CN201148461Y - 可变轨迹的传送轨道及太阳能集热管连续溅射镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种可变轨迹的传送轨道及太阳能集热管连续溅射镀膜机，所述可变轨迹的传送轨道具有至少一组环形轨道，每一组环形轨道均具有至少两个外接轨道，一旋转道岔可转动地设置在所述环形轨道和外接轨道的交界处。所述镀膜机具有：多个圆柱形真空室串联设置，每两个真空室之间用真空通道连接，并设有真空锁；所述镀膜机内设有可变轨迹的传送轨道，设置在真空室外部的外传送轨道的两端分别与可变轨迹的传送轨道的外接轨道相连接。本实用新型的传送轨道结构简单，动作灵活，能够有效地节省设备的占地面积。所述镀膜机能使工件车由一个真空室顺利移到下一个真空室，且可以使工件车环绕靶进行连续溅射镀膜，减少了设备长度，提高了作业效率。

Description

可变轨迹的传送轨道及太阳能集热管连续溅射镀膜机

技术领域

本实用新型涉及到一种传送轨道和镀膜机，尤其是一种可变轨迹的传送轨道和具有该轨道的能够镀制高质量太阳能选择性吸收涂层的圆柱形多室太阳能集热管连续溅射镀膜机。

背景技术

目前公知的传送轨道大多为轨一定的固定轨道，如的直线型轨道、环形轨道等，在实际工作中，当一个工件具有多个工位时，使用直线型轨道则增加了设备的占地面积，环形轨道通常不能满足多步骤、多工位作业的要求。

对于太阳能集热元件，其由基材和沉积于基材上的太阳能选择性吸收涂层膜系构成。太阳能选择性吸收涂层膜系是一组具有多层结构的薄膜体系(以下简称膜系)，如图11所示，其包含附着于基材5’表面上的红外高反射底层1’、任选的隔离层2’、光选择性吸收层3’(以下简称吸收层)和减反射薄膜层4’(以下简称减反层)。

目前，对太阳能集热管的镀膜通常是在立式前开门单室单靶或单室多靶镀膜设备中进行。但由于是前开门单室镀膜机，每一次镀膜后真空室都要暴露在大气中进行卸管、装管，重新抽真空后进行溅射镀膜，真空室内壁、靶、工件架等室内所有零部件表面在每一次暴露大气的过程中，都将吸附大量的空气、水蒸气而被污染。被污染后的真空室在镀膜过程将出现下述现象：

1、抽真空时间越来越长，没有被污染的新设备抽气5-6分钟即可达到可镀膜的真空度，而随着镀膜时间加长，真空室壁膜层加厚，抽真空时间将达到30-40分钟，致使生产效率大大降低。

2、真空室壁膜层加厚，不但吸附量增加，由于氮化铝膜层是高电阻率材料，容易出现无阳极现象，致使靶电源启靶困难，有时出现3-4分钟才可以正常启靶，致使工艺时间延长，效能降低。

3、直流反应溅射氮化铝介质膜层时容易出现靶中毒现象，溅射速率急剧减少，而使生产效率下降。

4、由于真空室内各放气点、面，与溅射靶之间的位置和距离不一样，在放电(溅射)过程中，杂散气体及水汽分子也被离化，造成沿靶长度方向离子浓度差异，使集热管镀膜质量发生问题，出现镀膜颜色不一致，不均匀现象时有发生。

本设计人根据多年从事本领域工作的经验和知识，为克服上述公知技术存在的缺陷，经过长时间的研发，终于开发出本实用新型的可变轨迹的传送轨道和具有该轨道的太阳能集热管连续溅射镀膜机。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种适用于需要改变运动轨迹的设备的可变轨迹的传送轨道，以及具有该轨道的太阳能集热管连续溅射镀膜机。本实用新型的镀膜机，具有多个真空室以及可变轨迹的传送轨道将各真空室相连接，在保证溅射真空室不接触大气的状态下，对太阳能集热管进行连续自动的溅射镀膜。

为此，本实用新型提出的一种可变轨迹的传送轨道，其中，所述可变轨迹的传送轨道具有至少一组环形轨道，每一组环形轨道均具有至少两个外接轨道，一旋转道岔可转动地设置在所述环形轨道和外接轨道的交界处。

如上所述的可变轨迹的传送轨道，其中，所述外接轨道对接于所述环形轨道的外环边，且该外接轨道的第一边与所述环形轨道的外环边光滑过渡连接，该外接轨道的第二边与所述环形轨道的外环边相抵接。

如上所述的可变轨迹的传送轨道，其中，所述旋转道岔具有第一工作位置和第二工作位置，其中在第一工作位置，所述旋转道岔的第一工作边的一端与所述外接轨道相对接、另一端与环形轨道的内环边相贴合，所述旋转道岔的第二工作边与所述环形轨道的外接轨道的第一边脱开，所述环形轨道与外接轨道之间形成连续的导轨；在第二工作位置，所述旋转道岔的第二工作边的一端与环形轨道的外环边相对接，该第二工作边的另一端与所述环形轨道的外接轨道的第一边相贴合，所述旋转道岔的第一边与所述环形轨道的内环边脱开，所述环形轨道形成一连续的导轨。

如上所述的可变轨迹的传送轨道，其中，所述环形轨道具有多组，各组环形轨道之间通过所述外接轨道相连接。

一种太阳能集热管连续溅射镀膜机，其中，所述镀膜机具有：

多个圆柱形真空室串联设置，每两个真空室之间用真空通道连接，每个真空通道内均设置真空锁，设置在两端部的真空室还具有与外部隔离的真空锁；

每一个真空室内均设有一组环形轨道，每一组环形轨道均具有两个外接轨道，一旋转道岔可转动地设置在所述环形轨道和外接轨道的交界处，设置在所述真空室外部的外传送轨道的两端分别与所述外接轨道相连接；

对应于所述真空锁的位置，在所述外部传送轨道与外接轨道之间、以及各组环形轨道的外接轨之间均设有活动轨道。

如上所述的太阳能集热管连续溅射镀膜机，其中，在所述外部传送轨道与外接轨道之间和/或各组环形轨道的外接轨道之间设有活动轨道。

如上所述的太阳能集热管连续溅射镀膜机，其中，所述活动轨道为一升降式活动轨道。

如上所述的太阳能集热管连续溅射镀膜机，其中，所述活动轨道为一平移式活动轨道。

如上所述的太阳能集热管连续溅射镀膜机，其中，所述轨道上设有多个连续运动的工件车，所述工件车由多个车体构成，每一车体包括一车体支架，所述车体支架的下部设有与所述轨道相配合的支承轮，一自转轴可转动地支承在所述车体支架上，该自转轴贯穿所述车体支架，其上部延伸至所述车体支架的外部，在所述自转轴的上部设有用于定位太阳能集热管的定位套。

如上所述的太阳能集热管连续溅射镀膜机，其中，所述一支承轮上设有第一伞齿轮，所述自转轴的下端设有与所述第一伞齿轮相啮合的第二伞齿轮，一驱动机构驱动所述支承轮转动带动工件车沿轨道移动，第一伞齿轮和第二伞齿轮相啮合，所述自转轴带动太阳能集热管自转。

如上所述的太阳能集热管连续溅射镀膜机，其中，所述各车体支架之间通过连接耳和销轴连接，构成可变换方向的工件车。

本实用新型的优点和特点是：

1、本实用新型的可变轨迹的传送轨道结构简单，动作灵活，可根据需要改变传送方向，能够有效地节省设备的占地面积。

2、本实用新型采用多室、多真空锁结构的集热管镀膜机，能够实现连续自动镀膜，可分首尾的由多个车体构成的工件车，依次进出各个圆柱形真空室，完成镀膜工艺后由末端真空室出来，进入外部传送轨道装卸管子后再返回预真空室，其中设置在预真空室和末端真空室之间的溅射真空室与大气隔离，不暴露在大气中，大大减少了因溅射室暴露大气污染溅射环境，破坏生产节拍的潜在因素。

3、溅射真空室是不暴露大气的洁净真空室，因此克服了公知技术中随着镀膜时间的推移抽真空速度变慢的现象，大大提高了生产效率。

4、由于溅射真空室是洁净的真空室，因此溅射气氛稳定，由于没有杂气干扰溅射过程，使所溅射膜层的质量得到保证。

5、使用孪生靶中频溅射电源不会出现靶启动困难，可以做到即开即溅射。并且不会出现靶中毒现象。

6、采用了本实用新型的可变轨迹的传送轨道，由设置在环形轨道和外接轨道交界处的旋转道岔，实现了本实用新型的镀膜机的轨道可变轨迹，从而可以使工件车由一个真空室顺利移到下一个真空室，并且可以使工件车环绕靶进行连续溅射镀膜，减少了设备长度，提高了作业效率。

7、本实用新型通过工件车在环形轨道上围绕溅射靶旋转的镀膜方式，相对于立式双端镀膜方式，可以在不增加靶位、不增加真空室长度的情况下，自由设定镀膜工艺参数，虽然没有压差室，但各真空室均有真空锁可以保证溅射气体不会互相干扰，提高了镀膜质量。

附图说明

图1为本实用新型的可变轨迹的传送轨道的结构示意图；

图2A、图2B是图1中C处的局部放大示意图，表示环形轨道、外接轨道以及旋转道岔之间的位置关系；

图3表示旋转道岔的角度调整机构一实施例示意图；

图4是本实用新型的太阳能集热管连续自动溅射圆柱形镀膜机的示意图；

图5A、图5B是本实用新型的工件车的结构示意图，其中，图5A是工件车的连接关系示意图，图5B是车体的结构示意图；

图6A是驱动真空室内的工件车移动的第一驱动装置的结构示意图；

图6B是图6A中D处的局部放大示意图；

图7A、图7B表示驱动外部传送轨道直线段上的工件车移动的第二驱动机构的结构示意图；其中，图7A为该第二驱动机构的局部结构俯视示意图，图7B为图7A中沿B-B线的剖视示意图；

图8A、图8B表示驱动外部传送轨道弧形段上的工件车移动的第三驱动机构的结构示意图；其中，图8A为该第三驱动机构的局部结构俯视示意图，图8B为图8A中沿A-A线的剖视示意图；

图9是本实用新型的升降式活动轨道的一实施例示意图；

图10A、图10B是平移式活动轨道的一实施例示意图，其中，图10A为主视示意图，图10B为俯视示意图；

图11表示了一种太阳能选择性吸收涂层膜系构造图。

具体实施方式

为对本实用新型的可变轨迹的传送轨道和具有该轨道的太阳能集热管连续溅射镀膜机的特征、效果和所要达到的技术目的有更加清楚和全面的了解，下面配合附图及具体实施例对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。相同的部件采用相同的标号。

如图1所示，本实用新型的可变轨迹的传送轨道具有至少一组环形轨道1，每一组环形轨道1均具有至少两个外接轨道11、12，旋转道岔7、8可转动地设置在所述环形轨道1和外接轨道11、12的交界处。本实用新型的所述环形轨道1可以具有多组，在本实施例中设置了四组环形轨道1，各组环形轨道1之间通过所述外接轨道11、12相连接。

如图2A、图2B所示，所述外接轨道11对接于所述环形轨道1的外环边13，且该外接轨道11的第一边110与所述环形轨道1的外环边13光滑过渡连接，该外接轨道11的第二边111与所述环形轨道1的外环边13相抵接于图中P点。在本实施例中，仅以环形轨道左侧与外接轨道11交界处的结构进行说明，其右侧为镜像结构，且运动方式相同，因此省略对外接轨道12的说明。

所述旋转道岔具有第一工作位置(图2A)和第二工作位置(图2B)，其中在第一工作位置，所述旋转道岔7的第一工作边71的一端与所述外接轨道11和环形轨道1的外环边13的抵接点P相对接、另一端与环形轨道1的内环边14相贴合，所述旋转道岔7的第二工作边72与所述环形轨道1的外接轨道11的第一边110脱开一定距离Δ₂(Δ₂大于工件车的轮侧宽度)，所述环形轨道1与外接轨道11之间形成连续的导轨。此时，所述可变轨迹的传送轨道形成一可使在轨道上运动的物体自由通过环形轨道1和所述外接轨道11。

在所述旋转道岔7的第二工作位置，所述旋转道岔的第二工作边72的一端与环形轨道1的外环边13和所述外接轨道11的抵接点P相对接，该第二工作边72的另一端与所述环形轨道1的外接轨道11的第一边110相贴合，此时，所述旋转道岔7的第一工作边71与所述环形轨道1的一内环边14脱开Δ₁(Δ₁大于工件车的轮侧宽度)，所述环形轨道1形成一连续的导轨。此时，所述可变轨迹的传送轨道形成一封闭的环形轨道，可使进入环形轨道1内的物体顺利地在所述环形轨道1上做圆周运动。

所述旋转道岔8的运动方式、连接关系与上述旋转道岔7相同，在此省略说明。

如图3所示，所述旋转道岔7、8固定在一转轴73上，该转轴73与一旋转角度调整机构相连接。所述旋转角度调整机构具有与转轴73相连接的摆杆74，所述摆杆74的左极限位置由设置在定位块76上的调整螺钉77限制。所述摆杆74的一端连接转轴73，另一端连接在驱动气缸75的活塞杆接头78上。由于气缸杆行程的长短，决定了旋转道岔的旋转角度的大小，因此通过调整所述螺钉77的长度，而调整所述旋转道岔的旋转角度，保证旋转道岔的转动位置准确，使物体在轨道上运行顺畅。

在本实施例中，仅以一气缸驱动一摆杆运动的旋转角度调整机构为例，说明对旋转道岔的转动控制，但并不限于此，也可以采用其它公知的结构，如凸轮机构、电磁阀等等，使所述旋转道岔在上述第一工作位置和第二工作位置之间的转换。

本实用新型的可变轨迹的传送轨道可设置在太阳能集热管连续溅射镀膜机10内，但该并不限于此，其适用于需要改变运动轨迹的传送装置上。

如图4所示，本实用新型提出的太阳能集热管连续溅射镀膜机10具有：多个串联连接的圆柱形真空室，且每两真空室之间形成真空通道，在本实施例中，以设置4个真空室I、II、III、IV为例进行说明，且各真空室在左右方向依次排列，其排列方式并不限于此。本实用新型的镀膜机10还具有真空系统9，该真空系统9是常规的公知技术，因此省略说明。

所述真空室I、IV具有与外部隔离的真空室外锁2，各真空室I、II、III、IV之间的真空通道内设置有将各真空室隔离的真空室内锁20；每一个真空室内设有一组环形轨道1，每一组环形轨道1均具有两个外接轨道11、12，所述外接轨道11、12分别设置在环形轨道1的左右两侧，设置在所述真空室外部的外部传送轨道3的一端与设置在一端部的真空室I左侧的外接轨道11相连接，另一端与设置在另一端部的真空室IV右侧的外接轨道12相连接，在所述环形轨道1和外接轨道11、12的交界处设有一可转动的旋转道岔7、8。对应于所述真空室外锁2的位置，在所述外部传送轨道3与真空室I的外接轨道11和真空室IV的外接轨道12之间分别设有活动轨道4，在各组环形轨道的外接轨道12、11之间、对应于真空室内锁20的位置设有活动轨道5。所述轨道上设有多个连续运动的工件车6。其中，所述的环形轨道1，各组环形轨道的外接轨道12、11，活动轨道5构成了设置在镀膜机内部的可变轨迹的传送轨道。

设置在所述太阳能集热管连续溅射镀膜机10内的可变轨迹的传送轨道的结构与前述完全相同，运动方式也完全相同，因此对于所述环形轨道1和外接轨道11、12之间的连接关系，以及旋转道岔7、8的第一、第二工作位置不再赘述。

当所述旋转道岔7位于第一工作位置时，所述环形轨道1与外接轨道11之间形成连续的导轨，所述工件车6可以进出真空室。

当所述旋转道岔7位于第二工作位置时，所述环形轨道1形成一连续的导轨，所述工件车6可以顺利地在所述环形轨道1上做圆周运动。

在本实施例中，如图3所示，所述太阳能集热管连续溅射镀膜机10的所述旋转道岔7、8固定在一转轴73上，该转轴73与一旋转角度调整机构相连接。所述旋转角度调整机构具有与转轴73相连接的摆杆74，所述摆杆74的左极限位置由设置在定位块76上的调整螺钉77限制，该定位块76固定于真空室的底部。所述摆杆74的一端连接转轴73，另一端连接在驱动气缸75的活塞杆接头78上。由于气缸杆行程的长短，决定了旋转道岔的旋转角度的大小，因此通过调整所述螺钉77的长度，而调整所述旋转道岔的旋转角度，保证旋转道岔的转动位置准确，使工件车6运行顺畅。

其中，所述旋转角度调整机构设置在所述真空室的外部，所述旋转道岔7、8的转轴73与真空室壁之间密封连接。

所述外部传送轨道3包括直线段轨道31，以及连接直线段轨道31和所述外接轨道11、12的弧线段轨道32。

在本实施例中，所述各真空室I、II、III、IV为圆柱形，但并不局限于圆柱形，设置在真空室内的环形轨道1也不限于圆形，且所述外接轨道11、12可以选择任意的曲率半径。为减小镀膜装置的整体长度，保证工件车的运行平稳性，以及优良的加工工艺性优选各真空室采用圆柱形、环形轨道采用圆形，所述外接轨道11、12的曲率半径与所述环形轨道1的曲率半径相同。

如图5A、图5B所示，所述工件车6由多个车体61构成，每一车体61包括一车体支架62，所述车体支架62的下部设有与所述轨道相配合的支承轮63，一自转轴64可转动地支承在所述车体支架62上，该自转轴64贯穿所述车体支架62，其上部延伸至所述车体支架的外部，在所述自转轴64的上部设有用于定位太阳能集热管的定位套65，如图5A所示，所述定位套65与太阳能集热管60的内径相配合。

所述支承轮63的轮上设有第一伞齿轮66，所述自转轴64的下端设有与所述第一伞齿轮66相啮合的第二伞齿轮67，通过一驱动机构驱动所述支承轮63在所述轨道上滚动，从而带动工件车6沿轨道移动，并通过第一伞齿轮66和第二伞齿轮67的啮合，使所述自转轴64带动太阳能集热管60自转。

所述车体支架62的一侧面设有至少一个轴线竖直设置的靠轮68，所述靠轮凸出车体支架的侧面设置。在本实施例中，在纵向设有两个靠轮68。

一防溅射套69套在延伸至车体支架62上端外部的所述自转轴64上，用以防止太阳能集热管60端部封接位置被镀上膜。所述各车体支架62之间通过连接耳和销轴连接构成所述工件车6。图5A表示了车体61之间的一种连接关系实施例，各车体61的一侧具有连接凹部621，相反一侧具有连接凸部622，两车之间凸部与凹部相配合，通过连接轴623将两车体相连接。

如图4、图6A所示，本实用新型的镀膜机10具有第一驱动机构15和第二驱动机构33，第三驱动机构34。该第一驱动机构15驱动在所述圆柱形真空室内的工件车6的移动，该第二驱动机构33、第三驱动机构34驱动在所述外部传送轨道3上的工件车6的移动。

如图4、图6A、图6B所示，每一真空室均具有一第一驱动机构15，所述第一驱动机构15具有设置在所述真空室内、由电机151驱动旋转的转盘150，所述转盘150的外周边设有带弹簧的压板152，所述压板152以固定在转盘150上的轴154为摆动中心，所述压板152的外周边紧密地压在压块153上，并通过摩擦力驱动所述工件车移动。所述压块153固定在所述工件车6的车体支架62的一侧。上述带有弹簧155的压板152是通过调节弹簧的压力，来控制压板152和压块153之间的摩擦力，从而实现通过该摩擦力驱动所述工件车的目的。所述弹簧155可采用公知的结构设置，只要能实现调节压板152与压块153之间的压力就可以。

如图7A、图7B所示，所述第二驱动机构33具有设置在直线段轨道31两侧、由电机330驱动旋转的两组皮带轮335、设置在所述两组皮带轮335上的两组皮带333，以及设置在所述轨道两侧的至少一个将所述皮带333向所述工件车6顶抵的靠轮331，且所述靠轮331、皮带轮335均可设置在支架332上。设置在轨道两侧的两组皮带333同步同方向运动，且相互平行，通过所述靠轮331顶抵该两组皮带333，使所述两组皮带333夹持并通过摩擦力驱动所述工件车6移动。

在本实施例中，所述皮带333夹持在所述车体61的车体支架62两侧，通过皮带333与车体支架62之间的摩擦力驱动工件车6移动。

如图8A、图8B所示，所述第三驱动机构34具有设置在所述弧线段轨道32一侧、由电机344驱动旋转的皮带轮343，设置在所述皮带轮343上的皮带345，以及通过摩擦力由皮带345驱动旋转的多个驱动轮341，设置在弧线段轨道32另一侧的靠板342，所述靠板342的曲率半径与所述弧线段轨道的曲率半径相匹配，所述工件车6被夹持在所述驱动轮341和靠板342之间，所述靠板342顶抵于设置在所述工件车6的车体支架62一侧面的靠轮68。通过摩擦力由驱动轮341驱动所述工件车移动。为提高摩擦力，优选使橡胶驱动轮。

如图9所示，所述活动轨道5为升降式活动轨道，其下部设有升降气缸51；所述升降气缸设置在两真空室之间形成的真空通道的外部，气缸活塞杆52贯穿所述真空通道壁53与所述升降式活动轨道5固定连接，所述活塞杆与真空通道壁之间密封配合。在本实施例中，在所述气缸活塞杆52的前端设有接长部分521，以满足行程要求。

所述升降式活动轨道与至少一个导向杆54固定连接，所述导向杆的下部贯穿延伸至所述真空通道的外部，并与真空通道壁之间密封配合。在本实施例中设有两个导向杆54，但并不限于此。所述活塞杆52、导向杆54与真空通道壁53之间通过密封套55密封配合。

如图10A、图10B所示活动轨道4为平移式活动轨道，真空室外锁2的开启与关闭占有一定的移动空间，为防止干涉，将外环轨紧靠真空室部分做成可移动的结构。活动轨道4装在两个带直线轴承的支座93上，直线轴承沿两平行导杆92做直线运动，保证运动精度，整套移动装置由气缸91驱动。

在对应于各真空室外锁2、真空室内锁20设置的所述活动轨道4、5均可以采用升降式活动轨道或平移式活动轨道。为增加镀膜装置真空室的有效作业空间，减小装置的整体体积，优选对应于真空室内锁设置升降式活动轨道，而在真空室外部，对应于真空室外锁设置平移式活动轨道。

利用本实用新型的多室太阳能集热管连续溅射镀膜机进行镀膜的方法，包括：将上述左、右两端的真空室I、IV设置为预真空室和末端真空室，并在所述预真空室和末端真空室之间设置不接触大气的溅射真空室，即上述的真空室II、III，通过可变轨迹的传送轨道将各真空室相连接。

当装载有太阳能集热管的工件车6进入预真空室后，对预真空室进行抽真空，使该预真空室的真空度达到与溅射真空室的真空度相同。

在相同的真空度下，所述工件车6由预真空室进入溅射真空室，工件车沿设置在溅射真空室内的环形轨道1进行旋转运动，同时装载在所述工件车上的太阳能集热管相对于工件车进行自转运动，通过设置在溅射真空室内的溅射靶对所述太阳能集热管的表面进行太阳能选择性吸收涂层的溅射沉积。

完成全部溅射作业后，所述工件车进入与溅射室具有相同真空度的末端真空室。

关闭所述溅射真空室后，使所述末端真空室达到常压状态，所述工件车移至末端真空室外部。

上述溅射镀膜方法可以通过在所述预真空室和末端真空室之间设置多个溅射真空室，在各溅射真空室内对所述太阳能集热管进行不同的膜层的溅射沉积，从而易于控制选择性吸收层的溅射质量，并由于可以对各溅射真空室进行独立的控制，因此，工件车能够在本实用新型的镀膜机的各个工位同步进行作业，提高了生产效率。

例如，可以在第一溅射真空室(真空室II)内对所述太阳能集热管的表面溅射沉积底层和吸收层，在第二溅射真空室(真空室III)内对所述太阳能集热管的表面溅射沉积减反层。一个具体实施例是，在第一溅射真空室安装3个材料与尺寸相同的铝圆柱靶(也可以是2个铝靶)，启动镀膜程序后，在该第一溅射真空室进行磁控溅射镀铝膜作为太阳能选择性吸收涂层的底层，以及磁控溅射镀铝与氮化铝复合材料薄膜作为太阳能选择性吸收涂层的吸收层。在第二溅射真空室安装3个材料与尺寸相同的铝圆柱靶(也可以2个铝靶)，在工件车从第一溅射真空室进入第二溅射真空室后，启动该室的镀膜程序，磁控溅射镀氮化铝介质材料薄膜作为太阳能选择性吸收涂层的减反层，从而完成太阳能选择性吸收涂层磁控溅射制备。

或者，在第一溅射真空室内对所述太阳能集热管的表面溅射沉积底层，在第二溅射真空室内对所述太阳能集热管的表面溅射沉积吸收层，在第三溅射真空室(图中未示出)内对所述太阳能集热管的表面溅射沉积减反层。根据产品的工艺要求，还可以适当增加所述溅射真空室的数量，细化各溅射真空室的作业范围，以进一步提高生产效率和产品质量。另一可行的实施例是，在第一溅射室内安装2个材料与尺寸相同的铜圆柱靶，在第二溅射室内安装1个铝圆柱靶与1个不锈钢圆柱靶，在第三溅射室内安装2个材料与尺寸相同的铝圆柱靶(也可以3个铝靶或4个铝靶)。装有玻璃管的工件车进入第一溅射真空室后，启动该第一驱动机构，使工件车6在该室内进行圆周运动，并启动镀膜程序，磁控溅射镀铜膜作为太阳能选择性吸收涂层的底层。在工件车由第一溅射真空室进入第二溅射真空室后，启动第二溅射真空室的镀膜程序，磁控溅射镀不锈钢与氮化铝复合材料薄膜作为太阳能选择性吸收涂层的吸收层。随后工件车6从第二溅射真空室进入第三溅射真空室，并启动该室的镀膜程序，磁控溅射镀氮化铝介质材料薄膜作为太阳能选择性吸收涂层的减反层，太阳能选择性吸收涂层磁控溅射制备完毕。

上述镀膜方法，当所述工件车由外部进入真空室、或从一个真空室进入另一真空室时，通过所述传送轨道的第一旋转道岔7，使设置在真空室内的环形轨道与延伸至真空室外部的外接轨道之间形成连续的导轨，所述工件车沿改变轨迹后的轨道进入真空室。

当所述工件车进入真空室后，通过所述传动轨道的第一旋转道岔7，使设置在真空室内的环形轨道形成一连续的导轨。

当所述工件车在一个真空室内完成作业后，通过所述传动轨道的第二旋转道岔8，使设置在该真空室内的环形轨道与延伸至真空室外部的外接轨道之间形成连续的导轨，所述工件车沿改变轨迹后的轨道离开该真空室。

下面结合附图进一步具体说明本实用新型的工艺过程。

请参见图4，为对所述镀膜装置的轨道进行准确的控制，使所述工件车6能够顺畅地在轨道上运动，在外部传送轨道3的弧形段轨道32上设有电感接近开关35，该电感接近开关35位于弧形段轨道32靠近所述活动轨道4的一侧。在所述各旋转道岔7、8的两侧环形轨道1上设有电感接近开关36、37。当首架工件车6停止在设置在外部传送轨道3的弧线段轨道32的电感接近开关35处时，真空室I(预真空室)的真空室外锁2开启。设置在该真空室I左侧、连接外接轨道11和弧形段轨道32的平移式活动轨道4复位，与真空室I左侧的弧形段轨道32和外接轨道11连接到位。旋转道岔7旋转至第一工作位置，所述环形轨道1与外接轨道11之间形成连续的导轨，即图2A所示位置，允许工件车6进入环形轨道1。真空室I的第一驱动机构15、第三驱动机构34同时运动，将工件车6送入真空室I，当工件车6全部进入真空室I内的环形轨道1后，所述工件车6的首尾两端分别停在设置于真空室I左侧的旋转道岔7的两侧环形轨道1上的电感接近开关36、37处(旋转道岔7上面没有工件车)。此时，第一驱动机构15、第三驱动机构34同时停止运动，旋转道岔7旋转至第二工作位置，即图2B所示位置，所述环形轨道1形成一连续的导轨，使所述工件车6可以顺利地在所述环形轨道1上做圆周运动。上述平移式活动轨道4进行平移运动与设置在该真空室I左侧的外接轨道11和弧形段轨道32分离，真空室I的左侧真空室外锁2关闭。对真空室I进行抽真空，使其达到2×10^-2pa以上的真空度。在第一驱动机构15的驱动下，工件车6沿真空室I内的环形轨道1进行旋转运动，所述工件车6的首尾两端分别停在设置在真空室I右侧的旋转道岔8的两侧环形轨道1上的电感接近开关36、37处(此时旋转道岔8上没有工件车)。打开设置在真空室I和真空室II之间的真空室内锁20，设置在两真空室之间的真空通道内、并连接两真空室的环形轨道的外接轨道12、11的升降式活动轨道5上升，将真空室I与真空室II之间的外接轨道相连接，所述真空室I右侧的旋转道岔8和真空室II左侧的旋转道岔7同时旋转至第一工作位置，所述环形轨道1与外接轨道11之间形成连续的导轨。真空室I和真空室I I中的第一驱动机构15同时运转，使工件车6由真空室I进入真空室II。

工件车6全部进入真空室II后，在真空室II左侧的电感接近开关36、37处停止(真空室II左侧的旋转道岔7上面没有工件车)此时，真空室I、II的第一驱动机构15同时停止运动。所述真空室I右侧的旋转道岔8和真空室II左侧的旋转道岔7同时旋转复位至第二工作位置，即所述环形轨道1形成一连续的导轨。设置在所述真空室I、II之间的所述升降式活动轨道5下降到原始位置让出真空室内锁20的旋转位置。两真空室I、II之间的真空室内锁20关闭。工件车6在第一驱动机构15的驱动下在真空室II内的环形轨道1上做旋转运动，此时真空室II左、右两侧的旋转道岔7、8均被锁定，不得动作。打开质量流量计充入氩气至4×10^-1pa，开始直流靶溅射镀膜至要求后，关闭靶电源、关闭质量流量计、关截止阀，真空室II的真空度恢复到2×10^-2Pa以上。将工件车6停在真空室II右侧的电感接近开关36、37处，第一驱动机构15停止运转。打开设置在两真空室II、III之间的真空室内锁20，升降式活动轨道5上升连接真空室II(第一溅射真空室)、真空室III(第二溅射真空室)环形轨道的外接轨道。真空室II右侧的旋转道岔8、真空室III左侧的旋转道岔7同时旋转至第一工作位置，使所述环形轨道1与外接轨道11之间形成连续的导轨。真空室II、真空室III的第一驱动机构15同时旋转，驱动工件车6由溅射1室进入溅射2室。当工件车6全部进入第二溅射真空室(真空室III)内，在真空室III左侧的电感接近开关36、37处停止(真空室III左侧的旋转道岔7上面没有工件车)，此时，真空室II、真空室III的第一驱动机构15同时停止运动。所述真空室II右侧的旋转道岔8和真空室III左侧的旋转道岔7同时旋转复位至第二工作位置，即所述环形轨道1形成一连续的导轨。设置在所述真空室II、III之间的所述升降式活动轨道5下降到原始位置让出真空室内锁20的旋转的位置。两真空室II、III之间的真空室内锁20关闭。抽真空至2×10^-2pa以上，启动真空室III的第一驱动机构15，工件车6在真空室III内的环形轨道1上旋转运动。此时真空室III左、右两侧的旋转道岔7、8均被锁定，不得动作。打开质量流量计充入氮气至4×10^-1pa。开孪生靶溅射镀膜至要求后，关闭靶电源，关闭质量流量计截止阀，关闭质量流量计。真空室III(溅射2室)的真空度恢复到2×10^-2Pa以上。将工件车6停在真空室III右侧的电感接近开关36、37处(真空室III右侧的旋转道岔8上没有工件车)，第一驱动机构15停止运转。对真空室IV(末端真空室)抽真空，使该室的真空度达到2×10^-1pa以上，打开真空室III和真空室IV的真空室内锁20。设置在两真空室III、IV之间的升降式活动轨道5上升，连接真空室III(第二溅射真空室)与真空室IV(末端真空室)环形轨道的外接轨道。所述真空室III侧的旋转道岔8、真空室IV左侧的旋转道岔7同时旋转至第一工作位置，使所述环形轨道1与外接轨道11之间形成连续的导轨。真空室III、IV的第一驱动机构15同时旋转，驱动工件车6由真空室III(第二溅射真空室)进入真空室IV(末端真空室)。工件车6全部进入真空室IV内，在真空室IV左侧的电感接近开关36、37处停止(真空室IV左侧的旋转道岔7上面没有工件车)。此时，真空室III、真空室IV的第一驱动机构15同时停止运动。所述真空室III右侧的旋转道岔8和真空室IV左侧的旋转道岔7同时旋转复位至第二工作位置，即所述环形轨道1形成一连续的导轨。设置在所述真空室III、IV之间的所述升降式活动轨道5下降到原始位置让出真空室内锁20的旋转的位置。两真空室III、IV之间的真空室内锁20关闭。启动真空室IV的第一驱动机构15，工件车6在真空室IV右侧的电感接近开关36、37处停止运动(此时真空室IV右侧的旋转道岔8上面没有工件车)，该真空室IV的第一驱动机构15停止驱动。所述真空室IV右侧的旋转道岔8旋转至第一工作位置，所述环形轨道1与外接轨道11之间形成连续的导轨，关闭真空室IV的高阀，开充气阀向真空室IV充气，该真空室IV内达到常压状态后，打开真空室IV的真空室外锁2。设置在外部传送轨道3和真空室IV右侧的外接轨道12之间的平移式活动轨道4移动，将所述真空室IV右侧的外接轨道12与外部传送轨道3的弧形段轨道32相连接。所述真空室IV的第一驱动机构15、设置在外部传送轨道3右侧弧形段轨道32的第三驱动机构34同时启动，工件车6走出真空室IV进入弧形段轨道32后，第一驱动机构15和第三驱动机构34停止。当直线段轨道31上没有工件车时，直线段轨道31上的第二驱动机构33与第三驱动机构34同时启动将工件车6移至直线段轨道31上，各驱动机构停止运动。所述真空室IV右侧的平移式活动轨道4复位，让出真空室外锁2的旋转的位置，真空室外锁2关闭，同时真空室IV右侧的旋转道岔8旋转至第二工作位置，并对真空室IV(末端真空室)抽真空至2×10^-2pa以上。所述工件车6在外部传送轨道3的直线段轨道31处卸管、上管后，移动到首架工件车的位置，一个工艺循环程序完成。

图4中所示结构，在驱动机构的驱动下，所述工件车6逆时针方向进入真空室I(预真空室)，再以顺时针的方向将工件车6移至真空室II(第一溅射真空室)，所述工件车由第一溅射真空室(真空室II)以顺时针方向离开第一溅射室并进入第二溅射真空室(真空室III)。工件车6可以根据需要任意设定在第一溅射真空室内的工作时间，并在该真空室内的环形轨道1上围绕溅射靶做旋转运动，增加有效溅射时间。

在驱动机构的驱动下所述工件车6以顺时针方向进入第二溅射真空室(真空室III)，并以顺时针方向将工件车导出该第二溅射真空室。工件车可以在任意设定时间内在该第二溅射室的环形轨道1上围绕溅射靶做旋转运动，增加有效溅射时间。

所述工作车6在驱动机构的驱动下顺时针方向由第二溅射真空室进入末端真空室(真空室IV)，并以逆时针方向将工件车导出真空室IV，进入外部传送轨道3。

以上工件车6的运动方式仅为本实用新型的一个具体实施例，在本实施例中，所述并不限于此，工件车6的运动方式根据所述各真空室之间的连接轨道的设置位置、方向而确定。

本实用新型通过工件车6在环形轨道1上围绕溅射靶旋转的镀膜方式，相对于立式双端镀膜方式，可以在不增加靶位、不增加真空室长度的情况下，自由设定镀膜工艺参数，虽然没有压差室，但各真空室均有真空锁可以保证溅射气体不会互相干扰。

本实用新型的镀膜机构成一个自动化连续生产线，它的工件车(承载玻璃管的载体)是循环使用的。所以在真空室出来的工件车被取下镀件后，还要重新插上玻璃管再进入真空室，周而复始。传动方式均为柔性胶带摩擦传动，在传动轨道上设有传感器参与自动控制。上述太阳能集热管并不限于玻璃管，可以是需要进行溅射镀膜的其他材质的管件，或者是非管件结构也适于采用本实用新型的方法和装置进行溅射镀膜，所不同的是，其仅需更换工件车的定位套65的结构，以定位被溅射物。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施例，但不能以此限定本实用新型实施的范围，即大凡依本实用新型申请专利范围及说明书内容所作的等同变化与修饰，皆应仍属本实用新型专利涵盖的范围内。

Claims (11)

1、一种可变轨迹的传送轨道，其特征在于，所述可变轨迹的传送轨道具有至少一组环形轨道，每一组环形轨道均具有至少两个外接轨道，一旋转道岔可转动地设置在所述环形轨道和外接轨道的交界处。

2、如权利要求1所述的可变轨迹的传送轨道，其特征在于，所述外接轨道对接于所述环形轨道的外环边，且该外接轨道的第一边与所述环形轨道的外环边光滑过渡连接，该外接轨道的第二边与所述环形轨道的外环边相抵接。

3、如权利要求1或2所述的可变轨迹的传送轨道，其特征在于，所述旋转道岔具有第一工作位置和第二工作位置，其中在第一工作位置，所述旋转道岔的第一工作边的一端与所述外接轨道相对接、另一端与环形轨道的内环边相贴合，所述旋转道岔的第二工作边与所述环形轨道的外接轨道的第一边脱开，所述环形轨道与外接轨道之间形成连续的导轨；在第二工作位置，所述旋转道岔的第二工作边的一端与环形轨道的外环边相对接，该第二工作边的另一端与所述环形轨道的外接轨道的第一边相贴合，所述旋转道岔的第一边与所述环形轨道的内环边脱开，所述环形轨道形成一连续的导轨。

4、如权利要求1所述的可变轨迹的传送轨道，其特征在于，所述环形轨道具有多组，各组环形轨道之间通过所述外接轨道相连接。

5、一种具有权利要求1的可变轨迹的传送轨道的太阳能集热管连续溅射镀膜机，其特征在于，所述镀膜机具有：

多个圆柱形真空室串联设置，每两个真空室之间用真空通道连接，每个真空通道内均设置真空锁，设置在两端部的真空室还具有与外部隔离的真空锁；

每一个真空室内均设有一组环形轨道，每一组环形轨道均具有两个外接轨道，一旋转道岔可转动地设置在所述环形轨道和外接轨道的交界处，设置在所述真空室外部的外传送轨道的两端分别与所述外接轨道相连接；

对应于所述真空锁的位置，在所述外部传送轨道与外接轨道之间、以及各组环形轨道的外接轨之间均设有活动轨道。

6、如权利要求5所述的太阳能集热管连续溅射镀膜机，其特征在于，在所述外部传送轨道与外接轨道之间和/或各组环形轨道的外接轨道之间设有活动轨道。

7、如权利要求6所述的太阳能集热管连续溅射镀膜机，其特征在于，所述活动轨道为一升降式活动轨道。

8、如权利要求6所述的太阳能集热管连续溅射镀膜机，其特征在于，所述活动轨道为一平移式活动轨道。

9、如权利要求5至8任一项所述的太阳能集热管连续溅射镀膜机，其特征在于，所述轨道上设有多个连续运动的工件车，所述工件车由多个车体构成，每一车体包括一车体支架，所述车体支架的下部设有与所述轨道相配合的支承轮，一自转轴可转动地支承在所述车体支架上，该自转轴贯穿所述车体支架，其上部延伸至所述车体支架的外部，在所述自转轴的上部设有用于定位太阳能集热管的定位套。

10、如权利要求9所述的太阳能集热管连续溅射镀膜机，其特征在于，所述一支承轮上设有第一伞齿轮，所述自转轴的下端设有与所述第一伞齿轮相啮合的第二伞齿轮，一驱动机构驱动所述支承轮转动带动工件车沿轨道移动，第一伞齿轮和第二伞齿轮相啮合，所述自转轴带动太阳能集热管自转。

11、如权利要求9所述的太阳能集热管连续溅射镀膜机，其特征在于，所述各车体支架之间通过连接耳和销轴连接，构成可变换方向的工件车。

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