CN201386023Y - AHF或SiF4回转反应炉气体出口洗涤装置 - Google Patents

AHF或SiF4回转反应炉气体出口洗涤装置 Download PDF

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何建祥
许泽华
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Xi'an Sanrui Industrial Co., Ltd.
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Xi'an Sanrui Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型提供一种AHF或SiF4回转反应炉气体出口洗涤装置,该装置的弯管与反应炉出气管连接,在弯管和竖直导气管之间安装有膨胀节a,竖直导气管上部为四通管,四通管一端与竖直导气管连接,另一端与硫酸喷淋装置连接,硫酸喷淋装置下端开有两排溢流孔和多排交错分布的喷淋孔,并且溢流孔和喷淋孔位于水平导气管底部下方,四通管水平开口一侧与水平导气管连接,另一侧用盲板盖住,水平导气管与洗涤塔底部的进气口连接,在水平导气管与洗涤塔之间安装有膨胀节b。该装置安装在AHF或SiF4回转反应炉出气管与气体洗涤塔之间,通过本装置的预洗涤,大大减少气体带入洗涤塔中的粉尘,并可将竖直导气管及反应炉出气管内壁的粉尘冲刷干净。

Description

AHF或SiF4回转反应炉气体出口洗涤装置
技术领域
本实用新型涉及一种AHF或SiF4回转反应炉气体出口洗涤装置。
背景技术
在用回转反应炉生产AHF或SiF4过程中,由于炉体内部必须为负压操作,且原料和生成物多为颗粒细小的粉尘,因而生成的AHF或SiF4气体在排出时携带了大量的粉尘,设备长时间运行后,极易堵塞反应炉与洗涤塔之间的导气管和洗涤塔以及反应炉出气管,堵塞后由于导气不畅很容易引起反应炉内正压,使有毒的AHF或SiF4气体泄露,堵塞后必须关闭整个系统进行清理,造成开车率降低,且清理时很困难。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种AHF或SiF4回转反应炉气体出口洗涤装置,该装置安装在AHF或SiF4回转反应炉出气管与气体洗涤塔之间,通过本装置的预洗涤,大大减少气体带入洗涤塔中的粉尘,并可将竖直导气管及反应炉出气管内壁的粉尘冲刷干净。
实现本实用新型目的的技术方案是:一种AHF或SiF4回转反应炉气体出口洗涤装置,其特征是弯管与反应炉出气管连接,在弯管和竖直导气管之间安装有膨胀节a,竖直导气管上部为四通管,四通管一端与竖直导气管连接,另一端与硫酸喷淋装置连接,硫酸喷淋装置下端开有两排溢流孔和多排交错分布的喷淋孔,并且溢流孔和喷淋孔位于水平导气管底部下方,四通管水平开口一侧与水平导气管连接,另一侧用盲板盖住,水平导气管与洗涤塔底部的进气口连接,在水平导气管与洗涤塔之间安装有膨胀节b。
在所有竖直导气管、四通管、膨胀节内壁均衬有耐酸耐高温的PTFE。
本实用新型的优点
经过在AHF或SiF4反应炉与洗涤塔之间加装洗涤装置,对经过该装置的带有粉尘的气体进行粗洗涤,同时对落在竖直导气管和反应炉出气管内壁上的粉尘进行冲刷,大量的减少了进入洗涤塔气体中粉尘的含量,防止了导气管堵塞,减轻了洗涤塔的压力,延长了洗涤塔的清理间隔时间,提高了系统运行效率。
附图说明
图1是本实用新型洗涤装置的结构示意图。
图2是图1的局部放大图。
具体实施方式
如图1所示,AHF或SiF4回转反应炉1气体出口洗涤装置主要由弯管3、膨胀节4、竖直导气管5、四通管6、硫酸喷淋装置7、水平导气管9等组成。
该装置中弯管3与AHF或SiF4反应炉1出气管2连接,弯管3上方是膨胀节a4,用来消除与其连接的竖直导气管5受热膨胀的伸长,竖直导气管5上部为四通管6,四通管6一端与竖直导气管5连接,另一端与硫酸喷淋装置7连接,硫酸喷淋装置7下端开有两排溢流孔11和多排交错分布的喷淋孔12,如图2所示,用来喷淋硫酸和溢流过量硫酸,溢流孔11和喷淋孔12必须位于水平导气管9底部下方,四通管6水平开口一侧与水平导气管9连接,另一侧用盲板盖住,以便于定期观察和清理水平导气管9,水平导气管9与洗涤塔10底部的进气口连接,其间装有用来消除水平导气管9受热膨胀伸长的膨胀节b4。所有导气管、四通管、膨胀节等内壁均衬有耐酸耐高温的PTFE。
整个系统开始后,混酸槽中带有一定压力的硫酸经硫酸管8进入硫酸喷淋装置7,由于硫酸喷淋装置7下端开多排交错分布的喷淋孔12,因而由喷淋孔喷射出的硫酸会在竖直导气管5上部形成多层伞状洗涤层,当AHF或SiF4回转反应炉1中生成的带有粉尘的AHF或SiF4气体经过硫酸喷淋装置7的洗涤层时,大部分粉尘被硫酸洗涤,同时喷射出的硫酸沿竖直导气管5内壁流下对竖直导气管5和反应炉出气管2内壁的粉尘进行冲刷,完成对AHF或SiF4气体的粗洗涤。
当硫酸进量过大,喷淋孔12不能将硫酸完全喷出时,多余硫酸从溢流孔11溢出,防止硫酸压力升高损坏硫酸喷淋装置及硫酸管。

Claims (2)

1、一种AHF或SiF4回转反应炉气体出口洗涤装置,其特征是弯管(3)与反应炉(1)的出气管(2)连接,在弯管(3)和竖直导气管(5)之间安装有膨胀节a(4),竖直导气管(5)上部安装有四通管(6),四通管(6)一端与竖直导气管(5)连接,另一端与硫酸喷淋装置(7)连接,硫酸喷淋装置(7)下端开有两排溢流孔(11)和多排交错分布的喷淋孔(12),并且溢流孔(11)和喷淋孔(12)位于水平导气管(9)底部下方,四通管(6)水平开口一侧与水平导气管(9)连接,另一侧用盲板盖住,水平导气管(9)与洗涤塔(10)底部的进气口连接,在水平导气管(9)与洗涤塔(10)之间安装有膨胀节b(4)。
2、如权利要求1所述的一种AHF或SiF4回转反应炉气体出口洗涤装置,其特征是竖直导气管(5)、四通管(6)、膨胀节(4)内壁均衬有耐酸耐高温的PTFE。
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