CN201390781Y - 连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及金属镀膜技术领域，尤其是一种用于金属镀膜的连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线，具有入口、真空复合装置和出口，真空复合装置包括真空室，真空室内依次设置进口真空锁、加热系统、反溅射去污系统、离子束活化系统、真空蒸发离子复合系统和出口真空锁，真空复合装置由电控系统控制，加热系统和真空蒸发离子复合系统内设置有排气系统。本实用新型的优点是降低了能耗，提高了复合的效率。

Description

连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线

技术领域

本实用新型涉及金属镀膜技术领域，尤其是一种用于金属镀膜的连续真空等离子蒸发金属复合装置。

背景技术

目前，在已有的技术中，离子镀就是在真空条件下使镀膜材料蒸发为金属蒸汽，在蒸发源与工件间加一电压，使工件与蒸发源间产生辉光放电，金属蒸汽原子在辉光放电电场中被电离为金属正离子，金属正离子在电场作用下高速飞向工件表面，在工件表面上沉积形成膜。然而现有的技术不易长时间稳定均衡蒸发，且镀膜的速度较慢。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了解决上述存在的缺点与不足，提供连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线，具有入口、真空复合装置和出口，真空复合装置包括真空室，真空室内依次设置进口真空锁、加热系统、反溅射去污系统、离子束活化系统、真空蒸发离子复合系统和出口真空锁，真空复合装置由电控系统控制，加热系统和真空蒸发离子复合系统内设置有排气系统。

进一步，为了使加工工件容易运动，真空室内设置有用于工件运动的卷绕装置。

为了工件正常连续进行，进口真空锁和出口真空锁为前后错位的辊(8)。

为了容易进行维护和保养，加热系统的出入口设置有用于维护和保养的上盖。

为了方便进行观察，反溅射去污系统和离子束活化系统都设置有防止被溅射物污染的观察窗。

为了方便维修，真空蒸发离子复合系统具有等离子体复合室，等离子体复合室的上端设置有具有用于穿带和保养的法兰的上盖板，等离子体复合室的下端安装不锈钢制造的蒸发复合室。

为了满足排气及复合的需要，排气系统具有高真空排气机，高真空排气机包括扩散泵、罗茨泵、前置泵、维持泵、阀门、波纹管、真空管路、测量传感器、冷阱和挡板。

为了提高可靠性，降低设备的造价，加热系统具有由加热调整单元控制的不锈钢管状加热器。

为了复合效果好，蒸发复合室设置方便更换的端盖、进出口、衬板和等离子体蒸发离化源。

本实用新型的有益效果是，本实用新型的连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线，降低了能耗，提高了复合的效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

图中1.进口真空锁，2.加热系统，3.反溅射去污系统，4.离子束活化系统，5.真空蒸发离子复合系统，6.出口真空锁，7.蒸发复合室，8.辊，9.卷绕装置。

具体实施方式

现在结合附图和优选实施例对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示的最佳实施方式的连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线，具有入口、真空复合装置和出口，真空复合装置包括真空室，真空室内依次设置进口真空锁1、加热系统2、反溅射去污系统3、离子束活化系统4、真空蒸发离子复合系统5和出口真空锁6，真空复合装置由电控系统控制，加热系统和真空蒸发离子复合系统内设置有排气系统。

真空室内设置有用于工件运动的卷绕装置9，进口真空锁1和出口真空锁6为前后错位的辊8，采用了差分排气，保证有效复合过程正常连续进行。加热系统2的出入口设置有用于维护和保养的上盖，同时加热系统2设不锈钢辐射加热器，方便安装法兰接口，进行连接。反溅射去污系统3和离子束活化系统4都设置有防止被溅射物污染的观察窗，同时连接有法兰接口。真空蒸发离子复合系统5具有等离子体复合室，等离子体复合室的上端设置有具有用于穿带和保养的法兰的上盖板，等离子体复合室的下端安装不锈钢制造的蒸发复合室7，同时在蒸发复合室7侧面设计有钢带的犬牙形进出口，防止复合料蒸汽的歪斜和对复合室内传动部件的复合覆，还装有可更换的衬板，在维修时方便更换维修。排气系统具有高真空排气机，高真空排气机包括扩散泵、罗茨泵、前置泵、维持泵、阀门、波纹管、真空管路、测量传感器、冷阱和挡板，加热系统2具有由加热调整单元控制的不锈钢管状加热器，简化制造，蒸发复合室7设置方便更换的端盖、进出口、衬板和等离子体蒸发离化源，等离子体蒸发离化源安装在专用的第法兰上，连接于蒸发复合室上，，提高了效率。

本实用新型实施时，工件从入口进入到真空复合装置，在真空复合装置的进口真空锁1处，通过真空锁的调节，使得工件在真空的条件下，然后进入加热系统2，通过加热器对工件进行加热，同时通过排气系统进行排气，然后进入反溅射去系统3，通过反溅射去污系统3的磁控溅射靶进行去污清理，进行去污后进入离子束活化系统4，离子束活化系统4将高能粒子直接作用到金属晶格处，使金属产生对新来的蒸汽材料的亲和力和附着力，即使工件产生对新来的蒸汽材料的亲和力和附着力，接着进入到真空蒸发离子复合系统5，通过真空蒸发离子复合系统5所产生的高电离度、高密度的金属或合金的蒸汽，在蒸汽扩散、钢板负电压吸引下到达工件表面，形成膜。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (9)

1.连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线，其特征是：具有入口、真空复合装置和出口，真空复合装置包括真空室，真空室内依次设置进口真空锁(1)、加热系统(2)、反溅射去污系统(3)、离子束活化系统(4)、真空蒸发离子复合系统(5)和出口真空锁(6)，真空复合装置由电控系统控制，加热系统(2)和真空蒸发离子复合系统(5)内设置有排气系统。

2.根据权利要求1所述的连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线，其特征是：所述的真空室内设置有用于工件运动的卷绕装置(9)。

3.根据权利要求1所述的连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线，其特征是：所述的进口真空锁(1)和出口真空锁(6)为前后错位的辊(8)。

4.根据权利要求1所述的连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线，其特征是：所述的加热系统(2)的出入口设置有用于维护和保养的上盖。

5.根据权利要求1所述的连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线，其特征是：所述的反溅射去污系统(3)和离子束活化系统(4)都设置有防止被溅射物污染的观察窗。

6.根据权利要求1所述的连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线，其特征是：所述的真空蒸发离子复合系统(5)具有等离子体复合室，等离子体复合室的上端设置有具有用于穿带和保养的法兰的上盖板，等离子体复合室的下端安装不锈钢制造的蒸发复合室(7)。

7.根据权利要求1所述的连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线，其特征是：所述的排气系统具有高真空排气机，高真空排气机包括扩散泵、罗茨泵、前置泵、维持泵、阀门、波纹管、真空管路、测量传感器、冷阱和挡板。

8.根据权利要求1所述的连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线，其特征是：所述的加热系统(2)具有由加热调整单元控制的不锈钢管状加热器。

9.根据权利要求6所述的连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线，其特征是：所述的蒸发复合室(7)设置方便更换的端盖、进出口、衬板和等离子体蒸发离化源。

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