CN1882821A - 对具有铰接探头的坐标测量仪进行误差补偿的方法 - Google Patents

Abstract

一种对使用坐标定位装置得出的测量值进行误差补偿的方法，所述坐标定位装置包括具有表面检测设备的铰接探头。所述表面检测设备在测量过程中围绕所述铰接探头的至少一个轴线进行旋转。所述方法包括以下步骤：确定整个所述装置或其部分的刚度；确定在任一特定时刻与所述铰接探头所施加负载相关的一个或多个因素，并确定所述表面检测设备处由所述负载造成的测量误差。

Description

对具有铰接探头的坐标测量仪进行误差补偿的方法

技术领域

本发明涉及一种对铰接探头的测量误差进行补偿的方法，所述铰接探头可安装在诸如坐标测量仪(CMM)(包括诸如三角架(tripod)和六角架(hexapod)这样的平行仪器)这样的坐标定位装置上，以及机床、手动坐标测量臂、例如工作检查机器人的机器人和单轴仪器上。

背景技术

生产出工件后，在诸如坐标测量仪(CMM)这样的坐标定位装置上对其进行检查是通常惯例，所述坐标测量仪具有安装有探针的可移动臂件，探针能够在仪器的工作容积范围内在三个正交方向X、Y、Z上受到驱动。

探针的加速度造成坐标测量仪的动态偏差，这又造成测量误差。以低加速度进行测量可减少这些测量误差。然而随着生产率需要的增加，要求CMM具有较高的生产能力和较高的检查速度。随着检查速度的提高，探针在测量过程中具有较高的加速度，并导致系统具有较大的动态结构偏差。这就造成探针在X、Y、Z方向上的几何位置读数不准。

我方早期专利US 4,333,238公开了一种对由于探针加速度造成坐标测量仪的偏差进行纠正的方法，它通过利用受探针速度变化影响的所述结构上的检测参数，例如加速计，从而确定产生测量信号时所述结构(CMM)的动态偏差。因而测量输出可根据该仪器偏差而进行调节。

美国专利No.4,991,304公开了另一种纠正动态偏差的方法，其中，利用坐标测量仪上的探针对一连串标称相同的工件进行测量。以低速对第一工件进行第一次探测，并以高速进行第二次探测。根据高速测量和低速测量之间的差值计算出误差值系列。利用这些误差值对在后续工件上进行的随后的高速测量进行纠正。

以上两种现有技术方法允许对工件进行高速测量，但其存在上限值，如果超过该上限值，则它们变得无法令人满意。这可能是由于CMM在高加速度时变得不一致和/或不稳定，或者是仪器不能获得所需的加速度。

通过使用安装在坐标测量仪上的高带宽设备，便能够克服上述限制。

美国专利No.5,189,806中公开了这样一种高带宽设备，该专利叙述了一种能够对具有两个自由度的探针进行定向的铰接探头，从而该探针能够用于扫描工件表面这样的操作中。

总体而言，这样的探针包括具有相对固定的支座和旋转部件的旋转驱动机构，并在该旋转驱动机构上安装有表面检测设备，该旋转驱动机构可相对于支座围绕探头的轴线进行旋转。由马达为该旋转部件的旋转提供动力。并且，由马达产生并作用到旋转部件上的扭矩造成大小相同且相反的反扭矩，该反扭矩施加在固定支座上，进而作用到支座上。

该反扭矩能够使系统发生旋转，尤其是能够使安装有探头的坐标定位仪的可动臂件发生转动，导致仪器产生的测量值具有误差。

诸如铰接探头这样的高带宽装置具有这样的优点，即其能够以高速对单独特征(feature)进行测量，从而降低坐标测量仪所需的加速度。然而，该装置具有惯性，在以高速进行加速时，必须反向施加作用力或动量，以避免测量误差。

国际专利申请No.WO01/57473公开了一种铰接探头，其中，通过在轴承上安装马达定子，使其反向于转子的旋转而发生旋转，从而对至少一个马达进行惯性平衡。将旋转定子(spinning stator)连接到接地马达(earth motor)另一后部的线圈组上，从而对旋转定子(spinning stator)的速度进行控制。这种对铰接探头进行惯性平衡的方法具有这样的缺点，即其增加了铰接探头的质量、复杂度和成本，而仅仅补偿了动态扭矩误差。

发明内容

本发明提供一种对使用坐标定位装置得出的测量值进行误差补偿的方法，所述坐标定位装置包括具有表面检测设备的铰接探头，其中，所述表面检测设备在测量过程中围绕所述铰接探头的至少一个轴线进行旋转，所述方法包括下列步骤，所述步骤能够以任何适当的顺序排列：

(a)确定所述装置的整体或其部分的刚度；

(b)确定在任一特定时刻的负载或与所述铰接探头施加的负载相关的一个或多个因素；

(c)利用步骤(a)和(b)得出的数据，确定所述表面检测设备处由所述负载造成的测量误差。

该方法能够对由于静态负载和动态负载造成的测量误差进行数学补偿。动态误差由铰接头的运动引起。静态误差由铰接探头运动之外的因素引起，例如由探针作用在表面而引起的探针作用力。

所述刚度能够定义为在施加到所述装置的整体或其部分上的负载的作用下所具有的弹性特征。

所述负载可包括扭矩或线性作用力。

所述负载能够利用例如位于安装有探头的结构上的、诸如位于探头内部或外部的测力元件(load cell)或测扭矩元件(torque cell)直接测量。

可选择的，利用对照表能够对负载或一个或多个与负载有关的因素进行测量或确定。其能够典型的包括马达中的电流或电压、装置某部分的加速度、速度或位置。这些参数可以是控制器所需值，或是在系统的一个或多个点处对其进行测量。所述系统包括坐标测量装置、铰接探头、表面检测设备、控制器和用于驱动马达的动力放大器。

所述表面检测设备可包括诸如扫描式或接触触发式探针这样的接触式探针，或是诸如光学式、电容式或感应式探针这样的非接触式探针。

在一个实施例中，通过将负载施加到整个所述装置或其部分上，并测量偏差，便可在步骤(a)中确定刚度。

在另一实施例中，以下述方式在步骤(a)中确定刚度：测量尺寸已知的物体，同时测量施加到整个装置或其部分上的负载；其中整个装置或其部分发生的偏差根据所述物体的已知尺寸和测量尺寸之间的差值加以确定；并且其中根据负载和偏差得出刚度。

在另一实施例中，所述表面检测设备为具有工件接触触针的接触式探针，其中以如下方式在步骤(a)中确定刚度：对接触式探针进行定位，从而使触针与尺寸已知的物体的表面相接触；当施加不同的探针作用力时，读取表面的测量读数；其中，根据已知尺寸和测量尺寸之间的差值确定整个装置或其部分的偏差；并且其中根据施加的作用力和偏差得出刚度。

在另一实施例中，所述表面检测设备为具有工件接触触针的接触式探针，并且其中以如下方式在步骤(a)中确定刚度：对接触式探针进行定位，从而使触针与尺寸已知的物体的表面相接触；当探针尖端与所述表面保持接触时，使探针尖端发生振动；当以不同的探针频率和加速度进行振动时，读取所述表面的测量读数；其中，根据已知尺寸和测量尺寸之间的差值确定整个装置或其部分的偏差；并且其中根据加速度和偏差得出刚度。

根据所述装置的系统变量，能够确定在步骤(b)中与所述负载相关的一个或多个因素。例如，施加到铰接探头中至少一个马达上的电流，或者是来自铰接探头的位置测量设备的测量数据的二次微分。

可选择的，通过使用外部设备，例如扭矩仪或加速计，能够确定在步骤(b)中与负载相关的一个或多个因素。

在一个实施例中，测量误差由安装有铰接探头的坐标定位装置的结构扭转造成，且所述方法可包括确定表面检测设备测量路径相对于基准点的偏移量这样的步骤，其中该偏移量用于计算测量误差。

由结构扭转造成的测量误差基本上与(Lcosφ)δθ成比例，其中L表示从铰接探头的基准点到表面检测设备的测量路径之间的距离，φ表示表面检测设备和垂直于安装有铰接探头的结构轴线的轴线之间的夹角，δθ表示结构的角偏量。对于接触式探针而言，L表示表面检测设备的尖端与旋转中心之间的距离。

本发明的第二方面提供一种坐标定位装置，其包括具有表面检测设备的铰接探头，其中所述表面检测设备能够围绕铰接探头的至少一根轴线进行旋转，且已知整个装置或其部分的刚度；

该装置设置有确定与由铰接探头在任一特定时刻所施加的负载相关的一个或多个因素的设备；

并且其中，坐标定位装置包括处理器，所述处理器适于利用整个装置或其部分的已知刚度，并根据已确定的与负载相关的一个或多个因素，从而确定表面探测装置上由负载造成的测量误差。

所述处理器能够位于例如坐标定位装置的控制器中或PC中。典型的，该处理器包括微控制器。

附图说明

下面结合实例并参照附图，说明本发明的优选实施例。

图1为坐标测量仪的透视图；

图2为铰接探头的剖面图；

图3为安装在坐标测量仪臂件上的铰接探头的透视图；

图4所示曲线图用于说明扭矩T和Z向柱体角偏量δθ之间的关系；

图5所示曲线图用于说明以高速和低速从垂直孔获得的测量数据；

图6为铰接探头的探针尖端与校准球体相接触的平面图；

图7为用于说明线性力和角向力的铰接探头的侧视图。

具体实施方式

图1所示为安装在坐标测量仪(CMM)上的铰接扫描头。铰接探头10安装在CMM 8的垂直延伸伸长件或Z向柱体12的底端。Z向柱体12受到诸如空气轴承14的轴承的支撑，以在Z向进行运动，轴承14与支架16集成在一起，支架16又由横梁18进行支撑，以在X方向进行运动。横梁18由安装在平台22上的导轨20进行支撑，以在Y方向进行运动。因而铰接探头10可定位在所述仪器工作容积内的X、Y和Z向的任何位置。控制器向CMM和铰接探头发出指令，以将铰接探头和安装在其上的探针定位在任何期望位置内。控制器还可接收来自CMM、铰接探头和探针的反馈信息。

如图2所示，铰接扫描探头10包括由基部或外壳30形成的固定部分，所述基部或外壳30对成形为轴32的可动部分进行支撑，所述轴32在马达M1作用下，可相对于外壳30围绕轴A1旋转。所述轴固定至另一外壳34上，该外壳34又对轴36进行支撑，轴36在马达M2的作用下，可相对于外壳34围绕垂直于轴Al的轴A2旋转。

探针38安装在铰接扫描探头10上，且其具有带有工件接触尖端40的触针39。这样的配置使得探头的马达M1、M2能够围绕轴A1或A2对工件接触尖端40进行角定位，CMM(未示出)的马达能够在CMM的三维坐标框架内的任何地方对铰接探头进行线性定位，以使触针尖端与被扫描表面具有预定关系。

线性位置转换器(未示出)配置在CMM上，用于测量铰接探头的线性位移，角位置转换器T1和T2配置在铰接探头10上，用于测量触针30分别围绕轴A1和A2的角位移。

在探针触针39的加速过程中，铰接探头向系统施加扭矩。尤其是在对诸如孔这样的特定轮廓进行测量的过程中，触针可能会围绕轴A1发生振动而产生扭矩。

测量误差的实例之一是CMM(或其它等同类型的坐标定位装置)的主轴(quill)扭转。另一实例是铰接头的弯曲和扭转。典型的，CMM的Z向柱体由具有较高刚度的花岗岩制成。然而，用于支撑Z向柱体并允许其在Z向移动的轴承14靠近定位在一起。这些轴承的定位允许Z向柱体围绕Z轴发生一些旋转。这样，当铰接探头向Z向柱体施加扭矩时，就可能使所述柱体围绕Z轴发生一些旋转。由于轴承较低的扭转刚度是造成Z向柱体滚动的主要原因，从而柱体在Z向的位置对滚动量仅有很小的影响。

然而，在由诸如铝这样具有较低扭转刚度材料制成的Z向柱体中，结构刚度将随Z向柱体的高度而发生变化。刚度测量可在用于部件测量的Z向柱体高度处进行。可选择的，可测量Z向柱体不同高度处的刚度，从而建立刚度和Z向柱体高度的对应关系。这便允许在测量值之间进行插值。

参看图3，Z向柱体12的旋转量δθ在触针尖端40的位置上形成误差δx。

在所述方法的第一步骤中，确定整个系统或系统一部分的刚度。在本实施例中，确定Z向柱体12的旋转刚度。这可通过向Z向柱体施加扭矩并且测量角偏量θ而得以完成。例如，可使用滑轮系统向Z向柱体均匀施加已知扭矩，同时使用角干涉仪或其它角测量装置来测量Z向柱体的旋转。这便能够确定主轴端部以上度量系统的刚度测量。可选的，主轴以上的度量系统的刚度可从仪器类型而获知。

一旦确定整个或部分系统的刚度，则进行位置测量，同时对与铰接头所施加负载相关的一个或多个因素进行记录。

在本实施例中，铰接探头所施加的负载可通过多种不同方式得以确定。可通过读取系统变量进行确定，例如，如果探头马达为直接驱动式马达，可通过测量马达中的电流而确定扭矩。如果马达不是直接驱动式，则能够通过传动装置而测量电流。所述传动装置可包括，例如，皮带滑轮系统或齿轮组。其它的系统变量包括加速度需求量或控制器反馈。

所述负载还可通过使用铰接探头中的转换器(图3中的T1)而得以确定。可对来自转换器的读数进行二次微分，以确定铰接探头的加速度。如果底轴的惯性已知为给定量φ，从而能够确定铰接探头所施加的扭矩。在齿轮驱动的情况下，通过对来自连接到铰接头马达上的转速仪的速度进行一次微分，从而可确定加速度。然后，可如上所述那样计算扭矩。

还可利用系统外部或内部的记录设备确定负载。实例为测扭矩元件或测力元件，其既可放置在Z向柱体和铰接探头之间，也可放置在探头结构的内部，从而直接测量铰接探头施加到结构上的负载。还可使用加速计。在惯性已知的情况下，加速计等同于测扭矩元件，如前一段所述，但其所覆盖的频率范围不同。

利用该方法，便可能生成例如关于作用到Z向柱体的扭矩范围的数据，以及相应的Z向柱体的角偏量。

图4所示为扭矩T和Z向柱体角偏量δθ的曲线图。根据胡克定律，δθ＝T/k，其中k为旋转刚度。一旦k已知，便能够利用该等式校正所有的未来测量值。

在图3所示情况中，误差由Z向柱体的扭转造成，触针尖端40位置中的误差δx由围绕Z向柱体12的Z向的旋转量δθ造成。触针尖端位置中的误差δz由围绕铰接探头A2轴的旋转量δφ造成。对于其触针尖端与工件相接触的接触探针而言，测量误差的数量与触针尖端40相对于诸如铰接探头10的A1轴此类的基准点的偏移量R成比例。偏移量R＝Lcosφ，其中L为触针39的长度，φ为触针与水平面的夹角。

在非接触式探头的情况下，例如光学式、电容式或感应式探头，L为基准点和测量点之间的距离。测量点可包括例如光学式探头的焦点。

因此，测量误差δx为δθLcosφ，其中δθ为利用作用到Z向柱体上的扭矩而计算出的Z向柱体的角误差。

角偏量δθ可如上所述那样利用施加的扭矩而计算得出，或者利用所映射的铰接探头的对照表加以确定。

下面对确定系统刚度的一种可选方法进行说明。利用所述系统对校准样品进行扫描，所述校准样品如基准球(datum ball)或环规(ringgauge)，从而利用实验方法记录测量误差。如上所述，利用测扭矩元件或加速计，并通过测量直接驱动式马达的电流或利用铰接探头转换器的测量数据，对探头施加到系统上的负载进行测量。样品的测量尺寸和其已知尺寸之间的差值为测量误差δθ。如上所述，所施加扭矩和误差δθ之间的关系可用于通过胡克定律而确定旋转刚度k，或生成用于对照表的数据。在该方法中，整个系统(即CMM和铰接探头)的刚度得以确定。

就最好结果而言，当φ＝0°时扫描校准部分。这可以产生最大的扭矩，从而在降低测量噪音方面产生最好的结果。

一旦系统刚度得以确定，可对工件进行测量，同时确定一个或多个与在任何特定时刻由铰接探头所施加负载相关的因素(如扭矩、马达电流等)，从而能够如前述那样计算测量误差。

在该方法的一个变型中，由动态负载形成的整个或部分系统的刚度也可按下述方法加以确定。首先以低速对非校准样品进行扫描，然后再以高速进行扫描。在进行低速扫描时，由于加速度很小，从而可以忽略围绕Z向柱体的Z向旋转而造成的测量误差。误差δθ为高速测量和低速测量所得测量值之间的差值。

图5所示为对小型垂直孔的扫描测量值，其通过沿该孔的中心线移动CMM的主轴而得，同时铰接探头使触针围绕中心线旋转。实线50代表低速扫描，虚线52代表高速扫描。高速扫描的测量值就尺寸而言是正确的，但其形状曲线已发生发生了旋转。这是由于铰接探头的运动所施加的扭矩造成的。

参照图6，下面说明确定整个系统或部分系统的刚度的第三种方法。在该方法中，探头的触针尖端40抵靠到校准样品上，例如校准球体54。在测量扭矩和角偏量δθ的同时，触针尖端和样品之间的作用力逐渐增加。扭矩可通过上述实施例中所述方法进行测量。角偏量δθ根据校准样品表面位置的已知值和测量值之间的差值加以确定。如上述实施例所述，根据扭矩和角偏量δθ之间的关系确定刚度。

在该方法中，可利用刚性探针和触针或具有较高刚度的探针和触针来获得刚度。可选择的，可使用标准探针，并推算结果。

在该实施例的一个变型中，探针和样品之间的作用力随着探头在某一频率范围内发生的振动而发生变化，同时探针尖端与样品表面保持接触。在振动期间，测量样品的加速度和尺寸。如上所述，如果惯性已知，则可通过加速度而确定扭矩和随后由探头施加的作用力。如上所述，根据校准样品表面位置的已知值和测量值之间的差值确定偏差，并根据作用力和偏差之间的关系确定刚度。

利用这些方法，便能够确定由探头施加扭矩而造成的触针尖端的误差δx，因而，便能够纠正围绕Z向柱体的Z向旋转而造成的误差。因此，该发明能够对测量误差进行数学补偿。

如上所述，一旦确定了刚度，便能够利用该刚度来确定所记录数据的测量误差，所述记录数据与在测量过程中任一特定时刻获得的由铰接探头所施加的负载有关。

该方法可用于对整个或部分结构进行纠正。例如，可以确定整个系统(CMM和铰接探头)的刚度。可选择的，可分别确定不同部分的刚度，并且将其组合而得到系统的总弹性比率k。刚度还可仅对于系统中最具影响力的部分(仅以CMM为例)确定所述刚度。

如图7所示，铰接探头的某些运动可能会形成作用在主轴上的扭矩和线性作用力。探针的质量M将产生与探针加速度(a)成比例的线性作用力F。由于F＝kδx，其中F为作用力，k为刚度，δx为主轴的线性位移，从而如果已知主轴的刚度，便可确定线性位移。线性作用力可根据如重力这样的外部作用力或根据探针质量围绕铰接探头一个或多个轴线的加速度而得出。

该方法能够对由于铰接探头产生的负载而造成的测量误差进行纠正。如上所述，这些负载包括扭矩和线性作用力。所述方法对动态误差和静态误差进行补偿。

由于能够对由这些高速测量造成的动态测量误差进行数学补偿，从而所述方法能够获得高速测量值。而且，由于可以对动态误差进行数学补偿，从而可使用非惯性平衡探头。这样便可以降低探头的成本、复杂度和重量。

该方法并不限用于垂直臂式坐标定位仪。例如，它还适用于水平臂式坐标定位仪。

该发明适于对其它仪器的误差进行补偿。在这种情况下，铰接探头安装在等同于CMM主轴的安装结构上。来自铰接探头的扭矩产生扭转，该扭转从安装结构传递给仪器度量结构的其余部分。

例如，铰接探头可安装在检查机器人的远端上，所述检查机器人例如可包括具有多个铰接连接部的机器人臂。典型的，机器人臂的远端包括腕关节连接部，还带有可围绕其纵轴旋转的结构，铰接探头可安装在该腕关节连接部上。这种方法允许铰接探头产生的扭矩由腕关节连接部进行补偿。通过对机器人臂其它部分的旋转进行映射，从而可对整个系统中由铰接探头产生的扭矩进行补偿。

Claims (18)

1.一种对使用坐标定位装置得出的测量值进行误差补偿的方法，所述坐标定位装置包括具有表面检测设备的铰接探头，其中，所述表面检测设备在测量过程中围绕所述铰接探头的至少一个轴线进行旋转，所述方法包括下列步骤，所述步骤能够以任何适当的顺序排列：

(a)确定整个所述装置或其部分的刚度；

(b)确定在任一特定时刻的负载或与所述铰接探头所施加负载相关的一个或多个因素；

(c)利用步骤(a)和(b)得出的数据，确定所述表面检测设备处由所述负载造成的测量误差。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述负载包括扭矩。

3.如前面任一权利要求所述的方法，其中所述负载包括线性作用力。

4.如前面任一权利要求所述的方法，其中所述表面检测设备为接触式探针。

5.如权利要求1-3中任一权利要求所述的方法，其中所述表面检测设备为非接触式探针。

6.如前面任一权利要求所述的方法，其中通过向整个所述装置或其部分施加负载，并测量偏差，从而在步骤(a)中确定刚度。

7.如权利要求1-5中任一权利要求所述的方法，其中通过下述方法在步骤(a)中确定刚度：

测量尺寸已知的物体，同时测量施加到整个所述装置或其部分上的负载；

其中，根据所述物体的已知尺寸和测量尺寸之间的差值确定整个所述装置或其部分的偏差；以及

其中，根据所述负载和所述偏差得出刚度。

8.如权利要求7所述的方法，其中以低速对所述物体进行测量，从而确定所述物体的已知尺寸。

9.如权利要求1-5中任一权利要求所述的方法，其中所述表面检测设备为具有工件接触触针的接触式探针，其中通过下述方法在步骤(a)中确定刚度：

对所述接触式探针进行定位，从而使所述触针与尺寸已知的物体的表面相接触；

在施加不同的探针作用力时，获取所述表面的测量读数；

其中，根据所述已知尺寸和测量尺寸之间的差值确定整个所述装置或其部分的偏差；以及

其中，根据施加的作用力和所述偏差得出刚度。

10.如权利要求1-5中任一权利要求所述的方法，其中所述表面检测设备为具有工件接触触针的接触式探针，其中通过下述方法在步骤(a)中确定刚度：

对所述接触式探针进行定位，从而使所述触针与尺寸已知的物体的表面相接触；

当所述探针尖端与所述表面保持接触时，使所述探头发生振动；

当以不同的探针频率及其加速度进行振动时，获取所述表面的测量读数；

其中，根据所述已知尺寸和测量尺寸之间的差值确定整个所述装置或其部分的偏差，以及

其中，根据所述加速度和偏差得出刚度。

11.如前面任一权利要求所述的方法，其中根据所述装置的系统变量，确定在步骤(b)中与所述负载有关的一个或多个因素。

12.如权利要求11所述的方法，其中根据施加到所述铰接探头中的至少一个马达上的电流，确定在步骤(b)中与所述负载有关的一个或多个因素。

13.如权利要求11所述的方法，其中通过对来自所述铰接探头中的位置测量设备的测量数据进行二次微分，从而确定在步骤(b)中与所述负载有关的一个或多个因素。

14.如权利要求1-9中任一权利要求所述的方法，其中使用扭矩计或加速计，确定在步骤(b)中与所述负载有关的一个或多个因素。

15.如前面任一权利要求所述的方法，所述方法包括确定所述表面检测设备测量路径相对于基准点的偏移量这样的步骤，其中该偏移量用于计算所述测量误差。

16.如权利要求15所述的方法，其中在步骤(c)中确定的测量误差基本上与(Lcosφ)δθ成比例，其中L表示从所述铰接探头的基准点到所述表面检测设备的测量路径之间的距离，φ表示所述表面检测设备和垂直于安装有所述铰接探头的结构的轴线的轴线之间的夹角，δθ表示所述结构的角偏量。

17.如权利要求16所述的方法，其中所述探针为接触式探针，L表示所述表面检测设备的尖端与旋转中心之间的距离。

18.坐标定位装置，其包括具有表面检测设备的铰接探头，其中所述表面检测设备能够围绕所述铰接探头的至少一根轴线进行旋转，且已知整个所述装置或其部分的刚度；

所述装置具有确定与所述铰接探头在任一特定时刻所施加负载相关的一个或多个因素的设备；

并且其中，所述坐标定位装置包括处理器，所述处理器适于利用整个所述装置或其部分的刚度，并根据已确定的与所述负载相关的一个或多个因素，从而确定所述表面探测设备上由所述负载造成的测量误差。

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