CN201395644Y - 防腐蚀单晶炉上炉体 - Google Patents

防腐蚀单晶炉上炉体 Download PDF

Info

Publication number
CN201395644Y
CN201395644Y CN2009200396959U CN200920039695U CN201395644Y CN 201395644 Y CN201395644 Y CN 201395644Y CN 2009200396959 U CN2009200396959 U CN 2009200396959U CN 200920039695 U CN200920039695 U CN 200920039695U CN 201395644 Y CN201395644 Y CN 201395644Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
furnace body
interface
single crystal
magnesium rod
heater
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2009200396959U
Other languages
English (en)
Inventor
潘燕萍
潘国强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changzhou Tianlong Optical Equipment Co., Ltd.
Original Assignee
潘燕萍
潘国强
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 潘燕萍, 潘国强 filed Critical 潘燕萍
Priority to CN2009200396959U priority Critical patent/CN201395644Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201395644Y publication Critical patent/CN201395644Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种防腐蚀单晶炉上炉体，其包括炉体内层、炉体外层，用来连接炉盖的上接口和用来连接下炉体的下接口，所述的炉体内层与炉体外层之间设置有水夹层，在炉体外层设置有与水夹层相通的进水孔座、出水孔座和镁棒接口，镁棒接口的位置靠近进水孔座，镁棒接口中插有镁棒。本实用新型的单晶炉上炉体具有使用寿命长的优点。

Description

防腐蚀单晶炉上炉体
技术领域
本实用新型涉及单晶硅拉制领域，特别是一种防腐蚀单晶炉上炉体。
背景技术
单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等。单晶硅是用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。硅片直径越大，技术要求越高，越有市场前景，价值也就越高。因此，对单晶硅拉制装置及拉制工艺的改进将对半导体工业产生深远的影响。现有的单晶硅拉制装置为单晶炉，它是由炉底、下炉室、上炉室、炉盖、翻板箱、副室六大部分组成。现有的单晶炉上炉体是用双层不锈钢材料制成的，其内层和外层之间有水夹层，在拉制单晶硅的过程中，在水夹层充入水以降低内壁的温度。但是，水中含有许多的矿物质，水在加热后容易在水夹层内形成水垢，对单晶炉造成腐蚀，缩短其使用寿命。
发明目的
本实用新型主要是针对上面提到的单晶炉上炉体的水夹层在拉制单晶硅过程中容易受到腐蚀的问题，提供一种抗腐蚀性能好的单晶炉上炉体。
实现本实用新型的技术方案如下：
防腐蚀单晶炉上炉体，其包括炉体内层、炉体外层，用来连接炉盖的上接口和用来连接下炉体的下接口，所述的炉体内层与炉体外层之间设置有水夹层，在炉体外层设置有与水夹层相通的进水孔座、出水孔座和镁棒接口，镁棒接口的位置靠近进水孔座，镁棒接口中插有镁棒。
因为现有的单晶炉上炉体是用不锈钢材料制成的，在拉制单晶硅的过程中，在单晶拉制过程中，水通过进水孔座进入水夹层，水从出水孔座流出，对单晶炉上炉体进行冷却，降低其温度，因为现有的单晶炉上炉体是用不锈钢材料制成的，在水中含有很多的矿物质，这些矿物质会对水夹层造成一定的腐蚀，而镁是比铁更活跃的金属，在水夹层内插入镁棒后，镁将代替单晶炉上炉体的铁与水中的矿物质发生化学反应，对单晶炉上炉体水夹层起到保护作用，延长单晶炉上炉体的寿命。
附图说明
图1为本实用新型的示意图；
图中1为上接口，2为出水孔座，3为镁棒接口，4为镁棒，5为进水孔座，6为下接口，7为炉体内层，8为炉体外层，9为水夹层。
具体实施方式
防腐蚀单晶炉上炉体，其包括炉体内层7、炉体外层8，用来连接炉盖的上接口1和用来连接下炉体的下接口6，所述的炉体内层7与炉体外层8之间设置有水夹层9，在炉体外层8设置有与水夹层9相通的进水孔座5、出水孔座2和镁棒接口3，镁棒接口3的位置靠近进水孔座5，镁棒接口3中插有镁棒4。
进水孔座5设置于炉体外层8靠近下接口6的位置，出水孔座2设置于炉体外层8靠近上接口1的位置，镁棒接口3与炉体外层8之间为液密封配合。
在单晶拉制过程中，水通过进水孔座5进入水夹层9，水从出水孔座2流出，对单晶炉上炉体进行冷却，降低其温度，因为现有的单晶炉上炉体是用不锈钢材料制成的，在水中含有很多的矿物质，这些矿物质会对水夹层造成一定的腐蚀，而镁是比铁更活跃的金属，在水夹层内插入镁棒4后，镁将代替单晶炉上炉体的铁与水中的矿物质发生化学反应，对单晶炉上炉体水夹层9起到保护作用，延长单晶炉上炉体的寿命。

Claims (5)

1、防腐蚀单晶炉上炉体，其包括炉体内层、炉体外层，用来连接炉盖的上接口和用来连接下炉体的下接口，其特征为：所述的炉体内层与炉体外层之间设置有水夹层，在炉体外层设置有与水夹层相通的进水孔座、出水孔座和镁棒接口，镁棒接口的位置靠近进水孔座，镁棒接口中插有镁棒。
2、根据权利要求1所述的防腐蚀单晶炉上炉体，其特征在于：所述的进水孔座设置于炉体外层侧面靠近下接口的位置。
3、根据权利要求1所述的防腐蚀单晶炉上炉体，其特征在于：所述的出水孔座设置于炉体外层侧面靠近上接口的位置。
4、根据权利要求1所述的防腐蚀单晶炉上炉体，其特征在于：所述的镁棒接口设置于炉体外侧面靠近下接口的位置。
5、根据权利要求1所述的防腐蚀单晶炉上炉体，其特征在于：所述的镁棒接口与炉体外层之间为液密封配合。
CN2009200396959U 2009-04-20 2009-04-20 防腐蚀单晶炉上炉体 Expired - Fee Related CN201395644Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2009200396959U CN201395644Y (zh) 2009-04-20 2009-04-20 防腐蚀单晶炉上炉体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2009200396959U CN201395644Y (zh) 2009-04-20 2009-04-20 防腐蚀单晶炉上炉体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201395644Y true CN201395644Y (zh) 2010-02-03

Family

ID=41618147

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2009200396959U Expired - Fee Related CN201395644Y (zh) 2009-04-20 2009-04-20 防腐蚀单晶炉上炉体

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201395644Y (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101886290A (zh) * 2010-07-13 2010-11-17 王敬 用于单晶炉的保温筒以及具有其的单晶炉
CN103774225A (zh) * 2013-03-28 2014-05-07 山东紫晶光电新材料有限公司 一种宝石炉炉体

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101886290A (zh) * 2010-07-13 2010-11-17 王敬 用于单晶炉的保温筒以及具有其的单晶炉
CN103774225A (zh) * 2013-03-28 2014-05-07 山东紫晶光电新材料有限公司 一种宝石炉炉体

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103014852B (zh) 一种用于铸造高效多晶硅锭的方法
CN201395644Y (zh) 防腐蚀单晶炉上炉体
CN201395637Y (zh) 单晶炉翻板箱的冷却结构
CN204162438U (zh) 一种制取一氧化硅的流化床反应器
CN101550588A (zh) 单晶炉的结构
CN201952238U (zh) 多晶硅还原炉
CN202131396U (zh) 带导气环的晶体生长炉热场装置
CN103014834B (zh) 一种提高铸造多晶硅锭质量的方法
CN201395645Y (zh) 防腐蚀单晶炉翻板箱
CN217677900U (zh) 一种单晶拉棒车间冷却控制系统
CN203938719U (zh) 核级海绵铪双罐还原装置
CN202116690U (zh) 一种硅单晶炉的热场系统
CN203683725U (zh) 一种多晶硅铸锭炉用带排气装置的碳纤维保温顶板
CN103172067B (zh) 冷壁流化床及其应用
CN202712136U (zh) 高温蚀刻工艺槽
TW201126035A (en) Cooling system for crystal growth furnace
CN102373503A (zh) 一种多晶硅铸锭用涂层石英坩埚
CN201901724U (zh) 一种防腐蚀单晶炉下炉体
CN201402817Y (zh) 太阳能电池扩散用源瓶
CN201395643Y (zh) 单晶炉上炉体的冷却结构
CN202849589U (zh) 一种单晶炉装置
CN102978688A (zh) 一种直拉单晶法的冷却工艺
CN201857259U (zh) 一种氯化氢合成炉灯头
CN102320603B (zh) 多晶硅硅烷分解炉之导热油硅芯夹套式小钟罩
CN103193233B (zh) 通过钠还原四氟化硅制备太阳能级多晶硅的装置和方法

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
EE01 Entry into force of recordation of patent licensing contract

Assignee: Changzhou Meng River Pharmaceutical Chemical Machinery Plant

Assignor: Pan Yanping|Pan Guoqiang

Contract record no.: 2010320000597

Denomination of utility model: Upper furnace body of anticorrosion mono-crystal furnace

Granted publication date: 20100203

License type: Exclusive License

Record date: 20100513

ASS Succession or assignment of patent right

Free format text: FORMER OWNER: PAN GUOQIANG

Owner name: CHANGZHOU TIANLONG OPTOELECTRONICS EQUIPMENT CO.,

Free format text: FORMER OWNER: PAN YANPING

Effective date: 20101203

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 213129 NO.157, QILIANG ROAD, WANSUI, MENGHE TOWN, XINBEI DISTRICT, CHANGZHOU CITY, JIANGSU PROVINCE TO: 213138 NO.16, GANGXI AVENUE, MENGHE TOWN, CHANGZHOU CITY, JIANGSU PROVINCE

TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20101203

Address after: 213138, No. 16, West Avenue, Meng Meng Town, Jiangsu, Changzhou

Patentee after: Changzhou Tianlong Optical Equipment Co., Ltd.

Address before: 213129, Changzhou, Jiangsu province new North Meng Town, Wan Sui Qi Liang Road, No. 157

Co-patentee before: Pan Guoqiang

Patentee before: Pan Yanping

EC01 Cancellation of recordation of patent licensing contract

Assignee: Changzhou Meng River Pharmaceutical Chemical Machinery Plant

Assignor: Pan Yanping|Pan Guoqiang

Contract record no.: 2010320000597

Date of cancellation: 20101026

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20100203

Termination date: 20150420

EXPY Termination of patent right or utility model