CN201132204Y - 多晶硅铸锭炉的炉体保护装置 - Google Patents

多晶硅铸锭炉的炉体保护装置 Download PDF

Info

Publication number
CN201132204Y
CN201132204Y CNU2007201136165U CN200720113616U CN201132204Y CN 201132204 Y CN201132204 Y CN 201132204Y CN U2007201136165 U CNU2007201136165 U CN U2007201136165U CN 200720113616 U CN200720113616 U CN 200720113616U CN 201132204 Y CN201132204 Y CN 201132204Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
furnace body
heater
furnace
sleeve pipe
polycrystalline silicon
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNU2007201136165U
Other languages
English (en)
Inventor
徐芳华
卫国军
孙海梁
高杰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hangzhou Jinggong Mechanical & Electrical Research Institute Co., Ltd.
Zhejiang Jinggong Science and Technology Co Ltd
Original Assignee
SHAOXING FINE ELECTROMECHANICAL INSTITUTE Co Ltd
Zhejiang Jinggong Science and Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SHAOXING FINE ELECTROMECHANICAL INSTITUTE Co Ltd, Zhejiang Jinggong Science and Technology Co Ltd filed Critical SHAOXING FINE ELECTROMECHANICAL INSTITUTE Co Ltd
Priority to CNU2007201136165U priority Critical patent/CN201132204Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201132204Y publication Critical patent/CN201132204Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Abstract

一种多晶硅铸锭炉的炉体保护装置，属多晶硅铸锭炉的制造技术领域，主要由带中间夹层(11)的炉体(9)，置于炉体(9)底部的凸台套管(10)和岩棉(5)，置于岩棉(5)上部固定于凸台套管(10)上带端盖(7)的套管(8)，置于端盖(7)中部的护套管(6)等构成。通过由岩棉、凸台套管、带端盖的套管等构成的炉体保护装置的作用，能有效防止承装硅液的坩埚在发生破裂或其它原因导致硅液溢出时，流向炉体底部的硅液在炉体底部堆积，高温硅液热能烧穿炉体钢板，使冷却水暴露在高温低压的炉内，从而引发灾难性事故的现象发生。避免了硅液对炉体的损伤。

Description

多晶硅铸锭炉的炉体保护装置
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉的炉体保护装置，属多晶硅铸锭炉的制造技术领域。
背景技术
硅是自然界常见的一种化学元素，纯净的硅熔点1414℃，用于太阳能级多晶硅纯度一般在99.99％以上。多晶硅铸锭炉是一种专业硅重熔设备，用于生产大量合格的太阳能用多晶硅铸锭。实际生产中，由于涉及高温低压的熔炼环境，因此，安全至关重要！而多晶硅在熔化、结晶等生产工艺环节中，难免会出现硅液溢流现象，如何处理是保障设备以及人身安全的一项重要技术。而现有多晶硅铸锭炉由于结构设计上的不足，难以满足生产要求。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种设计合理，使用方便，能有效避免硅液对炉体损伤的多晶硅铸锭炉的炉体保护装置。
本实用新型为多晶硅铸锭炉的炉体保护装置，包括炉体，其特征在于炉体的底部设有凸台套管和岩棉，岩棉的上部设有固定于凸台套管上带端盖的套管。
所述端盖的中部还可设有护套管。
所述的套管与凸台套管可通过螺纹固定联接。
所述套管，端盖，护套管的材料可为高纯石墨，能保证具有优良的耐高温特性。
所述凸台套管与炉体的材料可为不锈钢。
所述炉体的底部还可设有中间夹层，可进一步提高炉体的散热冷却效果。
本实用新型设计合理，通过由岩棉、凸台套管、带端盖的套管等构成的炉体保护装置的作用，能有效防止承装硅液的坩埚在发生破裂或其它原因导致硅液溢出时，流向炉体底部的硅液在炉体底部堆积，高温硅液热能烧穿炉体钢板，从而引发灾难性事故的现象发生。避免了硅液对炉体的损伤。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构剖视图；
图2为图1所示A部分的放大结构示意图；
图3为本实用新型使用状态时的结构剖视图。
具体实施方式
本实用新型主要由带中间夹层11的炉体9，置于炉体9底部的凸台套管10和岩棉5，置于岩棉5上部固定于凸台套管10上带端盖7的套管8，置于端盖7中部的护套管6等构成；套管8与凸台套管10通过螺纹固定联接。套管8、端盖7、护套管6的材料为高纯石墨，凸台套管10与炉体9的材料为不锈钢。
正常工作情况下，炉体9内是一个高温低压、高洁净的工作环境，是决不允许冷却水以任何方式向炉内渗水的。套管8上面固定着端盖7，端盖7中间有孔，插着一根护套管6，护套管6穿过炉体9内的保温隔板4并超出其表面一定距离，护套管6中空，以方便炉体9内的其它零部件从中穿过。套管8与凸台护套10通过螺纹拧紧后其端面扣压在铺设在炉体9底部的耐高温岩棉5上。所有这些一起构成一套保护装置，其目的就是防止承装硅液的石英坩埚1在发生破裂或其它原因导致硅液溢出时，流向炉体底部的硅液在炉体9底部堆积，高温硅液热能烧穿炉体钢板，使冷却水暴露在高温低压的炉内，从而引发灾难性事故。
使用时，将石英坩埚1置于石墨坩埚2内然后放置于热交换台3上，原材料硅12在石英坩埚1中被加热熔化。当石英坩埚1出现裂纹时，硅液必然沿着石墨坩埚2与石英坩埚1之间的缝隙，按附图3所示箭头方向往下流，积聚在保温隔板4中部的护套管6周围以及炉体底部的套管8和端盖7周围，对凸台护套10和炉体9起到隔离保护作用，避免了高温硅液与炉体不锈钢材质直接接触而造成的损坏。当硅液在护套管6和套管8周围完全冷却成固体状13后，打开炉体9，更换部分损坏的套管8、端盖7、护套管6等石墨器件以及其它零部件，即可再次投入生产。

Claims (6)

1、一种多晶硅铸锭炉的炉体保护装置，包括炉体(9)，其特征在于炉体(9)的底部设有凸台套管(10)和岩棉(5)，岩棉(5)的上部设有固定于凸台套管(10)上带端盖(7)的套管(8)。
2、按权利要求1所述多晶硅铸锭炉的炉体保护装置，其特征在于所述端盖(7)的中部还设有护套管(6)。
3、按权利要求1所述多晶硅铸锭炉的炉体保护装置，其特征在于所述的套管(8)与凸台套管(10)通过螺纹固定联接。
4、按权利要求1或2或3所述多晶硅铸锭炉的炉体保护装置，其特征在于所述套管(8)，端盖(7)，护套管(6)的材料为高纯石墨。
5、按权利要求1所述多晶硅铸锭炉的炉体保护装置，其特征在于所述凸台套管(10)与炉体(9)的材料为不锈钢。
6、按权利要求1所述多晶硅铸锭炉的炉体保护装置，其特征在于所述炉体(9)的底部还设有中间夹层(11)。
CNU2007201136165U 2007-08-23 2007-08-23 多晶硅铸锭炉的炉体保护装置 Expired - Fee Related CN201132204Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2007201136165U CN201132204Y (zh) 2007-08-23 2007-08-23 多晶硅铸锭炉的炉体保护装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2007201136165U CN201132204Y (zh) 2007-08-23 2007-08-23 多晶硅铸锭炉的炉体保护装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201132204Y true CN201132204Y (zh) 2008-10-15

Family

ID=40060478

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNU2007201136165U Expired - Fee Related CN201132204Y (zh) 2007-08-23 2007-08-23 多晶硅铸锭炉的炉体保护装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201132204Y (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102286779A (zh) * 2011-08-15 2011-12-21 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 下腔体保温结构及采用下腔体保温结构的多晶炉
CN103668451A (zh) * 2013-12-18 2014-03-26 中南大学 一种多晶硅铸锭炉

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102286779A (zh) * 2011-08-15 2011-12-21 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 下腔体保温结构及采用下腔体保温结构的多晶炉
CN102286779B (zh) * 2011-08-15 2014-04-16 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 采用下腔体保温结构的多晶炉
CN103668451A (zh) * 2013-12-18 2014-03-26 中南大学 一种多晶硅铸锭炉
CN103668451B (zh) * 2013-12-18 2016-03-30 中南大学 一种多晶硅铸锭炉

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201506708U (zh) 一种多晶硅铸锭炉的热场结构
CN204779921U (zh) 一种新型多晶硅侧分层加热装置
CN204138818U (zh) 一种用于多晶硅铸锭炉的溢流棉
CN201132204Y (zh) 多晶硅铸锭炉的炉体保护装置
CN202072799U (zh) 多晶硅铸锭炉溢流保护结构
CN201593073U (zh) 一种节能型多晶硅铸锭炉的热场结构
CN102703976B (zh) 一种多晶硅炉
CN205669940U (zh) 一种小型可移动合金熔炼炉
CN205893453U (zh) 一种用于单晶炉的导流筒
CN101158548A (zh) 多晶硅铸锭炉的炉体保护装置
CN102384646A (zh) 实现内加热的坩埚、炉体及坩埚电阻炉
CN201495107U (zh) 一种具有高质量提纯多晶硅的多晶炉
CN204898124U (zh) 一种多晶硅铸锭用提纯炉
CN209740966U (zh) 一种装有冷凝炉衬的热熔渣矿棉电炉
CN101168849A (zh) 多晶硅铸锭炉的硅液溢流承接装置
CN202175735U (zh) 硅液溢流即时反馈装置
CN202187089U (zh) 快速反馈硅液溢流监控装置
CN201495103U (zh) 具硅液溢出安全保护装置的多晶硅炉
CN208776873U (zh) 一种节能多晶铸锭炉
CN208016025U (zh) 一种移动式柔性电加热液体金属吸出装置
CN206814402U (zh) 一种多晶硅铸锭用提纯炉
CN204128368U (zh) 熔化炉炉盖
CN204251766U (zh) 一种晶体硅铸锭炉热场的保温结构
CN204898122U (zh) 一种多晶硅铸锭炉
CN103122480A (zh) 多晶硅生长过程中的保温结构

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee

Owner name: ZHEJIANG JINGGONG SCIENCE + TECHNOLOGY CO., LTD.

Free format text: FORMER NAME: ZHEJIANG JINGGONG SCIENCE + TECHNOLOGY CO.,LTD.

CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: Jianhu road 312030 Zhejiang County of Shaoxing province Keqiao Industrial Park No. 1809 Cauchy Street

Co-patentee after: Shaoxing Jinggong Electronic Research Institute Co., Ltd.

Patentee after: Zhejiang Jinggong Science & Technology Co., Ltd.

Address before: Jianhu road 312030 Zhejiang County of Shaoxing province Keqiao Industrial Park No. 1809 Cauchy Street

Co-patentee before: Shaoxing Fine Electromechanical Institute Co., Ltd.

Patentee before: Zhejiang Jinggong Science & Technology Co.,Ltd.

C56 Change in the name or address of the patentee
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: Jianhu road 312030 Zhejiang County of Shaoxing province Keqiao Industrial Park No. 1809 Cauchy Street

Co-patentee after: Hangzhou Jinggong Mechanical & Electrical Research Institute Co., Ltd.

Patentee after: Zhejiang Jinggong Science & Technology Co., Ltd.

Address before: Jianhu road 312030 Zhejiang County of Shaoxing province Keqiao Industrial Park No. 1809 Cauchy Street

Co-patentee before: Shaoxing Jinggong Electronic Research Institute Co., Ltd.

Patentee before: Zhejiang Jinggong Science & Technology Co., Ltd.

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20081015

Termination date: 20160823

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee