CN201249995Y

CN201249995Y - 一种晶圆盒存放架

Info

Publication number: CN201249995Y
Application number: CNU2008200599130U
Authority: CN
Inventors: 黄臣; 王明珠; 康盛; 赵国庆
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2008-06-18
Filing date: 2008-06-18
Publication date: 2009-06-03
Anticipated expiration: 2018-06-18

Abstract

本实用新型提供了一种晶圆盒存放架，它包括若干存放层，围杆、栏杆和隔杆，若干存放层之间通过所述围杆连接；每个存放层通过围杆均安装有栏杆和隔杆，栏杆和隔杆安装在存放层的三条边上；每层存放层包括两个子存放部和两个折叠杆，两个子存放部拼接成一存放层，两个折叠杆平行安装在所述两个子存放部拼接的位置；围杆为圆筒状，分若干节子围杆，子围杆节与节连接成围杆，子围杆的直径节节向上递减。本实用新型可将存放层的两个子存放部折叠起，缩小存放架的存储容量；围杆可收缩成一子围杆的高度实现存放架的完全折叠。该晶圆盒存放架的灵活性大可有效解决传统存放架存在的灵活性低和占用空间大的问题。

Description

一种晶圆盒存放架

技术领域

本实用新型涉及半导体制造配件的存储装备领域，尤其涉及半导体制造配件晶圆盒存放架。

背景技术

在制造工厂中通常需要存储装备来存放制造配件。例如在半导体晶圆代工厂中每天就需要大量的存放架来存放制造配件晶圆盒。晶圆盒内部是微洁净环境，可用来存放对环境洁净度要求较高的晶圆。然而，目前使用的存放架均是形状固定的存放架。然而在未存放晶圆盒时，这种存放架的体积较大占据洁净制造车间较多的使用面积，造成洁净车间空间的浪费。当同时需要较多的晶圆存放架时，形状固定的晶圆盒存放架不便于流通和运输，因此，容易造成晶圆盒存放架使用效率低的问题。在一些较为特殊的情况，当需要尺寸相对较小的存放架时，这些尺寸较小的存放架需向制造商重新定制，因此，不同程度增加了存放架的成本。综上所述，传统的晶圆盒存放架灵活性较低，未使用的晶圆存放架存在占用空间较大的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆盒存放架以解决传统晶圆盒存放架存在的灵活性较低的问题及未使用的晶圆存放架存在的占用空间较大的问题。

为解决上述问题，本实用新型的晶圆盒存放架，它包括多个存放层，围杆、栏杆和隔杆，若干存放层之间通过围杆连接；每个存放层通过围杆均安装有栏杆和隔杆，栏杆和隔杆安装在存放层的三条边上；每层存放层包括两个子存放部和两个折叠杆，两个子存放部拼接成一存放层，两个折叠杆平行安装在两个子存放部拼接的位置；围杆为圆筒状，分若干节子围杆，子围杆节与节连接成围杆，子围杆的直径节节向上递减。子围杆与子围杆之间安装有螺栓和螺帽，通过螺栓和螺帽固定子围杆之间的连接。栏杆和隔杆以可拆卸的方式安装在存放层的三条边。进一步地，围杆顶端的子围杆与与其下相邻的子围杆略倾斜后进行连接。子存放部为相同尺寸的方形板块，该两个方形的板块拼接成的存放层为方形。依据该晶圆盒存放架的存放层为方形，该晶圆盒存放架包括四个围杆，四个围杆分别连接各个方形存放层的对应顶点。四个围杆的底部分别安装有一车轮。位于与折叠杆垂直的存放层的边的两个顶点的围杆的底部套有水平补偿杆。两折叠杆分别安装在方形存放层相平行的两边的中间位置，存放层的折叠杆之间均相互平行。每个方形存放层上安装一个栏杆和两个隔杆。栏杆包括一横梁和该横梁垂直的两个支撑杆，横梁两端分别安装在两个围杆上，支撑杆一端与支撑杆垂直连接，另一端与存放层垂直连接。隔杆安装在两个围杆上，与同层存放层栏杆的横梁垂直且在同一水平面内。两个隔杆相互平行，通过围杆安装在存放层相互平行的两个边沿上方。安装隔杆的围杆对应位置开有安装隔杆的卡槽，隔杆安放在围杆的卡槽内。安装在存放层上的栏杆与栏杆之间相互平行。晶圆盒存放架的顶层存放层栏杆的横梁两端具有插销，插销分别插入两个围杆的顶端，而围杆对应安装其他存放层的栏杆的横梁的位置开有卡口，其他存放层栏杆的横梁安放在所述围杆的卡口内。

与传统晶圆盒存放架相比，本实用新型的晶圆盒存放架存放层由两块子存放部拼接而成，且子存放部由折叠杆连接；且围杆是由节节直径递减的子围杆接成；当存储晶圆盒存放架时，可将每层的存放层的两个子存放部折叠起，将直径小的子围杆套入直径大的子围杆，这样就可将晶圆盒存放架折叠起便于存储和运输，节约存储空间和运输空间。因此本实用新型的晶圆盒存放架可有效解决传统晶圆盒存放架存在的灵活性较低和占用空间大的问题。

附图说明

以下结合附图和具体实施例对本实用新型的晶圆盒存放架作进一步详细具体的说明。

图1是本实用新型的晶圆盒存放架示意图。

图2是本实用新型的晶圆盒存放架部分折叠示意图。

图3是图2所示部分折叠后的晶圆盒存放架示意图。

图4是图3所示的晶圆盒存放架改变成手推晶圆盒存放架的示意图。

图5是图1所示的晶圆盒存放架完全折叠后示意图。

图6是晶圆盒存放架顶层存放层安装栏杆示意图。

图7是晶圆盒存放架的围杆的子围杆连接示意图。

具体实施方式

请参阅图1，本实用新型的晶圆盒存放架，它包括若干存放层，围杆，栏杆和隔杆。以晶圆盒存放架具有三层存放层为例，若干存放层之间通过围杆连接。每层存放层包括两个子存放部和两个折叠杆，两个子存放部拼接成一存放层，两个折叠杆平行安装在两个子存放部拼接的位置。例如第一层存放层包括两个子存放部14和两个折叠杆13，同理，第二层存放层也包括两个子存放部24和两个折叠杆23，第三层存放层包括两个子存放部34和两个折叠杆33。两个子存放部14拼接成第一层存放层，两个折叠杆13安装在两个子存放部14拼接的位置。同理，两个子存放部24拼接成第二层存放层，两个折叠杆23安装在两个子存放部24拼接的位置。两个子存放部34拼接成第三层存放层，两个折叠杆33安装在两个子存放部34拼接的位置。如图1所示，子存放部14、24、34为相同尺寸的方形板块，两个方形的板块拼接成的三个存放层为方形。这三层存放层每层的两折叠杆13/23/33分别安装在方形存放层相平行的两边的中间位置，存放层的折叠杆13/23/33之间均相互平行。

依据该晶圆盒存放架的存放层为方形，该晶圆盒存放架包括四个围杆41-44，四个围杆41-44分别连接各个方形存放层的对应顶点。围杆41-44为圆筒状，分若干节子围杆，子围杆节与节连接成围杆，子围杆的直径节节向上递减。请参阅图6所示围杆41的子围杆连接示意，实线所示的子围杆与虚线所示的另一节子围杆之间安装有螺栓和螺帽8，通过螺栓和螺帽8固定子围杆之间的连接。每个存放层通过围杆均安装有栏杆和隔杆，栏杆和隔杆安装在存放层的三条边上。第一层存放层通过围杆安装有栏杆11和隔杆12，第二层存放层通过围杆安装有栏杆21和隔杆22，第三层存放层通过围杆安装有栏杆31和隔杆32。每个方形存放层上均安装一个栏杆和两个隔杆。例如第一层存放层安装一栏杆11和两个隔杆12，第二层存放层安装了一栏杆21和两个隔杆22，第三层存放层安装了一栏杆31和两个隔杆32。每个栏杆11/21/31包括一横梁和该横梁垂直的两个支撑杆，横梁两端分别安装在两个围杆上，支撑杆一端与支撑杆垂直连接，另一端与存放层垂直连接。安装在三个存放层上的栏杆11、21与31之间相互平行。隔杆安装在两个围杆上，与同层存放层栏杆的横梁垂直且在同一水平面内。例如，第一层存放层的隔杆12安装在围杆41和42上，与同层的栏杆11的横梁垂直且在同一水平面内，两个隔杆12相互平行，通过两个围杆41和42(43和44)安装在第一层存放层相互平行的两个边沿上方。同理，第二层存放层的两个隔杆22和第三层存放层的两个隔杆32的安装方式同第一层存放层的两个隔杆的安装方式相同。安装隔杆的围杆41-44对应位置开有安装隔杆的卡槽，隔杆安放在围杆的卡槽内。四个围杆41-44的底部分别安装有一车轮6。晶圆盒存放架的顶层存放层的栏杆的横梁，即第一层栏杆11的横梁两端具有插销，插销分别插入两个围杆41和44的顶端。而围杆对应安装其他存放层的栏杆的横梁的位置开有卡口，其他存放层栏杆21/31的横梁安放在所述围杆的卡口内。

在使用晶圆盒存放架时，晶圆盒存放架的示意图如图1所示，每层的存放层可容纳较多的晶圆盒。图1虚线所示的栏杆和隔杆是可以拆卸的。当需要较小体积的晶圆盒存放架，请参阅图2，可拆去第一层存放层至第三层存放层的栏杆11、21和31，将存放架与折叠杆垂直的一边，以围杆41和42所在的一边抬起为例，将每层的存放层的两个子存放部折叠起来。请参阅图3，为保证折叠后的两边的围杆41和42的底端与另外一边的围杆43和44的底端处于同一水平面，位于与折叠杆垂直的存放层的边的两个顶点的围杆41和42的底部套有水平补偿杆7。抽出围杆41和42底部的水平补偿杆7就可使得四个围杆的底端处于同一水平面。同理，以抬起围杆43和44所在的一边为例进行折叠，围杆43和44的底部需套有水平补偿杆7。为方便折叠后图3所示的存放架进行手推操作，请参阅图4，围杆41和42顶端的子围杆与其下相邻的子围杆倾斜一定角度后进行连接。这样相对图3所示的折叠后的存放架更便于进行手推操作。若要将存放架储存和运输，也将存放架完全折叠起，如图5所示，将图1虚线所示的栏杆和隔杆全部拆除，拧开四个围杆各个子围杆连接的螺栓和螺母，将直径小的子围杆套入直径最大的围杆，拉出围杆底部水平补偿杆以补偿可将本实用新型的存放架折叠成图5所示。

本实用新型的晶圆盒的存放架的灵活性大，可折叠成晶圆盒容量较小的手推架。在储藏和运输时可将存放架完全折叠起来节约占用的空间。本实用新型的晶圆盒的存放架可有效解决传统晶圆盒存放架存在的灵活性低和占用空间较大的问题。

Claims

1、一种晶圆盒存放架，其特征在于，它包括多个存放层，围杆、栏杆和隔杆，所述若干存放层之间通过所述围杆连接；每个存放层通过围杆均安装有栏杆和隔杆，所述栏杆和隔杆安装在所述存放层的三条边上；每层存放层包括两个子存放部和两个折叠杆，所述两个子存放部拼接成一存放层，所述两个折叠杆平行安装在所述两个子存放部拼接的位置；所述围杆为圆筒状，分若干节子围杆，所述子围杆节与节连接成围杆，所述子围杆的直径节节向上递减。

2、如权利要求1所述的晶圆盒存放架，其特征在于，所述子围杆与子围杆之间安装有螺栓和螺帽，通过螺栓和螺帽固定子围杆之间的连接。

3、如权利要求2所述的晶圆盒存放架，其特征在于，所述围杆顶端的子围杆与与其下相邻的子围杆略倾斜后进行连接。

4、如权利要求1所述的晶圆盒存放架，其特征在于，所述栏杆和隔杆以可拆卸的方式安装在所述存放层的三条边。

5、如权利要求1所述的晶圆盒存放架，其特征在于，所述子存放部为相同尺寸的方形板块，所述两个方形的板块拼接成的存放层为方形。

6、如权利要求5所述的晶圆盒存放架，其特征在于，它包括四个围杆，所述四个围杆分别连接各个方形存放层的对应顶点。

7、如权利要求6所述的晶圆盒存放架，其特征在于，所述四个围杆的底部分别安装有一车轮。

8、如权利要求6所述的晶圆盒存放架，其特征在于，位于与所述折叠杆垂直的存放层的边的两个顶点的围杆的底部套有水平补偿杆。

9、如权利要求5所述的晶圆盒存放架，其特征在于，所述两折叠杆分别安装在所述方形存放层相平行的两边的中间位置，存放层的折叠杆之间均相互平行。

10、如权利要求5所述的晶圆盒存放架，其特征在于，所述每个方形存放层上安装一个栏杆和两个隔杆；所述栏杆包括一横梁和所述横梁垂直的两个支撑杆，所述横梁两端分别安装在两个围杆上，所述支撑杆一端与支撑杆垂直连接，另一端与存放层垂直连接；所述隔杆安装在两个围杆上，与所述同层存放层栏杆的横梁垂直且在同一水平面内。

11、如权利要求10所述的晶圆盒存放架，其特征在于，所述两个隔杆相互平行，通过围杆安装在所述存放层相互平行的两个边沿上方。

12、如权利要求10所述的晶圆盒存放架，其特征在于，所述安装隔杆的围杆对应位置开有安装隔杆的卡槽，所述隔杆安放在所述围杆的卡槽内。

13、如权利要求10所述的晶圆盒存放架，其特征在于，所述安装在存放层上的栏杆与栏杆之间相互平行。

14、如权利要求10所述的晶圆盒存放架，其特征在于，所述晶圆盒存放架的顶层存放层栏杆的横梁两端具有插销，所述插销分别插入两个围杆的顶端；所述围杆对应安装其他存放层的栏杆的横梁的位置开有卡口，所述其他存放层栏杆的横梁安放在所述围杆的卡口内。