CN201344287Y - 连续式抽真空设备的真空阀 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种抽真空设备的真空阀，尤其涉及一种连续式抽真空设备的真空阀。其技术方案为：该真空阀包括阀体、第一气缸和第二气缸，第一气缸和第二气缸上分别设置有第一气压入口的开口和关口以及第二气压入口的开口和关口；阀体分为两个腔室，其内设置有分别以第一阀杆推动其伸缩的第一波纹管和第二阀杆推动其伸缩的第二波纹管；第一活塞和第二活塞分别连接在所述第一阀杆和第二阀杆的一端；阀体还分别与高真空接头和低真空接头连通；阀体还与至少一个气体接头连通。本实用新型可以提高抽真空的效率和解决真空度不足的问题，体积小巧。充分简化和整合现有抽真空技术设施，达到真空度可以根据使用要求灵活控制，并可以用于产品容腔内杂质的清洁等。

Description

连续式抽真空设备的真空阀
技术领域
本实用新型涉及一种抽真空设备的真空阀，尤其涉及一种连续式抽真空设备的真空阀。
背景技术
2007年8月29日公开的授权公告号为CN200940713和名称为双通高真空阀门装置的实用新型，公开了一种双通高真空阀门装置，由工作室、阀体、气缸组成，该阀体下面连接真空装置，其特征在于，所述阀体上面装有两个气缸，该阀体一侧连接第一个工作室，阀体另一侧连接第二个工作室，第一个阀盖通过支杆连接第一个气缸的活塞，第二个阀盖通过支杆连接第二个气缸的活塞，两个阀盖都是设置在阀体内。由于采用了上述结构，该实用新型提高了真空装置的利用率，减低了产品生产的能耗。
如图1所示，它是该实用新型双通高真空阀门装置的剖视图。该双通高真空阀门装置，在阀体05上面装有气缸01、02，其中气缸01是通过螺纹014固定在阀体05上面，气缸02是通过螺纹024固定在阀体05上面，在阀体05下面连接真空装置06，该阀体05一侧通过螺纹连接工作室03，另一侧通过螺纹连接工作室04，其中在阀体05与工作室03、04的连接处都设有密封圈09，以提高阀体05与工作室03、04连接处的密封度。支杆012通过铰链013分别连接活塞011、阀盖07，支杆022通过铰链023分别连接活塞021、阀盖08，其中阀盖07、08是设置在阀体05内，在活塞011的带动下，阀盖07可在阀体05内上下移动，同理，在活塞021的带动下，阀盖08可在阀体05内上下移动。铰链013、023的作用在于使移动过程中的阀盖07、08能够自动调整平稳，使它与阀体05接触后密封性能更好。骨架胶封015用于密封气缸01的支杆012，骨架胶封025用于密封气缸02的支杆022。
如图2所示，它是阀体的剖视图。阀体05一侧连接一个工作室03，其另一侧连接工作室04，参见图1所示。
该实用新型使用时，当气缸01工作，活塞011将会带动阀盖07移动，从而可使阀盖07与阀体05接触并密封，由于阀盖07下方设有密封圈09，因此阀盖07与阀体05密封效果好，此时工作室03、阀体05、气缸01就形成了一个密封环境，工作室04将处于抽真空状态，真空装置06与之配合工作，其中真空装置06是由真空泵061、062、加热器063、冷阱064、真空阀065组成；同理，当气缸02工作，活塞021将会带动阀盖08移动，从而可使阀盖08与阀体05接触并密封，由于阀盖08下方设有密封圈09，因此阀盖08与阀体05密封效果好，此时工作室04、阀体05、气缸02就形成了一个密封环境，工作室03将处于抽真空状态，真空装置06与之配合工作，同理，也可以实现工作室03、04同时处于抽真空状态，此时，只要使工作室03、04都处于打开状态即可。由于该实用新型采用了上述结构，因此该技术方案在任何时候都可以保证会有工作室处于工作状态，因此确保了真空装置06的工作效率，提高了真空装置06的利用率，减低了产品的能耗，实现了该实用新型的目的。
虽然，该实用新型在一定程度上提高了真空装置的利用率，减低了产品的能耗；但是，该实用新型的适用范围有限，一般用于高真空工作环境下，并且其体积相对来说较为庞大。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种可以灵活适用高、低真空要求并且体积较小的连续式抽真空设备的真空阀。
为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：
连续式抽真空设备的真空阀，包括阀体、第一气缸和第二气缸，所述第一气缸和第二气缸上分别设置有第一气压入口的开口和关口以及第二气压入口的开口和关口；所述阀体分为两个腔室，其内设置有分别以第一阀杆推动其伸缩的第一波纹管和第二阀杆推动其伸缩的第二波纹管；第一活塞和第二活塞分别连接在所述第一阀杆和第二阀杆的一端；该阀体还分别与高真空接头和低真空接头连通；所述阀体还与至少一个气体接头连通。
所述阀体上设有冷却水通道，所述冷却水通道包括冷却水入口和冷却水出口。
在本实用新型中，所述第一气缸和第二气缸以及所述阀体的两个腔室之间的连接处分别设置有密封圈。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述气体接头为至少为两个，分别为通过控制阀连接封入工件气体的封入接头和抽真空接头。
所述气体接头还可以包括清洗工件内部杂质气体的清洗接头和气体压力测试仪器的压力显示仪接入头。
作为上述实用新型的优选技术方案的改进，前述各个气体接头内分别设有工件插入口。
本实用新型具有以下优点：本实用新型不但可以提高抽真空的效率和解决真空度不足的问题，而且体积小巧。充分简化和整合现有抽真空技术设施，达到真空度可以根据使用要求灵活控制，并可以用于产品容腔内杂质的清洁等。
附图说明
下面结合附图及具体实施方式，对本实用新型作进一步说明。
图1是现有技术中双通高真空阀门装置的剖视图；
图2是图1中阀体的剖视图；
图3是本实用新型主视图；
图4是本实用新型左视图；
图5是本实用新型后视图；
图6是本实用新型右视图；
图7是图3剖视图；
图8是图4的剖视图，其中不包括与其联接的气缸和高低真空接头。
附图标识：1、阀体       2、第一气缸         3、第二气缸4、高真空接头          5、低真空接头            11、封入接头12、清洗接头           13、压力显示仪接入头     14、抽真空接头15、第一波纹管         16、第二波纹管           21、第一阀杆22、第一气压入口的开口            23、第一气压入口的关口31、第二阀杆      32、第二气压入口的开口        33第二气压入口的关口、111、工件插入口        211、第一活塞            311、第二活塞6、冷却水通道          61、冷却水入口           62、冷却水出口
具体实施方式
如图1至5所示，连续式抽真空设备的真空阀，包括阀体1、第一气缸2和第二气缸3。
参见图6至图8，所述第一气缸2和第二气缸3上分别设置有第一气压入口的开口22和关口23以及第二气压入口的开口32和关口33；所述阀体1分为两个腔室，其内设置有分别以第一阀杆21推动其伸缩的第一波纹管15和第二阀杆31推动其伸缩的第二波纹管16；第一活塞211和第二活塞311分别连接在所述第一阀杆21和第二阀杆31的一端；该阀体1还分别与高真空接头4和低真空接头5连通；该高真空接头4和低真空接头5分别用来与高真空泵和低真空泵连接。所述阀体1上设有冷却水通道6，所述冷却水通道6包括冷却水入口61和冷却水出口62；通过该冷却水通道6可以对阀体进行冷却。
所述第一气缸2和第二气缸3以及所述阀体1的两个腔室之间的连接处分别设置有密封圈。
如图4、图6和图8所示，所述阀体1上设有四个气体接头，分别为通过控制阀连接封入工件气体的封入接头11、清洗工件内部杂质气体的清洗接头12、气体压力测试仪器的压力显示仪接入头13和抽真空接头14；所述四个气体接头内分别设有工件插入口111。
至少有两个即为通过控制阀连接封入工件气体的封入接头11和抽真空接头14时，就可达到本实用新型的技术效果。设有四个气体接头，是为了更加优化本实用新型的技术方案。
封入接头11、清洗接头12、压力显示仪接入头13和抽真空接头14以及第一气缸2和第二气缸3交替切换，达到抽真空、清洗工件内部和工件内封入气体的工作要求。

Claims (9)

1、一种连续式抽真空设备的真空阀，包括阀体(1)、第一气缸(2)和第二气缸(3)，所述第一气缸(2)和第二气缸(3)上分别设置有第一气压入口的开口(22)和关口(23)以及第二气压入口的开口(32)和关口(33)；其特征在于：所述阀体(1)分为两个腔室，其内设置有分别以第一阀杆(21)推动其伸缩的第一波纹管(15)和第二阀杆(31)推动其伸缩的第二波纹管(16)；第一活塞(211)和第二活塞(311)分别连接在所述第一阀杆(21)和第二阀杆(31)的一端；该阀体(1)还分别与高真空接头(4)和低真空接头(5)连通；所述阀体(1)还与至少一个气体接头连通。
2、根据权利要求1所述的连续式抽真空设备的真空阀，其特征在于，所述阀体(1)上设有冷却水通道(6)，所述冷却水通道(6)包括冷却水入口(61)和冷却水出口(62)。
3、根据权利要求1或2所述的连续式抽真空设备的真空阀，其特征在于，所述第一气缸(2)和第二气缸(3)以及所述阀体(1)的两个腔室之间的连接处分别设置有密封圈。
4、根据权利要求1或2所述的连续式抽真空设备的真空阀，其特征在于，所述气体接头为至少为两个，分别为通过控制阀连接封入工件气体的封入接头(11)和抽真空接头(14)。
5、根据权利要求3所述的连续式抽真空设备的真空阀，其特征在于，所述气体接头为至少为两个，分别为通过控制阀连接封入工件气体的封入接头(11)和抽真空接头(14)。
6、根据权利要求3所述的连续式抽真空设备的真空阀，其特征在于，所述气体接头还可以包括清洗工件内部杂质气体的清洗接头(12)和气体压力测试仪器的压力显示仪接入头(13)。
7、根据权利要求4所述的连续式抽真空设备的真空阀，其特征在于，所述至少两个气体接头内分别设有工件插入口(111)。
8、根据权利要求5所述的连续式抽真空设备的真空阀，其特征在于，所述至少两个气体接头内分别设有工件插入口(111)。
9、根据权利要求6所述的连续式抽真空设备的真空阀，其特征在于，所述清洗接头(12)及压力显示仪接入头(13)内分别设有工件插入口(111)。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102220994A (zh) * 2011-06-20 2011-10-19 昆山振昆纳米科技有限公司 真空室角阀
CN102927335A (zh) * 2011-08-10 2013-02-13 中核苏阀科技实业股份有限公司 步进电机驱动耐压真空调节阀
CN103471764A (zh) * 2013-09-26 2013-12-25 张家港韩中深冷科技有限公司 车用液化天然气瓶夹层真空度测试装置
CN103510079A (zh) * 2012-06-21 2014-01-15 理想能源设备(上海)有限公司 一种真空处理系统阀门组件和化学气相沉积系统
CN103574067A (zh) * 2013-11-12 2014-02-12 无锡康力电子有限公司 镀膜玻璃抽真空密封装置
CN106568630A (zh) * 2016-10-28 2017-04-19 核工业北京地质研究院 一种全金属小体积容器及其体积测定系统、方法
CN108871692A (zh) * 2018-06-26 2018-11-23 爱发科东方真空(成都)有限公司 一种锂电池自动化检测生产线及其检测方法
CN109826979A (zh) * 2019-03-28 2019-05-31 郑州科锐真空设备有限公司 一种多功能复合式真空阀门及使用该真空阀门的真空设备
CN112682562A (zh) * 2020-12-31 2021-04-20 重庆磐恒阀门有限公司 一种气压控制燃气切断阀
CN112923152A (zh) * 2021-01-29 2021-06-08 西安理工大学 一种多口抽真空用接头

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114321423B (zh) * 2021-11-27 2023-10-17 宜昌测试技术研究所 一种无人潜航器用真空阀及其装配、抽真空操作方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4846226A (en) * 1988-08-11 1989-07-11 Binks Manufacturing Company Color changer
US5224513A (en) * 1991-06-04 1993-07-06 Cselt - Centro Studi E Laboratori Telecomunicazioni S.P.A. Device for introducing reagents into an organometallic vapor phase deposition apparatus
JP3361162B2 (ja) * 1993-10-27 2003-01-07 清原 まさ子 タンク室付ブロックバルブ
JP4296196B2 (ja) * 2006-11-15 2009-07-15 シーケーディ株式会社 真空弁
CN101397986B (zh) * 2008-11-25 2010-10-13 温晋轩 多功能抽空真空设备

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102220994A (zh) * 2011-06-20 2011-10-19 昆山振昆纳米科技有限公司 真空室角阀
CN102927335B (zh) * 2011-08-10 2014-08-27 中核苏阀科技实业股份有限公司 步进电机驱动耐压真空调节阀
CN102927335A (zh) * 2011-08-10 2013-02-13 中核苏阀科技实业股份有限公司 步进电机驱动耐压真空调节阀
CN103510079B (zh) * 2012-06-21 2015-12-16 理想能源设备(上海)有限公司 一种真空处理系统阀门组件和化学气相沉积系统
CN103510079A (zh) * 2012-06-21 2014-01-15 理想能源设备(上海)有限公司 一种真空处理系统阀门组件和化学气相沉积系统
CN103471764A (zh) * 2013-09-26 2013-12-25 张家港韩中深冷科技有限公司 车用液化天然气瓶夹层真空度测试装置
CN103574067A (zh) * 2013-11-12 2014-02-12 无锡康力电子有限公司 镀膜玻璃抽真空密封装置
CN106568630A (zh) * 2016-10-28 2017-04-19 核工业北京地质研究院 一种全金属小体积容器及其体积测定系统、方法
CN108871692A (zh) * 2018-06-26 2018-11-23 爱发科东方真空(成都)有限公司 一种锂电池自动化检测生产线及其检测方法
CN109826979A (zh) * 2019-03-28 2019-05-31 郑州科锐真空设备有限公司 一种多功能复合式真空阀门及使用该真空阀门的真空设备
CN109826979B (zh) * 2019-03-28 2023-09-08 河南晶珂锐真空科技有限公司 一种多功能复合式真空阀门及使用该真空阀门的真空设备
CN112682562A (zh) * 2020-12-31 2021-04-20 重庆磐恒阀门有限公司 一种气压控制燃气切断阀
CN112682562B (zh) * 2020-12-31 2022-09-30 重庆磐恒阀门有限公司 一种气压控制燃气切断阀
CN112923152A (zh) * 2021-01-29 2021-06-08 西安理工大学 一种多口抽真空用接头

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