CN1873034A - 连续退火加热炉炉温控制方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及连续退火加热炉炉温控制方法。一种连续退火加热炉炉温控制方法,其特征是以炉区的入口带温、带钢秒流量和炉温为输入量,采用多变量预测控制算法来计算出当前时刻最优的燃气流量增量,通过调节燃气流量增量,对连退加热炉炉温进行控制。本发明通过模型计算每个炉区带钢的热能,考虑了带钢厚度、宽度、速度和入口带温对炉温的影响,提高了加热炉段的炉温控制精度和动态响应特性。
Description
(一)技术领域
本发明涉及连续退火加热炉炉温控制方法。
(二)背景技术
连退加热炉结构如图1所示,整个炉子分为若干个区,每个区之间有隔热墙,用于减少炉膛间热气相互干扰。每个炉区都有独立的控制,如:煤气流量、电压、功率等,和炉温测量手段。现有的连退加热炉炉温控制一般都采用单变量PID(比例积分微分运算器)控制方法,参见图2,即以设定炉温与实测炉温的差为输入,控制变量设定值为输出的PID调节器。由于炉子本身的大惯性、长延时特性,加上连退的高速、连续、变规格工艺特性,使传统的连退炉温控制不能同时兼顾稳定性与快速性的要求。日本专利03-277722[JP 3277722 A],公开了一种通过实际测量加热段出口带钢的热能来进行炉温控制的方法。日本专利PUB.NO.:52-028409[JP 52028409 A],公开了一种改变加热条件的炉温控制方法,该方法只考虑带钢厚度变化对炉温的影响。
(三)发明内容
本发明的目的在于提供一种连续退火加热炉炉温控制方法,该控制方法通过模型计算每个炉区带钢的热能,考虑了带钢厚度、宽度、速度和入口带温对炉温的影响,提高了加热炉段的炉温控制精度和动态响应特性。
本发明是这样实现的:一种连续退火加热炉炉温控制方法,其特征是以炉区的入口带温、带钢秒流量和炉温为输入量,采用多变量预测控制算法来计算出当前时刻最优的燃气流量增量,通过调节燃气流量增量,对连退加热炉炉温进行控制,其步骤如下:
第一步,计算入口带温,入口带温就是前炉区的出口带温,其数学表达式为:
Ts(0)=Tsin
式中,L[m]为前炉区中带钢的长度,K为综合吸热系数,A3、A4、A5为与热容相关的参数,Ts(x)为距入口x米处的带温,是积分计算中的中间变量,Tsin和Tsout[℃]分别为前炉区的入口和出口带温,h[mm]为前炉区出口处的带钢厚度,v[m/min]为带钢速度,Tf[℃]为前炉区的炉温;
第二步,计算带钢秒流量,入口带钢秒流量反映了带钢从前一个炉区带到本炉区热量的大小,带钢秒流量为进入本炉区的带钢速度、宽度和厚度的乘积,即:
Vh=v×w×h (2)
式中,w[m]为带钢宽度;
第三步,计算k时刻的炉温Tf(k),其数学表达式为:
Tf(k)=s11ΔFl(k-1)+s12ΔFl(k-2)+…+s1nΔFll(k-n)+s1nFl(k-n-1)
+s21ΔTsin(k-1)+s22ΔTsin(k-2)+…+s2nΔTsin(k-n)+s2nTsin(k-n-1) (3)
+s31ΔVh(k-1)+s32ΔVh(k-2)+…+s3nΔVh(k-n)+s3nVh(k-n-1)
式中,Fl(k-1)[m3/min]为k-1时刻的燃气流量,Tsin(k-1)[℃]为k-1时刻的入口带温,由(1)式计算所得,Vh(k-1)为k-1时刻的入口秒流量,由(2)式计算所得,s11…s3n为模型参数;
第四步,计算燃气流量增量,多变量预测控制是根据设定的炉温目标曲线和预测的炉温曲线来计算下一时刻的控制增量,假设将来时刻燃气量的变化为零,即:
ΔFl(k)=ΔFl(k+1)=…=0,Vk>0 (4)
根据(3)式可以预测到将来p时刻内的炉温值,从而也就能计算出将来p时刻内的设定误差,即:
E(1)=r(1)-Tf(1)
… (5)
E(p)=r(p)-Tf(p)
这里,r(p)为p时刻的设定值,根据预测控制原理,下一时刻的燃气流量增量为
ΔFl(1)=k1E(1)+k2E(2)+…+kpE(p) (6)
式中,k1…kp为预测控制增益。
上述的连续退火加热炉炉温控制方法,对于第一炉区的入口带温可通过炉子前的带温测量仪测得;燃气流量调节为煤气流量调节。
本发明是考虑了炉区的入口带温和带钢秒流量对炉温的影响,并根据模型预测将来时刻的炉温变化,用多变量预测控制理论计算出当前时刻最优的煤气流量增量。本发明主要包括三个模块:入口带温计算、入口带钢秒流量计算和多变量预测控制算法。本发明通过模型计算每个炉区带钢的热能,考虑了带钢厚度、宽度、速度和入口带温对炉温的影响,提高了加热炉段的炉温控制精度和动态响应特性。
(四)附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明。
图1为连续退火加热炉结构示意图;
图2为现有的连退加热炉炉温控制方法框图;
图3为本发明连续退火加热炉炉温控制方法框图。
图中:1前炉区炉温,2前炉区入口带温,3前炉区带钢厚度,4前炉区带钢宽度,5带钢速度,6入口带温,7带钢秒流量,8多变量预测控制。
(五)具体实施方式
参见图1、图3,一种连续退火加热炉炉温控制方法,是以炉区的入口带温6、带钢秒流量7和炉温为输入量,采用多变量预测控制8算法来计算出当前时刻最优的煤气流量增量,通过调节煤气流量增量,对连退加热炉炉温进行控制,详细描述如下:
1.入口带温6计算,对于第一炉区,入口带温6可以通过炉子前的带温测量仪测得,参见图1。对于后续炉区,由于在炉内安装带钢检测仪非常困难,只能根据前炉区的运行状况经过计算来估计。本炉区的入口带温6实际上就是前炉区的出口带温。而前炉区的出口带温可以通过前炉区的炉温1、带钢入口温度2、厚度3、速度5来求得:
Ts(0)=Tsin
式中,L[m]为前炉区中带钢的长度,K为综合吸热系数,A3、A4、A5为与热容相关的参数,Ts(x)为距入口x米处的带温,是积分计算中的中间变量,Tsin和Tsout[℃]分别为前炉区的入口带温2和出口带温,h[mm]为前炉区出口处的带钢厚度3,v[m/min]为带钢速度5,Tf[℃]为前炉区的炉温1。根据(1)式就可以用数值方法计算出前炉区的出口带温,也就是本炉区的入口带温6。
2.入口秒流量7计算,入口秒流量7反映了带钢从前一个炉区带到本炉区热量的大小,秒流量7越大,带来的热量越多,从而对本炉区炉温的影响也越大。带钢秒流量7为进入本炉区的带钢速度5、宽度4和厚度3的乘积,即,
Vh=v×w×h (2)
式中,w[m]为带钢宽度4。
3.多变量预测控制8算法,多变量预测控制8是根据设定的炉温目标曲线和预测的炉温曲线来计算下一时刻的控制增量。因此首先必须建立炉温预测计算方法。根据加热炉设备特性,影响炉温变化的主要因素有:煤气流量、带钢厚度3、宽度4和速度5、入口带温6等。因此,k时刻的炉温可以用前n时刻的煤气流量、入口带温6和秒流量7的增量来计算,即
Tf(k)=s11ΔFl(k-1)+s12ΔFl(k-2)+…+s1nΔFl(k-n)+s1nFl(k-n-1)
+s21ΔTsin(k-1)+s22ΔTsin(k-2)+…+s2nΔTsin(k-n)+s2nTsin(k-n-1) (3)
+s31ΔVh(k-1)+s32ΔVh(k-2)+…+s3nΔVh(k-n)+s3nVh(k-n-1)
式中,Tf(k)为k时刻的炉温,Fl(k-1)[m3/min]为k-1时刻的煤气流量,Tsin(k-1)[℃]为k-1时刻的入口带温6,由(1)式计算所得,Vh(k-1)为k-1时刻的入口秒流量7,由(2)式计算所得,s11…s3n为模型参数。
(3)式的表达形式有利于进行实时的炉温预测计算,是预测控制算法8的基础。假设将来时刻煤气量的变化为零,即
ΔFl(k)=ΔFl(k+1)=…=0,k>0 (4)
根据(3)式可以预测到将来p时刻内的炉温值,从而也就能计算出将来p时刻内的设定误差,即
E(1)=r(1)-Tf(1)
… (5)
E(p)=r(p)-Tf(p)
这里,r(p)为p时刻的设定值。根据预测控制原理,下一时刻的煤气流量增量为
ΔFl(1)=k1E(1)+k2E(2)+…+kpE(p) (6)
式中,k1…kp为预测控制增益。
经试验可得到:(1)式中的参数值为:
K=0.4×10-10
A3=0.16264
A4=-0.25416×10-3
A5=0.53943×10-6
A6=-0.28215×10-9
(3)式中的参数为:n=83,sij共有83项,前10项系数为:
s11…s110 | s21…s210 | s31…s130 |
0 | 0 | 0 |
0 | 0 | 0 |
0.081724 | 0.015349 | -0.0161 |
0.32136 | 0.060355 | -0.06332 |
0.55292 | 0.10384 | -0.10894 |
0.77667 | 0.14587 | -0.15303 |
0.99287 | 0.18647 | -0.19563 |
1.2018 | 0.22571 | -0.23679 |
1.4036 | 0.26362 | -0.27656 |
1.5987 | 0.30025 | -0.31499 |
(6)式中的控制增益为:
k1~10=[0,0,0.1759,0.5179,0.4486,0.2676,0.1132,0.0199,-0.0263,-0.0503]。
本发明可以推广到任何连续处理线的加热炉和均热炉上,包括:热镀锌和电镀锌处理线,尤其对于像电工钢这种对温度要求极高的连续处理线。
Claims (3)
1.一种连续退火加热炉炉温控制方法,其特征是以炉区的入口带温、带钢秒流量和炉温为输入量,采用多变量预测控制算法来计算出当前时刻最优的燃气流量增量,通过调节燃气流量增量,对连退加热炉炉温进行控制,其步骤如下:
第一步,计算入口带温,入口带温就是前炉区的出口带温,其数学表达式为:
Ts(0)=Tsin
式中,L[m]为前炉区中带钢的长度,K为综合吸热系数,A3、A4、A5为与热容相关的参数,Ts(x)为距入口x米处的带温,是积分计算中的中间变量,Tsin和Tsout[℃]分别为前炉区的入口和出口带温,h[mm]为前炉区出口处的带钢厚度,v[m/min]为带钢速度,Tf[℃]为前炉区的炉温;
第二步,计算带钢秒流量,入口带钢秒流量反映了带钢从前一个炉区带到本炉区热量的大小,带钢秒流量为进入本炉区的带钢速度、宽度和厚度的乘积,即:
Vh=v×w×h (2)
式中,w[m]为带钢宽度;
第三步,计算k时刻的炉温Tf(k),其数学表达式为:
Tf(k)=s11ΔFl(k-1)+s12ΔFl(k-2)+…+s1nΔFl(k-n)+s1nFl(k-n-1)
+s21ΔTsin(k-1)+s22ΔTsin(k-2)+…+s2nΔTsin(k-n)+s2nTsin(k-n-1) (3)
+s31ΔVh(k-1)+s32ΔVh(k-2)+…+s3nΔVh(k-n)+s3nVh(k-n-1)
式中,Fl(k-1)[m3/min]为k-1时刻的燃气流量,Tsin(k-1)[℃]为k-1时刻的入口带温,由(1)式计算所得,Vh(k-1)为k-1时刻的入口秒流量,由(2)式计算所得,s11…s3n为模型参数;
第四步,计算燃气流量增量,多变量预测控制是根据设定的炉温目标曲线和预测的炉温曲线来计算下一时刻的控制增量,假设将来时刻燃气量的变化为零,即:
ΔFl(k)=ΔFl(k+1)=…=0,k>0 (4)
根据(3)式可以预测到将来p时刻内的炉温值,从而也就能计算出将来p时刻内的设定误差,即:
E(1)=r(1)-Tf(1)
… (5)
E(p)=r(p)-Tf(p)
这里,r(p)为p时刻的设定值,根据预测控制原理,下一时刻的燃气流量增量为
ΔFl(1)=k1E(1)+k2E(2)+…+kpE(p) (6)
式中,k1…kp为预测控制增益。
2.根据权利要求1所述的连续退火加热炉炉温控制方法,其特征是对于第一炉区的入口带温可通过炉子前的带温测量仪测得。
3.根据权利要求1所述的连续退火加热炉炉温控制方法,其特征是燃气流量调节为煤气流量调节。
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Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100491546C (zh) * | 2007-11-22 | 2009-05-27 | 武汉钢铁(集团)公司 | 罩式炉退火自适应控制方法 |
CN101748268B (zh) * | 2008-11-28 | 2011-12-07 | 上海宝钢工业检测公司 | 连退机组入口活套钢卷信息的关联和截取方法 |
CN102373328A (zh) * | 2010-08-24 | 2012-03-14 | 宝山钢铁股份有限公司 | 连退机组加热炉均热段炉辊马达负荷平衡控制方法 |
CN102392119A (zh) * | 2011-10-28 | 2012-03-28 | 重庆赛迪工业炉有限公司 | 热镀锌连续退火炉的在线综合控制方法 |
CN103397171A (zh) * | 2013-08-20 | 2013-11-20 | 中冶赛迪工程技术股份有限公司 | 一种确定钢坯加热炉炉温设定值的方法 |
CN103952529A (zh) * | 2014-05-08 | 2014-07-30 | 济钢集团有限公司 | 一种步进式加热炉基于热平衡的炉温优化方法 |
CN104049649A (zh) * | 2013-03-14 | 2014-09-17 | 宝山钢铁股份有限公司 | 加热炉温度的模型控制方法 |
CN104407642A (zh) * | 2014-12-01 | 2015-03-11 | 杭州电子科技大学 | 一种基于迭代学习控制的连铸坯感应加热过程温控方法 |
CN106119520A (zh) * | 2016-04-13 | 2016-11-16 | 中国地质大学(武汉) | 一种冷轧热镀锌退火炉板温协调控制系统及方法 |
CN111630192A (zh) * | 2018-02-22 | 2020-09-04 | 杰富意钢铁株式会社 | 连续退火中的钢板的加热方法和连续退火设备 |
CN112214052A (zh) * | 2019-07-09 | 2021-01-12 | 于政军 | 一种基于加热炉过程控制目标的炉温自主控制系统框架 |
CN113088679A (zh) * | 2021-03-15 | 2021-07-09 | 鞍钢集团北京研究院有限公司 | 冷轧连续退火炉炉温升降速率设定方法 |
CN115074496A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-09-20 | 首钢京唐钢铁联合有限责任公司 | 连续退火炉的控制方法、装置、介质和电子设备 |
CN115354141A (zh) * | 2022-08-09 | 2022-11-18 | 首钢智新迁安电磁材料有限公司 | 一种加热炉功率的控制方法、装置、电子设备及介质 |
CN116083714A (zh) * | 2023-02-23 | 2023-05-09 | 山东钢铁集团永锋临港有限公司 | 一种基于长距离炉型加热炉的冷热混装温度控制工艺 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1055317C (zh) * | 1996-08-27 | 2000-08-09 | 宝山钢铁(集团)公司 | 连续退火炉在线控制方法 |
JP4990448B2 (ja) * | 2001-07-10 | 2012-08-01 | 新日本製鐵株式会社 | If鋼の連続焼鈍および溶融メッキ兼用設備における連続焼鈍炉の冷却帯 |
JP2004002926A (ja) * | 2002-05-31 | 2004-01-08 | Nippon Steel Corp | 連続焼鈍ラインの板温制御装置及び方法 |
JP4203275B2 (ja) * | 2002-07-12 | 2008-12-24 | 新日本製鐵株式会社 | 連続鋼材加熱炉の燃焼制御方法、燃焼制御装置及び燃焼制御プログラム並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
CN100412462C (zh) * | 2002-12-20 | 2008-08-20 | 北京众和达自控技术开发有限公司 | 用于加热炉出口温度的综合控制方法及其装置 |
JP4507681B2 (ja) * | 2003-06-19 | 2010-07-21 | Jfeスチール株式会社 | 溶融亜鉛めっき鋼板用めっき浴の温度制御方法 |
-
2005
- 2005-05-31 CN CNB2005100263258A patent/CN100422356C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100491546C (zh) * | 2007-11-22 | 2009-05-27 | 武汉钢铁(集团)公司 | 罩式炉退火自适应控制方法 |
CN101748268B (zh) * | 2008-11-28 | 2011-12-07 | 上海宝钢工业检测公司 | 连退机组入口活套钢卷信息的关联和截取方法 |
CN102373328A (zh) * | 2010-08-24 | 2012-03-14 | 宝山钢铁股份有限公司 | 连退机组加热炉均热段炉辊马达负荷平衡控制方法 |
CN102373328B (zh) * | 2010-08-24 | 2013-04-24 | 宝山钢铁股份有限公司 | 连退机组加热炉均热段炉辊马达负荷平衡控制方法 |
CN102392119A (zh) * | 2011-10-28 | 2012-03-28 | 重庆赛迪工业炉有限公司 | 热镀锌连续退火炉的在线综合控制方法 |
CN102392119B (zh) * | 2011-10-28 | 2013-07-17 | 重庆赛迪工业炉有限公司 | 热镀锌连续退火炉的在线综合控制方法 |
CN104049649B (zh) * | 2013-03-14 | 2016-04-27 | 宝山钢铁股份有限公司 | 加热炉温度的模型控制方法 |
CN104049649A (zh) * | 2013-03-14 | 2014-09-17 | 宝山钢铁股份有限公司 | 加热炉温度的模型控制方法 |
CN103397171A (zh) * | 2013-08-20 | 2013-11-20 | 中冶赛迪工程技术股份有限公司 | 一种确定钢坯加热炉炉温设定值的方法 |
CN103952529A (zh) * | 2014-05-08 | 2014-07-30 | 济钢集团有限公司 | 一种步进式加热炉基于热平衡的炉温优化方法 |
CN104407642A (zh) * | 2014-12-01 | 2015-03-11 | 杭州电子科技大学 | 一种基于迭代学习控制的连铸坯感应加热过程温控方法 |
CN106119520A (zh) * | 2016-04-13 | 2016-11-16 | 中国地质大学(武汉) | 一种冷轧热镀锌退火炉板温协调控制系统及方法 |
CN106119520B (zh) * | 2016-04-13 | 2018-05-01 | 中国地质大学(武汉) | 一种冷轧热镀锌退火炉板温协调控制系统及方法 |
CN111630192A (zh) * | 2018-02-22 | 2020-09-04 | 杰富意钢铁株式会社 | 连续退火中的钢板的加热方法和连续退火设备 |
CN112214052A (zh) * | 2019-07-09 | 2021-01-12 | 于政军 | 一种基于加热炉过程控制目标的炉温自主控制系统框架 |
CN113088679A (zh) * | 2021-03-15 | 2021-07-09 | 鞍钢集团北京研究院有限公司 | 冷轧连续退火炉炉温升降速率设定方法 |
CN115074496A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-09-20 | 首钢京唐钢铁联合有限责任公司 | 连续退火炉的控制方法、装置、介质和电子设备 |
CN115074496B (zh) * | 2022-05-19 | 2023-08-15 | 首钢京唐钢铁联合有限责任公司 | 连续退火炉的控制方法、装置、介质和电子设备 |
CN115354141A (zh) * | 2022-08-09 | 2022-11-18 | 首钢智新迁安电磁材料有限公司 | 一种加热炉功率的控制方法、装置、电子设备及介质 |
CN115354141B (zh) * | 2022-08-09 | 2023-10-20 | 首钢智新迁安电磁材料有限公司 | 一种加热炉功率的控制方法、装置、电子设备及介质 |
CN116083714A (zh) * | 2023-02-23 | 2023-05-09 | 山东钢铁集团永锋临港有限公司 | 一种基于长距离炉型加热炉的冷热混装温度控制工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20081001 Termination date: 20130531 |