CN201033765Y - 改进的平板玻璃镀膜装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型是一种改进的平板玻璃镀膜装置，涉及玻璃表面的镀膜设备。其特征是镀膜室在其入口、出口的一端或两端设有抽气室，相邻的两抽气室之间设有隔离室。按本方案实施的改进的平板玻璃镀膜装置，由于在镀膜室的一端或两端分别设置了单独的抽气室以及两抽气室之间设置了隔离室，从而较妥善的解决了反应气体流向紊乱以及杜绝了反应气体在镀膜室之间相互窜气的缺陷。经本方案改进的装置生产的镀膜制品具有膜层附着力牢固、膜层色彩均匀透明、低辐射的特点，本实用新型结构改进合理，较显著的提高了生产效率和节约了能源。
Description
技术领域
本实用新型是一种改进的平板玻璃镀膜装置，涉及玻璃表面的镀膜设备。
背景技术
随着社会对节能和环境保护的广泛关注，以及人们对审美意识的不断提高，镀有色彩的镀膜玻璃在建筑、装饰等领域已得到广泛的应用。各种镀膜玻璃是由专门的镀膜设备加工生产的，现有生产镀膜玻璃的设备一般的是由低真空室——等待室(缓冲室)——第一镀膜室——第n镀膜室——等待室——低真空室组成。鉴于不同制品对各种镀膜层的要求不同，其镀膜室的个数与其所镀的反应气体成分也有所不同。为保证反应气流的均匀流动，低真空室、等待室与镀膜室均设置了抽气口，经生产实践证明，如此设置的结果，因反应气流在镀膜室内流向紊乱、反应气体既不能均匀分布，也不能均匀参与镀膜反应。其结果造成制品镀膜的膜层不均匀和色彩差别大的缺陷。其次，反应气体易在各镀膜室之间相互窜气，使镀出的制品对其节能效果存在较大影响。
实用新型内容
本实用新型的目的，是为改善现有玻璃镀膜设备生产的制品存在膜层不均匀及色彩差别较大的缺陷，而提出一种改进的平板玻璃镀膜装置。为实现上述木的采用以下的技术方案：一种改进的平板玻璃镀膜装置，包括低真空室、等待室、镀膜室，其特征是镀膜室在其入口、出口的一端或两端设有抽气室，相邻的两抽气室之间设有隔离室；第一透明保护膜镀膜室的出口端与反射膜镀膜室的入口端分别设有抽气室，两抽气室之间设有隔离室；反射膜镀膜室与过渡保护膜镀膜室之间设有抽气室；过渡保护膜镀膜室的出口端与第二透明保护膜镀膜室的入口端分别设有抽气室，两抽气室之间设有隔离室；第一透明保护膜镀膜室的入口端设有等待室，等待室与低真空室之间设有高真空室；第二透明保护膜镀膜室的出口端设有抽气室；隔离室的两侧分别设有抽气口。
按本方案实施的平板玻璃镀膜装置，由于在镀膜室的一端或两端分别设置了单独的抽气室以及两抽气室之间设置了隔离室，从而较妥善的解决了反应气体流向紊乱以及杜绝了反应气体在镀膜室之间相互窜气的缺陷。经本方案改进的装置生产的镀膜制品具有膜层附着力牢固、膜层色彩均匀透明、低辐射的特点，本实用新型结构改进合理，较显著的提高了生产效率和节约了能源。
附图说明
图1为本实用新型一种实施例的结构示意图；
图2为图1的俯视示意图。
具体实施方式
结合附图作进一步的具体说明。本实施例是一种施镀大型透明保护膜的装置，是由低真空室1——高真空室2——等待室3——第一镀膜室即透明保护膜镀膜室41——抽气室5——隔离室6——抽气室5——第二镀膜室即反射膜镀膜室42——抽气室5——第三镀膜室及过渡保护膜镀膜室43——抽气室5——隔离室6——抽气室5——第四镀膜室即第二透明保护膜镀膜室44——抽气室5——高真空室2——低真空室1构成。其中，低真空室1、高真空室2、等待室3、抽气室5及隔离室6的两侧均设有抽气口10、20、30、50及60，其中，抽气室的抽气口也可以设置于抽气室的顶部，四个镀膜室不再设抽气口。为保证反应气体均匀的稳定流向，抽气均由分别设于各镀膜室入口端与出口端的抽气室来完成，各抽气室即可同时进行抽气，又可单独进行抽气。作如此改进的设置，可使镀膜室内的反应气体流向均匀稳定，致使反应气体在镀膜室内均匀分布并均匀参与镀膜，以保证镀膜层的匀致性。设于抽气室之间的隔离室6的目的，是在保证镀膜室内反应气体均匀分布的前提下，将反应气体隔离开来——以杜绝反应气体来回窜气的缺陷。本装置低真空室1的进口端、低真空室1与高真空室之间2、高真空室2与等待室3之间均设置有真空锁7，各镀膜室内设有磁控溅射靶8。整个镀膜过程，前后低真空室1通过真空锁7完成从大气到真空，以及真空到大气的抽——放气过程，其余各室保持再镀膜所需要的真空状态。经第一镀膜室41施镀的透明保护膜，主要是为了反射膜在玻璃表面附着牢固，反射膜用以满足制品对低辐射的要求，过渡膜用来保护反射膜，第二层透明保护膜用以保护反射效果。
经本实用新型装置生产的平板镀膜玻璃，具有膜层均匀牢固、可连续生产、节约能源及效率高的特点。
Claims (3)
1.一种改进的平板玻璃镀膜装置，包括低真空室、等待室、镀膜室、真空锁、磁控溅射靶，其特征是镀膜室在其入口、出口的一端或两端设有抽气室，相邻的两抽气室之间设有隔离室。
2.按权利要求1所述改进的平板玻璃镀膜装置，其特征是第一透明保护膜镀膜室的出口端与反射膜镀膜室的入口端分别设有抽气室，两抽气室之间设有隔离室；反射膜镀膜室与过渡保护膜镀膜室之间设有抽气室；过渡保护膜镀膜室的出口端与第二透明保护膜镀膜室的入口端分别设有抽气室，两抽气室之间设有隔离室；第一透明保护膜镀膜室的入口端设有等待室，等待室与低真空室之间设有高真空室；第二透明保护膜镀膜室的出口端设有抽气室。
3.按权利要求1或2所述改进的平板玻璃镀膜装置，其特征是隔离室的两侧分别设有抽气口。
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| CNU2007200059496U CN201033765Y (zh) | 2007-03-27 | 2007-03-27 | 改进的平板玻璃镀膜装置 |
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| CNU2007200059496U CN201033765Y (zh) | 2007-03-27 | 2007-03-27 | 改进的平板玻璃镀膜装置 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102776482A (zh) * | 2012-07-03 | 2012-11-14 | 浦江县名亿真空镀膜厂 | 灯杯磁控溅射镀膜及表面真空硬化保护层连续生产工艺 |
| CN103663996A (zh) * | 2013-11-20 | 2014-03-26 | 中国南玻集团股份有限公司 | 玻璃镀膜系统 |
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2007
- 2007-03-27 CN CNU2007200059496U patent/CN201033765Y/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN103663996A (zh) * | 2013-11-20 | 2014-03-26 | 中国南玻集团股份有限公司 | 玻璃镀膜系统 |
| CN103663996B (zh) * | 2013-11-20 | 2017-02-08 | 中国南玻集团股份有限公司 | 玻璃镀膜系统 |
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