CN201262685Y - 光罩保护膜框体卸除装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种具有加热装置的光罩保护膜框体卸除装置，用以卸除一光罩上的光罩保护膜。此光罩保护膜框体卸除装置包含底座元件、卸除元件、承载元件、固定推杆、加热装置以及卸除元件等，承载元件设置于底座元件上，用以承载光罩，固定推杆则又设置于承载元件上，用以固定承载于承载元件上的具有光罩保护膜的光罩，而加热装置是用以加热具有光罩保护膜的光罩至一预定温度，使得黏合框体与光罩的胶材遇热融化并附着于框体上，另有一卸除元件亦设于底座元件上，用以将框体与光罩分离，为此可避免因胶材的沾黏与拉扯而导致光罩污染或图形损坏。

Description

光罩保护膜框体卸除装置

技术领域

本实用新型有关于一种光罩保护膜框体卸除装置，特别是有关于一种具有加热装置的光罩保护膜框体卸除装置。

背景技术

近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术(Optical Lithography)扮演重要的角色，只要是关于图形(pattern)定义，皆需仰赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩(photo mask)。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅晶圆(silicon wafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，因此在一般的晶圆制程中，都提供无尘室(clean room)的环境以避免空气中的颗粒污染。然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘状态，因此目前光罩的使用是设置光罩保护装置于光罩上方，使光罩保持洁净，由于光线是依据光罩位置进行聚焦(focus)，即便有微粒沉积于光罩保护框体上，其形成的离焦(defocus)影像对于图形成像质量的不良影响也较小。

如图1所示，为一现有的光罩保护膜的卸除装置1，是用以快速卸除光罩的保护膜12，其光罩保护膜的卸除装置1是以把手固定元件13作为支点，扳动ㄇ字型把手11时由连动轴15将ㄇ字型把手11末端的插入元件16插进光罩保护膜12的框体的孔洞14，并由杠杆原理将光罩保护膜12的框体卸离光罩。然而，在利用杠杆原理将光罩保护膜的框体卸离光罩并出时，黏合于光罩与框体之间的黏着剂无法完全剥离其中一方，因此取出框体时会出现一部分黏着剂沾黏于框体上，而另一部分黏着剂仍沾黏于光罩上，一经拉扯容易使得黏着剂弹回光罩表面上，而导致光罩污染或图形损坏。

实用新型内容

为解决先前技术的问题，本实用新型目的是提供一种具有加热装置的光罩保护膜框体卸除装置。此光罩保护膜框体卸除装置用以卸除一光罩上的光罩保护膜，其中光罩保护膜是以胶材黏合一框体与一保护膜，形成一内部空间以保护该光罩上的图形。此光罩保护膜框体卸除装置包含底座元件、卸除元件、承载元件、固定推杆、加热装置以及卸除元件等，承载元件设置于底座元件上，是用以承载光罩，固定推杆则又设置于承载元件上，用以固定承载于承载元件上的具有光罩保护膜的光罩，而具有至少一加热装置，与该底座元件具有电性相接，用以加热具有光罩保护膜的光罩至一预定温度，使得黏合框体与光罩的胶材遇热融化并附着于框体上，而遇热融化并附着于该框体上的胶材可随该框体一并取出，另有一卸除元件亦设于底座元件上，用以将框体与光罩分离。

由于本实用新型光罩保护膜框体卸除装置具有加热装置，加热时可将黏合框体与光罩的胶材融化并使其附着于框体上，而不会黏着附在光罩面上，因此当取出框体时，不会发生胶材一部分沾黏于框体上，而另一部分仍沾黏于光罩上的情形，由此可完全避免拉扯同时沾黏于框体与光罩间的保护膜时，胶材弹回光罩上，而导致光罩污染或图形损坏的情形发生，亦可减少后续处理成本及时间。

因此，本实用新型的主要目的在于提供一种光罩保护膜框体卸除装置，其具有较佳的卸除效果，可避免因人工的操作不当或施力不当，造成卸除时刮伤或损坏光罩。

本实用新型的另一目的在于提供一种光罩保护膜框体卸除装置，其具有较佳的卸除效果，可节省卸除时所花费的时间以及人工成本。

本实用新型的又一目的在于提供一种光罩保护膜框体卸除装置，其加热装置可将黏合框体与光罩的胶材融化并使其附着于框体上，而不会黏着附在光罩面上，以减少后续处理成本及时间。

本实用新型的再一目的在于提供一种光罩保护膜框体卸除装置，其加热装置具有独立设定时间与温度的功能，可依室温、湿度或胶材融化程度等变化，而进行设定上的调整。

附图说明

图1为光罩保护膜的卸除装置的示意图(现有技术)。

图2A为本实用新型光罩保护膜框体卸除装置的一实施例示意图。

图2B为本实用新型具有光罩保护膜光罩的一实施例示意图。

图2C为本实用新型具有把手元件与把手固定元件的一实施例示意图。

图3、图4和图5A为本实用新型光罩保护膜框体卸除装置操作的一实施例示意图。

图5B为本实用新型具有光罩保护膜光罩的一实施例示意图。

图6A为本实用新型温度设定装置的一实施例示意图。

图6B为本实用新型时间设定装置的一实施例示意图。

【主要元件符号说明】

1     光罩保护膜的卸除装置    23    固定推杆

11    ㄇ字型把手              24    把手固定元件

12    保护膜                  241   连接构件

13    把手固定元件            242   固定件

14    孔洞                    25    把手元件

15    连动轴                  251   转动元件

16    插入元件                252   连动轴

2     光罩保护膜框体卸除装置  26    弹性梢

2a    卸除元件                27    叉取梢

21    底座元件                28    加热装置

211   滑动轴                  281   控制面板

22    承载元件                282   电源装置

2831  温度设定钮              283   温度设置装置

2832  字段选择钮              2844  单位时间设定钮

2832a 现在温度显示字段        2845  重设钮

2832b 设定温度显示字段        285   启动装置

2833  温度调整钮              3     具有光罩保护膜的光罩

284   时间设定装置       31   框体

2841  时间显示字段       311  插槽

2842  单位时间调整钮     32   保护膜

2843  单位时间指示灯     32a  胶材

                         33   光罩

具体实施方式

由于本实用新型是揭露一种具有加热装置的光罩保护膜框体卸除装置，其中所利用到的一些光罩或光罩盒的详细制造或处理过程，是利用现有技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。而且下述内文中的图式，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本实用新型特征有关的示意图。

图2A为本实用新型光罩保护膜框体卸除装置一较佳实施例示意图，此光罩保护膜框体卸除装置2是用以卸除一光罩33上的光罩保护膜32框体31，其中光罩保护膜32框体31是以胶材32a黏合一光罩33与一框体31，形成一内部空间以保护光罩33上的图形，其中框体31的侧边上具有多个贯穿框体31的插槽311，亦可为不贯穿框体31的插槽(未示于图中)。光罩保护膜框体卸除装置2包含卸除元件2a、底座元件21、承载元件22、固定推杆23以及加热装置28等，承载元件22设置于底座元件21上，是用以承载一具有光罩保护膜的光罩3的四个角，请参考图2B，固定推杆23则又设置于承载元件22上，用以固定承载于承载元件22上的具有光罩保护膜的光罩3，而加热装置28是用以加热具有光罩保护膜的光罩3至一预定温度，使得黏合框体31与光罩33的胶材32a遇热融化并附着于框体31上，另有一卸除元件2a亦设于底座元件21上，用以将框体31与光罩33分离，而遇热融化并附着于框体31上的胶材32a可随框体31一并取出。

其中，卸除元件2a包含至少一滑动轴211、把手固定元件24、固定件242、把手元件25、弹性梢26、叉取梢27等，滑动轴211设于底座元件21两边，又相对于底座元件21的两边各设有一个把手固定元件24，是通过连接构件241而与滑动轴211相连接，并以固定件242将连接构件241定位于滑动轴211上，另亦设有把手元件25，且此把手元件25大致呈ㄇ形，是通过转动元件251与把手固定元件24相连接，请参考图2C，而弹性梢26与叉取梢27皆是通过连动轴252连接至把手元件25的一端，当推动把手元件25至定位并锁紧时，弹性梢26将定位于具有光罩保护膜的光罩3的上方，叉取梢27则会伸入框体31的插槽311中，其中弹性梢26与叉取梢27皆大致为一高分子材质或金属材质所形成，以及具有加热装置28，可用以加热至一预定温度，且此加热装置28是以电能提供并转换为热能。

而转动元件251设置于叉取梢27的下方，当转动元件251的短轴(未示于图中)与叉取梢27接触时，叉取梢27位于把手固定元件24的底端，当转动元件251的长轴(未示于图中)与叉取梢27接触时，叉取梢27位于把手固定元件24的顶端，因此转动此转动元件251即可驱动叉取梢27进行升降移动，其中转动元件251另包含转动杆(未示于图中)，此转动杆的轴心与转动元件251同轴，因此转动杆在旋转时可带动转动元件251同部转动。

上述的加热装置28具有一控制面板281，且此控制面板281上包含有电源装置282用以启动控制面板281，温度设置装置283用以设定一预设温度，时间设定装置284用以设定一预设时间，以及启动装置285用以启动控制面板281上的设定并加热。请参考图6A，温度设置装置283上包含有温度设定钮2831，用以选择欲开始设定温度或重新设定温度，字段选择钮2832可用以选择欲调整的设定温度显示字段2832b，温度显示字段2832a则显示出目前的温度，而当温度设置装置283中的现在温度显示字段2832a与设定温度显示字段2832b有差异时，加热装置28会自动加热或不加热，以达到设定的温度，以及可用以调整欲加热的预设温度的温度调整钮2833，其中此温度设置装置283的预设温度为大约80℃～大约150℃。至于时间设定装置284，请参考图6B，包含有时间显示字段2841，是用以显示加热时间，单位时间调整钮2842是用以选择欲设定的单位时间为时(H)、分(M)或秒(S)，并于单位时间指示灯2843中显示之，单位时间设定钮2844是用以调整预定的单位时间，以及重设钮2845是用以清除原有的设定值并可重新设定，其中此时间设定装置284的预设时间为大约30秒～大约600秒。

此光罩保护膜框体卸除装置2的操作过程，请参考图2A，先将具有光罩保护膜的光罩3放置于光罩保护膜框体卸除装置2的承载元件22上，并推动固定推杆23至具有光罩保护膜的光罩3时，承载元件22可用以固定具有光罩保护膜的光罩3的四个角，请参考图3，将把手元件25推动至定位并利用固定件242锁紧，此时弹性梢26将定位于具有光罩保护膜的光罩3的上方，叉取梢27则会置于框体31的插槽311旁，并启动加热装置28加热至一预定温度，使得黏合框体31与光罩33的胶材32a遇热融化并附着于框体31上，而不会黏着附在光罩33上，请参考图4，接着再将把手元件25向下施压，叉取梢27会伸入框体31的插槽311中，并且穿过该插槽311，请参考图5A，将把手元件25向上升起，叉取梢27由连动轴252的转动向上升起时，会连带将框体31往上抬起，当框体31接触弹性梢26时，弹性梢26会内缩，当框体31经过并到达弹性梢26上方时，弹性梢26会外弹并支撑住框体31，以将框体31与光罩33分离，光罩33会置于承载元件22上，而遇热融化并附着于框体31上的胶材32a即可随框体31一并取出，请参考图5B，因此不会发生胶材32a一部分沾黏于框体31上，而另一部分仍沾黏于光罩33上的情形，由此可完全避免拉扯同时沾黏于框体31与光罩33间的胶材32a时，胶材32a弹回光罩33上，而导致光罩33污染或图形损坏的情形发生，亦可减少后续处理成本及时间。

本实用新型乃针对先前技术加以改良，本实用新型具有加热装置的光罩保护膜框体卸除装置，可于加热时可将黏合框体与保护膜的胶材融化并使其附着于框体上，因此当取出框体时，不会发生胶材一部分沾黏于框体上，而另一部分仍沾黏于光罩上的情形，由此可完全避免拉扯同时沾黏于框体与光罩间的胶材时，胶材弹回光罩上，而导致光罩污染或图形损坏的情形发生。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新型的权利要求；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及实施，因此其它未脱离本实用新型所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在所述的权利要求范围中。

Claims (12)

1、一种光罩保护膜框体卸除装置，用以卸除一光罩上的光罩保护膜框体，其中该光罩保护膜框体以胶材黏合一光罩与一框体，形成一内部空间以保护该光罩上的图形，该光罩保护膜框体卸除装置包含：

一底座元件；

至少一承载元件，设置于该底座元件上，用以承载该光罩；

至少一固定推杆，设置于该承载元件上，用以固定承载于该承载元件上的该具有光罩保护膜的光罩；

至少一卸除元件，设于该底座元件上，用以将该框体与该光罩分离；

其特征在于，具有至少一加热装置，与该底座元件具有电性相接，用以加热该具有光罩保护膜的光罩至一预定温度，使得黏合该框体与该光罩的胶材会遇热融化并附着于该框体上，而遇热融化并附着于该框体上的胶材可随该框体一并取出。

2、如权利要求1所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该框体具有至少一侧边，且该侧边上具有至少一插槽。

3、如权利要求1所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，当推动该固定推杆至该具有光罩保护膜的光罩时，该承载元件用以固定该具有光罩保护膜的光罩的四个角。

4、如权利要求1所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该卸除元件包含至少一滑动轴设于该底座元件上。

5、如权利要求4所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该卸除元件另包含至少一把手固定元件，由至少一连接构件与该滑动轴相连接。

6、如权利要求5所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该卸除元件另包含至少一固定件，用以将该连接构件定位于该滑动轴上。

7、如权利要求5所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该卸除元件另包含至少一把手元件，由至少一转动元件与该把手固定元件相连接。

8、如权利要求7所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该卸除元件另包含至少一弹性梢，由至少一连动轴连接至该把手元件的一端。

9、如权利要求8所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，当推动该把手元件至定位并锁紧时，该弹性梢将定位于该具有光罩保护膜的光罩的上方。

10、如权利要求8所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该卸除元件另包含至少一叉取梢，由该连动轴连接至该把手元件的该端。

11、如权利要求2或10项所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，当推动该把手元件至定位并锁紧时，该叉取梢会伸入该插槽中。

12、如权利要求7所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该转动元件设置于该叉取梢的下方，当该转动元件的短轴与该叉取梢接触时，该叉取梢位于该把手固定元件的底端，当该转动元件的长轴与该叉取梢接触时，该叉取梢是位于该把手固定元件的顶端。

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