CN204898124U - 一种多晶硅铸锭用提纯炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭用提纯炉，包括炉体、坩埚、离心装置、真空装置和加热装置；所述炉体内设有保温层，所述保温层内设置所述加热装置；所述坩埚设置于炉体内；所述离心装置设于所述炉体下部，并与所述坩埚通过离心装置的主轴固定连接；所述真空装置设于所述炉体外一侧，并与所述炉体通过真空管路连接。本实用新型通过在保温层内设置加热装置，节省炉体空间，提高炉体空间利用率。采用本实用新型的提纯炉提纯得到的多晶硅中磷在5ppm以下，硼在0.3ppm以下，符合晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。

Description

一种多晶硅铸锭用提纯炉

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产工艺领域，尤其涉及一种多晶硅铸锭用提纯炉。

背景技术

在多晶硅生产和提纯的过程中，通常需要先采用真空感应炉进行熔炼去杂，再进行多次定向凝固去杂，上述提纯过程需要消耗大量电能。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种多晶硅铸锭用提纯炉，该多晶硅铸锭用提纯炉解决了耗电量高的技术问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种多晶硅铸锭用提纯炉，包括炉体、坩埚、离心装置、真空装置和加热装置；

所述炉体内设有保温层，所述保温层内设置所述加热装置；

所述坩埚设置于炉体内；

所述离心装置设于所述炉体下部，并与所述坩埚通过离心装置的主轴固定连接；

所述真空装置设于所述炉体外，并与所述炉体通过真空管路连接。

优选地，还包括密封装置，所述密封装置环绕于所述坩埚外。

优选地，所述坩埚的数量与所述离心装置的数量相同为2～100个。

优选地，所述保温层包括第一保温层和第二保温层。

优选地，所述加热装置为电极。

优选地，所述电极对称安装在所述第二保温层内。

优选地，所述第一保温层为耐火保温纤维层，所述第二保温层为石墨碳砖层。

优选地，所述电极为石墨电极。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过在保温层内设置加热装置，节省炉体空间，提高炉体空间利用率。本实用新型中通过采用离心装置对多晶硅进行提纯，经实验测试发现，采用本实用新型的提纯炉提纯得到的多晶硅中磷在5ppm以下，硼在0.3ppm以下，符合晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型多晶硅铸锭用提纯炉的结构示意图。

图中：

1、炉体；2、坩埚；3、第一保温层；4、第二保温层；5、真空装置；51、真空管路；6、离心装置；61、主轴；7、加热装置；8、密封装置。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实用新型提供的多晶硅铸锭用提纯炉，包括炉体1、坩埚2、离心装置6、真空装置5和加热装置7。

所述坩埚2设置于炉体1内，用于盛放要提纯的多晶硅，所述离心装置6通过带动坩埚2旋转，对多晶硅进行提纯，提高多晶硅的纯度。

所述离心装置6通过离心过程对多晶硅进行提纯，所述离心装置6设置于所述炉体1一侧，通过主轴61与所述坩埚2固定连接，离心装置6通过带动主轴61旋转，实现对多晶硅的提纯，本实用新型中可设置2～100个坩埚2和离心装置61，优选10～80个，更优选20～50个，可实现多组多晶硅同时提纯，保证高纯度多晶硅的批量化生产，提高了高纯度多晶硅的生产效率。

所述保温层用来减少炉内热量流失，从而保证提纯炉的保温性能。具体实施时，保温层包括第一保温层3和第二保温层4，第一保温层3为耐火保温纤维层，第二保温层4为石墨碳砖层，通过采用耐火材料层和石墨碳砖层逐层保温，将其热传导逐渐降低，进而保证了提纯炉的保温性能。

所述加热装置7设于保温层内，节省炉体1空间，提高炉体1空间利用率，具体实施时，所述加热装置7为电极，对称安装在第二保温层4内，其中电极的数量为5～25个，相邻电极之间的距离相等，上述电极的设置使得炉体1内温度均匀，消除了盲区，避免了矿石资源的浪费，同时降低了能耗。

所述真空装置5用于保证炉体1的真空状态，该真空装置5设于炉体1外，通过真空管路51与炉体1连接，真空管路51设于炉体1外一侧。

所述密封装置8用于对坩埚进行密封，避免了坩埚内热量损失，所述密封装置8环绕于所述坩埚2外.

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于：包括炉体、坩埚、离心装置、真空装置和加热装置；

所述炉体内设有保温层，所述保温层内设置所述加热装置；

所述坩埚设置于炉体内；

所述离心装置设于所述炉体下部，并与所述坩埚通过离心装置的主轴固定连接；

所述真空装置设于所述炉体外，并与所述炉体通过真空管路连接。

2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于：还包括密封装置，所述密封装置环绕于所述坩埚外。

3.如权利要求1所述的多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于：所述坩埚的数量与所述离心装置的数量相同为2～100个。

4.如权利要求1所述的多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于：所述保温层包括第一保温层和第二保温层。

5.如权利要求4所述的多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于：所述加热装置为电极。

6.如权利要求5所述的多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于：所述电极对称安装在所述第二保温层内。

7.如权利要求6所述的多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于：所述第一保温层为耐火保温纤维层，所述第二保温层为石墨碳砖层。

8.如权利要求1～7任一项所述的多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于：所述电极为石墨电极。