CN201357207Y - 一种高纯度无水氧化硼铸模装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚、模具，所述坩埚设有加热装置，所述坩埚底部有出料孔，出料孔中设有上下活动的塞柱，塞柱上端套在固定在所述坩埚上部的塞柱定位板的定位孔中。装置机构简单、方法操作方便、定量控制便捷，实现了低成本、高效率条件下的无水氧化硼的高精度铸模。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种铸模装置，尤其涉及一种高纯度无水氧化硼铸模装置。
背景技术
在III-V族化合物半导体制备中，需要用无水氧化硼作为高温覆盖剂，要求氧化硼的纯度≥99.999％，含水率≤200ppm，这种高纯度的氧化硼被称为高温覆盖剂级氧化硼。这种氧化硼不仅对纯度、水分含量有严格的要求，而且对氧化硼的形态也有特定的要求，一般都做成不同规格的圆柱体，每块质量误差≤0.5克。但铸模时，熔融状态下的氧化硼的粘度从1400-1200℃，变化很大，倾倒困难，更不用说进行高精度的铸模了。
实用新型内容：
本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种高纯度无水氧化硼铸模装置。
本实用新型的技术方案如下：一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚、模具，所述坩埚设有加热装置，所述坩埚底部有出料孔，出料孔中设有上下活动的塞柱，塞柱上端套在固定在所述坩埚上部的塞柱定位板的定位孔中。
所述坩埚、塞柱由铂金制成。所述坩埚设有盖子。
所述出料孔连接有导液管。
所述加热装置为中频感应加热器。
所述模具带有称重装置。所述称重装置为电子秤。
高纯度无水氧化硼铸模方法，包括如下步骤：氧化硼置于铂金坩埚中并保持1400℃；拉起塞柱使氧化硼液体通过坩埚底部出料口流出，注入位于坩埚下面的模具中；当浇铸完毕时，放下塞柱关闭坩埚底部出料口。
氧化硼浇铸时，同时对模具称重，达到所需重量后浇铸完毕。
将凝成固体的氧化硼从模具中倒出，并置于真空干燥器冷却。
本实用新型与现有技术相比具有的有益效果是：装置机构简单、方法操作方便、定量控制便捷，实现了低成本、高效率条件下的无水氧化硼的高精度铸模。
附图说明：
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式：
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作详细描述。
实施例1：如图1所示，一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚3、模具6，所述坩埚设有中频感应加热器4，所述坩埚底部有出料孔8，出料孔8中设有上下活动的塞柱1，塞柱1上端套在固定在所述坩埚3上部的塞柱定位板2的定位孔中。坩埚3设有盖子，坩埚3、塞柱1由铂金制成，出料孔8连接有导液管7，模具6带有电子秤5。一种高纯度无水氧化硼铸模方法，包括如下步骤：氧化硼置于铂金坩埚3中并通过中频感应加热器4保持1400℃；拉起塞柱1使氧化硼液体通过坩埚底部出料口8流出，注入位于坩埚3下面的模具6中；氧化硼浇铸时，同时对模具称重，达到所需重量后，浇铸完毕，放下塞柱1关闭坩埚底部出料口8；将凝成固体的氧化硼从模具中倒出，并置于真空干燥环境中冷却。
除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式，凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚、模具，其特征在于所述坩埚设有加热装置，所述坩埚底部有出料孔，出料孔中设有上下活动的塞柱，塞柱上端套在固定在所述坩埚上部的塞柱定位板的定位孔中。
2.根据权利要求1所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述坩埚、塞柱由铂金制成。
3.根据权利要求1所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述坩埚设有盖子。
4.根据权利要求1所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述出料孔连接有导液管。
5.根据权利要求1所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述加热装置为中频感应加热器。
6.根据权利要求1所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述模具带有称重装置。
7.根据权利要求6所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述称重装置为电子秤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU200920036935XU CN201357207Y (zh) | 2009-03-02 | 2009-03-02 | 一种高纯度无水氧化硼铸模装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU200920036935XU CN201357207Y (zh) | 2009-03-02 | 2009-03-02 | 一种高纯度无水氧化硼铸模装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201357207Y true CN201357207Y (zh) | 2009-12-09 |
Family
ID=41422965
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CNU200920036935XU Expired - Lifetime CN201357207Y (zh) | 2009-03-02 | 2009-03-02 | 一种高纯度无水氧化硼铸模装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201357207Y (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111906251A (zh) * | 2020-07-14 | 2020-11-10 | 安徽省裕康铝业有限公司 | 一种方便出料的铝制品生产用锅炉 |
-
2009
- 2009-03-02 CN CNU200920036935XU patent/CN201357207Y/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111906251A (zh) * | 2020-07-14 | 2020-11-10 | 安徽省裕康铝业有限公司 | 一种方便出料的铝制品生产用锅炉 |
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Legal Events
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Granted publication date: 20091209 |
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