CN201801587U - 带有真空装卸室的镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带有真空装卸室的镀膜机，包括镀膜室，镀膜室连接有装卸室，装卸室与镀膜室之间设有通道，通道处设有隔离门；装卸室内设有吸热管输送机，还设有吸热管传送机械手；装卸室与镀膜室之间真空密封，装卸室和镀膜室分别设有单独的真空抽气口，装卸室的壁上设有装卸室门。装卸室可以容纳一批未镀膜的吸热管，并且在镀膜室镀膜的同时，通过抽真空系统将其抽至高真空，然后在维持真空的情况下，在装卸室和镀膜腔室之间传送吸热管，这样就可以防止大气进入镀膜室内，减少水蒸气对溅射膜层的污染，镀膜的质量和生产效率都大大提高。

Description

带有真空装卸室的镀膜机

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能集热管的镀膜机，尤其涉及一种带有真空装卸室的镀膜机。

背景技术

如图01所示，集热管是一种太阳能集热元件，它像一个拉长的暖水瓶胆，包括内玻璃管(吸热管)01、太阳选择性吸收涂层02、真空夹层03、罩玻璃管04、支承件(卡子)05、吸气剂06、吸气膜07等。由两根同心圆玻璃管组成，内、外玻璃管间抽成真空，太阳选择性吸收表面(涂层、膜系)沉积在吸热管的外表面构成吸热体，将太阳光能转换为热能，加热内玻璃管内的传热工质。

全玻璃真空集热管采用单端开口的设计，通过一端内、外管环形熔封起来，其吸热管另一端是密闭半球形圆头，带有吸气剂的弹簧卡子将吸热体玻璃管(以下简称吸热管)圆头支承在罩玻璃管(外玻璃管)内。

现有技术中，用于长吸热管选择性吸收涂层制备的方式是：

在真空腔室中以金属圆柱体(也有用长方体)作为溅射电极，在真空的情况下进行磁控溅射镀膜的过程，金属电极一般情况下比吸热管要长。在溅射时，在真空中充入氩气，由于氩气离子撞击金属电极，金属原子从金属电极表面游离出。游离出的金属原子沉积在吸热管的表面上和镀膜室中的其他构件上，吸热表面的涂层由金属及金属和非金属的原子组成，其中的非金属是由金属与腔室中的气体反应生成的，例如注入腔室中的氮气。

如图02、03所示，标准的单腔室溅射镀膜机主要用于批量镀制玻璃管(通常每批30～60支管)，包括镀膜室011、镀膜室墙壁012、吸收管013、圆形传送带014、支架015、溅射靶016、挡板017、镀膜室的门018、布气管042、抽气孔041等。它是一个直径约0.7～1.2米，垂直高度约2.0～2.5米(比吸热管长约0.7米)的带有抽真空系统的圆柱形腔室。可能会设一个、两个或三个溅射电极，垂直安置在腔室内。在两个或多个电极的情况下，在溅射电极中间会设置金属挡板，以减少溅射原子对其他电极的污染。放置在腔室中的吸热管，在一个外径略低于腔室内径的圆形旋转支架上作公转和自转运动。装吸热管时，将吸热管的开口端向下套在长度约350mm的支杆上。在溅射镀膜的过程中，圆形旋转支架依靠电机牵引以腔室的中心为轴心旋转，同时吸热管也在圆形旋转支架上匀速自转，以保证膜层均匀一致。在以往的工艺中，吸热管在镀膜结束后，要充入大气，然后打开镀膜机的门，手动将镀好膜的吸热管卸下，然后将新管装入镀膜室。

上述现有技术至少存在以下缺点：

当镀膜机的门打开时，大气中的潮湿空气会进入镀膜机内，导致大量水蒸气被吸附在镀膜腔室内壁和其他构件表面，特别是随着不断的镀膜，镀膜室内壁和其他构件表面沉积的涂层越来越厚，水蒸气在膜层上的吸附能力越来越强。将一批未镀膜的吸热管装入镀膜室后，关门开始抽真空，但是由于水蒸气吸附在腔室内壁上释放缓慢，达到溅射要求的真空度将非常困难，大大延长了抽真空的时间。因此，每一批吸热管的总镀膜时间会增加。因此，抽真空时间取决于进入镀膜室中空气的潮湿度，也取决于沉积在镀室内部膜的厚度。另外，在抽完真空后的溅射镀膜过程中，由于镀膜室内壁上的膜层仍持续释放水蒸气，尤其是在整个溅射镀膜的过程中，镀膜室中的内壁和构件表面的温度将不可避免的增加，水蒸气释放的速率会不断增长。水蒸气的存在会导致膜层的氧化，从而降低选择性吸收性能，使膜的质量变差，水蒸气含量的不断变化还会导致每一次镀膜的重复性很差。镀膜的质量和生产效率都很低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种镀膜质量高、生产效率高的带有真空装卸室的镀膜机。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

本实用新型的带有真空装卸室的镀膜机，包括镀膜室，所述镀膜室连接有装卸室，所述装卸室与镀膜室之间设有通道，所述通道处设有隔离门；

所述装卸室内设有吸热管输送机，还设有吸热管传送机械手；

所述装卸室与镀膜室之间真空密封，所述装卸室和镀膜室分别设有单独的真空抽气口，所述装卸室的壁上设有装卸室门。

由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，本实用新型所述的带有真空装卸室的镀膜机，由于将一个真空装卸室安装在镀膜室上，装卸室可以容纳一批未镀膜的吸热管，并且在镀膜室镀膜的同时，通过抽真空系统将其抽至高真空，然后在维持真空的情况下，在装卸室和镀膜腔室之间传送吸热管，这样就可以防止大气进入镀膜室内，实现装卸吸热管的过程中没有潮湿空气进入镀膜机，也避免打开门使得镀膜室持续暴露在空气中。大大降低装入吸热管后抽真空的时间，还能够减少水蒸气对溅射膜层的污染，从而生产出高质量选择性吸收涂层，并且大大提高了生产的重复性。镀膜的质量和生产效率都大大提高。

附图说明

图01为现有技术中集热管的结构示意图；

图02为现有技术中镀膜室的立面结构示意图；

图03为现有技术中镀膜室的平面结构示意图；

图1为本实用新型带有真空装卸室的镀膜机具体实施例一的结构示意图；

图2为本实用新型中机械手具体实施例一的结构示意图；

图3为本实用新型带有真空装卸室的镀膜机具体实施例二的结构示意图；

图4为本实用新型中机械手具体实施例二的结构示意图；

图5为本实用新型带有真空装卸室的镀膜机具体实施例三的结构示意图；

图6为本实用新型带有真空装卸室的镀膜机具体实施例四的结构示意图；

图7为本实用新型中机械手具体实施例三的结构示意图；

图8为本实用新型中机械手具体实施例四的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型的带有真空装卸室的镀膜机，其较佳的具体实施方式是：

包括镀膜室，所述镀膜室连接有装卸室，所述装卸室与镀膜室之间设有通道，所述通道处设有隔离门；

所述装卸室内设有吸热管输送机，还设有吸热管传送机械手；

所述装卸室与镀膜室之间真空密封，所述装卸室和镀膜室分别设有单独的真空抽气口，所述装卸室的壁上设有装卸室门。

所述吸热管输送机上可以设有蛇形传送轨道，所述蛇形传送轨道上设有多个吸热管支架。

所述吸热管支架顶端可以是锥形或半球形。

所述隔离门可以为铰链门或滑动门。

所述装卸室可以连接在所述镀膜室的侧壁上或镀膜室门上。

所述装卸室的底部可以设有脚轮。

所述机械手可以包括水平支架，所述水平支架的前端设有垂直支架，所述垂直支架的上端和下端分别对应设有一个或两个吸热管夹具；所述水平支架设有水平伸缩驱动装置；所述垂直支架可以设有上下移动驱动装置。

所述水平支架的前端可以设有水平短杆，所述垂直支架连接在所述水平短杆的前端；所述水平短杆设有水平伸缩驱动装置和旋转驱动装置。

所述水平支架可以为整体长杆，所述装卸室的壁上设有管状延伸管，所述水平支架的后端伸入到所述管状延伸管内。

所述水平支架也可以为伸缩杆，包括前杆和后杆，所述前杆与后杆之间设有相对伸缩驱动装置。

所述的水平伸缩驱动装置、上下移动驱动装置和相对伸缩驱动装置等，可以分别包括驱动电机和齿轮-齿条驱动机构；所述夹具设有气动或电磁或机械夹紧驱动机构；当所述垂直支架的上端和下端分别对应设有两个夹具时，两个夹具之间的相对位置可以能够调整。

所述吸热管传送机械手可以安装两套同时进行传送。

本实用新型将一个真空装卸室安装在镀膜室上，装卸室可以容纳一批未镀膜的吸热管，并且在镀膜室镀膜的同时，通过抽真空系统将其抽至高真空。然后在维持真空的情况下，在装卸室和镀膜腔室之间传送吸热管，这样就可以防止大气进入镀膜室内。

通过改造现有单腔室镀膜机，减少吸热管的镀膜时间，提高选择性涂层的质量和进行大规模稳定生产。实现装卸吸热管的过程中没有潮湿空气进入镀膜机，也避免打开门使得镀膜室持续暴露在空气中。大大降低装入吸热管后抽真空的时间。还能够减少水蒸气对溅射膜层的污染，从而生产出高质量选择性吸收涂层，并且大大提高了生产的重复性。

具体是通过在镀膜室腔壁上或门上安装至少一个狭窄的通道来实现，通道的宽度至少要能容纳一根垂直放置的吸热管和一套设置在吸热管传送机械手装置上的夹钳顺利通过，比如吸热管直径是50mm，通道的宽度就应为80mm。吸热管传送通道的垂直高度通常比吸热管高约50mm，比如1.85m可通过1.8m长的吸热管。吸热管传送通道应设有一个较小的门，可以是依靠铰链连接，也可以是从侧面滑轨滑入，关闭在镀膜室壁上或门上，通过通道周围的密封实现真空隔离。

真空装卸室是靠真空密封在镀膜室的外壁或镀膜室的门上，因此吸热管传送通道和相应的门应设置在真空装卸室内部。

真空装卸室包括一套抽真空系统、一个能够装载和输送批量吸热管的输送机、一个向装卸室往返传送吸热管的机械手装置，可以通过通道将吸热管往返传送到溅射镀膜室的圆形转架上，在装卸室的墙上有一个大的门，用于当装卸室内充入大气后装卸吸热管。

具体实施例一：

如图1所示，图1表示出溅射镀膜机1和腔室壁2(通常是圆柱体)的一部分。将吸热管3放在圆形转架4上，每支吸热管由一支约350mm高的垂直支杆5支撑着。每支吸热管依靠与转架相连的电机驱动，电机通常安装在镀膜室外部。溅射靶材6和金属挡板7分别设置在镀膜腔室中间。充大气后可以通过镀膜室壁上的门8进入到镀膜室内部。(在现有技术的工艺中，镀膜结束后，向镀膜室内充入大气，再打开门8，卸下镀好的吸热管，装上未镀膜的吸热管。也可以通过这扇门对镀膜室进行日常的维护，比如说清除溅射到腔室内壁上的膜层以及更换靶材等。)

本实用新型中，装卸室9的腔室壁10(通常是柱形)由真空密封条11和固定件(未表示出)安装在镀膜室的门8的外壁上，但是可以选择性的与镀膜机的壁2部分连接起来。在镀膜室的壁上设置一个较窄的通道12(如宽约80mm)，或者最好在门8上，装卸室9和溅射镀膜室1通过通道12相互连通。设置一个较窄的小门13，可关闭通道12，由通道四周的密封条或固定件(未表示出)组成。这道较窄的门可以用铰链固定，或者采用常用的真空系统设计工艺，可以安装成与镀膜室壁平行的滑动门。小门13的开、关和密封可以依靠电机或者电磁(未表示出)驱动，也可以依靠在真空室外部控制的气动动力。

装卸室9包含一个持续转动的输送机14由虚线表示出来，它带有一个垂直放置的支撑杆15，这些支撑杆按照一定间距设置，可以将吸热管3垂直放置在输送机14上传送。输送机14在装卸室9中沿着蛇形轨道输送，所以装卸室9的最小体积由输送机和输送机上的吸热管而定。装卸室的体积应当降到最小。输送机包括足够的支撑杆以容纳每批吸热管，并且至少有一个多余的支撑杆，作为第一个装吸热管的支撑杆，从而在装卸吸热管的过程中将镀好膜的吸热管从圆形转架传送出去。为了方便地在圆形转架和输送机之间进行吸热管传送，输送机应与圆形转架在同一水平面上，圆形转架上的垂直支撑杆也应与输送机上的支撑杆等高。此外，为了方便吸热管安置在支撑杆上，支撑杆的顶端可以做成锥形或半球形。图1举例中表示了一组35个支撑架的输送机，可放置一批数量为34只吸热管，其中包括一个额外的支撑杆。

举例说，如我们了解的滚动链传送方法，输送机可以由连续的链子组成，或者为了防止链子扭曲以保持吸热管垂直放置，可采用两条或三条空心销轴链，将固定有支撑杆的横杆穿在链条孔上。在装卸室上固定许多小的链齿轮和导向轮，还有固定在腔室中与链条连续接触的弯曲金属片一起来确定蛇形轨迹路径。一个或多个链齿轮由电动机驱动，如步进电机，它可以相对缓慢的进行间歇性传送，这样，输送机上的每只吸热管和支撑杆可以有序的传送到通道12附近的位置17上。同样地，沿着轴心旋转的圆形转架也是由电动机牵引，比如步进电机，它能够间歇性运转，这样，圆形转架上的每只吸热管和支撑杆可以连续的传送到通道12附近的位置18上。圆形转架和输送机保持相对静止以将镀好膜的吸热管从圆形转架的位置18上传送到输送机上空的位置17上，然后输送机再行走一步，再将输送机位置17上的未镀膜的吸热管传送到圆形转架的位置18上。

装卸室包含一个用于在镀膜室和装卸室之间传送吸热管的机械手装置19，当小门13打开时，通过通道12进行传送。

机械手装置19的具体实施例一，如图2所示：

这个机械手装置适用于图1中表示的具体实施例一的方案，完成吸热管依靠三个相关联的部件进行传送的过程，具体包括：

一个或两个以上的夹具20可以灵活的同时夹住垂直放置的吸热管3。可以在夹具上加上垫片，比如聚合物材料，从而使夹具将吸热管夹牢，并且避免破坏吸热管上的膜层。每一个夹具可以靠电或是气动控制，例如，夹口可以靠电磁(未显示出)关闭，靠弹簧(未显示出)打开。夹具连接在垂直支架22上。最好的设计是，上下两个夹子中间隔开约0.5m，这样的设计适用于1.8m的吸热管，它能够确保吸热管在机械手传送过程中保持垂直。

以～0.3m的距离水平传动，能够完成吸热管从装卸室到圆形转架间的传递。水平传送可以通过水平支架23进行传送，它通过轴承固定在装卸室(未显示出)和垂直支架22上。水平支架23的水平传送依靠电动机24驱动，比如说步进电机，可将步进电机固定在装卸室内，通过齿轮传送装置与水平支架23啮合。输送机上相邻支杆上吸热管的间隔，以及夹具和吸热管传送装置的设计必须满足是在夹吸热管的过程和吸热管水平传送的过程中与邻近吸热管没有接触。图1中方案说明，输送机上支杆间距应当较大。例如，吸热管的外径是47mm，支架间的距离应该要达到约80mm，以避免夹具装置对位置17上的吸热管移动造成影响。

以～0.35m的距离垂直传送，将吸热管的开口端升高到支撑杆以上，然后将吸热管放在圆形转架和输送机的支撑杆上。垂直传送装置可以由电机驱动，比如说步进电机25，可以将电机与水平支架23相连接，通过齿轮传送装置传送到垂直支架22上。

再参见图1，在空间有限的装卸室中，为了解决机械手传送装置19的吸热管传动，尤其是杆23的水平移动装置的合理布局，最好在装卸室上设置一个管状延伸管26，最小直径如50mm，长度约200mm，可以安装在装卸室上，机械手装置19的水平支架23可以通过圆柱管进入到腔室中。装卸室9上有一个可手动打开的门27，用密封条和机械夹具真空密封在装卸室上。当溅射镀膜腔室和装卸室中间的小门13关闭的时候，门27可以打开，此时大气已充入装卸室中，可以手动将镀好膜的吸热管从输送机上卸下，将未镀膜的吸热管放到输送机上。输送机和吸热管传送机械手装置也可以通过小门13平稳的进入装卸室中。装卸室上有一个抽气口28，真空泵和相关阀门附件与之相连。该抽真空系统独立于镀膜室的真空系统，将装满吸热管的装卸室抽至真空状态，并同时在镀膜室中进行溅射镀膜。与装卸室相连的真空泵的大小和抽速由镀膜的时间决定。因为装卸室内壁没有溅射上膜层，不会有大量吸附的气体释放，所以装卸室的抽真空速度较快。

溅射镀膜过程结束后，装卸室中同时有一批未镀膜的吸热管已经完成抽真空，将两个腔室中间的小门13打开，机械手装置19将镀膜室中镀好膜的吸热管传送到装卸室中，将装卸室中未镀膜的吸热管输送到镀膜室中，整个过程如下：

1.镀好的吸热管在圆形转架上传送到与通道12相邻的位置18上；

2.将输送机上空的支撑杆移动到与通道12相邻的位置17上；

3.机械手装置上的水平支架23经过通道12进入到镀膜室中，此时夹具20已打开，直至移动到位置18上的已镀好膜的吸热管；

4.将位置18上的吸热管夹住；

5.机械手装置的垂直支架22垂直上升，将镀好膜的吸热管提升到位置18的支撑杆上方；

6.水平支架23将镀好膜的吸热管从通道12水平移动到装卸室9中，并垂直在位置17的支撑杆上方；

7.垂直架22垂直下降，将镀好膜的吸热管放在空位17上；

8.夹具20松开；

9.水平支架23离开输送机14一段较小的距离(约75mm)，这样可以避免夹具20影响输送机和邻近吸热管的传送；

10.输送机14将相邻的未镀膜的吸热管移动到位置17上；

11.水平支架23在水平方向上移动一小段距离，直至已打开夹具20到达位置17上的未镀膜的吸热管；

12.将未镀膜的吸热管夹牢；

13.支架22垂直上升，将未镀膜的吸热管的开口端提升到支撑杆上方；

14.支架23将未镀膜的吸热管沿着水平方向经由通道12移动到溅射镀膜室中位置18上方；

15.支架22沿着垂直方向下降，将未镀膜的吸热管放到空位18上；

16.夹具20松开；

17.水平支架23短距离移动一下(～60mm)，使夹具20可以不碰到圆形转架4上移动的吸热管；

18.圆形转架4转动，邻近的镀好的吸热管被放置在位置18上；

19.水平支架23在水平方向上又移动回去，以便于打开夹具20将位置18上的镀好膜的吸热管夹住。

上操作过程从第四步开始重复，直到将镀好膜的吸热管全部传送到装卸室中，将未镀膜的吸热管传送到镀膜室中。这整个循环过程，包括小门13的开关过程，都由控制回路自动控制，以提高传送过程的速度和效率。在吸热管的传送过程中，镀膜室和装卸室均抽成真空，并且与镀膜室相连的真空泵会持续抽真空。因此在传送吸热管之后，溅射镀膜室中还能保持真空的状态，装卸完毕后就可以立刻进行镀膜。此外，在吸热管传送过程中，沉积在镀膜室壁及其他部件上的膜不会暴露在水汽中，这样就可以减少连续溅射生产过程中水汽的释放，从而得到能够稳定可靠连续生产的高质量的选择性膜层。

用于吸热管传送过程的控制系统可以设计成与抽真空和镀膜过程的控制系统一样的全自动，因此，除了人工在装卸室中装卸吸热管以外，整个溅射镀膜的操作可以完全自动化。

如果做成两个通道12和两个门13同时传送吸热管，吸热管传送的速度和效率可以提高，这两个通道和门应设置在两个腔室间的壁上，并且可以用两个机械手装置19同时传送吸热管。在这个设计中，输送机需要两个空位置以协调两个机械手装置操作，两个机械手装置也可以交替使用。

具体实施例二，如图3所示：

该实施例中，装卸室9中的输送机14与方案1比较支架15和吸热管3的排列可以更紧密，(例如，支架间的距离是大约67mm，可以用在外径为47mm的吸热管上)，这样整批吸热管放置更紧凑，可以得到尺寸和体积更小的装卸室。图3为例表示了一个装有35个支架的传送机，这个传送机可以传送34支吸热管，并剩余一个空支杆。

吸热管间距的减小(对比图1中的具体实施例一)是由于改进了机械手装置的部件，位置17上的吸热管水平移动的方向与传送路径成直角(位置17是传送机上镀膜和未镀膜的吸热管装卸的位置)。其特点是，机械手装置19上有一个与夹具20相连一个水平短杆30，这个短杆设计成可90°旋转以及可以有一个短距离水平移动，以便在位置17上装卸吸热管。在传送的过程中，未镀膜的吸热管在位置17上被夹起，从支杆上垂直提起，此时短杆30向右移动一小段距离(如图3)以避开临近的吸热管，然后短杆30以90°(见图3中的箭头和虚线)顺时针旋转成与水平杆23成一条直线。水平杆23通过通道12将吸热管传送到位置18上。装卸室和镀膜室之间的机械手装置的整体设置与前面的介绍相似，考虑了附加短杆30的旋转和短距离水平移动。

机械手装置的具体实施例二，如图4所示：

提出了一种适用于镀膜机具体实施例二的吸热管传送装置，它表示出一个水平短杆23水平牵引装置的具体方案，例如依靠固定在装卸室上的电机24驱动。旋转装置31依靠连接在水平杆23上的电机驱动，水平短杆30由固定在水平杆23上的电机33水平驱动。因此水平短杆30可以依靠转动装置31和传送装置33的牵引进行旋转和水平移动。电机25的驱动装置与水平短杆30相连接，并通过垂直支架22牵引夹具20。

具体实施例三，如图5所示：

该实施例中，传送通道12的小门13采用滑动门比链门更具有优势，滑动门可以使吸热管更加靠近通道12，使输送机14和装卸吸热管的位置17更靠近通道12。与具体实施例二相似的是，输送机14包含了紧密排列而均匀分布的支架15和吸热管16。图5的示意图表示一个具有35个支架的输送机，它可以放置34支吸热管和一支额外支杆。

输送机以机械手装置19为中心，沿着几乎对称的蛇形路径进行移动。机械手装置19的优势在于它包括一个伸缩水平架23A和23B，这样就可以既有足够的长度进入到圆形转架的位置18上，又可以减小伸缩时的长度。伸缩臂的长度较小，所以机械手装置可以安置在一个体积较小的装卸室中。装卸室和镀膜室之间吸热管传送的整个操作系统的设置与图1中的具体实施例一相同。

具体实施例四，如图6所示：

与图5中的方案几乎相同，但是吸热管传送通道12和滑动门均被加宽，以允许机械手装置将至少两根吸热管同时传送。这套方案的特点是，圆形转架上支杆的距离与输送机上支杆的距离相同，这样有助于同时传送两支吸热管。机械手装置19带有两个夹具20A和20B，分别将已镀膜的吸热管放到输送机14上的位置17A和17B上，然后再将未镀膜的吸热管传送到圆形转架4的位置18A和18B上。这套方案中，输送机至少有两个多余的支杆以提供两个相邻的空位支杆，用于将开始两支镀好膜的吸热管从圆形转架上传送到输送机上。图6是举例表示一个具有36个支架的输送机能够容纳34支吸热管和两个多余支杆的示意图。机械手装置的整个工作过程与图1中第一套镀膜机方案几乎相同，特点在于每步同时传送两支吸热管。

机械手装置的具体实施例三，如图7所示：

图7提出了图5和图6中镀膜机具体实施例三和具体实施例四中吸热管传送装置的具体实施。水平臂上有两个可伸缩的部件23A和23B。部件23A是由安装在装卸室上电机24A驱动，部件23B是由安装在23A上的电机24B驱动。垂直臂22是由电机25在垂直方向上运动，电机25安装在23B上。垂直臂22上连有传送一支或是同时传送两支吸热管的夹具20A和20B。

机械手装置的具体实施例四，如图8所示：

图8提出了一种用于同时传送两支吸热管的机械手装置上的夹具的具体实施方式，可用于当圆形转架上的两个相邻支架的间距与输送机上相邻支架的间距不同的情况，区别在于在短臂40A和40B上连接两个夹具20A和20B，短臂的驱动装置可以依靠电磁力和弹簧驱动，两个短臂应可以有一定角度旋转以便改变两个夹具间的距离。

在所有的方案中的优点是，用真空密封方式将装卸室9连接在镀膜室的壁2上或用真空密封条11连接在门8上，这样就可以手动迅速将装卸室与镀膜室分离。装卸室被固定在一个高度可调节的轮子或是小脚轮上，用来承受腔室的重量以及方便装卸室与镀膜室之间的安装和拆卸。在镀膜室需要维护的情况下，能够迅速的将装卸室卸下以及打开镀膜室的门8，以便工作人员进入到溅射镀膜室中。

本实用新型详细的介绍了吸热管的装卸过程，吸热管的形状不同可以通过装卸室和镀膜室之间传送的夹具设计和对圆形转架和输送机上的支撑杆进行改动来实现。例如，吸热管可以由圆柱形或是非圆柱形横截面的金属管或是带有或不带有金属管的金属条带等组成。在实践当中，材料的选用与形状和尺寸一样，可以根据不超过附加说明的内容而定。

本实用新型技术方案带来的有益效果：

(1)本实用新型减少吸热管的镀膜时间，提高选择性涂层的质量和进行大规模稳定生产。因为增加了一个真空装卸室，所以装卸吸热管的过程中没有潮湿空气进入镀膜机，也避免打开门使得镀膜室持续暴露在空气中。大大降低装入吸热管后抽真空的时间。因为几乎没有水蒸气进入镀膜腔室中，所以同时也降低了说整齐对膜层的污染，从而生产出高质量选择性吸收涂层，并且大大提高了生产的重复性。

(2)本实用新型中的传送管子过程是依靠机械手进行两个腔室中管子的传送。优点一：机械手可以自如的将管子传送，不会发生如现有技术中装管子的小车在两个腔室中传送管子的过程中会有变换轨道的步骤，变换轨道中会发生传送卡住等情况，影响生产效率，并且维修起来也很麻烦；优点二：通过机械手传送管子，可以产生四套改进方案，大大的提高了生产效率，并且制造更加优质的产品。

(3)本实用新型在装卸室中将传送带设计为蛇形传送，这样可以大大提高腔室的空间利用率，从而减少抽真空时间，提高生产效率。

(4)本实用新型将一个真空装卸室安装在镀膜室上，相比原有类似技术，在使用效果优于以往类似实用新型的基础上，可对现存的大量单腔室镀膜机进行改造，易装卸，节约厂房的占地面积，投资成本大大降低，是一种集质优和价廉于一体的新实用新型。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种带有真空装卸室的镀膜机，包括镀膜室，其特征在于，所述镀膜室连接有装卸室，所述装卸室与镀膜室之间设有通道，所述通道处设有隔离门；

所述装卸室内设有吸热管输送机，还设有吸热管传送机械手；

所述装卸室与镀膜室之间真空密封，所述装卸室和镀膜室分别设有单独的真空抽气口，所述装卸室的壁上设有装卸室门。

2.根据权利要求1所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述吸热管输送机上设有蛇形传送轨道，所述蛇形传送轨道上设有多个吸热管支架。

3.根据权利要求2所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述隔离门为铰链门或滑动门。

4.根据权利要求3所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述装卸室连接在所述镀膜室的侧壁上或镀膜室门上。

5.根据权利要求4所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述装卸室的底部设有脚轮。

6.根据权利要求1至5任一项所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述机械手包括水平支架，所述水平支架的前端设有垂直支架，所述垂直支架的上端和下端分别对应设有一个或两个吸热管夹具；

所述水平支架设有水平伸缩驱动装置；所述垂直支架设有上下移动驱动装置。

7.根据权利要求6所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述水平支架的前端设有水平短杆，所述垂直支架连接在所述水平短杆的前端；

所述水平短杆设有水平伸缩驱动装置和旋转驱动装置。

8.根据权利要求7所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述水平支架为整体长杆，所述装卸室的壁上设有管状延伸管，所述水平支架的后端伸入到所述管状延伸管内。

9.根据权利要求7所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述水平支架为伸缩杆，包括前杆和后杆，所述前杆与后杆之间设有相对伸缩驱动装置。

10.根据权利要求9所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述水平伸缩驱动装置、上下移动驱动装置和相对伸缩驱动装置分别包括驱动电机和齿轮-齿条驱动机构；所述夹具设有气动或电磁或机械夹紧驱动机构；

当所述垂直支架的上端和下端分别对应设有两个夹具时，两个夹具之间的相对位置能够调整。

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