CN201083590Y - 一种高温高压氦检漏装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高温高压氦检漏装置，它由真空检漏装置、真空室加热及温控装置、工件预抽真空和充氦进排气装置、以及氦质谱检漏仪组合而成。本实用新型的优点在于：本检漏装置，使用效果稳定，检测方法简单，检测结果可靠，既能满足工件在常温、常压条件下的氦检漏，又能满足有一定检测压力和温度要求的工件的氦检漏，可满足在50～500℃温度下、工件内腔充氦压力在0.1～1.5MPa范围内的真空室法氦检漏，实现了在高温、高压条件下对被测工件的真空氦检漏，检测灵敏度高达0.5×10^－11Pa·m³/s。

Description

一种高温高压氦检漏装置

技术领域

本实用新型涉及一种检测装置，具体涉及一种检测工件密封性能的高温高压氦气检漏装置。

背景技术

为了检测工件的密封性能，必须进行氦质谱检漏。关于真空氦检漏的设备和方法很多，目前的真空检漏系统，一般为常温、常压真空氦检漏系统。如中国专利CN200420115241.2所公开的检漏设备，采用真空室法氦检漏技术，检测装置可以对被检测工件充压，装置包括带上盖的容器，上盖与容器之间的固体密封材料，带检漏仪吸管的检漏仪，置于容器外的检漏气源，和与被检产品连接的密封夹具，容器的下部为液腔，液腔与上盖之间为集气腔，上盖设有一端与集气腔相通、另一端与检漏仪吸管相通的检漏孔，被检产品置于液腔内并通过检漏气源通入检漏气体。由于该系统采用液腔液体加热，检测温度较低，而不能用于高温高压环境下工件的氦检漏。

发明内容

本实用新型的发明目的在于：提供一种能在高温高压条件下，对工件密封性能进行检测的高温高压氦检漏装置。

本实用新型的发明目的是通过实施下述技术方案实现的：

一种高温高压氦检漏装置，包括有真空室、检漏仪、氦气瓶，真空室一端通过真空管路与检漏仪连通，真空室另一端由密封法兰密封并通过高压氦气管路与氦气瓶连接，其特征在于：

在真空室的壁外包装有加热炉；

在真空室内插有热电偶，它通过热电偶信号线连接温控仪；

在真空室的端部设置有系统标准漏孔；

真空管路的一端与真空室的端部连通，其上设置有数显真空计的真空规，另一端有两个支路，一个支路通过检漏仪连接阀连接所述检漏仪，另一个支路则通过真空泵组连接阀连接由机械真空泵和分子泵组成的泵组；

在所述真空室密封法兰上，设置有冷却水管和真空密封接头；

在真空室内部放置待测工件，使其端部与工件进排气接管接通，该接管的一端穿过真空室的密封法兰，另一端通过接管与高压氦气管路密封接头连接；

在真空室装有密封法兰的一端，与高压氦气管路密封接头连接的高压氦气管路，其一端依次装有真空压力表和高压氦气进气阀，另一端有三个支路，第一个支路为带有高压排气阀的高压氦气排气管路，第二个支路依次通过高压氦气出气阀及高压氦气开关阀与氦气瓶连接，第三个支路则通过真空承压阀连接机械真空泵。

本装置有如下附属技术特征：

在所述真空室密封法兰上设置的冷却水管，装有冷却水进水阀和热水排水阀。

在所述真空室的加热炉上，设置有加热炉控制开关。

在机械真空泵上设置有真空排气阀。

本实用新型的效果在于：采用本发明的检漏装置，使用效果稳定，检测方法简单，检测结果可靠，既能满足工件在常温、常压条件下的氦检漏，又能满足有一定检测压力和温度要求的工件的氦检漏，可满足在50～500℃温度下、工件内腔充氦压力在0.1～1.5MPa范围内的真空室法氦检漏，实现了在高温、高压条件下对被测工件的真空氦检漏，检测灵敏度高达0.5×10^-11Pa·m³/s。

附图说明

图1是本实用新型检漏装置的结构示意图。

图中标记：1.检漏仪，2.分子泵，3.机械真空泵，4.真空泵组连接阀，5.热电偶信号线，6.加热炉控制开关，7.温控仪，8.被测工件，9.真空室，10.真空室密封法兰，11.氦气瓶，12.机械真空泵，13.真空排气阀，14.真空承压阀，15.高压氦气开关阀，16.高压氦气管路，17.高压氦气出气阀，18.高压氦气排气管路，19.高压氦气排气阀，20.高压氦气进气阀，21.真空压力表，22.冷却水进水阀，23.冷却水管，24.工件进排气接管，25.加热炉，26.数显真空计，27.热电偶，28.真空规，29.真空管路，30.检漏仪连接阀，31.系统标准漏孔，32.热水排水阀，33.真空密封接头，34.高压氦气管路密封接头。

具体实施方式

现在结合图1对本实用新型进一步描述如下：

本实用新型高温高压氦检漏装置，由真空检漏装置、真空室加热及温控装置、工件预抽真空与充氦进排气装置、以及氦质谱检漏仪组合而成。其中：

真空检漏装置，由真空室9、机械真空泵3和分子泵2组成的泵组、及真空管路29诸组件组成；其中：

真空管路29的一端与真空室9的端部连通，其上设置有数显真空计26的真空规28，另一端有两个支路，一个支路通过检漏仪连接阀30连接所述检漏仪1，另一个支路则通过真空泵组连接阀4连接由机械真空泵3和分子泵2组成的泵组，在与真空管路29连接的真空室端部，设置有系统标准漏孔31；

真空室9的另一端由密封法兰10密封，该密封法兰10配有真空密封接头33，真空室9的密封法兰10上，设置有带冷却水进水阀22和热水排水阀32的冷却水管23，待检工件8置于真空室9内并与工件进排气接管24接装，该管24另一端穿过真空室密封法兰10和真空密封接头33，并通过接管与高压氦气管路上的高压氦气管路密封接头34连接，机械真空泵12上装有排气管13。

真空室加热及温控装置，由真空室9、包装在真空室9外面具有控制开关6的加热炉25、插入真空室9的热电偶27和通过热电偶信号线5连接的温控仪7组成。

工件预抽真空及充氦进排气装置，由接装在高压氦气管路密封接头34上与工件进排气接管24连接的高压氦气管路16、分别装在该高压氦气管路16上的机械真空泵12、氦气瓶11、真空压力表21和各种开关阀所组成，其中所述的：

高压氦气管路，一端与高压氦气管路密封接头34接装后，其后依次连接真空压力表21和高压氦气进气阀20，另一端有三个支路，第一个支路为带有高压排气阀19的高压氦气排气管路18，第二个支路依次通过高压氦气出气阀17及高压氦气开关阀15与氦气瓶11连接，第三个支路则通过真空承压阀14连接机械真空泵12。

在本实施例中，使用的被测工件是φ70×190的螺纹钎焊过渡管接头。

采用本实用新型提供的高温高压氦检漏的装置，可对外形尺寸在φ(6～100)×L(20～280)范围内的工件，进行常温～500℃温度范围内、工件充氦压力在常压～1.2MPa范围内的真空氦检漏，其检测灵敏度高达0.5×10^-11Pa·m³/s。

Claims (4)

1.一种高温高压氦检漏装置，包括有真空室(9)、检漏仪(1)、氦气瓶(11)，真空室(9)一端通过真空管路(29)与检漏仪(1)连通，真空室(9)另一端由密封法兰(10)密封并通过高压氦气管路(16)与氦气瓶(11)连接，其特征在于：

在真空室(9)的壁外包装有加热炉(25)；

在真空室(9)内插有热电偶(27)，它通过热电偶信号线(5)连接温控仪(7)；

在真空室(9)的端部设置有系统标准漏孔(31)；

真空管路(29)的一端与真空室(9)的端部连通，其上设置配有数显真空计(26)的真空规(28)，另一端有两个支路，一个支路通过检漏仪连接阀(30)连接所述检漏仪(1)，另一个支路则通过真空泵组连接阀(4)连接由机械真空泵(3)和分子泵(2)组成的泵组；

在所述真空室密封法兰(10)上，设置有冷却水管(23)和真空密封接头(33)；

在真空室(9)内部放置待测工件(8)，使其端部与工件进排气接管(24)接通，该接管(24)的一端穿过真空室的密封法兰(10)，另一端通过接管与高压氦气管路密封接头(34)连接；

在真空室(9)装有密封法兰的一端，与高压氦气管路密封接头(34)连接的高压氦气管路(16)，其一端依次装有真空压力表(21)和高压氦气进气阀(20)，另一端有三个支路，第一个支路为带有高压排气阀(19)的高压氦气排气管路(18)，第二个支路依次通过高压氦气出气阀(17)及高压氦气开关阀(15)与氦气瓶(11)连接，第三个支路则通过真空承压阀(14)连接机械真空泵(12)。

2.按照权利要求1所述的高温高压氦检漏装置，其特征在于：在所述真空室密封法兰(10)上设置的冷却水管(23)，装有冷却水进水阀(22)和热水排水阀(32)。

3.按照权利要求1所述的高温高压氦检漏装置，其特征在于：在所述真空室(9)的加热炉(25)上，设置有加热炉控制开关(6)。

4.按照权利要求1所述的高温高压氦检漏装置，其特征在于：在机械真空泵(12)上设置有真空排气阀(13)。

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