CN201050492Y - 新立式涡轮分子泵 - Google Patents

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CN201050492Y CNU2007200801397U CN200720080139U CN201050492Y CN 201050492 Y CN201050492 Y CN 201050492Y CN U2007200801397 U CNU2007200801397 U CN U2007200801397U CN 200720080139 U CN200720080139 U CN 200720080139U CN 201050492 Y CN201050492 Y CN 201050492Y
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Abstract

一种新立式涡轮分子泵,油杯中设置油位传感器,采用外转子电机,由固定在主轴上的动叶轮和靠泵壳固定的多层静叶片组成,动叶轮上有多层动叶片,其动叶片之间有静叶片相隔,动叶片和静叶片角度相反。本实用新型通过采用外转子电机、锻造制作动叶片、油杯中设置油位传感器,杜绝分子泵轴承因缺油而损坏,避免用户因更换轴承造成的经济损失和增添不必要的麻烦,材料结构发生变化,纤维方向呈放射状,明显提高泵的转速以获得更佳性能,具有清洁无油的超高真空和节约能源的优点。

Description

新立式涡轮分子泵
技术领域
本实用新型涉及高转速机械真空泵,具体是一种新立式涡轮分子泵。
背景技术
目前,大型涡轮分子泵的结构采用中频内转子电机,由于结构所限,更换轴承时必须将动叶轮和主轴拆开,必然造成对动平衡的破坏,更换轴承后需要重新平衡,因此更换轴承须返回厂家,给用户造成很大的损失和麻烦;铝合金板经过碾压制作动叶片,这就造成材料纤维的方向性,即有纵向纤维和横向纤维,动叶片横向纤维处的抗拉强度比纵向处低得多,因此就限制了分子泵的转速,而分子泵的真空性能(抽速、压缩比)恰好直接取决于转速;倒锥油泵从油杯中吸油润滑轴承,,多数轴承的损坏是由于油杯中油位过低,油泵不能供油而造成的。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服上述缺点,提供一种能杜绝分子泵轴承因缺油而损坏,避免用户因更换轴承造成的经济损失和增添不必要的麻烦,提高泵的转速以获得更佳性能,具有清洁无油的超高真空和节约能源的优点的新立式涡轮分子泵。
本实用新型的目的是这样实现的
一种新立式涡轮分子泵,其特征在于油杯中设置油位传感器,采用外转子电机,由固定在主轴上的动叶轮和靠泵壳固定的多层静叶片组成,动叶轮上有多层动叶片,其动叶片之间有静叶片相隔,动叶片和静叶片角度相反。所述的多层静叶片至少是九层或在九层以上;所述动叶轮上设置多层动叶片至少是九层或九层以上,动叶片是采用隔离环与叶片整体锻制,为铝合金结构。
本实用新型具有清洁无油的超高真空和节约能源的优点。采用外转子电机,使得更换轴承时,可以将除油泵以外的旋转部份整体拆开,不破坏整体平衡,因此实现了用户现场更换轴承;采用锻造铝合金作动叶片,锻造除了使材料组织更加紧密外,最重要的是其材料结构发生变化,即纤维方向呈放射状,使动叶片在高速旋转时每个叶片处于最佳抗拉状态,且提高泵的转速获得更佳的性能,油杯上设置油位传感器,当油位到达下限时,分子泵电源会报警并停止运行,彻底杜绝分子泵轴承因缺油而损坏。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图
具体实施方式
图中所示,新立式涡轮分子泵,油杯9中设置油位传感器10,采用外转子电机4,由固定在主轴6上的动叶轮5和靠泵壳1固定的多层静叶片3组成,动叶轮5上有多层动叶片7,其动叶片7之间有静叶片3相隔,动叶片7和静叶片3角度相反。所述的多层静叶片3至少是九层或在九层以上;所述动叶轮5上设置多层动叶片7至少是九层或九层以上,动叶片7是采用隔离环与叶片整体锻制,为铝合金结构。泵壳1、轴承2、除油泵8均是本实用新型的零部件。

Claims (3)

1.一种新立式涡轮分子泵,其特征在于油杯(9)中设置油位传感器(10),采用外转子电机(4),由固定在主轴(6)上的动叶轮(5)和靠泵壳(1)固定的多层静叶片(3)组成,动叶轮(5)上有多层动叶片(7),其动叶片(7)之间有静叶片(3)相隔,动叶片(7)和静叶片(3)角度相反。
2.根据权利要求1所述的新立式涡轮分子泵,其特征是所述的多层静叶片(3)至少是九层或在九层以上。
3.根据权利要求1所述的新立式涡轮分子泵,其特征是所述动叶轮(5)上设置多层动叶片(7)至少是九层或九层以上,动叶片(7)是采用隔离环与叶片整体锻制,为铝合金结构。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104747465A (zh) * 2013-12-25 2015-07-01 株式会社岛津制作所 真空泵
CN107646076A (zh) * 2015-06-08 2018-01-30 莱宝有限公司 真空泵转子

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