CN201110754Y - 激光干涉仪测量冶具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种激光干涉仪测量冶具，有测量环环体，在测量环环体上表面装三个等分设置、支承被测镜片的钢珠。本实用新型结构合理，由于钢珠表面是光滑的，不会划伤被测光学零件，而且钢珠不容易磨损，保证了测量精度，且三个受力点均匀，进一步提高了测量精度。
Description
技术领域：
本实用新型涉及一种激光干涉仪的配套部件。
背景技术：
激光干涉仪是光线零件面形精度检测的国际通用必备仪器，它的精度一般在/20以上，该仪器有立式和卧式两大类。目前，国内外用户大都采用立式〔垂直式〕干涉仪，因为垂直式干涉仪在检测零件时，被测镜片直接放置在测量环上，调整和测量镜片方便、快捷，适合批量检测。卧式干涉仪是用镜片夹持器固定被测镜片，检测比较稳定，但检测速度慢，而且仪器价格昂贵，是立式的几倍价格，在生产线使用代价太高。垂直式干涉仪虽然能快速检测，但承座被测镜片的冶具(测量环〕的平行度和垂直度以及环口的宽度，直接影响到被测光学零件的检测精度，目前国内外垂直干涉仪使用的冶具，包括干涉仪长家提供的冶具都是根据零件的不同，采用圆环式，接触零件表面的环口，加工成平行于底座的平面，环口的宽度一般在0.2mm左右，检测时，被测零件直接放在环口上，如果环口光洁度不好，很容易划伤零件，造成零件报废，由于零件和冶具是整体接触，容易造成环口的磨损，影响测量精度，因为被测镜片直接座落在测量环口上，如果环口平行度不好，被测镜片不能全部接触环口，或垂直度不好，造成倾斜，激光通过被测镜片后，光束产生偏离中心，而造成判读误差，影响测量精度。
发明内容：
本实用新型的目的在于提供一种不会划伤被测光学零件，测量精度好的激光干涉仪测量冶具。
本实用新型的技术解决方案是：
一种激光干涉仪测量冶具，其特征是：有测量环环体，在测量环环体上表面装三个等分设置、支承被测镜片的钢珠。
三个钢珠的顶部水平切线在同一平面上。
本实用新型结构合理，由于钢珠表面是光滑的，不会划伤被测光学零件，而且钢珠不容易磨损，保证了测量精度，且三个受力点均匀，进一步提高了测量精度。
附图说明：
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型一个实施例的结构示图。
图2是图1的A-A视图。
具体实施方式：
一种激光干涉仪测量冶具，有测量环环体1，在测量环环体1上表面装三个等分设置、支承被测镜片2的钢珠3。三个钢珠的顶部水平切线在同一平面上，保证被测镜片完全接触钢珠。
Claims (2)
1、一种激光干涉仪测量冶具，其特征是：有测量环环体，在测量环环体上表面装三个等分设置、支承被测镜片的钢珠。
2、根据权利要求1所述的激光干涉仪测量冶具，其特征是：三个钢珠的顶部水平切线在同一平面上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2007200429883U CN201110754Y (zh) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 激光干涉仪测量冶具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2007200429883U CN201110754Y (zh) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 激光干涉仪测量冶具 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN201110754Y true CN201110754Y (zh) | 2008-09-03 |
Family
ID=39895288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNU2007200429883U Expired - Fee Related CN201110754Y (zh) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 激光干涉仪测量冶具 |
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| CN (1) | CN201110754Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103528796A (zh) * | 2013-10-23 | 2014-01-22 | 江苏双仪光学器材有限公司 | 一种干涉仪检具 |
| EP3569974A1 (de) * | 2018-05-14 | 2019-11-20 | Carl Mahr Holding Gmbh | Werkstückhalter, messvorrichtung und messverfahren zum messen eines werkstücks |
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2007
- 2007-08-20 CN CNU2007200429883U patent/CN201110754Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103528796A (zh) * | 2013-10-23 | 2014-01-22 | 江苏双仪光学器材有限公司 | 一种干涉仪检具 |
| EP3569974A1 (de) * | 2018-05-14 | 2019-11-20 | Carl Mahr Holding Gmbh | Werkstückhalter, messvorrichtung und messverfahren zum messen eines werkstücks |
| US11460285B2 (en) | 2018-05-14 | 2022-10-04 | Carl Mahr Holding Gmbh | Workpiece holder, measuring device and measuring method for measuring a workpiece |
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Legal Events
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: JIANGSU YUDI OPTICS CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: WU DIFU Effective date: 20120308 |
|
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20120308 Address after: Jiangsu Shuangdian Town Industrial Park, 226404 No. 1 county of Rudong Province Patentee after: Jiangsu Yudi Optical Co., Ltd. Address before: Jiangsu shuangdian town 226404 County of Rudong province Rudong County Yudi Optical Instrument Factory Co. Ltd. Patentee before: Wu Difu |
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20080903 Termination date: 20140820 |
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| EXPY | Termination of patent right or utility model |