CN201183291Y - 硅晶棒粘棒台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种硅晶棒粘棒台，它是将硅晶棒粘接到切割机的晶棒托上，然后在切割机床上切割成硅晶片的工装夹具。硅晶棒粘棒台由台座和二组台钳组成，台座两端尾座上装有可绕自身轴线回转的尾盘是用于栓接晶棒托的，台钳钳臂上部二组楔形滑块形成【】形钳口是用来夹持硅晶棒的。调节楔形滑块的进出，可调节【】形钳口的中心；调节二组【】形钳口的中心，则可调节夹持在钳口中硅晶棒的轴线。若将硅晶棒与晶棒托调节到同心同轴后加热粘接，再上切割机床进行切割，可以避免硅晶棒在切割时因其轴线与切割机加工轴线偏斜而坯料报废的事故。

Description

硅晶棒粘棒台

技术领域

本实用新型涉及一种硅晶棒粘棒台，它是精确便捷地将硅晶棒粘接到切割机的晶棒托上，然后在切割机床上切割成硅晶片的工装夹具。

背景技术

硅晶棒被切割前需将其粘接到切割机的晶棒托上，这道工序是在硅晶棒粘棒台上完成的。在硅晶棒粘棒台上，硅晶棒夹持在硅晶棒粘棒台的二组台钳中，晶棒托螺栓连接在粘棒台的尾盘上，两平面加热涂胶后对接。硅晶棒材料昂贵，在切割过程中要充分利用其坯体材料，同时切割时还要使硅晶棒垂直于切割机床轴线，则硅晶棒与晶棒托粘接时必需保持同心同轴。

目前我国没有国产硅晶棒粘棒台，国内硅片生产厂从英国等国家进口的硅晶棒粘棒台，其夹钳钳口下部为固定式，就钳口上部有一组可调式楔形滑块。硅晶棒夹持在钳口中，受下部固定钳口的限止，无法调节硅晶棒轴心位置，因此也无法调节硅晶棒与晶棒托的同心同轴度。由于硅晶棒粘棒台在长期使用过程中，夹钳钳口中心会偏离尾盘中心或夹钳钳口中心轴线会倾斜于尾盘中心轴线，造成硅晶棒与晶棒托的粘接发生不对中或轴线歪斜等现象，从而发生硅晶棒在切割过程因其与切割机加工轴线倾斜而坯料报废等事故。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种硅晶棒与晶棒托粘接时能保证两者同心同轴，且调节方便，粘接精度高的硅晶棒粘棒台。

实现上述目的的技术方案是：提供一种能调节硅晶棒与晶棒托同心同轴的硅晶棒粘棒台，该粘棒台由台座和二组台钳组成。台座台面中央固定有二根互为平行的纵向导轨，一侧固定有一根与导轨平行的导杆，导轨两端各固定一尾座，尾座上各装有一个可绕自身轴线回转的尾盘。

台钳由钳座和左、右钳臂组成，钳座滑动连接在台座导轨和导杆上。钳座正面固定有一根与台座导轨方向垂直的螺杆和与螺杆平行的钳座导轨，左、右钳臂下部镶嵌有螺母，螺母与螺杆螺纹连接；左、右钳臂下部镶嵌的螺母螺纹旋向相反，左钳臂螺母为左旋，右钳臂螺母为右旋；左、右钳臂下部的凹槽滑动连接在钳座导轨上。

左、右钳臂上部均没有二平行滑槽，滑槽内滑动连接有上、下楔形滑块，左钳臂滑槽内的上、下楔形滑块对称排列成【形，即上楔形滑块契边朝下，下楔形滑块契边朝上；右钳臂滑槽内的上、下楔形滑块对称排列成】形，即上楔形滑块契边朝下，下楔形滑块契边上。楔形滑块上、下、左、右对称排列形成【】形钳口。

各楔形滑块上设有一长圆孔，压紧螺丝穿越长圆孔与钳臂螺孔相连接；左、右钳臂滑槽内还固定一矩形螺母，调节螺丝与矩形螺母螺纹连接，且其头部顶紧楔形滑块的尾部。

台座两端尾盘为同轴，其轴线与台座导轨和导杆平行。

二组台钳的左、右钳臂形成的二组【】形钳口，二钳口中心轴线与两尾盘中心轴线同轴。

安装在夹座上的螺杆一端装有手轮，钳座近手轮处的螺杆上置有一紧定螺丝。

采用上述技术方案即改进后的硅晶棒粘棒台，该硅晶棒粘棒台的二组台钳钳口均带有四块可调节的楔形滑块。硅晶棒与晶棒托粘接前，可方便地调节钳口楔形滑块，保证硅晶棒粘接面与晶棒托粘接面同心，而后再调节二组【】形钳口中心位置，使硅晶棒棒体与晶棒托柱体同轴。其积极效果为：用改进后的硅晶棒粘棒台粘接的硅晶棒，同心同轴精度高，安装在切割机床上垂直对中好，从而避免了在切割机上因硅晶棒轴线偏斜而无法加工的问题，提高了硅晶棒坯料的材料利用率。

附图说明

图1为本实用新型的立体示意图；

图2为本实用新型台钳正面示意图；

图3为现有进口设备台钳钳口示意图；

图4为本实用新型硅晶棒与晶棒托粘接时的立体示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1所示，为本实用新型的立体示意图，硅晶棒粘棒台由台座1和二组台钳2组成，台座1台面中央固定有二根互为平行的纵向导轨1-1，一侧固定有一根与导轨1-1平行的导杆1-2；导轨1-1两端各固定一尾座1-3，尾座1-3上各装有一个可绕自身轴线回转的尾盘1-4。台钳2由钳座2-1和左、右钳臂2-2，2-3组成，钳座2-1滑动连接在台座导轨1-1和导杆1-2上。钳座2-1正面固定有一根与台座导轨1-1方向垂直的螺杆21-2和一根与螺杆21-2平行的钳座导轨21-1，螺杆21-2一端装有手轮21-3，钳座2-1近手轮21-3处的螺杆21-2上置有一紧定螺丝21-4。

如图2所示，为本实用新型台钳正面示意图：台钳2由钳座2-1和左、右钳臂2-2，2-3组成，左、右钳臂2-2，2-3下部镶嵌有螺母22-1，23-1，螺母22-1，23-1与螺杆21-2螺纹连接，左钳臂螺母22-1为左旋，右钳臂螺母23-1为右旋，左、右钳臂2-2，2-3下部的凹槽滑动连接在钳座导轨21-1上。

左、右钳臂2-2，2-3上部均没有二平行滑槽，左、右钳臂2-2，2-3滑槽内滑动连接有上、下楔形滑块22-2，22-3，23-2，23-3，左钳臂2-2滑槽内的上、下楔形滑块22-2，22-3对称排列成【形，即上楔形滑块22-2契边朝下，下楔形滑块22-3契边朝上；右钳臂2-3滑槽内的上、下楔形滑块23-2，23-3对称排列成】形，即上楔形滑块23-2契边朝下，下楔形滑块23-3契边上。楔形滑块上、下、左、右对称排列形成【】形钳口。

各楔形滑块上均设有一长圆孔，压紧螺丝2-4穿越长圆孔与钳臂上的螺孔相连接；左、右钳臂2-2，2-3滑槽内还固定有矩形螺母2-5，调节螺丝2-6与矩形螺母2-5螺纹连接，且其头部顶紧楔形滑块22-2，22-3，23-2，23-3的尾部。

硅晶棒粘棒台的两尾盘1-4同轴，其轴线与台座导轨1-1和导杆1-2平行。二组台钳2形成的二组【】形钳口，两钳口中心轴线与两尾盘1-4中心轴线同轴。

如图3所示，为现有进口设备台钳钳口示意图，左、右钳臂钳口5，6上方有一组楔形滑块5-1，6-1，下方为固定式的，硅晶棒3夹持在钳口中，受下部固定钳口的限止，无法调节硅晶棒与晶棒托的同心同轴度。

如图2所示，为本实用新型硅晶棒与晶棒托粘接时立体示意图，硅晶棒3夹持在粘棒台的二组台钳2中，晶棒托4螺栓连接在粘棒台的尾盘1-4上，硅晶棒3与晶棒托4粘接时必需调节为同心同轴，然后将两对接平面加热涂胶后粘接。

Claims (6)

1、一种硅晶棒粘棒台，由台座(1)和二组台钳(2)组成，其特征在于：台座(1)台面中央固定有二根互为平行的纵向导轨(1-1)，一侧固定有一根与导轨(1-1)平行的导杆(1-2)；导轨(1-1)两端各固定一尾座(1-3)，尾座(1-3)上各装有一个可绕自身轴线回转的尾盘(1-4)；台钳(2)由钳座(2-1)和左、右钳臂(2-2，2-3)组成，钳座(2-1)滑动连接在台座导轨(1-1)和导杆(1-2)上；钳座(2-1)正面固定有一根与台座导轨(1-1)方向垂直的螺杆(21-2)和一根与螺杆(21-2)平行的钳座导轨(21-1)，左、右钳臂(2-2，2-3)下部镶嵌有螺母(22-1，23-1)，螺母(22-1，23-1)与螺杆(21-2)螺纹连接，左、右钳臂(2-2，2-3)下部的凹槽滑动连接在钳座导轨(21-1)上；左、右钳臂(2-2，2-3)上部均没有二平行滑槽，滑槽内滑动连接有上、下楔形滑块(22-2，22-3，23-2，23-3)，楔形滑块上、下、左、右对称排列形成【】形钳口；各楔形滑块上均设有一长圆孔，压紧螺丝(2-4)穿越长圆孔与钳臂上的螺孔相连接；左、右钳臂(2-2，2-3)滑槽内还固定有矩形螺母(2-5)，调节螺丝(2-6)与矩形螺母(2-5)螺纹连接，且其头部顶紧楔形滑块(22-2，22-3，23-2，23-3)的尾部。

2、根据权利要求1所述的硅晶棒粘棒台，其特征在于：所述左钳臂(2-2)滑槽内的上、下楔形滑块(22-2，22-3)对称排列成【形，即上楔形滑块(22-2)契边朝下，下楔形滑块(22-3)契边朝上；右钳臂(2-3)滑槽内的上、下楔形滑块(23-2，23-3)对称排列成】形，即上楔形滑块(23-2)契边朝下，下楔形滑块(23-3)契边上。

3、根据权利要求1所述的硅晶棒粘棒台，其特征在于：两尾盘(1-4)同轴，其轴线与台座导轨(1-1)和导杆(1-2)平行。

4、根据权利要求1或2所述的硅晶棒粘棒台，其特征在于：所述二组台钳(2)的左、右钳臂(2-2，2-3)形成二组【】形钳口，二钳口中心轴线与两尾盘(1-4)中心轴线同轴。

5、根据权利要求1或2所述的硅晶棒粘棒台，其特征在于：左、右钳臂(2-2，2-3)下部镶嵌有螺母(22-1，23-1)，螺纹旋向相反，左钳臂螺母(22-1)为左旋，右钳臂螺母(23-1)为右旋。

6、根据权利要求1所述的硅晶棒粘棒台，其特征在于：钳座(2-1)上的螺杆(21-2)一端装有手轮(21-3)，钳座(2-1)近手轮(21-3)处的螺杆(21-2)上放置有一紧定螺丝(21-4)。

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