CN200999258Y - 大型多功能真空溅射离子注入机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种大型多功能真空溅射离子注入机，它由炉体底座、炉体、上盖三部份组成，整体为圆形，底座和炉体右扇第一节的下连接法兰连接，上连接法兰和第二节连接，多节相连增高，炉体左扇和右扇相对应，由开含油缸和轨道车控制开合，缝隙间有耐高温密封垫进行密封紧固，上盖上装有悬挂自动定位球体，靶芯固定支架螺帽，自动定位靶芯固定不动，转动齿轮装在靶芯下端带动挂吊筒、拉筋、吊盘和加工工件转动，该炉的特征在于：在磁控溅射离子镀全部工艺不变，保证质量的情况下不需增高厂房对大口径，超长度加工件进行离子镀、渗碳、渗钛等多种工艺加工，节省巨大资金，有利于保护炉内各种电器原件和设施，便于清炉，便于装炉、出炉。

Description

大型多功能真空溅射离子注入机

技术领域

本实用新型涉及一种大型多功能真空溅射离子注入机，尤其是能将大口径、超长度加工件进行磁控溅射离子注入的特殊真空溅射离子注入装置。

背景技术

目前，公知的磁控溅射离子镀所使用的都是双层壁中间用冷却水循环的整体侧门炉，它能对小口径，短件钢材进行离子注入处理，但对大口径、超长度钢材工件进行加工处理有一定的难度，因工艺要求所处理的工作，必须从上炉口内装入吊挂，为此必须配备相应高的厂房和吊车吊装，需用巨大的资金，因炉体太高不易保护炉内的电器件、电阻丝、水循环等设置，更不便维修和清炉，对加工工件有很大的局限性，单一性，不能一炉多用，给磁控溅射离子镀的加工者造成极大的困惑，很不尽人意。本人于2002年申请一个专利“多节立式开合真空溅射离子镀炉”专利号是02202419.0，但在近几年的实践应用中发现转动齿轮和变速传动箱设在炉体的上端影响炉体的稳定性，有偏移现象，使用极不方便。

发明内容

为了克服上述不足，在磁控溅射离子镀全部工艺不交的情况下，确保离子镀的质量，研究设计提供了一种立体垂直开闭，上下多层结合的真空溅射离子镀新型炉，该炉不仅能方便各种小型、中型工件的离子镀，而且能方便的对各种大口径，超长度的工作进行离子镀，将转动齿轮、变速传动箱放置在炉体的底部，使用方便、合理，不影响所处理的工件质量。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：将整体炉分解为：炉体上盖、炉体、炉体底盘三大部分。炉体上盖上设有悬挂自动定位球休、球座、悬挂吊筒、拉筋、吊盘、靶芯、靶芯固定支架螺母、球座轨道、齿圈，加工工件。靶芯由靶芯固定支架螺帽固定不转动，用靶芯耐高温密封材料进行封闭；悬挂自动定位球体内安装有悬挂吊筒，悬挂吊筒下端安装有活动拉筋和吊盘悬挂吊筒，悬挂吊筒下端安装有活动拉筋和吊盘，加工工件吊挂其上，加工工件：随着吊盘悬挂吊筒和悬挂自动定位球体，在球座上，用转动齿轮驱动，在球座轨道上转动。炉体为立式开合炉体右扇和立式炉体左扇，由双层炉壁焊接而成，立式开合炉体右扇安装在炉体底盘上为固定扇，炉体底盘下设有炉体支架，立式炉体左扇为活动开合扇，其上各扇的两侧上设有合炉密封板，在密封板的侧边设有数个紧固螺孔，上述为一节的造形和结构，根据加工件长度的需要，可以多层上下连结为多层，在该开合左扇的一侧设有轨道，轨道上放置有开合轨道车，开含油缸和可随时开合的立式开合炉体左扇连接在一起，在立式开合炉体右扇和左扇上都设有上、下连接法兰，连接法兰上有多个紧固螺孑L，在立式开合炉体左、右扇上设有多个水冷却循环水道孔，炉体底盘为圆形，外沿边上设有多个紧圈螺孔，下边有炉体支柱。在吊装加工工件，卸出加工工件，清理维修炉体内部时将该分体炉开启，在进行磁控溅射离子镀的运行时将应连通的电器元件和应通连的部件连接好后将该炉闭合为一体，呈圆筒形，各个闭合件之伺用耐高温密封树料和密封垫将其密封，用坚固件通过螺孔将其全部密封，然后用真空泵使其炉内真空，达到磁控溅射离子镀的工艺要求。

本实用新型的有益效果是：解决了大口径、特长度加工工件的困惑，该炉可根据加工工件：的长度增、减炉层，方便、实用，可节省大量资金，而且可以一炉多用，在真空高温条件下进行渗碳、渗钛等多种工艺加工。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1、本实用新型大型多功能真空溅射离子注入机立体局部剖视图

图2、本实用新型大型多功能真空溅射离子注入机机体平面剖视图

图3、本实用新型大型多功能真空溅射离子注入机体单节示意图

图中标号

1、炉盖             2、悬挂自动定位球体     3、球座

4、悬挂吊筒         5、拉筋                 6、吊盘

7、靶芯             8、加工工件             9、靶芯固定支架螺帽

10、靶芯密封材料    11、立式开合炉体右扇    12、立式开合炉体左扇

13、双层炉壁夹层    14、水冷却循环水道孔    15、开合油缸

16、开合轨道车      17、轨道                18、炉体底盘

19、炉体支架        20、紧固螺孔            21、连接螺栓

20、紧固螺孔        21、连接螺栓            22、合炉密封板

23、球座轨道        24、炉壁                25、齿圈

26、连接法兰        27、紧固螺孔            28、水循环进水管

29、出水管          30、转动齿轮            31、小转动齿轮

32、变速箱          33、下底座              34、轴承座

35、工件扶架

具体实施方式

请参阅图1，首先将炉体支架(19)安装固定后，再将炉体底盘(18)安装其上，把立式开合炉体右扇(11)第一节用紧固件通过紧固螺孔(20)和炉体底盘(18)通过耐高温密封垫紧紧固定连结，第二、三、四、五等节，同样将各节的立式开合炉体右扇(11)上的连接法兰(26)用紧固件通过各节的连结法兰上的紧固螺孔(20)垫好耐高温密封垫将其紧固，组成一个达到高度要求的固定在炉体底盘(18)上的立式开合炉体右扇(11)并靠固在人员操作平台上。由图2可见，该立式开合炉体左、右扇(12)、(11)由双层炉壁(24)焊接而成，中间有双层炉壁夹层(13)形成水冷却循环，各层的法兰上都留有水冷却循环水道孔(14)，组合后将连结相通，在每一节立式开合炉体左、右扇(12)、(11)的左、右两侧都焊有合炉密封板(22)，其上有多个紧固螺孔(27)，见图3；由图1可见，在大型多功能真空溅射离子注入机适当位置角度的平面上安装轨道(17)，轨道上安装开合轨道车(16)，开合油缸(15)，和立式开合炉体左扇(12)相连，当整个炉体需要闭合作业时，开合轨道车(16)往炉体底盘(18)方向沿轨道(17)推进，用开合油缸(15)将该炉体的左扇(12)推近右扇炉体并和耐高温密封垫靠紧，用紧固件通过紧固螺孔(27)将其闭合，当炉体开启时，将各个紧固件松开拿掉，开合轨道车(16)往后退，炉体开启；该炉的炉盖(1)上，安装球座轨道(23)，在其上安装球座(3)，球座(3)上安装悬挂自动定位球体(2)，球体内设有螺纹扣，将带螺栓扣的悬挂吊筒(4)拧合其上，把靶芯密封材料(10)套在靶芯(7)上，将靶芯固定支架螺帽(9)拧紧固定在靶芯(7)的上端，该靶芯固定支架螺帽(9)的支架，用紧固件将其固定在上盖上，在球座(3)上设有齿圈(25)，将转动齿轮(30)从驱动球座(3)上转移至靶芯(7)的底端，和靶芯(7)相结合，转动齿轮(30)和小转动齿转动齿轮(31)相啮合，用变速箱转动齿轮(32)带动与转动齿轮(30)、靶芯(7)、加工工件(8)一起转动，为使加工工件(8)稳定在转动齿轮(30)的中间加一下底座(33)、轴承座(34)和工件扶架(35)，加工工件(8)是通过吊盘(6)、拉筋(5)，悬挂吊筒(4)之间的活动节进行悬挂吊起的，整个上盖安装完了后，用连接螺栓(21)将上盖(1)固定在炉体上，在该上盖上安装有水循环进水管(28)，它和全炉体的双层炉壁夹层(13)相通连，用水泵进行水冷却循环后，由炉底盘(18)下端的出水管(29)排出。

Claims (1)

1.一种大型多功能真空溅射离子注入机，在炉体底盘上装有立式开合炉体右扇和可以开合的立式开合的炉体左扇及上盖，其特征是：炉体底盘(18)为圆形，其下有炉体支架(19)，连结螺栓(21)将立式开合炉体右扇(11)的第一节和炉体底盘(18)连接，立式开合炉体右扇(11)的第二节和第一节的上连接法兰通过紧固螺孔(20)用紧固件相连接，立式开合炉体左扇(12)和立式开合炉体右扇(11)相同相对应，开合油缸(15)、开合轨道车(16)控制立式开合炉体左扇(12)的开合，通过左、右两扇上两侧的合炉密封板(22)上的数个紧固螺孔(27)用紧固螺栓密封，上盖(1)上安装悬挂自动定位球体(2)、靶芯固定支架螺帽(9)将靶芯(7)固定在加工工件(8)内，悬挂吊筒(4)拧固在悬挂自动定位球体(2)上，球座(3)在齿圈(25)，转动齿轮(30)安装在靶芯(7)的底部用小齿轮(31)、变速箱(32)带动加工工件(8)绕球座轨道(23)在炉体内绕靶芯(7)转动。

Images