CN201017174Y - 一种光刻机的晶舟锁紧装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出了一种光刻机的晶舟锁紧装置，针对现有技术中存在的晶舟可以在工作时任意移动有可能造成传动机械臂和晶片损坏的问题而设计，其特征在于，设有一锁紧装置，该锁紧装置与该光刻机电连接，该锁紧装置在该光刻机工作时处于锁紧状态，使晶舟不能移动；在该光刻机不工作时处于解锁状态，使晶舟可以移动。本实用新型提出的一种光刻机的晶舟锁紧装置能够提高系统的可靠性，防止设备和产品的损坏。

Description

一种光刻机的晶舟锁紧装置

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，特别涉及一种光刻机的晶舟锁紧装置。

背景技术

光刻(photolithography，简称Photo)在半导体生产过程中的一个非常重要的过程，是将图形从光罩上成像到光阻上的过程。光刻的流程分为前处理，上光阻，软烤(Soft Bake)，曝光，曝光后烘烤(PEB)，显影，预烤(Hard Bake)等。

东京电子有限公司(Tokyo Electron Limited，以下简称TEL)生产的光刻机(track)在工作时，上部具有一个用于安装晶片的晶舟(cassette)，该晶舟内放置有晶片，由传动机械臂伸入晶舟内进行光刻。现有TEL的光刻机晶舟是可以拆卸的，且在生产过程中晶舟处于无保护状态，随时可以将晶舟移动。如果在晶舟处于工作状态时将晶舟移动，则会损坏正在晶舟中工作的传动机械臂和晶舟中的晶片(wafer)。

实用新型内容

针对现有技术中存在的缺陷和不足，本实用新型的目的是提出一种光刻机的晶舟锁紧装置，使晶舟在工作状态时处于锁紧，在非工作状态时处于解锁，以提高系统的安全性。

为了达到上述目的，本实用新型提出一种光刻机的晶舟锁紧装置，包括：

还设有一锁紧装置，上述锁紧装置在该光刻机工作时处于锁紧状态，使晶舟不能移动；在该光刻机不工作时处于解锁状态，使晶舟可以移动。

其中，上述光刻机具有一状态控制指令面板，该状态控制指令面板具有不同的显示灯以显示光刻机当前晶舟是否处于工作状态，上述锁紧装置通过气缸驱动其驱动信号的电连接该状态控制指令面板的显示灯并通过显示灯的亮灭与否控制上述锁紧装置的锁紧和解锁。

其中，上述状态控制指令面板具有一工作状态指示灯及一非工作状态指示灯，上述锁紧装置分别与上述两指示灯并联。

其中，上述锁紧装置具有一挡片，该挡片底部为一基座，基座上设有一“”型挡片头，当锁紧状态时，该挡片头插入晶舟下部一开口，使晶舟无法被移动。

其中，上述锁紧装置还包括一气缸，驱动上述挡片移动。

本实用新型提出了一种光刻机的晶舟锁紧装置。现有技术中晶舟可以任意移动，当工作时如果移动晶舟，将会损坏晶舟中正在工作的传动机械臂和晶片。本实用新型通过在光刻机上增加一锁紧装置，当光刻机处于锁紧状态时，该锁紧装置锁紧晶舟使其无法被启动。本实用新型提出的锁紧装置，能够有效的防止由于误操作导致的设备损坏，提高了光刻机的安全性。同时，本实用新型还提出了将该锁紧装置分别并联在光刻机状态工作和非工作状态指示灯上，当状态指示灯standby灯点亮时显示进入工作状态，该锁紧装置锁紧Port上的晶舟；当状态指示灯finished灯点亮时显示进入非工作状态，该锁紧装置解锁，这样不需添加任何控制部分，只需现有技术中简单的电路即可实现。同时，本实用新型还设有一与气缸连接的挡片，当锁紧时该挡片插入晶舟底部一开口，以固紧晶舟。这种方式结构简单，且不需要对现有的设备进行大规模改进即可实现，可用性强且安全可靠。

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。对于所属技术领域的技术人员而言，从对本实用新型的详细说明中，本实用新型的上述和其他目的、特征和优点将显而易见。

附图说明

图1为本实用新型优选实施例中挡片的左视图；

图2为本实用新型优选实施例中挡片的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明。

一般的光刻机，晶片放置于晶舟内，晶舟放置于Port上，机械手臂升入晶舟中抓取晶片。这样由于晶舟没有固定装置，如果由于误操作移动晶舟将造成晶片和传动机械臂的损坏。因此，本实用新型在上述光刻机上还设有一锁紧装置，上述锁紧装置在该光刻机工作时处于锁紧状态，使晶舟不能移动；在该光刻机不工作时处于解锁状态，使晶舟可以移动。

为了降低系统的复杂性和节约成本，上述锁紧装置电连接该状态控制指令面板的显示灯并通过显示灯控制上述锁紧装置的锁紧和解锁。当然，还可以采用人工解锁等其他方式，本领域内技术人员可以理解，在此不一一赘述。

上述的使用显示灯控制上述锁紧装置的锁紧和解锁，具体方法可以为：光刻机的状态控制指令面板具有一工作状态指示灯standby及一非工作状态指示灯finished，上述锁紧装置分别与上述两指示灯并联。使用灯的电流来控制锁晶装置的驱动部分-气缸，这样不需添加任何控制部分，只需现有技术中简单的电路即可实现

如图1和2所示，上述锁紧装置具有一挡片，该挡片由厚度2mm的制成，该挡片底部为一基座1，基座1上设有一“”型挡片头2。如图2所示，该基座1上有2个直径为1.5mm的装配孔，该基座长度为10mm，宽度为6mm。当锁紧状态时，该挡片头2插入晶舟下部一开口，使晶舟无法被移动。上述锁紧装置还可以包括一气缸，驱动上述挡片移动。

当然，本实用新型还可有其他实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，所属技术领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型的权利要求的保护范围。

Claims (5)

1.一种光刻机的晶舟锁紧装置，其特征在于，设有一锁紧装置，该锁紧装置与该光刻机电连接，该锁紧装置在该光刻机工作时处于锁紧状态，使晶舟不能移动；在该光刻机不工作时处于解锁状态，使晶舟可以移动。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机的晶舟锁紧装置，其特征在于，上述光刻机具有一状态控制指令面板，该状态控制指令面板具有不同的显示灯以显示光刻机是否工作，上述锁紧装置电连接该状态控制指令面板的显示灯并通过显示灯控制上述锁紧装置的锁紧和解锁。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机的晶舟锁紧装置，其特征在于，上述状态控制指令面板具有一工作状态指示灯及一非工作状态指示灯，上述锁紧装置分别与上述两指示灯并联。

4.根据权利要求1或2所述的一种光刻机的晶舟锁紧装置，其特征在于，上述锁紧装置具有一挡片，该挡片底部为一基座，基座上设有一“”型挡片头，当锁紧状态时，该挡片头插入晶舟下部一开口，使晶舟无法被移动。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机的晶舟锁紧装置，其特征在于，上述锁紧装置还包括一气缸，驱动上述挡片移动。

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