CN203307479U - 单晶炉籽晶夹头 - Google Patents
单晶炉籽晶夹头 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203307479U CN203307479U CN2013202515855U CN201320251585U CN203307479U CN 203307479 U CN203307479 U CN 203307479U CN 2013202515855 U CN2013202515855 U CN 2013202515855U CN 201320251585 U CN201320251585 U CN 201320251585U CN 203307479 U CN203307479 U CN 203307479U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chamber
- seed crystal
- graphite column
- chuck
- seed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉籽晶夹头，包括夹头本体，在夹头本体上沿轴向设有腔室，腔室包括石墨柱腔室和籽晶腔室；石墨柱腔室为圆柱形腔室，石墨柱腔室内设有石墨柱，石墨柱的高度小于石墨柱腔室的高度，石墨柱的直径小于石墨柱腔室的直径；采用上述技术方案，本实用新型有以下优点：①石墨柱的设置，增加了籽晶和籽晶夹头之间的缓冲，有效减少籽晶根部断裂现象的出现；②籽晶上端部设为锥形，增加了籽晶和腔室的接触面积，减少籽晶和腔室之间的撞击力，从而减少籽晶根部的受力；③籽晶夹头设计的比以前的更大，使得籽晶夹头更稳定，避免籽晶轴的摆动，减少籽晶根部断裂。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉领域，具体涉及一种单晶炉籽晶夹头。
背景技术
目前，单晶炉籽晶夹头为图1所示，包括夹头本体5，夹头本体5为不锈钢制作，夹头本体5的体积较小，夹头本体5上设有空腔6和籽晶腔7，籽晶腔7为T型，籽晶夹头是与籽晶腔7尺寸相同的T型。因而，使得在单晶炉开炉时籽晶与籽晶夹头之间为硬碰硬，在拉晶运行过程中，由于晶棒在旋转的同时，籽晶轴轻微摆动，导致频繁出现籽晶根部断裂，引起晶棒掉埚的重大事故，致使单晶炉热场下部石墨件、加热器及石墨坩埚等损坏，从而给企业造成很大的经济损失。
实用新型内容
针对现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种单晶炉籽晶夹头，该籽晶夹头能够有效防止籽晶根部断裂引起晶棒掉埚重大事故的发生。
本实用新型的技术方案是以下述方式实现的：一种单晶炉籽晶夹头，包括夹头本体，在夹头本体上沿轴向设有腔室，腔室包括石墨柱腔室和籽晶腔室；石墨柱腔室为圆柱形腔室，石墨柱腔室内设有石墨柱，石墨柱的高度小于石墨柱腔室的高度，石墨柱的直径小于石墨柱腔室的直径。
所述夹头本体是石墨夹头本体。
所述籽晶腔室为锥形腔室，籽晶腔室内设有与其尺寸相同的锥形籽晶，锥形籽晶的端部设在籽晶腔室内。
采用上述技术方案，本实用新型有以下优点：
①石墨柱的设置，增加了籽晶和籽晶夹头之间的缓冲，有效减少籽晶根部断裂现象的出现；
②籽晶上端部设为锥形，增加了籽晶和腔室的接触面积，减少籽晶和腔室之间的撞击力，从而减少籽晶根部的受力；
③籽晶夹头设计的比以前的更大，使得籽晶夹头更稳定，避免籽晶轴的摆动，减少籽晶根部断裂。
附图说明
图1为现有技术中籽晶夹头的结构示意图。
图2为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图2所示，一种单晶炉籽晶夹头，包括夹头本体1，在夹头本体1上沿轴向设有腔室，腔室包括石墨柱腔室2和籽晶腔室3；石墨柱腔室2为圆柱形腔室，石墨柱腔室2内设有石墨柱4，石墨柱4的高度小于石墨柱腔室2的高度，石墨柱4的直径小于石墨柱腔室2的直径。
作为本实用新型的优选方案，夹头本体1是石墨夹头本体；籽晶腔室3为锥形腔室，籽晶腔室3内设有与其尺寸相同的锥形籽晶，锥形籽晶的端部设在籽晶腔室3内。
使用过程如下：首先，通过腔室将籽晶装入籽晶腔室3，然后，将石墨柱4装入石墨柱腔室2，石墨柱4位于籽晶的上端，当单晶棒形成后，将籽晶和其上形成的单晶棒一并剪掉，籽晶在单晶棒反向拉力的作用下沿腔室轴向运动，撞击石墨柱4，在石墨柱4的作用下停止运动，由于籽晶根部设置为锥形以及籽晶根部和石墨柱4之间存在缓冲，因而，有效减少籽晶根部因硬碰硬而引起根部断裂现象的发生。
Claims (3)
1.一种单晶炉籽晶夹头，包括夹头本体（1），其特征在于：在夹头本体（1）上沿轴向设有腔室，腔室包括石墨柱腔室（2）和籽晶腔室（3）；石墨柱腔室（2）为圆柱形腔室，石墨柱腔室（2）内设有石墨柱（4），石墨柱（4）的高度小于石墨柱腔室（2）的高度，石墨柱（4）的直径小于石墨柱腔室（2）的直径。
2.根据权利要求1所述的单晶炉籽晶夹头，其特征在于：所述夹头本体（1）是石墨夹头本体。
3.根据权利要求1所述的单晶炉籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶腔室（3）为锥形腔室，籽晶腔室（3）内设有与其尺寸相同的锥形籽晶，锥形籽晶的端部设在籽晶腔室（3）内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2013202515855U CN203307479U (zh) | 2013-05-10 | 2013-05-10 | 单晶炉籽晶夹头 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2013202515855U CN203307479U (zh) | 2013-05-10 | 2013-05-10 | 单晶炉籽晶夹头 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203307479U true CN203307479U (zh) | 2013-11-27 |
Family
ID=49613698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2013202515855U Expired - Fee Related CN203307479U (zh) | 2013-05-10 | 2013-05-10 | 单晶炉籽晶夹头 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203307479U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105780106A (zh) * | 2014-12-23 | 2016-07-20 | 江苏拜尔特光电设备有限公司 | 一种改进的半锥籽晶夹头 |
-
2013
- 2013-05-10 CN CN2013202515855U patent/CN203307479U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105780106A (zh) * | 2014-12-23 | 2016-07-20 | 江苏拜尔特光电设备有限公司 | 一种改进的半锥籽晶夹头 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| MX2009001846A (es) | Proceso para producir fibras fibriladas. | |
| CN203307479U (zh) | 单晶炉籽晶夹头 | |
| CN201842895U (zh) | 单晶硅生长炉的石墨坩埚 | |
| CN202898593U (zh) | 一种改进的单晶炉热屏导流筒 | |
| CN204051770U (zh) | 一种新型的破碎机齿辊 | |
| CN103145323A (zh) | 一种连熔法制备光纤用石英外包管的方法 | |
| CN203065630U (zh) | 一种直拉单晶用石墨夹头 | |
| CN203655327U (zh) | 一种全长锚固支护的协调变形锚固装置 | |
| CN201405501Y (zh) | 一种新型螺杆 | |
| CN204959089U (zh) | 一种烧结钨坩埚 | |
| CN204339671U (zh) | 适用于调节吉他琴颈的六角扳手 | |
| CN204692780U (zh) | 一种预埋注浆管 | |
| CN208684424U (zh) | 椭圆棒多晶硅 | |
| CN201981245U (zh) | 一种镁精炼搅拌装置 | |
| CN202175741U (zh) | 一种分体式单晶热场石墨加热器 | |
| CN203392240U (zh) | 空气炮活塞 | |
| CN202460509U (zh) | 用于种子罐的搅拌轴稳定机构 | |
| CN202627508U (zh) | 一种芯模调节支撑杆 | |
| CN203096230U (zh) | 一种蓝宝石晶体炉籽晶杆防抖动装置 | |
| CN202558963U (zh) | 一种单晶炉用保温筒 | |
| CN204976388U (zh) | 可调式研磨棒 | |
| CN204018598U (zh) | 去高强度钢帘线应力控制扭转的校直器 | |
| CN204297404U (zh) | 一种石英粉熔化炉振动料仓 | |
| CN203842622U (zh) | 一种用于石英砂加工石碾机的空腔碾轮 | |
| CN201915559U (zh) | 螺旋肋钢丝 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20131127 Termination date: 20180510 |