CN201496292U - 倒置安装的分子泵 - Google Patents
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Abstract
一种倒置安装的分子泵,包括电机盖、泵底盖、轴承、下轴承的外圈设在电机盖上,上轴承设在靠近泵底盖的轴端。分子泵倒置安装安全可靠,因此很多大型真空设备从工艺和安装的角度及适用角度都需要倒置安装分子泵。泵口向下倒置安装,轴承受力方向相反,上轴承不再承受旋转部分的重量,转为由下轴承承担。
Description
技术领域 本实用新型涉及分子泵轴承,具体是一种倒置安装的分子泵。
背景技术 分子泵是一种高速旋转的机械真空泵,其抽气部份由多级涡轮动叶片和净叶片交错组成,由于动、净片之间的间隙小(以毫米计算),一旦有碎片(杂质)进入就会造成泵彻底损坏。
实用新型内容
本实用新型的目的是为克服上述缺点,提供一种倒置安装的分子泵,以便倒置安装。
本实用新型的目的是这样实现的
一种倒置安装的分子泵,包括电机盖、泵底盖、轴承,其特征在于下轴承的外圈设在电机盖上,小轴承设在靠近泵底盖的轴端。采用上、下两端向心推力球轴承,安装轴承时其开口方向与原来相反。倒置安装时,下轴承承受所有旋转部分的重量,其下轴承的外圈安装在电机盖上,有很好的支承刚度。上轴承安装在靠近泵底盖的轴端,由于轴承较小,所需要的预负荷力也较小,对上轴承施加的预负荷力会传递到下轴承,因此相对减小了上、下轴承的负载,有利于提高轴承的使用寿命。下轴承的预负荷由泵底盖、压缩弹簧来实现。
分子泵倒置安装安全可靠,因此很多大型真空设备从工艺和安装的角度及适用角度都需要倒置安装分子泵。泵口向下倒置安装,轴承受力方向相反,上轴承不再承受旋转部分的重量,转为由下轴承承担。
附图说明 图是本实用新型结构示意图。图中1、下轴承(向心推力球);2、电机盖;3、上轴承;4、泵底盖;5、压缩弹簧;6、主轴;7、多级涡轮;8、动片;9、净片;10、泵抽气口。
具体实施方式
如图说示,倒置安装的分子泵,下轴承1的外圈设在电机盖2上,上轴承3设在靠近泵底盖4的轴端。采用上、下两端向心推力球轴承3、1,安装轴承时其开口方向与原来相反。倒置安装时,下轴承1承受所有旋转部分的重量,其下轴承1的外圈安装在电机盖2上,有很好的支承刚度。上轴承3安装在靠近泵底盖2的轴端,由于轴承较小,所需要的预负荷力也较小,对上轴承3施加的预负荷力会传递到下轴承1,因此相对减小了上、下轴承3、1的负载,有利于提高轴承的使用寿命。下轴承1的预负荷由泵底盖4、压缩弹簧5来实现。主轴6,多级涡轮7,动片8,净片9,泵抽气口10均为本实用新型的零、部件。
Claims (1)
1.一种倒置安装的分子泵,包括电机盖(2)、泵底盖(4)、其特征在于下轴承(1)的外圈设在电机盖(2)上,上轴承(3)设在靠近泵底盖(4)的轴端。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108869339A (zh) * | 2018-08-30 | 2018-11-23 | 太仓市凯福士机械有限公司 | 一种涡轮分子泵 |
CN109545420A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-03-29 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种离子束生物辐照装置及方法 |
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2009
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Legal Events
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GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
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Granted publication date: 20100602 Termination date: 20130930 |