CN201216914Y - 外延炉尾气净化器 - Google Patents

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CN201216914Y CNU2008200407323U CN200820040732U CN201216914Y CN 201216914 Y CN201216914 Y CN 201216914Y CN U2008200407323 U CNU2008200407323 U CN U2008200407323U CN 200820040732 U CN200820040732 U CN 200820040732U CN 201216914 Y CN201216914 Y CN 201216914Y
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张文光
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Abstract

本实用新型涉及一种废气处理装置，特别是涉及一种对Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器。它具有PID控制器(35)、实时检测外延炉尾气净化器的进气口(8)的负压情况的负压检测装置(34)和控制循环泵组(21)的电机的转速的变频器(36)，负压检测装置(34)安装在进气口(8)处，负压检测装置(34)接PID控制器(35)的输入端，变频器(36)接PID控制器(35)的输出端。本实用新型的外延炉尾气净化器能实时检测外延炉的尾气排放量，根据外延炉尾气排放量控制电机转速，在尾气排放比较少的情况下，控制电机低速运转，达到节能的效果。

Description

外延炉尾气净化器
技术领域
本实用新型涉及一种废气处理装置，特别是涉及一种对Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器。
背景技术
在Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气中含有多种有毒废气，如SiHCl3、SiH2Cl2、HCl、PH3及SiO2粉尘等，这些有毒气体必须经过严格的处理达到排放标准后才能排入大气中。这些废气中有的能与水反应，生成SiO2和HCl气体等，而HCl等气体和废气中的其他成份可以被水有效吸收，因此，目前，美国、俄罗斯、日本等国大多采用水吸收型尾气处理系统，采用水柱淋洗尾气和多孔填料吸收，但是在生产过程中外延炉的尾气排放量并不是始终一致，大部分的尾气是在一次外延沉积结束后在短期内排出，在大部分的时间内尾气排放量不是很大，而且外延炉对尾气抽风有严格的负压要求，现有的外延炉尾气净化器不能实时检测外延炉的尾气排放量、根据外延炉尾气排放量控制电机转速，而浪费能源。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是：解决现在的外延炉尾气净化器不能实时检测外延炉的尾气排放量、根据外延炉尾气排放量控制电机转速，而浪费能源的技术问题，本实用新型提供一种外延炉尾气净化器，它能实时检测外延炉的尾气排放量，根据外延炉尾气排放量控制电机转速，在尾气排放比较少的情况下，控制电机低速运转，达到节能的效果。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种外延炉尾气净化器，具有壳体，壳体下方设置有密闭的水箱，壳体内设置有横隔板和纵隔板，将壳体内腔分隔成初次洗涤室、二次洗涤室和填料室，二次洗涤室设在初次洗涤室上方，横隔板中心开有通气口，横隔板与壳体间工作时形成水封，初次洗涤室底部和填料室底部与水箱间工作时形成水封，壳体顶端装有进气口，进气口通过进气管道与初次洗涤室下部相通，二次洗涤室与填料室通过通气管道连通，初次洗涤室内装有大流量喷嘴喷淋装置，二次洗涤室内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置，填料室的上部设置有填料室横隔板，填料室横隔板上有孔，填料室横隔板下方的填料室内充填有填料，填料室的顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置，排泄锥喷嘴喷淋装置下方设置有文丘里管，文丘里管底部与填料室横隔板固定连接，填料室横隔板在对应于文丘里管的管口处还开设有与文丘里管的管口相配的孔，通气管道的进口在二次洗涤室的上部、出口正对填料室的排泄锥喷嘴喷淋装置，填料室的外部装有排气管道，排气管道的下端接入填料室的下部，水箱顶端装有向水箱补水的补水口、水箱的底部装有排污口和排净口，初次洗涤室下部装有通向壳体外的溢流管道，溢流管道的溢流口高于初次洗涤室的底面，壳体外装有循环泵组，循环泵组的进水口通入水箱液面下、出水口通过水管与大流量喷嘴喷淋装置、细雾高速喷嘴喷淋装置及排泄锥喷嘴喷淋装置相连，还具有PID控制器、实时检测进气口的负压情况的负压检测装置和控制循环泵组的电机的转速的变频器，负压检测装置安装在进气口处，负压检测装置接PID控制器的输入端，变频器接PID控制器的输出端。负压检测装置对进气口的负压情况进行实时检测，并不断的将检测的数据传入到PID控制器中，PID控制器对检测数据与工艺设定数据进行比较计算并结合变频器来控制循环泵组的电机的转速，实现对循环泵组的PID控制。这样一方面可以保证外延炉尾气排放口的负压满足工艺要求；另一方面，在外延沉积过程中外延炉的尾气排放量比较少的情况下，控制循环泵组的电机低速运转，达到节能的效果。
为便于对初次洗涤室和二次洗涤室内的大流量喷嘴喷淋装置和细雾高速喷嘴喷淋装置进行检修，在初次洗涤室和二次洗涤室的壳体上开有检修口。
所述的循环泵组出水口处的水管上还接有加药管，加药管上装有单向阀，针对处理的尾气的特点，当需要加入中和剂时，由加药管向循环泵组出水口处的水管中加入中和剂。
所述的补水口还通过补水管道与初次洗涤室相通，补水管道上装有补水闸阀。通过补水管道对初次洗涤室进行补水，这样一来可以使初次洗涤室清除的部分粗粒杂质随着泡沫从溢流口排出，二来防止中和循环液饱和。
所述的壳体外还装有清洗设备外壳的冲洗喷嘴，冲洗喷嘴通过冲洗管道与循环泵的出水口相连，冲洗管道上装有冲洗闸阀，根据需要打开冲洗闸阀对设备外壳进行冲洗。
本实用新型的有益效果是，本实用新型的外延炉尾气净化器能实时检测外延炉的尾气排放量，根据外延炉尾气排放量控制电机转速，在尾气排放量比较少的情况下，控制电机低速运转，达到节能的效果。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
图中1.壳体，2.水箱，3.横隔板，4.纵隔板，5.初次洗涤室，6.二次洗涤室，7.填料室，8.进气口，9.进气管道，10.通气管道，11.大流量喷嘴喷淋装置，12.细雾高速喷嘴喷淋装置，13.填料，14.排泄锥喷嘴喷淋装置，15.排气管道，16.文丘里管，17.补水口，18.排污口，19.排净口，20.溢流管道，21.循环泵组，22.水管，23.填料室横隔板，24.检修口，25.加药管，26.单向阀，27.补水管道，28.补水闸阀，29.冲洗喷嘴，30.冲洗管道，31.冲洗闸阀，34.负压检测装置，35.PID控制器，36.变频器。
具体实施方式
如图1所示的本实用新型的外延炉尾气净化器的最佳实施例，具有壳体1，壳体1下方设置有密闭的水箱2，壳体1内设置有横隔板3和纵隔板4，将壳体内腔分隔成初次洗涤室5、二次洗涤室6和填料室7，二次洗涤室6设在初次洗涤室5上方，横隔板3中心开有通气口，横隔板3与壳体1间工作时形成水封，初次洗涤室5底部和填料室7底部与水箱2间工作时形成水封，壳体1顶端装有进气口8，进气口8通过进气管道9与初次洗涤室5下部相通，二次洗涤室6与填料室7通过通气管道10连通，初次洗涤室5内装有大流量喷嘴喷淋装置11，二次洗涤室6内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置12，填料室7的上部设置有填料室横隔板23，填料室横隔板23上有孔，填料室横隔板23下方的填料室7内充填有填料13，填料室7的顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置14，排泄锥喷嘴喷淋装置14下方设置有文丘里管16，文丘里管16底部与填料室横隔板23固定连接，填料室横隔板23在对应于文丘里管16的管口处还开设有与文丘里管16的管口相配的孔，通气管道10的进口在二次洗涤室6的上部、出口正对填料室7的排泄锥喷嘴喷淋装置14，填料室7的外部装有排气管道15，排气管道15的下端接入填料室7的下部，水箱2顶端装有向水箱2补水的补水口17、水箱2的底部装有排污口18和排净口19，初次洗涤室5下部装有通向壳体1外的溢流管道20，溢流管道20的溢流口高于初次洗涤室5的底面，壳体1外装有循环泵组21，循环泵组21的进水口通入水箱2液面下、出水口通过水管22与大流量喷嘴喷淋装置11、细雾高速喷嘴喷淋装置12及排泄锥喷嘴喷淋装置14相连，外延炉尾气净化器还具有PID控制器35、实时检测进气口8的负压情况的负压检测装置34和控制循环泵组21的电机的转速的变频器36，负压检测装置34安装在进气口8处，负压检测装置34接PID控制器35的输入端，变频器36接PID控制器35的输出端。在初次洗涤室5和二次洗涤室6的壳体1上开有检修口24。循环泵组21出水口处的水管22上还接有加药管25，加药管25上装有单向阀26。补水口17还通过补水管道27与初次洗涤室5相通，补水管道27上装有补水闸阀28。壳体1外还装有清洗设备外壳的冲洗喷嘴29，冲洗喷嘴29通过冲洗管道30与循环泵21的出水口相连，冲洗管道30上装有冲洗闸阀31。

Claims (5)

1.一种外延炉尾气净化器，具有壳体(1)，壳体(1)下方设置有密闭的水箱(2)，壳体(1)内设置有横隔板(3)和纵隔板(4)，将壳体内腔分隔成初次洗涤室(5)、二次洗涤室(6)和填料室(7)，二次洗涤室(6)设在初次洗涤室(5)上方，横隔板(3)中心开有通气口，横隔板(3)与壳体(1)间工作时形成水封，初次洗涤室(5)底部和填料室(7)底部与水箱(2)间工作时形成水封，壳体(1)顶端装有进气口(8)，进气口(8)通过进气管道(9)与初次洗涤室(5)下部相通，二次洗涤室(6)与填料室(7)通过通气管道(10)连通，初次洗涤室(5)内装有大流量喷嘴喷淋装置(11)，二次洗涤室(6)内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置(12)，填料室(7)的上部设置有填料室横隔板(23)，填料室横隔板(23)上有孔，填料室横隔板(23)下方的填料室(7)内充填有填料(13)，填料室(7)的顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置(14)，排泄锥喷嘴喷淋装置(14)下方设置有文丘里管(16)，文丘里管(16)底部与填料室横隔板(23)固定连接，填料室横隔板(23)在对应于文丘里管(16)的管口处还开设有与文丘里管(16)的管口相配的孔，通气管道(10)的进口在二次洗涤室(6)的上部、出口正对填料室(7)的排泄锥喷嘴喷淋装置(14)，填料室(7)的外部装有排气管道(15)，排气管道(15)的下端接入填料室(7)的下部，水箱(2)顶端装有向水箱(2)补水的补水口(17)、水箱(2)的底部装有排污口(18)和排净口(19)，初次洗涤室(5)下部装有通向壳体(1)外的溢流管道(20)，溢流管道(20)的溢流口高于初次洗涤室(5)的底面，壳体(1)外装有循环泵组(21)，循环泵组(21)的进水口通入水箱(2)液面下、出水口通过水管(22)与大流量喷嘴喷淋装置(11)、细雾高速喷嘴喷淋装置(12)及排泄锥喷嘴喷淋装置(14)相连，其特征是：还具有PID控制器(35)、实时检测进气口(8)的负压情况的负压检测装置(34)和控制循环泵组(21)的电机的转速的变频器(36)，负压检测装置(34)安装在进气口(8)处，负压检测装置(34)接PID控制器(35)的输入端，变频器(36)接PID控制器(35)的输出端。
2.根据权利要求1所述的外延炉尾气净化器，其特征是：在初次洗涤室(5)和二次洗涤室(6)的壳体(1)上开有检修口(24)。
3.根据权利要求1所述的外延炉尾气净化器，其特征是：所述的循环泵组(21)出水口处的水管(22)上还接有加药管(25)，加药管(25)上装有单向阀(26)。
4.根据权利要求1所述的外延炉尾气净化器，其特征是：所述的补水口(17)还通过补水管道(27)与初次洗涤室(5)相通，补水管道(27)上装有补水闸阀(28)。
5.根据权利要求1所述的外延炉尾气净化器，其特征是：所述的壳体(1)外还装有清洗设备外壳的冲洗喷嘴(29)，冲洗喷嘴(29)通过冲洗管道(30)与循环泵(21)的出水口相连，冲洗管道(30)上装有冲洗闸阀(31)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN103845992A (zh) * 2012-12-05 2014-06-11 常州恒威净化设备有限公司 废气净化器

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Assignor: Zhang Wenguang

Contract fulfillment period: 2009.3.10 to 2018.3.9

Contract record no.: 2009320000463

Denomination of utility model: Epitaxial furnace tail gas cleaner

Granted publication date: 20090408

License type: Exclusive license

Record date: 20090319

LIC Patent licence contract for exploitation submitted for record

Free format text: EXCLUSIVE LICENSE; TIME LIMIT OF IMPLEMENTING CONTACT: 2009.3.10 TO 2018.3.9; CHANGE OF CONTRACT

Name of requester: CHANGZHOU HENGWEI CLEANSE EQUIPMENT CO., LTD.

Effective date: 20090319

CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20090408