所述的电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源，其特征在于：法兰盘绝缘垫(14)位于法兰盘(20)与真空炉体连接位置(29)，法兰绝缘盘(19)位于法兰盘(20)与真空炉体之间。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103182698A (zh) * 2011-12-30 2013-07-03 北京中科信电子装备有限公司 一种离子源的辅助安装和拆卸装置
CN103469166A (zh) * 2013-10-12 2013-12-25 武汉大学 一种集成式阴极电弧靶
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CN108286038A (zh) * 2018-01-23 2018-07-17 温州职业技术学院 冷阴极电弧等离子源及非接触引弧方法

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