CN201186950Y

CN201186950Y - 基板载具

Info

Publication number: CN201186950Y
Application number: CNU2008200061062U
Authority: CN
Inventors: 黄泳钊; 郑博仁
Original assignee: BEIRU PRECISION Co Ltd
Current assignee: BEIRU PRECISION Co Ltd; Bay Zu Precision Co Ltd
Priority date: 2008-02-03
Filing date: 2008-02-03
Publication date: 2009-01-28
Anticipated expiration: 2018-02-03

Abstract

本实用新型公开了一种基板载具，可供数片基板架设，该基板载具包括一承载板，该承载板包括一第一面、一第二面，以及数个贯穿第一及第二面并界定出一穿孔的孔界定面；而该基板载具还包括数量和穿孔相同的夹持单元，以及一个安装在承载板上并遮闭夹持单元的挡板单元，每个夹持单元都包括：一安装在承载板上并位在穿孔上缘处的弹扣件，以及一个安装在承载板上并位在穿孔下缘处的承载件。借弹扣件及承载件来架设基板，可以让基板在组装及取下时更为方便，而借挡板单元设计，可以避免夹持单元沾附溅镀材料后污染下一片载运的基板，以确保基板的洁净度。

Description

基板载具

技术领域

本实用新型涉及一种基板载具，特别是涉及一种可供数片基板架设，并将基板一起送入加工机内进行加工的基板载具。

背景技术

以往连续式真空溅镀设备为了达到连续加工的目的，通常是利用一种如图1、2的基板载具1来载运基板10。上述基板载具1包括一片矩形的承载板11，以及数个数量和载运基板10相同的定位单元12。该承载板11具有一个朝向溅镀设备的第一面111、一个和第一面111间隔的第二面112，以及数个贯穿第一及第二面111、112且各别界定出一个穿孔113的孔界定面114，每个孔界定面114都具有一环往中央突出并邻近第二面112的抵靠突环115，而所述定位单元12都包括数片贴靠在承载板11的第一面111的定位片121，以及数支将定位片121安装在承载板11上的螺丝122，上述定位片121具有一个往穿孔113突出的定位部123。

组装时先将基板10摆放在承载板11的穿孔113处，摆放后该基板10的一个背面会贴靠在抵靠突环115的前方，而该基板10的一加工面是和承载板11的第一面111平齐，然后以螺丝122将定位片121安装在承载板11上，安装后所述定位片121的定位部123会往基板10突出，并因此将基板10架设在该承载板11上。

以往基板载具1以螺丝122将基板10以可拆解的方式安装承载板11上的设计，虽然具有架设基板10的功能，但在使用时却具有下述缺失：

一、以往基板载具1在组装及取下基板10的作业上，必需多次的螺转螺丝122，故在组装及拆解基板10的操作上很麻烦。

二、以往基板载具1是以定位单元12将基板10安装在承载板11上，在安装后所述定位片121会一起随着基板10送入溅镀室进行溅镀加工，在接受溅镀加工时，虽然溅镀的区域是以基板10为主，但由于定位片121需要压抵定位基板10并且很靠近基板10，因此，在溅镀时溅镀材料难免会附着在定位片121及螺丝122上，这些附着有溅镀材料的定位片121由于需要重复再使用，且在使用时各定位片121会直接压靠在基板10的加工面上，因此，当定位片121上的溅镀材料沾黏在下一片基板10的加工面上时，会造成基板10洁净度的下降，这样对于基板10的溅镀品质多少会有影响。

三、以往基板载具1的唯一功能是承载基板10，也就是基板载具1缺乏辨识性，因此，当基板10需要经过多次加工时，操作人员往往无法由基板载具1外观辨识出架设其上的基板10的加工状况，造成检验及辨别上的不方便。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是在提供一种组卸基板方便、快速，并可防止载运的基板受到污染的基板载具。

本实用新型的次要目的是在提供一种具有辨识功能的基板载具。

本实用新型的基板载具，用来承载至少一片基板，包括：一片承载板，以及一个第一夹持单元，该承载板包括一第一面、一第二面，以及一个贯穿第一及第二面并界定出一第一穿孔的孔界定面。

本实用新型的特征在于：该第一夹持单元包括一个安装在第一穿孔上缘处并用来夹持基板顶缘的弹扣件，以及一个安装在第一穿孔下缘处并用来承载基板的承载件，而该基板载具还包括一个安装在承载板上并用来遮盖所述第一夹持单元的挡板单元。

而本实用新型的次要特征在于：该承载板还包括数个贯穿第一面及第二面的辨识孔，又该基板载具还包括数个可取下地安装在所述辨识孔上的辨识件。

本实用新型的有益功效在于：借弹扣件及承载件来架设基板，可以达到组装及取下基板简单的功效，而借挡板单元的设计，可以避免夹持单元受到溅镀材料污染后再度污染下一片载运的基板，本实用新型的辨识孔及辨识件的设计，可以使基板的加工情况及检验更容易掌握。

附图说明

图1是一种以往基板载具的正视参考图；

图2是沿图1中2-2线所取的一组合剖视图；

图3是本实用新型基板载具的一较佳实施例的立体分解参考图；

图4是该较佳实施例的一局部组合剖视图；

图5是该较佳实施例的一局部立体放大图，主要显示该基板载具的一弹扣件：

图6是该较佳实施例的另一局部立体放大图，主要显示该基板载具的一承载件；

及

图7是该较佳实施例的又一局部立体放大图，主要显示该基板载具的一辨识单元。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明：

参阅图3、4、5，本实用新型基板载具的一较佳实施例是可供数片基板2以可拆卸的方式安装，图3中显示的基板2数量为6个，而该基板载具包括：一片矩形的承载板3，上述承载板3包括一个第一面31、一个和第一面31间隔的第二面32、三个左右间隔并贯穿第一及第二面31、32且各别界定出一个第一穿孔33的孔界定面34、三个左右间隔并贯穿第一及第二面31、32且各别界定出一个第二穿孔35的孔界定面，以及数个贯通第一及第二面31、32并位在板体右下角的辨识孔36，其中第二穿孔35都位在第一穿孔33的正下方。

又本实施例的第一面31具有3个分别位在第一穿孔33中央上方的第一凹部311、六个位在第一穿孔33下方的第二凹部312、三个位在第二穿孔35上缘处的第三凹部313、六个位在第二穿孔35下方的第四凹部314，以及数个分别位在第一及第二穿孔33、35左右两侧的手伸凹缘315，所述凹部311～314都邻近第一或第二穿孔33、35。

本实施例的基板载具还包括三个对应第一穿孔33的第一夹持单元4、三个对应第二穿孔35的第二夹持单元4’、一个可拆解地安装在承载板3的第一面31上并用来遮闭夹持单元4、4’的挡板单元5，以及一个辨识单元6。

本实施例的每个第一夹持单元4都包括：一个弹扣件41、一支将弹扣件41以可拆解方式安装在第一凹部311内的第一螺丝42、两个承载件43，以及数支分别将承载件43以可拆解方式安装在第二凹部312内的第二螺丝44。该弹扣件41具有一片贴靠在第一凹部311内并供第一螺丝42穿过的固定部411、一片由固定部411底缘往前延伸的固连部412、一片由固连部412的一端往下倾斜的弹连部413，以及一个由弹连部413末端往第一穿孔33延伸的弹夹部414，所述弹夹部414具有两片前后间隔的弹片415，以及一个介于弹片415间且开口朝下的夹槽416。

参阅图3、4、6，本实施例的承载件43具有一片贴靠在第二凹部312内并供第二螺丝44穿过的固定部431，以及一个由固定部431顶缘往第一穿孔33方向突出的承载部432，上述承载部432具有一个开口朝上的承载槽434。本实施例的第二夹持单元4’是组装在承载板3的第三及第四凹部313、314内，但其构造和第一夹持单元4相同，不再赘述。

本实施例的挡板单元5包括三片遮盖承载板3的第一凹部311的第一挡板51、三片遮盖承载板3的第二及第三凹部312、313的第二挡板52、三片遮盖承载板3的第四凹部314的第三挡板53，以及数支将挡板51、52、53以可拆解方式安装在承载板3的第一面31上的第三螺丝54。所述第一挡板51位在第一穿孔33的上方，第二挡板52是位在第一及第二穿孔33、35间。上述第三挡板53是位在第二穿孔35的下缘。

参阅图3、7，本实施例的辨识单元6是包括数个可取下地插设在承载板3的辨识孔36处的辨识件61，借由辨识件61插设在不同辨识孔36内，可以达到区别基板载具的目的。也就是说，本实施例的基板载具可以和一台辨识机配合，利用光线是否可以穿透辨识孔36以及穿过辨识孔36的位置的不同，来达到辨识基板2编号的目的。

参阅图3、4、6，本实施例的基板载具在使用时，先在第一及第三凹部311、313处分别安装一个弹扣件41，在各个第二及第四凹部312、314处分别组装一个承载件43，组装后各个弹扣件41的夹槽415会朝下，而承载件43的承载槽434会朝上，并且和夹槽415上下对应。然后利用第三螺丝54将各片挡板51、52、53安装在凹部311～314的前方，就完成组合。而该等辨识件61是依预备加工基板2的加工情况选择地插设在预定的辨识孔36上。当基板2要组装在基板载具上时，先将基板2由下往上地先夹套在弹扣件41的夹槽416后，再利用基板2将弹扣件41往上推，并使基板2的底缘靠放在承载件43的承载槽434内，就完成基板2的组装作业。

当本实施例的基板载具承载数片基板2并往溅镀室移送，以接受溅镀加工时，溅镀材料是往承载板3的第一面31溅射，并附着在基板2前方的加工面上，加工后操作人员的手指可由位在第一及第二穿孔33、35两侧的手伸凹缘315伸到基板2的背面，就可以方便地将基板2取下。

由以上说明可知，本实用新型该基板载具的设计确实具有以下功效：

一、本实用新型的基板载具在使用时，由于是以弹扣件41及承载件43来夹持基板2，故在安装及取下基板2的操作上较以往基板载具简单、快速。

二、本实施例的基板载具在载运基板2进入溅镀室后，虽然位在基板2周缘的元件都可能沾到溅镀材料，但会沾到溅镀材料的元件是遮挡在各夹持单元4、4’前方的挡板51～53。前述挡板51～53由于在基板载具重复使用的过程中并不会和基板2接触，而和基板2会有接触关系的弹扣件41及承载件43则是受到所述挡板51～53的保护不易沾附溅镀材料，因此，本实用新型在重复使用时，可以避免溅镀材料污染载运的基板2，以确保载运基板2的洁净度及加工品质。

三、本实用新型在承载板3上设置辨识孔36，并配合辨识单元6的设计，可以根据基板2加工状态在基板载具上设置辨识记号，使得基板2在加工过程能够轻易地辨识加工情况，同时也具有检验方便的功效。

Claims

1.一种基板载具，用来承载至少一片基板，包括：一片承载板，以及一个第一夹持单元，该承载板包括一第一面、一第二面，以及一个贯穿第一及第二面并界定出一第一穿孔的孔界定面；

其特征在于：该第一夹持单元包括一个安装在第一穿孔上缘处并用来夹持基板顶缘的弹扣件，以及一个安装在第一穿孔下缘处并用来承载基板的承载件，而该基板载具还包括一个安装在承载板上并用来遮盖所述第一夹持单元的挡板单元。

2.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于：该弹扣件具有一个借一第一螺丝固定地安装在承载板上的固定部、一个和固定部连接的固连部、一个和固连部连接并往第一穿孔方向延伸的弹连部，以及一个和弹连部接连并形成一夹槽的弹夹部。

3.如权利要求1或2所述的基板载具，其特征在于：该承载件具有一个借一第二螺丝固定在承载板的第一面上的固定部，以及一个具有一供基板底缘架设的承载槽的承载部。

4.如权利要求3所述的基板载具，其特征在于：该承载板的第一面上具有一个对应该弹扣件的第一凹部，以及一个对应承载件的第二凹部。

5.如权利要求4所述的基板载具，其特征在于：该挡板单元包括一片遮盖该第一凹部的第一挡板，以及一片遮盖承载板的第二凹部的第二挡板。

6.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于：该承载板的第一面上具有两个分别位在第一穿孔左右两侧的手伸凹缘。

7.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于：该承载板还具有一个界定出一第二穿孔的孔界定面，上述第二穿孔位在第一穿孔的下方，而该承载板的第一面具有一个位在第一穿孔上缘处的第一凹部、一个位在第一穿孔下缘处的第二凹部、一个位在第二穿孔的上缘处的第三凹部，以及两个位在第二穿孔的下缘处的第四凹部，又该基板载具还包括一个第二夹持单元，上述第二夹持单元包括一个安装在第三凹部内的弹扣件，以及两个安装在第四凹部内的承载件，而该挡板单元包括一片遮盖该第一凹部的第一挡板、一片遮盖第二及第三凹部的第二挡板，以及一片遮盖第四凹部的第三挡板。

8.如权利要求1或7所述的基板载具，其特征在于：该承载板还包括数个贯穿第一面及第二面的辨识孔，又该基板载具还包括至少一个可组装及拆卸地安装在所述辨识孔上的辨识件。