CN201092967Y - 分子泵 - Google Patents

Abstract

一种分子泵，所述分子泵包括电机组件1、动叶轮组件2、静叶片4、电机主轴5、泵壳6、泵底盘7和排气口8。主要特点在于：动叶轮组件2直联在所述的电机主轴5上。动叶轮组件2由动叶片3串联组成，并自上而下分别构成抽气级动叶片和压缩级动叶片。动叶片3与所述的静叶片4交错排列。静叶片4叶齿的内、外端均为整体环形，其外环形内径小于或等于动叶片3的外径。分子泵的末级叶片为静叶片4。静叶片4固定在所述的泵壳6和泵底盘7上。抽气级叶片的数量≥1级。压缩级叶片的数量≥2级。本实用新型结构设计合理，强度高而使用寿命长，具有大抽速和压缩比，能够抑制气体分子轴向返流。

Description

分子泵

技术领域

本实用新型涉及一种与流体相关的机械装置，尤其是指一种真空泵，更为具体地讲，本实用新型是一种分子泵，在国际专利分类表中，本实用新型应分为F部。

背景技术

目前，就分子泵叶片的种类而言，基本分为扭制和铣制二类。与铣制叶片相比，在相同直径、角度和速度的条件下，扭制叶片缺少几何变量，而且扇形叶面根部的强度较差。整体铣制叶片受加工刀具的限制也很难选择最佳的几何形状，且加工成本相当高。此外，为保证分子泵安全运行，泵的动叶片要与泵内壁有一定的径向间隙，与动叶片相间交错排列的静叶片的叶齿和叶齿间也有间隙，而由此形成的轴向通道容易导致气体分子返流，从而难以达到所希望的理想真空。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，针对已有技术的不足，提供结构设计合理、强度高而使用寿命长的，具有提高抽速和压缩比的，能够抑制气体分子轴向返流的一种分子泵。

本实用新型的目的是通过下述技术方案实现的：

所述的分子泵包括电机组件、动叶轮组件、静叶片、电机主轴、泵壳、泵底盘和排气口。主要特点在于：

所述的动叶轮组件直联在所述的电机主轴上。

所述的动叶轮组件由动叶片串联组成，并自上而下分别构成抽气级动叶片和压缩级动叶片。

所述的动叶片与所述的静叶片交错排列。

所述的静叶片的叶齿的内、外端均为整体环形，其外环形内径小于或等于所述的动叶片的外径。

所述的分子泵的末级叶片为静叶片。

所述的静叶片固定在所述的泵壳和泵底盘上。

所述的抽气级动叶片的数量≥1级；所述的压缩级动叶片的数量≥2级。

所述的抽气级动叶片为楔形变截面叶齿的动叶片；所述的压缩级动叶片为台阶式变截面叶齿的动叶片，所述的台阶式变截面叶齿的厚度由外向里逐级加厚。

所述的抽气级动叶片的数量为3级；所述的压缩级动叶片的数量为8级。

所述的台阶式变截面叶齿的台阶处为弧面或平面。

所述的台阶式变截面叶齿的台阶数量≥2。

所述的台阶数量等于3，由外向里其厚度分别为0.1cm、0.2cm、0.3cm。

所述的压缩级动叶片为矩形叶齿的动叶片。

所述的矩形叶齿的动叶片的数量为10级。

由于本实用新型采用了上述的技术方案，本实用新型结构设计相当合理，特别是有关抽气级动叶片和压缩级动叶片的设计，使其其强度和使用寿命大为提高，而且提高了抽速和压缩比。另外，由于静叶片的叶齿的内、外端均为整体环形，其外环形内径小于或等于动叶片的外径，使导致返流的轴向通道具有了截面，因为光学密封的作用成功地阻挡了气体分子的轴向返流，提高了真空度和抽速。再者，由于所述分子泵的末级叶片为静叶片，不仅打破了以往的成见，而且其效果更好。

附图说明

下面结合附图对本实用新型进行说明，其中：

附图1为本实用新型一个实施例的进行了局部剖视的总装配图。

附图2为本实用新型一个实施例的具有楔形变截面叶齿的动叶片结构示意图。

附图3为本实用新型一个实施例的具有台阶式变截面叶齿的动叶片结构示意图。

附图4为本实用新型一个实施例的具有矩形叶齿的动叶片结构示意图。

附图5为本实用新型一个实施例的静叶片结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明，其中：附图1为本实用新型一个实施例的进行了局部剖视的总装配图。从附图中可以看到：1电机组件、2动叶轮组件、3动叶片、4静叶片、5电机主轴、6泵壳、7泵底盘和排气8。所述的动叶轮组件2直联在所述的电机主轴5上，而所述的动叶轮组件2由动叶片3串联组成，并自上而下分别构成抽气级动叶片和压缩级动叶片。所述的动叶片3与所述的静叶片4交错排列。所述的静叶片4的叶齿的内、外端均为整体环形，其外环形内径小于或等于所述的动叶片3的外径，因为光学密封的作用成功地阻挡了气体分子的轴向返流。所述的分子泵的末级叶片为静叶片4。所述的静叶片4固定在所述的泵壳6和泵底盘7上。原则上讲，所述的抽气级动叶片的数量≥1级；所述的压缩级动叶片的数量≥2级；在具体实施例中，根据实际情况而定。具体工作时，打开电源，电机驱动动叶轮组件2高速运转，动、静叶片相对运动迫使气体分子从泵的抽气端逐级流向排气口8，从而产生抽气作用。现在扼要叙述一个具体实施例的情况：动叶轮组件2直联在所述的电机主轴5上，动叶片3串联组合，由楔形变截面叶齿的动叶片(如图2所示)组成抽气级，本实施例选择为3级；由台阶式变截面叶齿的动叶片(如图3所示)串联组成压缩级，本实施例选择为8级；台阶式变截面动叶片的叶齿的台阶数依据叶齿的长度而定，一般而言，台阶式变截面叶齿的台阶数量≥2，该实施例选择为3；所述的台阶式变截面叶齿的厚度由外向里逐级加厚，本实施例由外向里其厚度分别为0.1cm、0.2cm、0.3cm。另外，相当重要的是：所述的台阶式变截面叶齿的台阶处可以为弧面或平面，本实施例选择为弧面，因为其强度大为提高。再者，在本实施例中，所述的分子泵的末级叶片为静叶片，静叶片被固定在泵壳和泵底盘上，之所以打破常规作如此选择，是因为效果突出。

在另一个实施例中，是在上述实施例的基础上，将压缩级串联的具有台阶式变截面叶齿的动叶片，改为具有矩形叶齿的动叶片，本实施例选择为10级。

在具体设计和制造中，分子泵动静叶片的级数、叶片叶齿的长度、角度及叶齿数等设计参数依据所需要的真空度而定。

本实用新型结构设计合理，强度高而且使用寿命长，具有大抽速和压缩比，能够抑制气体分子轴向返流。

Claims (9)

1.一种分子泵，所述的分子泵包括电机组件(1)、动叶轮组件(2)、静叶片(4)、电机主轴(5)、泵壳(6)、泵底盘(7)和排气口(8)；其特征在于：

所述的动叶轮组件(2)直联在所述的电机主轴(5)上；

所述的动叶轮组件(2)由动叶片(3)串联组成，并自上而下分别构成抽气级动叶片和压缩级动叶片；

所述的动叶片(3)与所述的静叶片(4)交错排列；

所述的静叶片(4)的叶齿的内、外端均为整体环形，其外环形内径小于或等于所述的动叶片(3)的外径；

所述的分子泵的末级叶片为静叶片(4)；

所述的静叶片(4)固定在所述的泵壳(6)和泵底盘(7)上。

2.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于：

所述的抽气级动叶片的数量≥1级；所述的压缩级动叶片的数量≥2级。

3.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于：

所述的抽气级动叶片为楔形变截面叶齿的动叶片；所述的压缩级动叶片为台阶式变截面叶齿的动叶片，所述的台阶式变截面叶齿的厚度由外向里逐级加厚。

4.根据权利要求2或3所述的分子泵，其特征在于：

所述的抽气级动叶片的数量为3级；所述的压缩级动叶片的数量为8级。

5.根据权利要求3所述的分子泵，其特征在于：

所述的台阶式变截面叶齿的台阶处为弧面或平面。

6.根据权利要求3所述的分子泵，其特征在于：

所述的台阶式变截面叶齿的台阶数量≥2。

7.根据权利要求6所述的分子泵，其特征在于：

所述的台阶数量等于3，由外向里其厚度分别为0.1cm、0.2cm、0.3cm。

8.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于：

所述的压缩级动叶片为矩形叶齿的动叶片。

9.根据权利要求8所述的分子泵，其特征在于：

所述的矩形叶齿的动叶片的数量为10级。

Images