CN101254389B - 外延炉尾气净化器 - Google Patents

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本发明涉及一种废气处理装置,特别是涉及一种对Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器,它具有初次洗涤室、二次洗涤室和填料室,初次洗涤室内装有大流量喷嘴喷淋装置,二次洗涤室内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置,壳体顶端装有进气口,进气口通过进气管道通入初次洗涤室下部,填料室顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置和排气口,排泄锥喷嘴喷淋装置下方装有圆锥形管口。本发明结构紧凑、制作成本低、设备能耗低、运行成本低,废气净化效率高,废气处理效果好,设备检修方便,维护停机时间短,设备正常运行时间长,工艺稳定性好,安全可靠。

Description

外延炉尾气净化器
技术领域
[0001] 本发明涉及一种废气处理装置,特别是涉及一种对Epi、Ploy或PECVD化学气相沉 积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器。
背景技术
[0002] 在Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气中含有多种有毒废气,如SiHC3、HCl、 PH3等,这些有毒气体必须经过严格的处理达到排放标准后才能排入大气中。这些废气中有 的能与水反应,生成Si02o和HC1气体等,而HC1等气体和废气中的其他成份可以被水有效 吸收,因此,目前,美国、俄罗斯、日本等国大多采用水吸收型废气处理系统,采用水柱淋洗 废气和多孔填料吸收,大多吸收处理效果不理想,且为了抽出废气都会安装离心风机等抽 风设备,这样,尾气净化装置的体积相对较大,相应地设备的制作成本和运行成本也较高, 能源消耗出较大,设备价格昂贵。
发明内容
[0003] 本发明要解决的技术问题是:解决现有的尾气净化装置体积大、制作成本和运行 成本高、设备能耗大、进气口易堵塞等技术问题,本发明提供一种外延炉尾气净化器,它不
仅结构紧凑、制作成本低、设备能耗低、运行成本低,废气净化效率高、效果好,设备检修方 便。
[0004] 本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种外延炉尾气净化器,具有壳体, 壳体下方设置有密闭的水箱,壳体内设置有横隔板和纵隔板,将壳体内腔分隔成初次洗涤 室、二次洗涤室和填料室,二次洗涤室设在初次洗涤室上方,横隔板中心开有通气口 ,横隔 板与壳体间工作时形成水封,初次洗涤室底部和填料室底部与水箱间工作时形成水封,壳 体顶端装有进气口 ,进气口通过进气管道与初次洗涤室下部相通,二次洗涤室与填料室通 过通气管道连通,初次洗涤室内装有大流量喷嘴喷淋装置,二次洗涤室内装有多个细雾高 速喷嘴喷淋装置,填料室内充填有填料,填料室顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置和排气口 ,排 气口与排气管道相通,排气管道深入填料室下部,排泄锥喷嘴喷淋装置的下方装有圆锥形 管口 ,水箱的顶端装有向水箱补水的补水口 、底部装有排污口和排净口 ,初次洗涤室下部装 有通向壳体外的溢流管道,溢流管道的溢流口高于初次洗涤室的底面,壳体外装有循环泵, 循环泵的进水口通入水箱液面下、循环泵的出水口通过水管与大流量喷嘴喷淋装置、细雾 高速喷嘴喷淋装置及排泄锥喷嘴喷淋装置相连。
[0005] 外延炉尾气从进气口通过通气管通入初次洗涤室,在初次洗涤室中大流量喷嘴喷 淋装置对初次洗涤室进行涂布,清除尾气中的粗粒杂质和吸收部分废气,经过初次洗涤后 的废气通过通气口进入二次洗涤室,二次洗涤室内的细雾高速喷嘴喷淋装置对二次洗涤室 进行喷雾,确保有效清除废气中的杂质和酸性废气的中和吸收,最后废气进行填料室进行 最后的精细处理,进一步提高净化效率,排泄锥喷嘴喷淋装置对填料室进行喷淋,提高清洗 废气的效率,同时,根据文丘里原理,在排气口处形成负压,有利于废气排出。[0006] 在循环泵出水口与排泄锥喷嘴喷淋装置间相连通的水管上装有调压阀,用于调节 排泄锥喷嘴喷淋装置喷出的中和循环液的压力和流速,以调节排气口处的负压值,控制废 气排出速度。
[0007] 所述的进气管道顶端装有清渣机构,进气口装在进气管道上部,进气口与进气管 道内腔相连通,操作清渣机构,及时清除进气口粘结的Si02粉尘,可有效防止Si02粉尘将进 气口堵塞。
[0008] 所述的进气管道由上进气管和下进气管组成,清渣机构具有清渣棒、进水槽和上 盖,清渣棒下端有与清渣棒一体结构或固定连接的清渣活塞,清渣活塞圆周设置有外螺纹, 上进气管上部内壁设置有内螺纹段,清渣活塞与上进气管螺纹连接,上进气管上装有进气 口 ,上盖盖在进水槽上端、并与进水槽密封固定,上盖中心开有上进气管连接孔,上进气管 穿过上盖中心的上进气管连接孔,插入进水槽的下部,上进气管与上盖密封固定,进水槽底 部中心开有下进气管连接孔,下进气管上端插入进水槽底部的下进气管连接孔中,下进气 管与进水槽密封固定,进水槽上部开有斜进水口 ,斜进水口通过连接水管与水管连接。根据 生产工艺确定清渣机构工作的时间间隔,当需要清除进气口的粉尘时,先旋拧清渣棒,使清 渣活塞与上进气管分离后,将清渣活塞上下移动,以清除进气口处粘结的粉尘,清除完毕, 将清渣棒回旋至清渣活塞与上进气管连接位置,以免设备漏气。
[0009] 为便于安装,所述的上进气管分为上进气管上段和上进气管下段,进气口装在上 进气管上段上,上进气管上段下部外壁有凸环,上进气管下段上端有螺纹,上进气管上段和 上进气管下段通过连接螺母连接。上进气管上段相对于上进气管下段在360 °范围内旋转, 可根据需要将进气口转至适当的位置。
[0010] 为便于对初次洗涤室和二次洗涤室内的大流量喷嘴喷淋装置和细雾高速喷嘴喷 淋装置进行检修,在初次洗涤室和二次洗涤室的壳体上开有检修口。
[0011] 所述的补水口还通过补水管道与初次洗涤室相通,补水管道上装有补水闸阀。通 过补水管道对初次洗涤室进行补水,这样一来可以使初次洗涤室清除的部分粗粒杂质随着 泡沫从溢流口排出,二来防止中和循环液饱和。
[0012] 所述的壳体外还装有清洗设备外壳的冲洗喷嘴,冲洗喷嘴通过冲洗管道与循环泵 的出水口相连,冲洗管道上装有冲洗闸阀,根据需要打开冲洗闸阀对设备外壳进行冲洗。 [0013] 本发明的有益效果是,本发明的外延炉尾气净化器结构紧凑、制作成本低、设备能 耗低、运行成本低,,废气净化效率高,废气处理效果好,Si02粉尘去除率达100% ,水溶性气 体的清除率^ 99. 9%,处理后HC1废气在外延炉尾气净化器排放口在l卯m以下,设备检修 方便,维护停机时间短,设备正常运行时间长,工艺稳定性好,安全可靠。
附图说明
[0014] 下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。 [0015] 图1是本发明的外延炉尾气净化器的结构示意图。 [0016] 图2是本发明中的清渣机构的结构示意图。
[0017] 图中:1壳体,2.水箱,3.横隔板,4.纵隔板,5.初次洗涤室,6. 二次洗涤室,7.填 料室,8.进气口,9.进气管道,9-1.上进气管,9-1-1.上进气管上段,9-1-1-1.凸环,9-1-2. 上进气管下段,9-2.下进气管,9-3.连接螺母,IO.通气管道,ll.大流量喷嘴喷淋装置,12.细雾高速喷嘴喷淋装置,13.填料,14.排泄锥喷嘴喷淋装置,15.排气口,16.圆锥形管 口,17.补水口,18.排污口,19.排净口,20.溢流管道,21.循环泵,22.水管,23.调速阀, 24.检修口,25.加药管,26.单向阀,27.补水管道,28.补水闸阀,29.冲洗喷嘴,30.冲洗 管道,31.冲洗闸阀,32.清渣机构,32-1.清渣棒,32-2.进水槽,32_2_1.下进气管连接孔, 32-2-2.斜进水口,32-3.上盖,32-3-1.上进气管连接孔,32-4.清渣活塞,33.连接水管。
具体实施方式
[0018] 如图1和图2所示的本发明的外延炉尾气净化器,具有壳体l,壳体1下方设置有 密闭的水箱2,壳体1内设置有横隔板3和纵隔板4,将壳体内腔分隔成初次洗涤室5、二次 洗涤室6和填料室7, 二次洗涤室6设在初次洗涤室5上方,在初次洗涤室5和二次洗涤室 6的壳体1上开有检修口 24,横隔板3中心开有通气口,横隔板3与壳体1间工作时形成水 封,初次洗涤室5底部和填料室7底部与水箱2间工作时形成水封,壳体1顶端装有进气口 8,进气口 8处装有清渣机构32,清渣机构32清除粘在进气口 8处的粉尘,防止进气口 8堵 塞,进气口 8通过进气管道9与初次洗涤室5下部相通,进气管道9顶端装有清渣机构32, 进气管道9由上进气管9-1和下进气管9-2组成,上进气管9-1分为上进气管上段9-1-1 和上进气管下段9-l-2,进气口 8装在上进气管上段9-1-1上、并与上进气管上段9-1-1内 腔相通,上进气管上段9-1-1下部外壁有凸环9-1-1-1 ,上进气管下段9-1-2上端有螺纹,上 进气管上段9-1-1和上进气管下段9-1-2通过连接螺母9-3连接。清渣机构32具有清渣 棒32-1 、进水槽32-2和上盖32-3,清渣棒32_1下端有与清渣棒32_1 —体结构的清渣活塞 32-4,清渣活塞32-4圆周设置有外螺纹,上进气管上段9-1-1上部内壁设置有内螺纹段,清 渣活塞32-4与上进气管上段9-1-1螺纹连接,上盖32-3盖在进水槽32_2上端、并与进水 槽32-2密封固定,上盖32-3中心开有上进气管连接孔32-3-1 ,上进气管下段9_1_2穿过上 盖32-3中心的上进气管连接孔32-3-1 ,插入进水槽32-2的下部,上进气管下段9_1_2与上 盖32-3密封固定,进水槽32-2底部中心开有下进气管连接孔32-2-1 ,下进气管9_2上端插 入进水槽32-2底部的下进气管连接孔32-2-1中,下进气管9-2与进水槽32_2密封固定, 进水槽32-2上部开有斜进水口 32-2-2,斜进水口 32_2_2通过连接水管33与水管22连接, 二次洗涤室6与填料室7通过通气管道10连通,初次洗涤室5内装有大流量喷嘴喷淋装置 11,二次洗涤室6内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置12,填料室7内充填有填料13,填料室 7的顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置14和排气口 15,排气口 15与排气管道相通,排气管道深 入填料室7的下部,排泄锥喷嘴喷淋装置14下方装有圆锥形管口 16,水箱2顶端装有向水 箱2补水的补水口 17、水箱2的底部装有排污口 18和排净口 19,初次洗涤室5下部装有通 向壳体1外的溢流管道20,溢流管道20的溢流口高于初次洗涤室5的底面,壳体1外装有 循环泵21,循环泵21的进水口通入水箱2液面下、出水口通过水管22与大流量喷嘴喷淋装 置11、细雾高速喷嘴喷淋装置12及排泄锥喷嘴喷淋装置14相连,在循环泵21的出水口与 排泄锥喷嘴喷淋装置14间相连通的水管22上装有调速阀23,循环泵21出水口处的水管 22上还接有加药管25,加药管25上装有单向阀26,补水口 17还通过补水管道27与初次 洗涤室5相通,补水管道27上装有补水闸阀28,壳体1外还装有清洗设备外壳的冲洗喷嘴 29,冲洗喷嘴29通过冲洗管道30与循环泵21的出水口相连,冲洗管道30上装有冲洗闸阀 31。

Claims (9)

  1. 一种外延炉尾气净化器,其特征是:具有壳体(1),壳体(1)下方设置有密闭的水箱(2),壳体(1)内设置有横隔板(3)和纵隔板(4),将壳体内腔分隔成初次洗涤室(5)、二次洗涤室(6)和填料室(7),二次洗涤室(6)设在初次洗涤室(5)上方,横隔板(3)中心开有通气口,横隔板(3)与壳体(1)间工作时形成水封,初次洗涤室(5)底部和填料室(7)底部与水箱(2)间工作时形成水封,壳体(1)顶端装有进气口(8),进气口(8)通过进气管道(9)与初次洗涤室(5)下部相通,二次洗涤室(6)与填料室(7)通过通气管道(10)连通,通气管道(10)的进口在二次洗涤室(6)的上部、出口在填料室(7)的下部,初次洗涤室(5)内装有大流量喷嘴喷淋装置(11),二次洗涤室(6)内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置(12),填料室(7)内充填有填料(13),填料室(7)的顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置(14)和排气口(15),排泄锥喷嘴喷淋装置(14)下方装有圆锥形管口(16),水箱(2)顶端装有向水箱(2)补水的补水口(17)、水箱(2)的底部装有排污口(18)和排净口(19),初次洗涤室(5)下部装有通向壳体(1)外的溢流管道(20),溢流管道(20)的溢流口高于初次洗涤室(5)的底面,壳体(1)外装有循环泵(21),循环泵(21)的进水口通入水箱(2)液面下、出水口通过水管(22)与大流量喷嘴喷淋装置(11)、细雾高速喷嘴喷淋装置(12)及排泄锥喷嘴喷淋装置(14)相连。
  2. 2. 根据权利要求l所述的外延炉尾气净化器,其特征是:在循环泵(21)的出水口与排 泄锥喷嘴喷淋装置(14)间相连通的水管(22)上装有调速阀(23)。
  3. 3. 根据权利要求1或2所述的外延炉尾气净化器,其特征是:所述的进气管道(9)顶 端装有清渣机构(32),进气口 (8)装在进气管道(9)上部,进气口 (8)与进气管道(9)内腔 相连通。
  4. 4. 根据权利要求3所述的外延炉尾气净化器,其特征是:所述的进气管道(9)由上 进气管(9-1)和下进气管(9-2)组成,清渣机构(32)具有清渣棒(32-1)、进水槽(32-2) 和上盖(32-3),清渣棒(32-1)下端有与清渣棒(32-1) —体结构或固定连接的清渣活塞 (32-4),清渣活塞(32-4)圆周设置有外螺纹,上进气管(9-1)上部内壁设置有内螺纹段,清 渣活塞(32-4)与上进气管(9-1)螺纹连接,上进气管(9-1)上装有进气口 (8),上盖(32-3) 盖在进水槽(32-2)上端、并与进水槽(32-2)密封固定,上盖(32-3)中心开有上进气管连 接孔(32-3-1),上进气管(9-1)穿过上盖(32-3)中心的上进气管连接孔(32_3_1),插入进 水槽(32-2)的下部,上进气管(9-1)与上盖(32-3)密封固定,进水槽(32-2)底部中心开 有下进气管连接孔(32-2-1),下进气管(9-2)上端插入进水槽(32-2)底部的下进气管连接 孔(32-2-1)中,下进气管(9-2)与进水槽(32-2)密封固定,进水槽(32-2)上部开有斜进 水口 (32-2-2),斜进水口 (32-2-2)通过连接水管(33)与水管(22)连接。
  5. 5. 根据权利要求4所述的外延炉尾气净化器,其特征是:所述的上进气管(9-1)分为 上进气管上段(9-1-1)和上进气管下段(9-1-2),进气口 (8)装在上进气管上段(9-1-1) 上,上进气管上段(9-1-1)下部外壁有凸环(9-1-1-1),上进气管下段(9-1-2)上端有螺纹, 上进气管上段(9-1-1)和上进气管下段(9-1-2)通过连接螺母(9-3)连接。
  6. 6. 根据权利要求1所述的外延炉尾气净化器,其特征是:在初次洗涤室(5)和二次洗 涤室(6)的壳体(1)上开有检修口 (24)。
  7. 7. 根据权利要求l所述的外延炉尾气净化器,其特征是:所述的循环泵(21)出水口处 的水管(22)上还接有加药管(25),加药管(25)上装有单向阀(26)。
  8. 8. 根据权利要求l所述的外延炉尾气净化器,其特征是:所述的补水口 (17)还通过补水管道(27)与初次洗涤室(5)相通,补水管道(27)上装有补水闸阀(28)。
  9. 9. 根据权利要求1所述的外延炉尾气净化器,其特征是:所述的壳体(1)外还装有清 洗设备外壳的冲洗喷嘴(29),冲洗喷嘴(29)通过冲洗管道(30)与循环泵(21)的出水口相 连,冲洗管道(30)上装有冲洗闸阀(31)。
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Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C10 Entry into substantive examination
GR01 Patent grant
C14 Grant of patent or utility model
EE01 Entry into force of recordation of patent licensing contract

Assignee: Changzhou Hengwei Purifying Equipment Co., Ltd.

Assignor: Zhang Wenguang

Contract record no.: 2012320000374

Denomination of invention: Epitaxial furnace tail gas cleaner

Granted publication date: 20100602

License type: Exclusive License

Open date: 20080903

Record date: 20120401