CN107881479B - 一种基片架 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基片架，包括框架，框架设有装载玻璃基片的区域，该区域设有至少一个二面固定结构；二面固定结构包括位于下部的支座和位于上部的弹性支撑件；支座设有前后两个并列设置的定位部，该定位部用于限位玻璃基板的一边，弹性支撑件设有前后两个并列设置的弹性件，该弹性件用于弹性限位所述的玻璃基板的一边所相对的另一边。本发明通过将基片架一面装取改为前后二面装取，装载量为现有技术的两倍，极大地提高生产效率，减少了人力、物力和溅射工艺消耗的能源，大大降低生产成本。

Description

一种基片架
技术领域
本发明涉及玻璃真空镀膜生产线领域，特别涉及一种基片架。
背景技术
目前，市场上所生产的镀膜玻璃一般采用真空磁控溅射的方式，基片架的宽度受限于真空镀膜生产线的工作仓室的宽度。
基片架的作用为，用于承载玻璃基片进行镀膜。在对玻璃基片进行真空镀膜作业中，需要一个基片架用于固定玻璃基片并传载至真空镀膜生产线中。
目前，在镀膜行业内比较常用的是按照玻璃基片的尺寸制作四周包围式的基片架，可以对固定尺寸的玻璃基片进行镀膜，但目前只能进行一面装玻璃基片，且受限于真空镀膜生产线的工作宽度，基片架无法做的较宽，否则基片架无法进入真空镀膜生产线，因此如何在具有宽度要求下，实现两面装玻璃基片，目前还没有可供参考的方案，需要重点加以研究。
由于二面装玻璃基片的生产效率几乎是一面装玻璃基片的两倍，所以该项技术研究对于真空镀膜具有重要意义。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种玻璃基片，能够进行二面装玻璃基片。
本发明解决上述问题所采用的技术方案为：一种基片架，包括框架，所述框架设有装载玻璃基片的区域，该区域设有至少一个二面固定结构；二面固定结构包括位于下部的支座和位于上部的弹性支撑件，或者，二面固定结构包括位于下部的弹性支撑件和位于上部的支座；所述支座设有前后两个并列设置的定位部，所述定位部用于限位玻璃基板的一边，所述弹性支撑件设有前后两个并列设置的弹性件，所述弹性件用于弹性限位所述的玻璃基板的一边所相对的另一边。
优选的，还包括隔板，所述隔板用于分隔由二面固定结构装载的两块所述玻璃基板，这样，所装载的前后两块玻璃基板在溅射镀膜时相互不影响。
优选的，所述隔板由四边构成，分别为上边、下边、左边和右边；当二面固定结构包括位于下部的所述支座和位于上部的所述弹性支撑件时，所述上边用于分隔前后两个并列设置的定位部，所述下边用于分隔前后两个并列设置的弹性件；当二面固定结构包括位于下部的所述弹性支撑件和位于上部的所述支座时，所述上边用于分隔前后两个并列设置的所述弹性件，所述下边用于分隔前后两个并列设置的所述定位部，这样，隔板结构极为简化、重量轻，且与其它相关结构配合使用，使得整体结构极为紧凑。
优选的，所述上边和所述下边均设有操作孔，所述操作孔均位于所述上边和所述下边的中部，这样，不用卸下基片架就能够拆装玻璃基片，极大提高生产效率。
优选的，所述支座和所述弹性支撑件均为两个，且均分别位于所述操作孔的两侧，这样，一方面支座和弹性支撑件结构可以较为小巧，支座、弹性支撑件及隔板装配完毕后，整体结构极为紧凑，另一方面对玻璃基片固定受力均衡。
优选的，所述框架包括外框，所述外框内安装有横梁，上下相邻所述横梁之间、或者所述横梁与上边框或下边框之间设有若干竖直设置的分隔条，所述分隔条将上下相邻横梁之间的区域分隔成多个区块，每个区块设有二面固定结构，每个区块用于装载两片所述玻璃基板，这样，一方面，结构较为简单，采用现有的型材即可制得，成本低，且装配方便，同时也便于日后拆卸进行抛丸清洁，非常适用于溅射镀膜工艺要求，另一方面，装载玻璃基片的区域分布合理，装载量极大提高，从而使生产效率得到极大提高。
优选的，所述外框的左右边框均设有调节孔，所述横梁左右端可沿所述调节孔上下移动调节，且调节后，所述横梁左右端与所述调节孔可拆式固定，这样，适用于不同高度的玻璃基片，使用更加灵活。
优选的，所述分隔条可左右移动调节，且所述分隔条的上下端与所述横梁或所述上边框或所述下边框可拆式连接，这样，适用于不同宽度的玻璃基片，使用更加灵活。
优选的，所述定位部为槽；所述弹性件为弹片，这样，结构简单，加工装配方便，稳定性和可靠性在溅射工艺环境下很高，即可长期使用，维护成本低。
优选的，所述框架设有用于与磁导架连接的连接结构，这样，可用于磁导架输送线，使本发明在生产线上流转更为便利。
与现有技术相比，本发明的优点在于：通过将基片架一面装取改为前后二面装取，装载量为现有技术的两倍，极大地提高生产效率，减少了人力、物力和溅射工艺消耗的能源，大大降低生产成本。
附图说明
图1为本发明结构基片架示意图。
图2为支座俯视图。
图3为弹性支撑件仰视图。
图中标号说明：1、支座，2、弹性支撑件，3、定位部，4、弹性件，5、玻璃基板，6、上边，7、下边，8、左边，9、右边，10、操作孔，11、外框，12、横梁，13、上边框，14、下边框，15、分隔条，16、调节孔，17、磁导架。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的实施例作进一步描述。
如图1-3所示，本实施例涉及一种基片架，包括框架，框架设有装载玻璃基片的区域，该区域设有至少一个二面固定结构。二面固定结构包括位于下部的支座1和位于上部的弹性支撑件2；或者，二面固定结构包括位于下部的弹性支撑件2和位于上部的支座1；支座1设有前后两个并列设置的定位部3，该定位部3用于限位玻璃基板5的一边，弹性支撑件2设有前后两个并列设置的弹性件4，该弹性件4用于弹性限位的玻璃基板5的一边所相对的另一边。
其中，定位部3为槽；弹性件4为弹片，这样设计结构简单，加工装配方便，稳定性和可靠性在溅射工艺环境下很高，即可长期使用，维护成本低。
本实施例基片架还包括隔板，该隔板用于分隔由二面固定结构装载的两块玻璃基板5，这样，所装载的前后两块玻璃基板5在溅射镀膜时相互不影响。
隔板由四边构成，分别为上边6、下边7、左边8和右边9。当二面固定结构包括位于下部的支座1和位于上部的弹性支撑件2时，上边6用于分隔前后两个并列设置的定位部3，下边7用于分隔前后两个并列设置的弹性件4。当二面固定结构包括位于下部的弹性支撑件2和位于上部的支座1时，上边6用于分隔前后两个并列设置的弹性件4，下边7用于分隔前后两个并列设置的定位部3。这样设计，隔板结构极为简化、重量轻，且与其它相关结构配合使用，使得整体结构极为紧凑。
上边6和下边7均设有操作孔10，操作孔10均位于上边6和下边7的中部，这样，不用卸下基片架就能够拆装玻璃基片，极大提高生产效率。
支座1和弹性支撑件2均为两个，且均分别位于操作孔10的两侧。这样，一方面支座1和弹性支撑件2结构可以较为小巧，支座1、弹性支撑件2及隔板装配完毕后，整体结构极为紧凑，另一方面对玻璃基片固定受力均衡。
本实施例的基片架框架包括外框11，外框11内安装有横梁12，上下相邻横梁12之间、或者横梁12与上边框13或下边框14之间设有若干竖直设置的分隔条15，分隔条15将上下相邻横梁12之间的区域分隔成多个区块，每个区块设有二面固定结构，每个区块用于装载两片玻璃基板5。这样，一方面，结构较为简单，采用现有的型材即可制得，成本低，且装配方便，同时也便于日后拆卸进行抛丸清洁，非常适用于溅射镀膜工艺要求，另一方面，装载玻璃基片的区域分布合理，装载量极大提高，从而使生产效率得到极大提高。
其中，分隔条15可左右移动调节，且分隔条15的上下端与横梁12或上边框13或下边框14可拆式连接，这样，适用于不同宽度的玻璃基片，使用更加灵活。分隔条15可以使用不锈钢材质。
为了适用于不同高度的玻璃基片，使用更加灵活，在外框11的左右边框均设有调节孔16。这样横梁12左右端可沿调节孔16上下移动调节，且调节后，横梁12左右端与调节孔16可拆式固定。
为了让本实施例的基片架能在生产线上流转更加便利，可在框架上设有用于与磁导架17连接的连接结构，通过磁导架17形成一条输送线，进行批量生产操作。
本实施例的基片架运用到实际生产装取过程中，可通过20台基片架循环装取玻璃基片，每台基片架均通过导杆进行传动连接，实现流水线生产。工人只需在固定的装取位置进行取出生产好的玻璃基片，再将未加工的玻璃基片安装到基片架上，此过程大约历时100秒。安装好的基片架通过导杆进行传递到加工区，加工区将加工好的玻璃基片再传递出来，工人再进行换取新的玻璃基板进行加工，实行循环生产加工玻璃基板。在实际生产过程中，装取玻璃基板需带手套，因为加工好后的基片架温度在100℃左右，温度过高烫手。在制作过程中，需在真空、400℃环境下进行。
本发明的有益效果：通过将基片架一面装取改为前后二面装取，装载量为现有技术的两倍，极大地提高生产效率，减少了人力、物力和溅射工艺消耗的能源，大大降低生产成本。
上述说明示出并描述了本发明的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。

Claims (7)

1.一种基片架，包括框架，所述框架设有装载玻璃基片的区域，其特征在于：该区域设有至少一个二面固定结构；二面固定结构包括位于下部的支座(1)和位于上部的弹性支撑件(2)，或者，二面固定结构包括位于下部的弹性支撑件(2)和位于上部的支座(1)；所述支座(1)设有前后两个并列设置的定位部(3)，所述定位部(3)用于限位玻璃基板(5)的一边，所述弹性支撑件(2)设有前后两个并列设置的弹性件(4)，所述弹性件(4)用于弹性限位所述的玻璃基板(5)的一边所相对的另一边；
还包括隔板，所述隔板用于分隔由二面固定结构装载的两块所述玻璃基板(5)；
所述隔板由四边构成，分别为上边(6)、下边(7)、左边(8)和右边(9)；当二面固定结构包括位于下部的所述支座(1)和位于上部的所述弹性支撑件(2)时，所述上边(6)用于分隔前后两个并列设置的所述定位部(3)，所述下边(7)用于分隔前后两个并列设置的所述弹性件(4)；当二面固定结构包括位于下部的所述弹性支撑件(2)和位于上部的所述支座(1)时，所述上边(6)用于分隔前后两个并列设置的所述弹性件(4)，所述下边(7)用于分隔前后两个并列设置的所述定位部(3)；
所述框架设有用于与磁导架(17)连接的连接结构，所述连接结构为导杆。
2.根据权利要求1所述的基片架，其特征在于：所述上边(6)和所述下边(7)均设有操作孔(10)，所述操作孔(10)均位于所述上边(6)和所述下边(7)的中部。
3.根据权利要求2所述的基片架，其特征在于：所述支座(1)和所述弹性支撑件(2)均为两个，且均分别位于所述操作孔(10)的两侧。
4.根据权利要求1所述的基片架，其特征在于：所述框架包括外框(11)，所述外框(11)内安装有横梁(12)，上下相邻所述横梁(12)之间、或者所述横梁(12)与上边框(13)或下边框(14)之间设有若干竖直设置的分隔条(15)，所述分隔条(15)将上下相邻所述横梁(12)之间的区域分隔成多个区块，每个区块设有二面固定结构，每个区块用于装载两片所述玻璃基板(5)。
5.根据权利要求4所述的基片架，其特征在于：所述外框(11)的左右边框均设有调节孔(16)，所述横梁(12)左右端可沿所述调节孔(16)上下移动调节，且调节后，所述横梁(12)左右端与所述调节孔(16)可拆式固定。
6.根据权利要求4所述的基片架，其特征在于：所述分隔条(15)可左右移动调节，且所述分隔条(15)的上下端与所述横梁(12)或所述上边框(13)或所述下边框(14)可拆式连接。
7.根据权利要求1所述的基片架，其特征在于：所述定位部(3)为槽；所述弹性件(4)为弹片。
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