CN201241834Y - 滑阀真空泵减振装置 - Google Patents
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Abstract
一种滑阀真空泵减振装置解决了在生产的过程中滑阀真空泵会产生振动并通过地面传导到单晶炉处，从而造成单晶与熔液液面的晃动，影响晶体生长的问题。它包括滑阀真空泵泵体和底座，在底座上设有减振弹簧。优点是：通过设在底座上的减振弹簧可起到减振作用，防止滑阀真空泵振动后经过地面传导到单晶炉处，确保晶体正常生长。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种单晶硅生产过程中使用的滑阀真空泵减振装置。
背景技术
目前用于生长人工晶体的直拉法单晶炉，一般采用滑阀真空泵来抽真空。在生产过程中滑阀真空泵会产生很大的振动，而振动很容易通过地面传导到单晶炉处，从而造成单晶与熔液液面的晃动，影响晶体生长。目前普遍的做法为真空泵与单晶炉中间加入一条防振沟；但当多台真空泵形成形振后，振动仍会通过防震沟传递到炉体。
发明内容
本实用新型的目的是要解决现有技术存在的上述问题，提供一种防止因滑泵真空振动传至单晶炉处而导致单晶与熔液液面晃动，确保晶体正常生长的滑阀真空泵减振装置。
本实用新型是这样实现的：它有一个滑阀真空泵泵体和底座，其特殊之处是：在底座上设有减振弹簧。
上述的滑阀真空泵减振装置，所述的减振弹簧是由弹簧体，连接在弹簧体两端的上下支撑座，设在上支撑座上的紧固螺栓构成，所述的紧固螺栓通过螺母与底座连接。
本实用新型的优点是：通过减振弹簧可起到减振作用，防止滑阀真空泵振动后经过地面传导到单晶炉处而导致单晶与熔液液面晃动，确保晶体正常生长。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是图1的左视图。
具体实施方式
如图所示，本实用新型有一个底座2，在底座2上设置有滑阀真空泵泵体1，在底座2上连接有减振弹簧3，所述的减振弹簧3是由弹簧体303、连接在弹簧体303两端的上、下支撑座302和304、焊接在上支撑座302上的紧固螺栓301构成，减振弹簧3通过紧固螺栓301和螺母与底座2连接。
Claims (2)
1、一种滑阀真空泵减振装置，包括滑阀真空泵泵体和底座，其特征是：在底座上设有减振弹簧。
2、根据权利要求1所述的滑阀真空泵减振装置，其特征是：所述的减振弹簧是由弹簧体，连接在弹簧体两端的上、下支撑座，设在上支撑座上的紧固螺栓构成；所述的紧固螺栓通过螺母与底座连接。
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| CN201241834Y true CN201241834Y (zh) | 2009-05-20 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102116306A (zh) * | 2010-12-30 | 2011-07-06 | 上海阿波罗机械股份有限公司 | 一种核电站用的凝结水泵上的辅助支撑装置 |
| CN103867854A (zh) * | 2014-03-24 | 2014-06-18 | 中核华泰建设有限公司 | 一种简易的卧式泵减震基座 |
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2008
- 2008-10-20 CN CNU2008202185873U patent/CN201241834Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102116306A (zh) * | 2010-12-30 | 2011-07-06 | 上海阿波罗机械股份有限公司 | 一种核电站用的凝结水泵上的辅助支撑装置 |
| CN102116306B (zh) * | 2010-12-30 | 2013-04-03 | 上海阿波罗机械股份有限公司 | 一种核电站用的凝结水泵上的辅助支撑装置 |
| CN103867854A (zh) * | 2014-03-24 | 2014-06-18 | 中核华泰建设有限公司 | 一种简易的卧式泵减震基座 |
| CN103867854B (zh) * | 2014-03-24 | 2015-10-28 | 中核华泰建设有限公司 | 一种简易的卧式泵减震基座 |
| CN107420305A (zh) * | 2017-06-23 | 2017-12-01 | 浙江凯尼真空设备有限公司 | 一种具有减震和消音功能的真空泵 |
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Granted publication date: 20090520 Termination date: 20121020 |