CN101397986B - 多功能抽空真空设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种抽真空的设备，尤其涉及一种多功能抽真空设备。本发明要解决的技术问题是提供一种可以根据需要随时启停且随机根据各工件的抽真空度要求调节压力的多功能抽真空设备。其技术方案：该设备包括真空泵和与其连通的真空阀，工作阀通过连通管与真空阀连接；真空泵先与工作腔室连通，工作腔室上设有至少一个真空通道，该真空通道再通过连通管与真空阀连通；气体压力表也通过连通管与真空阀连通；前述各零部件位于支撑件上；可编程控制器通过电磁阀控制所述真空泵、真空阀和工作阀。本发明能根据需要随时启停；也随机根据各工件的抽真空度要求调节压力；某个工作腔室压力变化对其它工作腔室内的压力没有影响。

Description

多功能抽空真空设备
技术领域
本发明涉及一种抽真空的设备，尤其涉及一种多功能抽真空设备。
背景技术
2005年7月13日公开的公开号为CN1637283和名称为用于真空加工腔室的控制、抽吸和去除的设备和方法的发明中，公开了一种用于对多个真空加工腔室控制压力、抽真空和提供去除作用的设备和方法。该系统可以用在半导体制造中。由多台涡轮泵将多个真空加工腔室排气入一公共的去除腔室，一台初级抽气泵将该公共的去除腔室保持在低于大气压力的压力。独立地控制诸加工腔室内的压力。该去除装置的内部容积提供了减少一个加工腔室内的压力变化对其它腔室内的压力的影响的缓冲。
该技术方案中加工腔室内的压力变化对其它腔室内的压力有影响。
另外，现有的用于电光源容腔的抽真空的设备的工作方式为：动力源工作泵连通一间断通断工作阀，该阀控制电光源容腔的抽真空工作的启停。该阀包括两半各开有均布的相同数量通孔的圆柱体，该圆柱体两半之间相对转动；其中一半上的通孔分别联通工作泵，另一半上的通孔分别联通各抽真空的抽吸工件；当两半上的通孔对接时，抽吸工件对电光源容腔开始抽真空，当两半上的通孔错开相互不导通时，抽吸工件对电光源容腔停止抽真空。
现有的上述技术，存在以下几点不足：
1)工作方式不连续，不能根据需要随时启停；
2)工作压力无法随机根据各工件的抽真空度要求调节，只能在统一调定的工作压力下工作；
3)对需要抽吸的电光源容腔，其中真空度抽吸的最终压力无法随时显示。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种可以根据需要随时启停且随机根据各工件的抽真空度要求调节压力的多功能抽真空设备。
为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：
多功能抽真空设备，包括真空泵和与其连通的真空阀，工作阀通过连通管与所述真空阀连接；其特征在于，所述真空泵先与工作腔室连通，所述工作腔室上设有至少一个真空通道，该真空通道再通过连通管与所述真空阀连通；气体压力表也通过连通管与所述真空阀连通；前述各零部件位于支撑件上；可编程控制器(PLC)通过电磁阀控制所述真空泵、真空阀和工作阀。
所述工作腔室包括高真空工作腔室和低真空工作腔室，所述真空泵包括高真空泵和低真空泵，所述真空通道包括高真空通道和低真空通道。
所述工作阀包括清洗气体阀、充入气体阀和抽真空阀。
所述支撑件包括真空阀支撑平台、真空泵支撑平台和底座，所述真空阀支撑平台和真空泵支撑平台通过至少三个固定支撑柱固定连接；所述真空泵支撑平台的底部至少与三个旋转支撑柱的上端固定连接，该旋转支撑柱的下端连接有万向轮支脚；所述底座的底部设有连接座，该连接座通过中轴座与中轴固定连接，所述中轴依次与所述真空阀支撑平台和真空泵支撑平台以及工作腔室固定连接；在所述底座和真空泵支撑平台之间还设有支撑座，所述支撑座与所述底座固定连接，所述中轴可以在所述支撑座内自由旋转。
所述机械旋转传动部件还与冷却水回转接头连接。
所述中轴座与废气出口连通。
所述高真空泵和低真空泵各至少为两台。
所述高真空工作腔室的顶端还设有电导引和气体出口以及气体回转接头。
本发明的多功能抽真空设备使用PLC程序控制使机台操作更简便，能根据需要随时启停；由于工作阀腔室与压力表相连通，随时可以检测到压力，所以随机根据各工件的抽真空度要求调节压力；进一步由于各工作腔室相互隔离，某个工作腔室压力变化对其它工作腔室内的压力没有影响。
附图说明
下面结合附图及具体实施方式，对本发明作进一步说明。
图1是本发明的立体结构示意图；
图2是工作腔室的剖视结构示意图；
图3是图1中A部的局部放大；
图4是本发明的电气控制原理图；
图5是背景技术所述间断通断工作阀导通状态立体示意图；
图6是背景技术所述间断通断工作阀关闭状态立体示意图；
图7是图5的剖视图；
图8是图6的剖视图。
附图标识：1、工作腔室                      11、高真空工作腔室
111、高真空通道     12、低真空工作腔室     121、低真空通道
13、电导引          14、气体出口           2、高真空泵
21、高真空连通管    3、低真空泵            31、高真空连通管
4、支撑部件         41、真空阀支撑平台     42、真空泵支撑平台
43、底座            411、固定支撑柱        412、封入气体平衡桶
421、旋转支撑柱     422、支撑座            51、中轴
52、废气出口        53、冷却水回转接头     54、中轴座
5、连接座           6、真空阀              61、高真空阀
62、低真空阀        63、工作阀             64、气体压力表(正负压)。
具体实施方式
如图1所示，多功能抽真空设备，包括工作腔室1、真空泵、支撑部件4、机械传动部件5、真空阀6和工作阀63。
参见图2其中，工作腔室1包括高真空工作腔室11和低真空工作腔室12，其上分别设有高真空通道111和低真空通道121。
支撑件4包括真空阀支撑平台41、真空泵支撑平台42和底座43。
参见图3，真空泵包括高真空泵2、低真空泵3；工作阀63包括清洗气体阀、充入气体阀和抽真空阀。气体压力表64也通过连通管与真空阀连通；可编程控制器通过电磁阀控制所述真空泵、真空阀和工作阀。
真空阀支撑平台41和真空泵支撑平台42通过至少四个固定支撑柱411固定连接；真空泵支撑平台42的底部与四个旋转支撑柱421的上端固定连接，该旋转支撑柱421的下端连接有万向轮支脚，使整个设备的真空泵支撑平台42以上部分可以在底座43上回转运动；底座43的底部设有机械旋转传动部件5，该机械旋转传动部件5通过中轴座54与中轴51固定连接，中轴51依次与所述真空阀支撑平台41和真空泵支撑平台42以及工作腔室1固定连接；在底座43和真空泵支撑平台42之间还设有支撑座422，支撑座422与底座43固定连接，所述中轴51可以在所述支撑座422内自由旋转。
四台高真空泵2和低真空泵3固定安装在真空泵支撑平台42上，最少有两台就可以满足一台备用一台工作的要求；四台更好一些，当其中任一台出故障的情况下，有备用机台。
旋转支撑柱421和固定支撑柱411三个就可决定一个平面的支撑，四个只是为了对称和美观，单纯功能要求三个就可以达到。
如图1和图2所示，高真空工作腔室11的顶端还设有电导引13和气体出口14以及气体回转接头。
本发明可以克服现有技术中抽真空设备间歇动作时，无法连续性地持续抽真空的缺陷，并缩短了真空泵与待抽真空工件之间的距离，达到有效利用真空泵的效能。另外，使用PLC程序控制使机台操作更简便。

Claims (6)

1.一种多功能抽真空设备，包括真空泵和与其连通的真空阀，工作阀通过连通管与所述真空阀连接；其特征在于：所述真空泵先与工作腔室(1)连通，所述工作腔室(1)上设有至少一个真空通道，该真空通道再通过连通管与所述真空阀连通；气体压力表(64)也通过连通管与所述真空阀连通；前述各零部件位于支撑件(4)上；可编程控制器(PLC)通过电磁阀控制所述真空泵、真空阀和工作阀；所述工作腔室(1)包括高真空工作腔室(11)和低真空工作腔室(21)，所述真空泵包括高真空泵(2)和低真空泵(3)，所述真空通道包括高真空通道(111)和低真空通道(121)；所述工作阀包括清洗气体阀、充入气体阀和抽真空阀；所述支撑件(4)包括真空阀支撑平台(41)、真空泵支撑平台(42)和底座(43)，所述真空阀支撑平台(41)和真空泵支撑平台(42)通过至少三个固定支撑柱(411)固定连接；所述真空泵支撑平台(42)的底部至少与三个旋转支撑柱(421)的上端固定连接，该旋转支撑柱(421)的下端连接有万向轮支脚；所述底座(43)的底部设有机械旋转传动部件(5)，该机械旋转传动部件(5)通过中轴座(54)与中轴(51)固定连接，所述中轴(51)依次与所述真空阀支撑平台(41)和真空泵支撑平台(42)以及工作腔室(1)固定连接；在所述底座(43)和真空泵支撑平台(42)之间还设有支撑座(422)，所述支撑座(422)与所述底座(43)固定连接，所述中轴(51)可以在所述支撑座(422)内自由旋转。
2.根据权利要求1所述的多功能抽真空设备，其特征在于，所述机械旋转传动部件(5)还与冷却水回转接头(53)连接。
3.根据权利要求2所述的多功能抽真空设备，其特征在于，所述中轴座(54)与废气出口(52)连通。
4.根据权利要求1所述的多功能抽真空设备，其特征在于，所述高真空泵(2)和低真空泵(3)各至少为两台。
5.根据权利要求1所述的多功能抽真空设备，其特征在于，所述高真空泵(2)和低真空泵(3)各至少为两台。
6.根据权利要求1所述的多功能抽真空设备，其特征在于，所述高真空工作腔室(11)的顶端还设有电导引(13)和气体出口(14)以及气体回转接头。
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