CN1865951A - 安装基板的检查及检查用数据作成的方法与装置 - Google Patents

Abstract

本发明以对电子零件被安装的安装基板进行检查的安装基板的检查方法为对象。本发明的方法用于作成表示电子零件的形状数据和人工零件数据、这种人工零件数据含有人工图像、这些人工图像把根据这些数值数据作成的电子零件被看见的形状显示出来。对检查对象的安装基板进行拍摄、把拍摄所得的该安装基板上的电子零件的摄影图像与前述的人工图像进行核对、通过与安装基板上的电子零件的安装位置数据比较、来检查该基板上的电子零件的实际安装状态。根据本发明的检查方法可以得到高可靠性的检查结果。

Description

安装基板的检查及检查用数据作成的方法与装置

技术领域

本发明、例如用安装机械对安装电子零件的基板就其电子零件的安装状态进行检查

安装基板的检查方法与装置、以及安装基板的检查用数据的作成方法与装置。

背景技术

作为对电子零件被安装的基板作检查的检查装置、对成为检查对象的基板进行拍摄、据被拍摄到的图像数据对被安装在基板上的电子零件安装状态进行检查的东西是公的。象这样的检查装置、一般对安装状态较好的安装基板作为掩膜进行拍摄、将掩膜像作为检查基准、与检查对象基板的摄影图像进行比较、由此来判断安装状态是否合适(专利文献1至4等)。

专利文献1......特开平7-63686号公报

专利文献2......特许第3250309号公报

专利文献3......特许第3381129号公报

专利文献4......特许第2745476号公报

可是、即使实物的基板是良品其颜色和位置偏差多多少少会存在有误差的、还有、因为被安装的电子产品自身也会有尺寸和颜色、形状等方面的误差、误差被包含在检查基准里是难免的。从而、以往的检查方法、只得到与含有误差的检查基准相对的比较结果、得不到十分可靠得检查结果。

一方面、也考虑到把电子零件应该被安装的位置等作为数值数据输入作成成为检查基准的检查用数据、在这种场合、希望能够灵活地对应安装基板上的多种多样的电子零件的配置。再、实际安装状态的检查、即使是只一个电子零件被要求的安装精度有时也会存在不同的多个检查项目。例如、电子零件的电极会被要求较高的位置精度、表示电子零件的名称等的标记只要能判别就足够了。因为以往的检查装置把对主板进行拍摄的图像作为检查基准、把电子零件的个个部位分割是困难的事情、对电子零件的各部位所要求的实际安装精度难以灵活对应。

再、在上述历来的检查装置上检查开始前有必要作成含有作为检查基准的主图像的检查用数据、历来、为了更加提高作业效率和检查精度、一直希望在技术开发中能开发出能简单而正确地作成检查用数据的技术。

发明内容

本发明的第一个目的是提供能得到可靠性高的检查结果的安装基板的检查方法及其装置。

本发明的第二各目的是提供安装基板的检查用数据的作成方法、安装基板的检查方法及其装置能进行对于被电子零件的各个部位所要求的安装精度能灵活应对的检查。

本发明的第三个目的、提供安装基板的检查用数据的作成方法、安装基板的检查方法及其装置能容易地作成可以得到可靠性高的检查结果的检查用数据。

本发明的第四个目的是提供安装基板的检查用数据的作成方法及其作成装置能简单而正确地进行检查用数据的作成。

本发明为了达成上述第一个目的、提供以下的方法和装置：

(1)安装基板的检查方法、其特征是通过将包含有显示电子零件的形状的数值数据的人工零件数据与安装基板上的电子零件的安装位置数据与对检查对象的安装基板进行拍摄所得的该安装基板上的电子零件的实际安装状态进行对照，对该安装基板上的电子零件的安装状态进行检查。

(2)如权利要求1所述的安装基板的检查方法其特征是：所述的人工零件数据包含有表现根据所述数值数据作成的电子零件被见物的人工图像、把对检查对象的安装基板进行拍摄所得的该安装基板上的电子零件的摄像图像和所述的人工图像进行对

(3)如权利要求2所述的安装基板的检查方法、其特征是：所述的人工零件数据包含电子零件的颜色数据、所述的人工图像有以所述人工零件数据的颜色数据为基础的颜色信息。

(4)如权利要求2所述的安装基板的检查方法、其特征是：对将所述数值数据所表示的电子零件的形状表现出来图像进行加工作成所述的人工图像。

(5)如权利要求3所述的安装基板的检查方法、其特征是：，对于表现所述数值数据所示的电子零件的形状的图形，通过按照其各部的颜色信息施以的加工，作成所述的人工图像。

(6)如权利要求5所述的安装基板的检查方法、其特征是：所述的加工是根据所述电子零件的颜色信息和电子零件的背景颜色来进行的。

(7)如权利要求5所述的安装基板的检查方法、其特征是：所述的加工包含缓和颜色变化梯度的处理。

(8)安装基板的检查装置、其特征是它备有数据取得手段、摄像手段、和核对手段、所述的数据取得手段它取得包含电子零件的形状示值数据的人工零件数据和安装基板上的电子零件的安装位置数据；所述的摄像手段它对检查对象的安装基板进行拍摄、取得该安装基板上的电子零件的安装状态；所述的核对手段它是通过对所述人工零件数据与所述安装位置的数据与对所述检查对象的安装基板进行拍摄所得的安装状态进行核对、对该安装基板上的电子零件的安装状态进行检查。

本发明为了达到第二个发明目的，提供以下所述的手段[9]-[18]。

(9)安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：它是为了对被安装在安装基板上的电子零件的实际安装状态进行检查的检查用的数据的作成方法、所述的检查用数据有可能对成为检查对象的各个电子零件的各部位作为对象的检查模块进行多个设定、每个检查模块的公差可被设定。

(10)如权利要求9所述的安装基板的检查用数据的作成方法、所述的各检查模块的公差、作为被附加在为各电子零件所设的中间公差上的附加值可以被设定。

(11)如权利要求9所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述检查用数据包含有各检查模块成为对象的部位的形状数据。

(12)如权利要求11所述的安装基板的检查用数据的作成方法、所述的形状数据是由基本形状数据的1个或多个的组合构成。

(13)如权利要求12所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的配置数据包含有为复制所述的基本形状数据进行展开配置的展开配置数据。

(14)如权利要求9所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的检查用数据可以对一个或多个检查模块组合成的组进行多项设定、

所述的组应当属于任何组的全体检查模块的检查结果假如合格的话、该电子零件的检查结果才算合格。

(15)如权利要求14所述的所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的多个组是可以共用同一的检查模块。

(16)如权利要求9所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的检查用数据里只需满足检查数据中的任何一个数据，多个检查模块的组合可以设定。

(17)安装基板的检查方法、其特证是：它包含以下的步骤：作为安装基板上安装的电子零件的实际安装状态的检查方法，把成为检查对象的各电子零件的各部位作为对象的检查模块进行多个设定、取得每一检查模块其公差成为设定可能的检查用数据的数据取得步骤，和

对检查对象的安装基板进行拍摄取得该安装基板上的电子零件的实际安装状态的、实际安装状态取得步骤，和

把所述的检查用数据和通过与将对所述检查对象的安装基板进行拍摄所得的安装状态进行比较、对该安装基板上的电子零件的安装状态进行检查的检查步骤。

(18)安装基板的检查装置、其特征是、它备有以下手段：首先是检查用数据取得手段、作为安装在安装基板上的电子零件的安装状态的检查装置、可以把成为检查对象的各电子零件的各部位作为对象的检查模块进行多个设定、取得每个检查模块其公差可被设定的检查用数据的检查用数据取得手段，和

为对成为检查对象的安装基板进行拍摄、取得该安装基板上的电子零件的安装状态的摄像手段、和

通过将对所述检查对象的安装基板进行拍摄所得的实际安装状态与所述的检查用数据进行比较、对该安装基板上的电子零件的实际安装状态进行检查的比较手段。

本发明为了达到上述第三个发明目的，提供下述的手段[19]-[26]。

(19)安装基板的检查用数据的作成方法、其特证是：作为对安装在基板上的电子零件的安装状态进行检查的检查用数据的作成方法；所述的检查用数据包含把一个或多个的电子零件的安装位置数据用安装数据坐标系规定的安装数据和对在安装基板上的所述安装数据坐标系的原点位置作规定的安装数据、可将所述的安装数据和排列数据作多数据设定。

(20)如权利要求19所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的排列数据包含有为了将所述的安装数据复制再展开配置的展开信息。

(21)如权利要求19所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：在所谓的安装数据中使电子零件的每个公差可以被设定。

(22)如权利要求21所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的检查用数据

每种电子零件种类的标准公差可以被设定、在所述安装数据里个别公差未被设定的电子零件所述的标准公差作为该电子零件的公差被设定。

(23)如权利要求19所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的 检查 用数据包含具有电子零件的形状示值数据的人工零件数据、所述的安装数据中的安装位置数据与成为对象的电子零件的所述人工零件数据相关连附带。

(24)如权利要求23所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：把外观相同的电子零件作为对象的多个安装位置数据可以与同一的人工零件数据相关联。

(25)安装基板的检查方法、其特征是：它包含有以下步骤、首先是获取检查用数据的步骤、作为安装基板上安装的电子零件的实际安装状态的检查方法、它包含用安装数据坐标系对一个或多个电子零件的安装位置数据进行规定的安装数据和对安装基板上所述的安装数据坐标系的原点位置进行规定的排列数据、可以把所述的安装数据和排列数据进行多数据设定；

再就是，取得实际安装状态的步骤，它对检查对象的安装基板进行拍摄、取得被安装在该安装基板上的电子零件的实际安装状态；

还有就是检查步骤，它通过对所述的检查对象的安装基板进行拍摄、将所得的实际安装状态与所述的检查用数据进行比较、来检查该安装基板上的电子零件的实际安装状态。

(26)安装基板的检查装置、它包含有以下部分、首先是检查用数据的取得装置、作为安装基板上被安装的电子零件的实际安装状态的检查装置、包含有安装数据、它用安装数据坐标系对一个或多个电子零件的安装位置数据进行规定、还包含有排列数据、它对安装基板上的所述安装数据坐标系的原点位置进行规定，检查用数据可以对所述的安装数据和排列数据进行多项设定，

再就是摄像装置，它对检查对象的安装基板进行拍摄、取得该安装基板上的电子零件的实际安装状态的装置；

还有就是比较装置、通过对所述检查对象的安装基板进行拍摄、将所得的实际安装状态与所述的检查用数据进行比较、来检查该安装基板上的电子零件的实际安装状态。

本发明为了达到上述第四个发明目的，提供下述的手段[27]-[34]。

(27)安装基板的检查用数据的作成方法、它是对电子零件被安装的基板进行拍摄、将所得的图像与含有检查用数据的基准数据进行比对作检查时作成所述的检查用数据的数据作成方法、它包含有以下步骤：首先通过含有形状示值数据的人工数据作成所述基准数据的步骤；

其次是根据所述的人工数据将特定的人工图像以图表的形式来显示的步骤；

再就是、基于图表显示的人工图像、来验证所述的人工数据、根据必要进行修正的验证步骤。

(28)如权利要求27所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的图像显示步骤进行前，对检查对象基板进行拍摄，取得其所摄得的图像、在所述图像显示步骤中将所摄的图像以图形显示。

(29)如权利要求28所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：在所述图像显示的步骤中、将被显示的人工图像与被显示的拍摄图像重叠。

(30)如权利要求27所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的人工数据包含与检查对象的电子零件的部位对应的人工部位数据。

(31)如权利要求27所述的安装基的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的人工数据包含与检查对象的电子零件对应的人工零件数据。

(32)如权利要求27所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的人工数据包含与检查对象的电子零件被安装的安装基板相对应的人工基板数据。

(33)如权利要求28所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的检查对象基板由电子零件被安装的安装基板所构成。

(34)安装基板的检查用数据作成装置、其特征是：它是对安装电子零件的安装基板进行拍摄、将拍摄所得的图像与被包含在检查用数据里的基准数据进行核对来进行检查时作成所述检查用数据的装置、它备有以下几部分：

首先是用包含形状示值数据的人工数据作成所述的基准数据的数据作成装置、

再有就是把根据所述人工数据而特定的人工图像以图表显示的画面进行显示的图像显示装置；

还有就是以图表显示的人工图像为基础对所述的人工数据进行验证、视其必要再进行修正的验证装置。

若采用如上述发明(1)的安装基板的检查方法因为含有数值数据的人工零件数据被作为检查基准，消除了检查基准的误差，能得到可靠性高的检查结果。

若采用如上述发明(2)因为将检查对象安装基板的被摄图象与表现电子零件的被看见的部分的人工图象进行对照，确切地把握电子零件的实际安装状态，能得到正确的检查结果。

若采用如上述发明(3)的安装基板的检查方法，由于人工图像有颜色信息人工图像更近似于所摄的图像，所以，能更准确地进行将拍摄的图像和人工的图像的对照。

若采用如上述发明(4)的安装基板的检查方法，由于人工图像是对表现数值数据所示形状的图像进行加工而做成，因为人工图像成为更加近似于摄影图像，将摄影图像与人工图像进行对照能更准确地进行。

若采用如上述发明(5)的安装基板的检查方法，由于人工图像被施于对应于各部的颜色信息的加工而做成，因为人工图像更加近似于摄影图像，摄影图像和人工图像的对照能正确地进行。

若采用如上述发明(6)的安装基板的检查方法，由于人工图像对应于电子零件的背景颜色被加工，人工图像更加近似于摄影图像，摄影图像和人工图像的对照能更准确地进行。

若采用如上述发明(7)的安装基板的检查方法，由于人工图像包含对颜色变化的梯度进行缓和的处理，施以这样的加工被做成。

若采用如上述发明(8)的安装基板的检查方法，因为包含有数值数据的人工零件的数据被作为检查基准，消除了检查基准的误差，可以得到可靠性高的检查结果。

若采用如上述发明(9)的安装基板的检查方法，在检查用数据中，对各电子零件，由于能设定多个检查模块，它们能分别地设定种种公差，能够进行灵活应对被电子零件的各部位所要求的安装精度的检查。

若采用如上述发明(10)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为把各检查模块的公差作为向各电子零件的中间公差附加的附加值来设定，因此，能够容易地设定与被电子零件各部位所要求的安装精度相应的相对公差。

若采用如上述发明(11)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为作为检查对象部位的形状数据被包含在检查用数据里，所以能进行正确的检查。

若采用如上述发明(12)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为形状数据是由基本形状数据的一个或多个的组合所构成，能够容易地将形状数据输入设定。

若采用如上述发明(13)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为形状数据包含有展开配置数据，容易做到对有多个同一形状部位的零件形状进行输入设定。

若采用如上述发明(14)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为能把一个或多个检查模块组合所成的组进行多个设定，即使应该被安装的零件的种类存在有多种的场合，也可应对。

若采用如上述发明(15)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为多个组可以共用同一的检查模块，可以对多个组方便地输入设定。

若采用如上述发明(16)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为可以对多个检查模块的组合进行设定，只需在检查用数据里满足任何一个就行。即使应该被装配的零件种类存在多种的情况也能应对。

若采用如上述发明(17)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为在检查用数据中，可以对多个检查模块进行设定，而多个检查模块对电子零件可以分别设定公差，就可进行对于被电子零件的各部位所要求的实际安装精度能灵活应对的检查。

若采用如上述发明(18)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为在检查用数据中可以对多个检查模块进行设定，而多个检查模块又能对各电子零件分别进行公差设定，所以，就可进行对于被电子零件的各部位所要求的实际安装精度能灵活应对的检查。

若采用如上述发明(19)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为有被称为作为检查用数据把电子零件的安装位置数据用安装数据坐标系进行规定的安装数据和对安装数据坐标系的原点位置进行规定的排列数据的多个阶层，而且可以把这些数据都进行多数据设定，所以，可以把电子零件的安装位置表现成没有误差的检查基准。再，因为可以用排列数据将这样被设定的配置再配置到基板上，对于在实际安装基板上多样的电子零件的配置可以灵活应对。能方便地作成能够得到高可靠性的检查结果的检查用数据。

若采用如上述发明(20)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为能将安装数据复制作展开配置，有重复配置的实际安装基板的检查用数据能够被方便而有效地作成。

若采用如上述发明(21)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为在安装数据中，每个电子零件的公差是可以设定的，所以，与被各零件所要求的实际安装精度相应的检查可以进行。

若采用如上述发明(22)的安装基板的检查用数据的作成方法，在安装数据里个别公差未被设定的电子零件，因为对每种电子零件所设定的标准公差要被采用，对于没有必要个别地设定公差的电子零件，根据零件种类就这样采用标准公差，所以，很容易对各电子零件的公差的输入进行设定。

若采用如上述发明(23)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为让显示电子零件的形状的人工零件数据与安装位置数据关联，所以把各电子零件的实际安装位置与人工零件数据核对，通过与安装位置数据进行比较，可以对各电子零件的实际安装状态更加准确的进行检查。

若采用如上述发明(24)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为可以把外观相同的电子零件作为对象的多个安装位置数据关联于同一的人工零件数据，所以可以共用外观相同的电子零件的人工零件数据，从而减少人工零件数据的数量，整个检查用数据作成的作业量就被减少。

若采用如上述发明(25)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为有(1)用安装数据坐标系对作为检查用数据的电子零件的安装位置数据进行规定的安装数据和(2)对安装数据坐标系的原点位置进行规定的排列数据的多阶层，而且可以对这些数据随同进行多设定，所以，可以把电子零件的安装位置表现成没有误差的检查基准。再，因为可以安装数据对一个或多个电子零件的配置进行设定，可以用排列数据对这样被设定的配置往基板上进行再配置，所以，能灵活应对在安装基板上多种多样电子零件的配置，从而得到可靠性高的检查结果。

若采用如上述发明(26)的安装基板的检查用数据的作成方法，因为有(1)用安装数据坐标系把作为检查用数据的电子零件的安装位置数据规定的安装数据和(2)对安装数据坐标系的原点位置进行规定的排列数据的多层，而且可以把这些数据一起进行多设定，所以就可以把电子零件的安装位置表现成没有误差的检查基准。再，因为可以安装数据对一个或多个电子零件的配置进行设定，把这样被设定的配置用排列数据往基板上进行再配置，可以灵活应对安装基板上的多样的电子零件的配置，从而得到可靠性高的检查结果。

若采用如上述发明(27)的安装基板的检查用数据的作成方法，采用作为检查基准的基准数据，因为要采用以数值数据为基础构成的人工数据，所以，能得到没有误差的检查基准，从而提高了用检查装置进行检查的检查精度。再，因为要以图表来表示用数值数据构成的人工数据，所以可用形状图形捕捉人工数据，人工数据的作成能简单而且正确地进行，从而提高了作业效率和检查基准精度。

若采用如上述发明(28)的安装基板的检查用数据的作成方法，可以将被表示的人工图像一边与被实际拍摄到的图像进行比较，一边被作成，从而使人工数据的作成能更简单而正确地进行。

若采用如上述发明(29)的安装基板的检查用数据的作成方法，可以把被显示的人工图像被重叠到实际被拍摄到的图像上进行比较，从而使人工数据的作成能够更简单而正确地被进行。

若采用如上述发明(30)的安装基板的检查用数据的作成方法，可以用电子零件的部位单位作成高精度的检查基准。

若采用如上述发明(31)的安装基板的检查用数据的作成方法，可以用电子零件的零件单位作成高精度的检查基准。

若采用如上述发明(32)的安装基板的检查用数据的作成方法，可以用安装基板的基板单位作成高精度的检查基准。

若采用如上述发明(33)的安装基板的检查用数据的作成方法因为能将被显示的人工图像与装载有电子零件的实际安装基板的被摄图像进行比较，从而使人工数据的验证能更准确地进行。

若采用如上述发明(34)的安装基板的检查用数据的作成方法，它能提供作成其作用和效果与上述同样的实际安装基板的检查用数据的数据作成装置。

附图说明

图1是本发明的一个实施形态的安装基板的检查装置的正视图。

图2是显示实施形态的检查装置的侧视剖视图。

图3是实施形态的检查装置中的显示内部构造的简略俯视平面图。

图4是实施形态的检查装置中的显示内部构造的简略正视图。

图5是实施形态的检查装置中的显示内部构造的简略侧视图。

图6是实施形态的检查装置中的显示主控制系统的方框图。

图7是实施形态的检查装置中的对检查对象的拍摄所得的摄影图像的一个例子。

图8是实施形态中人工零件数据的概念说明图。

图9是实施形态中人工零件数据的概念说明图。

图10是实施形态中人工零件数据的概念说明图。

图11是实施形态中作成人工零件数据的流程图。

图12是作为实施形态中人工零件数据的作成对象的电子零件的外观说明图。

图13是实施形态中元素数据BODY-1的输入画面的例子。

图14是实施形态中元素数据BODY-2的输入画面的例子。

图15是实施形态中元素数据LEAD的输入画面的例子。

图16是实施形态中元素数据LETTER-A的输入画面的例子。

图17是实施形态中元素数据LETTER-B的输入画面的例子。

图18是实施形态中模块数据BODY的输入画面的例子。

图19是实施形态中模块数据LEAD的输入画面的例子。

图20是实施形态中模块数据LETTER-A的输入画面的例子。

图21是实施形态中模块数据LETTER-B的输入画面的例子。

图22是实施形态中模块数据SOP-Tii的输入画面的例子。

图23是实施形态中安装位置数据的概念说明图。

图24是实施形态中在安装基板上展开配置多安装数据的例子的说明图。

图25是实施形态中在安装基板上展开配置由单一电子零件构成的安装数据的说明图。

图26是实施形态中安装数据的输入画面例子。

图27是实施形态中公差数据的输入画面例子。

图28是实施形态中排列数据的输入画面例子。

图29是显示实施形态中被以图表表示的人工部位图像的平面图。

图30是实施形态中显示将人工部位图像与摄像部位图像重叠状态的平面图。

图31是实施形态中显示被以图表表示人工零件图像的平面图。

图32是实施形态中显示将人工零件图像与被摄的零件图像重叠状态的平面图。

图33是实施形态中把以图表表示的人工基板图像显示出来的平面图。

图34是实施形态中显示对安装基板上电子零件的实际安装状态进行检查的流程图。

图35是实施形态中从大范围图像中被切出的检查范围图像的一个例子。

图36是实施形态中用电子零件的摄影图像和人工图像的图像处理来作检查的说明图。

具体实施方式

以下结合附图实施例对本发明作进一步详细描述。

图1是本发明一个实施例的安装基板的检查装置的正视图、图2是该检查装置的侧面剖视图。图3至图5是该检查装置的内部构造的简图。正如这些图所显示的那样、该装置是对通过安装机被安装到基板P上去的电子零件的实际安装状态进行检查的装置、被沿基板安装系统的基板安装线配置。

该检查装置、备有未图视的支撑脚的基台构架、在基台构架上用螺丝将各个多块面板呈可脱卸装配形成箱体。在箱体内部传送装置2沿基板传送线XL(见图3)的方向被设于基台构架上。如图3至图5所示的那样、内部传送装置2是这样被构成的、通过Y轴移动装置在水平面内相对于传送线XL呈垂直正交的Y轴方向(前后方向)呈可自由移动的方式构成。即、内部传送装置2、在沿Y轴方向配置的一对轨道上沿轨道的长度方向呈可自由滑动地安装。内部传送装置2、被沿Y轴方向配置的球头螺杆23螺接、由于电机24的工作、球头螺杆23被转动。从而、内部传送装置2就朝Y轴方向移动。这样一来、内部传送装置通过Y轴移动装置20就可在箱体1内的后部(深处)与传送线XL之间的空间里沿Y轴方向移动。

在内部传送装置2的两侧在传送线XL上、覆盖有传送装置盖11、12、分别设有未被图示的送入传送装置、移出传送装置。箱体1上分别设有未被图示的供送入传送装置和移出传送装置贯通的贯通口。而且、当处于传送线XL上配置有内部传送装置2的时候、实际安装基板P被传送装置从箱体的外部传送到内部传送装置2上、同时、内部传送装置2上的基板P被内部传送装置2及移出传送装置移出到箱体1的外部。

在箱体1的内部传送装置2的后方(深处)、配置有作为摄像装置的设像机3。该摄像机3是这样被构成的，即，通过X轴移动装置30它可以沿与传送线XL相平行的X轴方向移动。也就是说指示摄像机3的支持构件31在沿X轴方向配置的一对轨道32上沿轨道长度方向可自由滑动地被构成。而且，摄像机支持构件31被螺接于沿X轴方向配置的球头螺杆33上，电动机43的转动驱动球头螺杆33转动，从而，摄像机3就沿X轴的方向移动，结构就是这样。

再，在摄像机支持构件31上，为了对被摄像机摄像的区域进行照明，设有照明装置35。

图6是显示检查装置的主控制系统的方块图。如图所示，在该装置中，备有如CPU5等构成的计算机，用该CPU5控制各驱动部等的驱动装置，后面所述的动作自动地被进行。在同图中，键盘等输入装置41是将与检查有关的各种信息输入到检查装置里去的输入装置，CRT显示器等的显示装置42是显示各种信息的显示装置，再，存储器43是存储对检查必要的各种数据等的存储装置。

图像用帧存储器51是存储通过图像输入口52所得到的分割摄影数据(分割图像)，对其进行加工所得的大范围的摄像数据(广域图像)和检查对象的电子零件数据(人工零件数据)等图像数据的帧存储器。存储器53是用于临时存储对于检查来说是必要的各种数据的存储器。再有，照明控制装置54是在用摄像机3进行摄像时控制照明装置35驱动的控制装置，电机控制器55及电机放大器56是用于控制沿X轴移动装置30和Y轴移动装置20的驱动的，并将摄像机对安装基板P作对于XY轴方向相对移动的装置。再，CPU5通过各种输入/输出接口57可以发送和接收数据那样构成周边装置。

图7是一个例子，它展示在检查装置中对作为检查对象的实际安装基板进行拍摄所得的摄影图像。

该检查装置，从基板的大小和摄像机的视野(摄像范围)出发，分割摄影必要的摄像次数，摄像位置等被计算，把安装基板P的检查对象区域分割成纵横(XY轴方向)呈格子状的许多摄像区域Pg-----再进行分格摄像。

该检查装置通过对这样被摄的检查对象基板的图像而不是对主板基板摄影所得的主图像等与用人工的数值数据把各电子零件E的形状表现的人工零件数据进行对照，进而，把各电子零件E的被安装的应当位置与所示的实际安装位置的数据进行比较，来对被安装在检查对象基板上的电子零件E的实际安装状态是否良好进行判定。

以下就该实施例中的人工零件数据的作成作说明。

人工零件数据与对检查对象基板进行拍摄所得的摄影图像进行比较对照，构成作为判断其是否良好的基准的检查基准。再，人工零件数据构成检查用数据的一部分。

该人工零件数据在计算机里被作成，这些计算机是检查装置备有的计算机或可能实现为作成人工零件数据的程序的外部计算机。再，构成人工零件数据的各种数据由为了作成检查用数据的操作员来输入，也可以把检查装置上游的基板制造工程和掩膜工程，焊锡膏施布工程，或者电子零件的实际安装工程等所使用的制造程序为基础，从这里取出必要的数据而构成。检查装置所备有的键盘和鼠标等的输入装置或者实施上游侧工程的装置，它们的数据通信装置，作为取得检查用数据的工具发挥作用。再，这些输入装置或数据通信装置，作为作成检查用数据的数据作成工具发挥机能。再，将检查装置备有的计算机，作为将从检查对象基板的拍摄图像得到的实际安装状态与检查用数据对照进行检查的对照工具发挥作用。再，检查装置和外部计算机所备有的显示器等的显示装置作为图像显示工具和验证工具发挥作用。

在本实施例中的人工零件数据是有三层构成的，它们是模块(模型数据)，模块数据和要素数据。

模型数据是对应与一个成为检查对象的各电子零件的数据单位，一个模型数据对应于一个电子零件。

各模型数据包含有一个或多个模块数据与要素数据。

模块数据是将成为检查对象的各电子零件(检查对象部位)的各部位作为对象的检查模块所表达出来的数据，一个模块数据对应于一个检查模块(检查单位)。

该检查模块(检查单位)，即使是一个电子零件，也存在有对应于检查精度差异的部位，对应于一个电子零件(模型数据)也可能作要求精度不同的多个检查。

例如，假如是有引脚的零件，在引脚部因为在电气连接上有高的实际安装精度被要求，对其体部的标记等零件种类和极性(安装的方向)假如能作判别的话，对其位置精度不作要求。在这样的场合下假如引线部和体部的标识成为别的模块数据(检查模块)的话，就可分别对其进行适当精度的检查。

为此，表现各检查模块的模块数据可以设定各自不同的公差。

具体情况如后文所述的本发明的实施形态，各电子零件中的每一个，即，每一个模块数据被设有中间公差。然而，各模块每一数据的公差能在模型数据中对应于各模块数据进行设定，该模型数据是把附加于所述中间公差的附加值通过模块数据进行指定的模型数据。

这样，就能把多个检查模块设定到成为检查对象的各电子零件上，因为检查模块可以分别设定公差，可以进行灵活应对被电子零件所要求的实际安装精度的检查。

再，各检查模块中的公差，因为能够对各电子零件中间公差的附加值进行设定，对应于被电子零件各部位所要求的实际安装精度的相对公差能够被容易的设定。例如，假如是与高的位置精度被要求引脚部一起严格的公差(中间公差)被设定的零件，可以作为把体部所要求的位置精度(公差)往引脚部的公差上附加的附加量进行捕捉设定。

这样的模块数据在电子零件的各部位当中仅对成为检查对象的部位去作成的话也可以。因为这，所述的模型数据是表达各电子零件的数据，未必零件的全体形状要被表现，这些数据可以只需由必须检查的部位的形状所构成。

再，即使是由同样机能和同样线路构成的有互换性的电子零件由于制造商和制造批次的不同会存在有外观上的差异，在检查装置中这些可以作为同一的零件来进行处理，这样带来了方便。为此，如后文所述的那样，本实施例是模块数据，它对各部位的外观分别进行显示，只要满足其任何一个，就可让多个模块数据的组合被包含到单一的模型数据中去。

在各模块数据中，一个或多个要素的数据被指定，通过把各要素数据表现的形状一个或多个组合，就构成了各模块数据成为对象的部位的形状数据(人工部位数据)。

为此，在各模块里，包含有指定使用一个或多个要素的指定数据和指定配置各要素数据所表现的形状的位置及角度的配置数据。该配置数据把各零件中心作为原点的零件坐标系中的各形状的位置和角度指定。

再，该配置数据能把要素数据所表现的形状复制并展开配置。在展开配置中，包含把形状在直线上或呈格子状展开的平行展开和在圆弧上或多重的圆弧上展开的角度展开。平行展开的场合把要素展开的间距和个数被指定。在角度展开的场合，把要素展开的直径，角度间距，个数被指定。

因为象这样配置的数据中能够把要素数据所表现的形状展开配置，所以有多个同一形状部位的零件形状可以容易地被输入设定。

再，在模块数据中，将多个要素数据所表现的形状组合时，根据被后述的各要素数据(正确地说是构成要素数据的各基本图形)所设定的例子和编号，各形状被重叠。

元素数据(ELEMENT数据)在模块数据中被指定，各模块数据构成基本形状数据，所述的基本形状数据成为构成检查对象部位形状的材料。

元素数据原则上由圆，椭圆，矩形，多角形等基本图形构成，它也可以是这些基本图形的多个组合构成。

把多个基本图形进行组合时，各元素数据的坐标系中的各基本图形的位置，姿势和表示各基本图形的重叠中的上下关系的层的编号被设定。层的编号意味着例如数值大的数据处于上侧的位置。

再，元素数据包含有颜色的数据，可以用例如红绿兰RGB层次等来表现电子零件的色调和明暗

图8～图10是人工零件的概念说明图。这些图显示人工零件数据中的各零件的形状数据的构成

图8的例子的模型数据1包含作为模块数据的MODULE 1，2和作为要素数据的ELEMENT 1～5。要素数据的ELEMENT 1～5分别由圆，三角，四角，等基本图形构成。在模块数据MODULE 1中，ELEMENT 1，2被指定，ELEMENT 1的周围包含有三个ELEMENT 2角度展开配置的配置数据。模块数据MODULE 2中，ELEMENT 3，4被指定，包含有把这些进行上下配置的配置数据。

在图9的例子中的模型数据MODEL 1中，模块数据仅仅是MODULE 1的一个，元素数据含有ELEMENT 1～4的4个数据。在模块数据MODEL 1中被指定的ELEMENT1～4由于被适宜配置，MODULE 1的形状数据就被构成。

图10的例子中的模型数据MODEL 1最终有与图9相同的检查对象部位，然而在图10的例子中，作为元素数据的ELEMENT 1是由圆，四角等基本图形组合成的，作为模块MODULE 1是由被组合成的一个元素数据ELEMENT 1构成。

含有如以上那样的数据构成的人工零件数据全部以数值数据为基础而形成。即，元素数据上的基本图形，和在元素数据及模块数据上配置的数据等的人工零件数据的形状数据，全部由被数值输入的数值数据构成。

该数据数值输入，不限于作成检查用数据时，如上所述那样上游侧生产工程的生产用数据和零件制造利用作成的电子目录数据等作成检查用数据的场合，这些生产用数据和电子目录数据等的输入时也可进行。

人工零件中，根据这样输入的显示电子零件的形状的数值数据，电子零件的人工图像被作成。

电子零件的人工图像是表现各电子零件的能见物的图像，根据作为数值数据被输入的电子零件的的形状数据和颜色数据，有该数值数据所表现的形状和颜色的电子零件，被由检查装置的摄像机和照明等构成的摄像系(摄影装置)进行拍摄时所得的图像被作模型。

该人工图像的作成，包含有为把根据作为数值数据的形状数据和颜色数据被作成的图像与自摄像系所见的所见物合二为一的加工。该人工图像的加工，对于将颜色数据所示的颜色信息附加到形状数据所示的电子零件的形状上被形成的图像，按照其各部的颜色信息进行。

具体来说，自摄像系看的时候，让颜色发生变化的边界部分其颜色变化平滑，由于若干不清晰之处能看见，所以，人工图像的加工要让邻接部位之间颜色变化的梯度缓和，进行对颜色边界作模糊处理的加工。

又，电子零件的边界部分采用摄像系统摄影时，由于与电子零件的背景色相邻接，这样的边界部分要按照其颜色信息和电子零件的背景色进行加工。具体的说，检查时由于电子零件安装在安装底板上，电子零件的周缘部分要进行与安装底板的底色不同的颜色的边界进行涂抹加工。

这样制作的人工零件数据的人工图像如后所述 那样，与作为检查对象的安装底板摄影所得的电子零件的摄像图像作比较核对，进行电子零件的安装状态的检查。

这样，在此检查装置中，由于进行以数值数据为基础的人工零件数据作为检查基准的检查，所以能消除误差，制作理想的检查基准，能得到可靠性高的检查结果。

并且由于不需要安装有零件的实物主底板，取消了在检查基准的制作中等待主底板完成的制造工序的时间损失，所以能有效地制作检查用数据。

又，由于人工零件数据与安装底板的种类无关，故能实现多种类底板的共用和转用。并且，构成人工零件数据的模型数据的模块数据和元素数据也能转用于其他电子零件的模型数据中。

又，从人工零件数据的数值数据制作符合零件可见物的人工图像，由于将实际安装底板摄影所得的摄像图像与人工图像进行对照，能够确实把握电子零件的安装状态，获得准确的检查结果。

又，人工图像由于施加了包含缓和颜色坡度处理的加工，所以能准确进行摄像图像与人工图像之间的对照。

图11是表示制作人工零件数据方法的次序的程序方框图。如该图所示，人工零件数据的制作，首先是对基本图形分解之后识别零件的形状图案(步骤S11)，再决定检查对象的部位(步骤S12)。接着，作成元素数据(步骤S13)，直到必要的元素数据全部被作成这样反复进行(步骤S14：NO)

必要的元素数据假如被作成(步骤S14：YES)，利用被作成的元素数据作成模块数据(步骤S15)，直到必要的模块数据全部被作成，那样反复进行(步骤S16：NO)。

这样，假如必要的模块数据全部被作成的话，(步骤S16：YES)利用作成的元素数据和模块数据，作成模型数据(步骤S17)，关于一个电子零件的人工零件数据的作成就此完成。

接着，作成人工零件数据的具体例子被进行说明。图12是成为人工零件数据的作成对象的电子零件的外观说明图。

该例子是引线部的固定连接状态，体部的位置和极性的方向的判定，和零件的种类的判定这三个检查项目被要求的场合。

再，图12所示的那样，作为第三个检查项目的零件的种类，可以进行把被印刷在体部的IC型编号标识采用文字识别，该电子零件的IC型编号上存在有按制造批次的不同等被赋予[A]和[B]两种标示，把这两种外观的电子零件作为同一的电子零件来进行检查，这成为被要求的事情。

首先，作成元素数据。该例子中，作成5个元素数据它们是BODY-1，BODY-2，LEAD，LETTER-A和LETTER-B。

图13是元素数据BODY-1的输入画面例。元素数据BODY-1是表示付与体部的零件的极性的圆标记的形状。在同图画面左上部ELEMENT符号被选择，由此，就明白了元素数据的输入编辑被进行的情况。再，根据同图左中部的[ELEMENT NAME]表的选择表示，就了解到[BODY-1]的输入编辑被进行的情况。

元素数据的作成，如同图下部的表所示，基本图形的种类(在此：圆)被选择，作为根据被选择的基本图形应该设定的事项，用元素数据的坐标系把基本图形(圆)配置的坐标(X，Y，Z)和圆的直径D设定。再，作为颜色数据的RGB各自的色调值，与其它的基本图形和别的元素数据相重叠的上下关系进行规定的图层值作为数值数据分别被设定。

再，这样，元素数据的数值数据假如被设定的话，表现在其数值数据所表现的形状的检查时的被见物的人工图像被自动作成，被图形显示于同图右上方部位。

而，再这里被作成，被显示的人工图像根据上述那样显示形状的数值数据被施以各种加工。

图14是元素数据BODY-2的输入画面例。元素数据BODY-2表示体部的全体形状。该例中作为基本图形选择了矩形，据此配置的坐标(X，Y，Z)，矩形的长宽尺寸(L，W)配置的角度(R)，进而各角落部的圆弧尺寸(C1～C4)，颜色数据，层面的值被设定。

图15是元素数据LEAD的输入画面例。元素LEAD是表示各引线(电极部)的形状。该例子中，元素数据LEAD表示一个引线部，作为基本图形矩形被选用，据此，配置的坐标(X，Y，Z)，矩形的长宽尺寸(L，W)，配置的角度姿势(R)，进而各角落部的圆弧尺寸(C1～C4)，颜色数据，层面值被设定。

同图所示，引线部比上述的体部小，因为其图形被扩大显示，引线部的周围(边缘部)上的颜色变化梯度缓和处理的影响大。

图16是元素数据LETTER-A的输入画面例。元素数据LETTER-A是显示表现被赋与梯部的该电子零件的IC型号的文字[A]的形状。在该例子中文字[A]作为三个细的矩形的组合而构成。

图17是元素数据LETTER-B的输入画面。元素数据LETTER-B是表现被赋与体部的该电子零件的IC型号的显示文字[B]的形状的数据。该例中，文字[B]由表中未显示的2个椭圆，成为文字[B]的纵线的细小矩形，和作为将椭圆的左半部掩盖而起作用的各颜色的色调被调为0的矩形所构成。

接着，作成模块数据。在该例中，BODY，LEAD，LETTER-A，和LETTER-B的四个模块数据被作成。

图18是模块数据BODY的输入画面例。模块数据BODY是表示把体部作为检查对象部位的检查模块的。因为同图中在图面左上部MODULE标识被选择，可以让人明白模块数据的输入编辑被进行。再，根据同图左中的[MODULE NAME]表的选择表示就明白[BODY]的输入编辑正在被进行。

在模块数据的作成中，如同图下部的表中所显示的那样，一个或多个元素数据被指定，作为配置数据被设定的有，用该电子零件的坐标系对各元素数据所表现的形状进行配置的坐标(X，Y，Z)，和将这些进行平面展开配置场合的X，Y方向的间距(XP，YP)以及个数(XN，YN)，和角度展开配置场合的半径RR，角度间距RA及个数RN，它们作为配置数据被输入设定。

在模块数据BODY中元素数据BODY-1和BODY-2被指定，将表示体部的全体形状的BODY-2配置于中心，将显示零件的极性的圆标记的形状的BODY-1配置于左上部的配置数据被设定。

再，这样假如模块数据的数值数据被设定，在其数值数据所表现的形状的检查时表现被见物的人工图像自动作成，并且图形被显示于同图的右上方部位。

在此，元素数据BODY-1，BODY-2因为未平行展开配置，XN＝1，YN＝1，在X方向及Y方向分别将元素数据BODY-1，BODY-2平行展开配置到在X方向及Y方向分别的2列中去的场合，分别变成XN＝2，YN＝2。

图19是模块数据LEAD的输入画面例。模块数据LEAD是表示把引线部作为检查对象部位的检查模块数据。引线部因为上述那洋的8个存在，在模块数据LEAD中，把表示引线部的元素数据LEAD平行展开配置。具体来说，由于从左下引线部的坐标X＝-2.300，Y＝-0.975起向X方向以间距XP＝4.600 XN＝2次，朝Y方向以间距YP＝0.660YN＝4次进行复制，展开配置，8个引线部被输入设定。

图20是模块数据LETTER-A的输入画面例。模块数据LETTER-A是把表示检查模块的数据，它把表示体部被赋与电子零件的IC型号(识别号)的文字[A]作为检查对象部位。

图21是模块数据LETTER-B的输入画面例。模块数据LETTER-B是用于表示检查模块的，它把表示被赋与体部的电子零件的IC识别号的文字[B]作为检查对象部位。

接着，作成模块数据。

图22是模型数据SOP-Tii的输入画面例。SOP-Tii在该例中是作为人工零件数据的输入对象的电子零件，SOP-Tii是表示对该电子零件检查用数据。同图中，由于在图面左上部由于MODEL的按钮被选择，就知道模型数据的输入编辑被进行。再，同图左中部的[MODEL NAME]表的选择表示，就知道该零件[SOP-Tii]的输入编辑正在被进行。

在模型数据的作成中，如同图下部的表中所示的那样，作为检查项目的模块数据(检查模块)被指定。在此，被指定的模块数据在电子零件的个部位当中，只是被成为检查对象的部位，因此，模块数据未必就是零件全体形状的表现。

再，在该实施形态中，把一个或多个模块数据(检查模块)组合起来的组可以多个设定，属于任何一个组的全部的模块数据所表示的检查模块的检查结果假如合格，该电子零件的检查结果就被视为合格。

该例中体部被印刷的识别IC号标记有[A]和[B]两种，因为要求任何的标记被附着的东西也作为同一的电子零件进行检查，把这种IC型号标记作为检查部位的模块数据只有LETTER-A和LETTER-B不相同的2个组被设定。

具体说来，组1是由模块数据BODY，LEAD和LETTER-A的组合构成，组2是由模块数据BODY，LEAD，和LETTER-B的组合构成。即使是象这样的外观不同的多种电子零件将成为各检查基准的检查模块组合集中成组，因为可以再把这样的组包含到与一个电子零件对应模型数据中，所以即使在必须被安装的零件的种类为多种存在的场合也可灵活应对。

再，在这种场合下，因为不同组可以共用同一的检查模块(模块数据)可以将多各组方便地输入设定。

再，该实施形态中，由于把检查模块组合集中所成的组设定，做到了与多种类的零件的对应，在各种零件中把不同的部位作为对象的检查模块的组合被设定，也可把满足它的任何一个(即，要满足OR的条件)作为合格。在上述实施形态的例中，将模块LETTER-A和模块LETTER-B组合，如果其任何一个被满足，也可以作为合格的条件。这种场合，往模块数据LETTER-A和LETTER-B的任一个里加入数据，别的模块数据BODY，LEAD全部被满足(即满足AND的条件)，就成为该零件的合格条件。

再，在模型数据中，各模块数据(检查模块)每次检查时的公差要可以被设定。还有，在这模型数据中每个被设定的各模块数据的公差是各电子零件每次附加于被设定的各零件的中间公差的附加值。

该模型数据中被设定的各模块数据的公差(附加值)，具体说来，包含有各模块数据所示的形状数据的位置公差和颜色公差。位置公差包含有XY方向的位置公差L1，W1和角度公差A1，颜色公差包含有RGB各色颜色公差RED 1，GREEN 1，BLUE1。

接着，关于显示在安装基板上的电子零件被安装的正确位置安装位置数据进行说明。

该检查装置中，把对检查对象基板进行拍摄所得的图像与电子零件的形状以人工数值数据表现出的人工零件数据进行比较对照，检出各电子零件的基板上的位置，安装位置数据是为了判定象这样被检出的各电子零件在基板上的位置是否处于被容许的正确的位置。为此，安装位置数据形成人工零件数据同时也形成电子零件的实际安装状态检查的检查基准。再，安装位置数据构成检查用数据的一部分。

在该实施形态中，该安装位置数据不是从对主基板等拍摄到的主图像等取出，而是作为人工的数值数据被输入设定。象这样，因为安装位置数据采用人工的数值数据，所以电子零件的安装位置可以得到无误差的检查基准。

该安装位置数据，在为检查装置备有的计算机或者为作成人工零件数据用的可执行程序的外部计算机等上面作成。再，构成安装位置数据的各数据也可由为作成检查用数据的人工操作人员来作输入，也可在检查装置上游侧的基板制造工程和掩模作成工程，焊锡膏涂布工程，或者电子零件的实际安装工程中以使用的制造程序为基础，从此取出必要的数据来构成。

该实施形态中的安装位置数据由基板数据，按排数据，和安装数据这三层数据所构成。

基板数据是对应于检查对象的实际安装基板的数据单位，一个基板数据与一个实际安装基板相对应。各基板数据能够设定多个排列数据和安装数据。

安装数据用各安装数据的坐标系将一个或多个电子零件的安装位置规定下来。

该安装数据例如把含有多个分割基板的实际安装基板等作为对象的场合，可以对在各分割基板上的一个或多个电子零件的安装位置进行规定。

对于各安装数据，规定安装位置的每个电子零件其安装数据(mount data)被设定，各安装数据(mounting data)作为一个或多个的安装数据(mount data)的数据包被构成。

在各安装数据(mount data)中，为了对指定安装位置的电子零件进行指定，成为对象的电子零件的模型数据被关联上，同时用安装数据坐标系来表示其安装位置的坐标数据被设定。

再，在该安装数据(mounting data)可以个别地设定各电子零件的安装的公差。具体说来，在各安装数据(mount data)里，要能设定对应的电子零件的公差。象这样在安装数据(mounting data)中每个电子零件的公差由于能个别设定，对应于各零件被要求的实际安装精度的检查就可以进行。

该安装数据(mounting data)中，被设定于各电子零件的公差就是上述的中间公差，关于各模块数据(检查模块)检查中，被与各模块关联附加设定的公差的附加值被附加到该中间公差作为判定基准的公差就被决定。再，在安装数据(mounting data)中对于未被设定公差的零件，后述的各零件每种种类被设定的公差适宜被采用。由此，对于没有必要个别设定特别的公差的电子零件就那样采用相应零件种类的公差，能够容易地进行公差的输入设定。

排列数据是被用来规定在实际安装基板上的安装数据的的坐标系的原点位置的。即，排列数据是用来对据安装数据(mounting data)被设定的电子零件的配置在实际安装基板上进行再配置。通过有象这样的安装数据和排列数据之类的阶层的数据构成，能灵活对应在实际安装基板上的多样的电子零件的配置，能有效率地作成检查用数据。

各排列数据包含有一个指定安装数据的指定数据，和被指定安装数据的原点位置及各安装数据坐标系的指定角度的配置数据。该配置数据是用以指定实际安装基板的基板坐标系中的位置和角度的。

再，该配置数据，也可把安装数据所表现的一个或多个电子零件的配置设定(set)复制后再展开配置。展开配置它包含通过各安装数据将电子零件的配置设定按直线状或格子状展开的平行展开，由各安装数据将配置设定展开的间距和个数被指定。象这样，由于用排列数据可以展开配置，用安装数据多次利用电子零件的配置设定，安装基板全体的电子零件的安装位置数据的作成能有效地进行。

具体说来，在把含有多个分割基板的实际安装基板等作为对象的场合，把对各分割基板中一个或多各电子零件的安装位置作规定的安装数据，通过展开配置，可以有效作成包含多个分割基板的安装基板的安装位置数据。

再，如上说述的那样，在该实施形态中，由于对一个基板数据可以设定多个排列数据，可以在一块基板上用多个安装数据来配置电子零件的配置设定，多种多样的零件布置的安装基板上的零件实际安装数据可方便地应对。

图23是安装位置的概念说明图。同图中基板数据1，包含有作为安装数据的MOUNTING1～3，和作为排列数据的ARRANGEMENT 1，2。作为排列数据的ARRANGEMENT 1，2分别对应于作为安装数据的MOUNTING 1～2。

图24是显示将安装基板上的多个安装数据展开配置的例子的说明图。在同图的例子里，2种安装数据MOUNTING 1～2被交互地展开配置。

把电子零件安装到历来的安装基板时所用的安装数据(生产程序)中，虽然能将一种分割基板展开配置，但，不能将多种分割基板展开配置。

对此，在该实施形态中的形成检查用数据的安装位置数据，因为对于一块安装基板，可以设定多个安装数据和多个排列数据，即使是同图那样的多个重复单位被配置的场合，也可以方便应对，可以有效地作成检查用数据。

图25是说明将在安装基板上由单一电子零件构成的安装数据展开配置的例子的说明图。

在实际的基板上，有同样的电子零件被以规定间距多个地被安装的部分这种情况也是多见的，形成在该实施形态中的检查用数据的安装位置数据中，因为也可以把仅仅一个电子零件与由排列数据重复展开配置可能的安装数据相对应，把相同的电子零件以规定的间距多个安装的场合也能方便地应对，有效地作成检查用数据。

接着，对作成安装位置数据的具体例子进行说明。

图26的例子是安装数据输入的画面。同图中，可以让人明白由于在图面左上部MOUNT按钮被选中，输入编辑正在被进行。再，用同图左中部的[MOUNTING NAME]表的选择表可以让人明白安装数据[BZ1]的输入编辑正在进行。

对于安装数据，如上说述的那样，各电子零件每一个安装数据(mount data)被设定。在同图所示的输入画面中，各安装数据与同图右择的表的各行对应。对于各安装数据被赋与[MOUNT NAME]的名字，作为对应零件应该被安装的位置(POSITION)XY坐标和零件的姿势(角度)R被设定。

再，各安装数据(MOUNT DATA)对安装位置进行规定的零件，由被设定在元件COMPONENT栏里的零件名称被指定。在该COMPONENT栏里的零件名称一旦被设定，在与该零件名称相关联的人工零件数据的模型数据存在的场合下，其人工图像在同图左下部的零件图形显示部被显示出来，通过该选中的模型数据的人工图像，使数据输入的操作人员能方便地确认所指定的电子零件。

再，如后述的那样，被设定在COMPONENT栏里的零件名称未必与人工画像被作成的模型数据的名称相一致。

再，在各安装数据里，其中间公差被设定。在该例子里，作为与安装位置有关的公差，XY方向的位置公差L0，W0，和安装姿势有关的角度公差A0被设定。再，在对各电子零件进行识别的图像处理中的RGB各颜色的色公差RED 0，GREEN 0，BLUE 0也被设定。

图27的例子是公差数据的输入画面。所说的公差数据是根据电子零件的种类预先设定的标准公差，它是要被设定的。同图中，由于在画面左上部TOLERANCE按钮被作选择，就可以让人明白公差数据的输入编辑正在进行中。在该例子中，作为与安装位置有关的公差要被设定的有：XY方向的位置公差，L2，W2，和与安装姿势有关的角度公差A2，和识别各电子零件的图像处理中的RGB各自的颜色公差RED 2，GREEN 2，BLUE 2也被设定。

在同图的表中的零件名称COMPONENT，在前面所述的安装数据(mounting data)的输入画面中使用的零件名称与元件COMPONENT相对应。在安装数据中安装位置被规定的零件的中间公差在安装数据中未被个别设定的场合下，在该公差数据里被设定的标准公差作为该电子零件的中间公差被采用。

再，在该公差数据的输入画面里，加入数据到标准公差的设定里，把被记入元件COMPONENT栏里的零件名称和人工画像被作成的模型数据(人工数据)作为关联附加的零件名称变换表发挥作用。在该画面里模型数据(人工零件)中零件名称被记入REPLACEMENT NAME栏内。

根据该零件名称变换表把记载于COMPONENT栏目里的零件名称变换成记载于REPLACEMENT栏目里的零件名称。在COMPONENT栏目里的数据是指定电子零件的安装位置的安装数据。记入REPLACEMENT栏目里的数据是用人工零件数据作成人工图像的模型数据。于是，安装位置数据与人工零件数据(人工图像)相关联起来。

进行这样的零件名称的变换，即使是内部线路构成的不同种类的零件，其外观全部同一的电子零件有存在，在检查装置中没有必要对象这样外观同一的电子零件进行区别，因为可以共用同一的人工图像。

为此，在作为该零件名称变换表发挥作用的公差数据的输入表里，对于不同的元件COMPONENT名可以把同一的REPLACEMENT名来对应。

这样一来，外观由于把公共的电子零件的元件COMPONENT名与同一的REPLACEMENT名相对应起来，把外观共同的电子零件作为对象的多个安装位置数据关联附加于同一的人工零件数据(人工图像)，减少了应该作成的人工零件数据的总数，可以图谋减轻人工零件数据的输入设定作业。

图28的例子是排列数据的输入画面。由于在同图中图面左上部的ARRANGEMENT按钮被选中，就知道排列数据的输入编辑正在被进行。在同图表中，个行构成各个排列数据。

对于各排列数据被赋与名字(ARRANGE NAME)，作为对象的安装数据的名称(MOUNTING NAME)被对应，作为配置那个安装数据(POSITION)的位置，将安装数据的原点位置用坐标系表示的XY坐标，和安装数据的配置姿势(角度)R被设定。

再，将安装数据展开配置的(PARALLEL ARRANGE)的场合，XY方向的间距XP，YP和次数XN，YN被设定。再，该展开配置，仅按前述的次数被复制的安装数据各自的原点位置，把由上述设定的安装数据的原点位置作为基准，从此，被设定在朝XY方向的正方向按前述的间距展开的位置上。

接着，把象这样的包含有人工零件数据和人工安装位置数据检查用数据一边用图形显示，一边对作成的实施例进行说明。

再，检查用数据中包含基板数据。基板数据是对应于作为检查对象的实际安装基板的数据单位，一个基板数据对应与一个实际安装基板。

以上的人工零件数据，安装位置数据，基板数据，人工部位数据，配置数据，颜色数据等的上述各人工数据构成检查基准。被包含于基准数据里。

在本实施形态里，作成检查用数据时，操作员实行为了把检查用数据在检查装置的计算机里作成的程序，根据那个程序作成检查用数据。

首先用检查装置，被安装有电子零件E的采样基板等的实际安装基板P的全范围进行分割成如图7所示那样的多块的摄像范围Pg，再进行摄像。然后把被拍摄到的各图像拼接存储到存储器上。作成于实际安装基板P对应的实际安装基板的摄像图。

接着，操作员根据检查项目作成人工零件数据。作为检查项目，例如在电子零件的引脚(引线)部位往基板固定安装的状态，电子零件E的体部的位置及朝向，零件的种类等被列举，在此，以电子零件的引脚往基板上进行安装的安装状态进行检查为例来作说明。在以下的图29～图34中，Eb表示在摄影图像中电子零件E的体部，E1表示电子零件的E的引脚部，Pe表示被设在基板上的引脚部安装用的电极。更有Ge表示人工零件图像，G1表示人工部位图像。

在人工部位的数据作成时，首先，操作员把对应于引线安装部的人工部位数据作为数值数据输入。例如，把关于形状和尺寸，颜色的数据作为数值数据输入，此输入在显示装置上，数值数据作为数值而显示。进而，那个数值数据被计算机进行合成运算处理，如图29所示的那样数值数据所示的人工图像G1自动地在显示装置上显示图形。再，人工图像G1把被输入的数据每次显示出来，也可以从图像作成的阶段来显示。人工部位数据被输入后，也可以部位单位(元素单位)来表示。

接着，从实际安装基板的摄影图像中，切出成为检查对象的电子零件E，以图形将那个电子零件图像显示于显示装置上。

接下去，如图30所示那样，把被以图形显示的上述的人工部位图像G1重叠在被切出的电子零件E的图像上的引线安装部(检查对象部)E1上。

然而，把人工部位图像G1重叠到被摄像的部位图像(E1)上，根据重叠状态进行验证和确认，根据必要再作修正，进行微调整。当然，修正作业应该通过数值数据的变更来进行。

象这样的实施形态中，因为要将有数值数据构成的检查基准部位以图形显示，操作员能够在图形中捕捉到形状，颜色，位置等数据，与在数值图形中捕捉的场合相比，能够简单而且正确地进行基准部位的确认，能提高检查基准的精度，进而，就能提高检查精度。进而，人为的输入差错大大地减少，检查效率明显地提高。

并且，本实施形态中，因为把检查基准部位的显示图像G1与检查对象部位的显示图像E1重叠可以进行两者的比较，能把不正确的部分正确地把握，能确实地高效地进行修正和确认作业。

然而，在本实施形态中，虽然作为被摄像的基板使用实际安装有电子零件的基板，但不仅限于此，在本发明中对未被安装电子零件的空基板进行摄像，然后将那空基板的摄影图和人工零件的图像进行比较，也可进行人工部位数据的验证和修正。即，即使是空基板，因为能把握引线部的安装预定位置，根据那安装预定位置，来验证和确认人工部位数据也行。即使是空基板，因为能把握电子零件的种类，位置，方向等，即使在对以下的人工零件数据的形状和位置进行验证的场合同样，可以与空基板的被摄图像进行比较。不过，使用实际安装的基板的情况下，因为能把实际的电子零件图像和人工图像进行比较，可以更加正确进行验证和修正。

上述的人工部位数据的输入修正作业继续进行，由数值数据的输入，作成必要的人工部位数据。在此，将上述的人工部位数据所表现的形状复制，展开配置，将与引脚安装部(检查对象部)的整体对应的人工部位数据作成。此时，与上述的同样，在显示装置里与数值数据一起，如图31所示的那样，其数据所示的图像G1被图示。

把这样作成的引脚安装部全部的人工部位数据组合，作成作为一个单位的模块数据。

接着，将被摄的电子零件E的图像以图形显示，如图32所示的那样，将上述模块数据所示的人工部位图像重叠到那个图像上，对人工部位数据进行验证，根据必要，调整形状，位置，颜色等。

这样被作成的人工部位数据(模块数据)作为一个人工零件数据(模型数据)被构成。

再，别的检查项目，例如将体位置和方向，零件的种类等作为检查项目的场合，与这些有关的基准数据被输入，与上述的模块数据组合，被作成一个人工零件的数据。这种场合的数据输入也通过数值数据的输入来进行，根据必要，该数据所示的形状等被以图形方式显示在显示装置上。再，所对应的摄像图像被以图示的方式显示。两个显示的图像被重叠，被进行输入数据的验证，修正等。

继续上述同样的过程，被安装在检查对象的实际安装基板上的每种零件种类，作成人工零件数据。

接着，对应与实际安装基板的基板数据和显示在那个基板上的各人工零件数据的安装位置的安装位置数据作为数值数据进行输入，作成人工基板数据。在这个数据输入时，与上述情况相同，数值数据被显示在显示装置上，再看图33所示的那样，表示该数值数据所示的基板和该基板位置关联附加的人工零件数据(人工零件图像Ga)被以图形显示。而该安装位置数据的输入方面，可以将人工零件数据所表现的形状等复制，并展开配置。

象这样，由于将全部的零件的安装位置数据输入，作成了在基板上被安装人工零件的人工基板数据，与那数据对应的图像被以图形的方式显示在显示装置上。

接着，以图形的方式将被摄的检查对象的实际安装基板的图像显示，把上述人工基板图像重叠到如那个图像上，进行显示。然后，在那样的状态下将人工基板图像的零件位置等进行验证，确认，根据必要再作修正，微调。再，这样的调整作业当然也是由数值数据的变更来进行的。

有关调整作业，操作人员在形状图形中可以捕捉零件位置等，对零件等的基准数据的确认能简单而正确地进行，可以是检查精度更进一步得以提高。

并且，在本实施形态中，因为让被摄基板的图像和人工基板的图像重叠，所以，两者的比较核对能可靠地进行，不正确的部分能确实地把握，可有效地进行确认和修正作业。

再，虽然在上述的实施形态中，输入全部零件的安装位置数据作成人工基板数据后，让其与被摄基板的图像进行比较，但是并不限于仅仅这种情况，本实施形态中，也可以每次把一个至多个的安装位置数据输入时，与摄像基板的图像进行比较，进行其都度，验证，修正作业。

接着，象这样的人工零件数据及人工安装位置数据被设定的状态下，对于作为检查对象的实际安装基板进行电子零件的实际安装状态的检查的程序进行说明。

关于实际安装状态的检查，首先，取得包含有人工零件数据及安装位置数据的检查用数据。该检查用数据的取得，如上所述的那样，即使通过输入设定各数据来作成，对在上游侧工程中被使用的生产数据作加工来作成也可以。

假如检查用数据被设定在检查装置里，对于作为实际检查对象的基板的检查被进行。

图34是表示进行实际安装基板上的电子零件的实际安装状态的检查顺序的流程图。

这样的检查中，首先，作为检查对象的基板被拍摄，取得检查对象的拍摄图像(步骤S21)。该摄影，象上述那样把基板分割成格子状，通过把摄像头移动到每块小方格的区域，检查对象基板全体格子被摄像，将分割的图像合成，得到基板全体的大范围图像。图7就是这样得到大范围图像的一个例子。

像这样，假如基板被摄影，从分割的图像被合成得到的大范围图像中切出要检查的范围(步骤S22)。该被切出的范围以以下方式进行设定，并被包含在预检查用数据中，其设定方式是，把各电子零件的人工零件数据所显示的各电子零件的大小，和其公差及被假想的最大误差加进后的余量这几项相加所成的区域配置到显示安装位置数据的零件中心位置坐标上。

图35是大范围图像中被切出的检查范围图像的一个例子。

接着，被切出的摄影图像，和作为人工零件数据被作成的人工图像(检查基准)由图像处理被作比较核对，电子零件的实际安装状态被检查(步骤S23)。用该图像处理的检查对每个上述的检查模块(模块数据)都要进行。在这个检查中，把拍摄的图像和人工零件数据的人工图像进行比较对照，检查模块成为对象的部位的位置和角度姿势等，与实际的摄影图像中在何处，以何种姿势存在是被要求的，与被该零件的安装位置数据所规定的应该被安装的位置和应该有的角度姿势等进行比较，其偏差量作为检查结果被求得。还有，两图像中的检查对象部位的颜色差异为何等程度等被算出。

如上述那样，因为成为检查基准的人工零件数据以数值数据为基础被作成，作为检查结果关于各检查模块能求出正确的偏差量，能有助于后述的生产工程的解析。

图36是对电子零件的摄影图像和人工图像的用图像处理来进行检查的说明。在同图中左侧是从实际的基板被拍摄的图像，右侧是人工零件数据的人工图像。该例中把零件全体作为一个检查模块，同图中x记号表示检查对象部位的中心位置，黑色的圆点表示被安装位置数据规定的零件的中心位置，该例中x记号和黑色的圆点之间的距离就是零件的安装位置发生的偏差。

接着，前面的检查结果和对各电子零件被设定的公差两者进行比较(步骤S24)。公差如上述那样，从各电子零件被设定的中间公差和检查模块数据中被设定的附加量算出。再，检查结果和公差的比较不仅判断检查结果是否落在公差的范围内，直至优良程度也可以判断。

把以上的检查对于全部的检查对象零件的全部的检查模块反复进行(步骤S25：NO)，假如全部的检查模块的检查被结束(步骤S25：YES)，接下去要判断的是检查结果为NG，即存在有超越公差的偏距的检查模块是否存在(步骤S26)。

检查结果为NG的检查模块如果没有(步骤S26：NO)，输出检查结果(步骤S27)，对于该检查的对象基板进行合格判断(步骤S28)对于该基板一连串的检查就此结束。

一方面，检查结果为NG的检查模块假如存在(步骤S26：YES)，将检查结果输出(步骤S29)，进行关于该检查对象基板不合格的判定(步骤S30)，对于该基板一连串的检查结束。

再，在步骤S27，S29的检查结果的输出中，无论作为基板整体的合格不合格，把各检查模块的检查结果的优良程度和偏差量的数值结果输出保存，通过关于多个检查对象基板的累积，可以利用于对检查工程上游的基板制造和零件实际安装等的生产工程中的不良情况进行解析。然而，由于对检查结果的倾向进行引导，可以对上游侧的生产工程反馈信息，防止不良品的发生。

通过把象这样的检查结果数据分类，显示，对人的判断给以支持的机能和通过积蓄检查结果数据，取出统计上的变化点，可以预告不良情况的发生的机能也可以连带发挥。

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Claims (34)

1.安装基板的检查方法、其特征是通过将包含有显示电子零件的形状的数值数据的人工零件数据和安装基板上的电子零件的安装位置数据与对检查对象的安装基板进行拍摄所得的该安装基板上的电子零件的实际安装状态进行对照，对该安装基板上的电子零件的安装状态进行检查。

2.如权利要求1所述的安装基板的检查方法，其特征是：所述的人工零件数据包含有表现根据所述数值数据作成的电子零件被见物的人工图像、把对检查对象的安装基板进行拍摄所得的该安装基板上的电子零件的摄像图像和所述的人工图像进行对照。

3.如权利要求2所述的安装基板的检查方法、其特征是：所述的人工零件数据包含电子零件的颜色数据、所述的人工图像有以所述人工零件数据的颜色数据为基础的颜色信息。

4.如权利要求2所述的安装基板的检查方法、其特征是：对将所述数值数据所表示的电子零件的形状表现出来图像进行加工作成所述的人工图像。

5.如权利要求3所述的安装基板的检查方法、其特征是：，对于表现所述数值数据所示的电子零件的形状的图形，通过按照其各部的颜色信息施以加工，作成所述的人工图像。

6.如权利要求5所述的安装基板的检查方法、其特征是：所述的加工是根据所述电子零件的颜色信息和电子零件的背景颜色来进行的。

7.如权利要求5所述的安装基板的检查方法、其特征是：所述的加工包含缓和颜色变化梯度的处理。

8.安装基板的检查装置、其特征是它备有数据取得手段、摄像手段、和核对手段、所述的数据取得手段它取得包含电子零件的形状示值数据的人工零件数据和安装基板上的电子零件的安装位置数据；所述的摄像手段它对检查对象的安装基板进行拍摄、取得该安装基板上的电子零件的实际安装状态；所述的核对手段它是通过对所述人工零件数据和所述安装位置的数据与对所述检查对象的安装基板进行拍摄所得的安装状态进行核对、对该安装基板上的电子零件的安装状态进行检查。

9.安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：它是为了对被安装在安装基板上的电子零件的实际安装状态进行检查的检查用的数据的作成方法、所述的检查用数据有可能对成为检查对象的各个电子零件的各部位作为对象的检查模块进行多个设定、每个检查模块的公差可被设定。

10.如权利要求9所述的安装基板的检查用数据的作成方法、所述的各检查模块的公差、作为被附加在为各电子零件所设的中间公差上的附加值可以被设定。

11.如权利要求9所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述检查用数据包含有各检查模块成为对象的部位的形状数据。

12.如权利要求11所述的安装基板的检查用数据的作成方法、所述的形状数据是由基本形状数据的1个或多个的组合构成。

13.如权利要求12所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的配置数据包含有为复制所述的基本形状数据进行展开配置的展开配置数据。

14.如权利要求9所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的检查用数据可以对一个或多个检查模块组合成的组进行多项设定、

所述的组应当属于任何组的全体检查模块的检查结果假如合格的话、该电子零件的检查结果才算合格。

15.如权利要求14所述的所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的多个组是可以共用同一的检查模块。

16.如权利要求9所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的检查用数据里只需满足了检查数据中的任何一个数据，多个检查模块的组合就可以设定。

17.安装基板的检查方法、其特证是：它包含以下的步骤：作为安装基板上安装的电子零件的实际安装状态的检查方法，对成为检查对象的各电子零件的各部位作为对象的检查模块进行多个设定、取得每一检查模块其公差成为设定可能的检查用数据的数据取得步骤，和

对检查对象的安装基板进行拍摄取得该安装基板上的电子零件的实际安装状态的、实际安装状态取得步骤，和

把所述的检查用数据和通过与将对所述检查对象的安装基板进行拍摄所得的安装状态进行比较、对该安装基板上的电子零件的安装状态进行检查的检查步骤。

18.安装基板的检查装置、其特征是、它备有以下手段：首先是检查用数据取得手段、作为安装在安装基板上的电子零件的安装状态的检查装置、可以把成为检查对象的各电子零件的各部位作为对象的检查模块进行多个设定、取得每个检查模块其公差可被设定的检查用数据的检查用数据取得手段，和

为对成为检查对象的安装基板进行拍摄、取得该安装基板上的电子零件的安装状态的摄像手段、和

通过将对所述检查对象的安装基板进行拍摄所得的实际安装状态与所述的检查用数据进行比较、对该安装基板上的电子零件的实际安装状态进行检查的比较手段。

19.安装基板的检查用数据的作成方法、其特证是：作为对安装在基板上的电子零件的安装状态进行检查的检查用数据的作成方法，所述的检查用数据包含用安装数据坐标系对一个或多个的电子零件的安装位置数据作规定的安装数据和对在安装基板上对所述安装数据坐标系的原点位置作规定的排列数据、可将所述的安装数据和排列数据作多数据设定。

20.如权利要求19所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的排列数据包含有为了将所述的安装数据复制再展开配置的展开信息。

21.如权利要求19所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：在所谓的安装数据中使电子零件的每个公差可以被设定。

22.如权利要求21所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的检查用数据

每种电子零件种类的标准公差可以被设定、在所述安装数据里个别公差未被设定的电子零件所述的标准公差作为该电子零件的公差被设定。

23.如权利要求19所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的检查用数据包含具有电子零件的形状示值数据的人工零件数据、所述的安装数据中的安装位置数据与成为对象的电子零件的所述人工零件数据相关连附带。

24.如权利要求23所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：把外观相同的电子零件作为对象的多个安装位置数据可以与同一的人工零件数据相关联。

25.安装基板的检查方法、其特征是：它包含有以下步骤、首先是获取检查用数据的步骤、作为安装基板上安装的电子零件的实际安装状态的检查方法、它包含用安装数据坐标系对一个或多个电子零件的安装位置数据进行规定的安装数据和对安装基板上所述的安装数据坐标系的原点位置进行规定的排列数据、可以把所述的安装数据和排列数据进行多数据设定；

再就是，取得实际安装状态的步骤，它对检查对象的安装基板进行拍摄、取得被安装在该安装基板上的电子零件的实际安装状态；

还有就是检查步骤，它通过对所述的检查对象的安装基板进行拍摄、将所得的实际安装状态与所述的检查用数据进行比较、来检查该安装基板上的电子零件的实际安装状态。

26.安装基板的检查装置、它包含有以下部分、首先是检查用数据的取得装置、作为安装基板上被安装的电子零件的实际安装状态的检查装置、包含有安装数据、它用安装数据坐标系对一个或多个电子零件的安装位置数据进行规定、还包含有排列数据、它对安装基板上的所述安装数据坐标系的原点位置进行规定，检查用数据可以对所述的安装数据和排列数据进行多项设定，

再就是摄像装置，它对检查对象的安装基板进行拍摄、取得该安装基板上的电子零件的实际安装状态的装置；

还有就是比较装置、通过对所述检查对象的安装基板进行拍摄、将所得的实际安装状态与所述的检查用数据进行比较、来检查该安装基板上的电子零件的实际安装状态。

27.安装基板的检查用数据的作成方法、它是对电子零件被安装的基板进行拍摄、将所得的图像与含有检查用数据的基准数据进行比对作检查时作成所述的检查用数据的数据作成方法、它包含有以下步骤：首先通过含有形状示值数据的人工数据作成所述基准数据的步骤；

其次是根据所述的人工数据将特定的人工图像以图表的形式来显示的步骤；再就是、基于图表显示的人工图像、来验证所述的人工数据、根据必要进行修正的验证步骤。

28.如权利要求27所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的图像显示步骤进行前，对检查对象基板进行拍摄，取得其所摄得的图像、在所述图像显示步骤中将所摄的图像以图形显示。

29.如权利要求28所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：在所述图像显示的步骤中、将被显示的人工图像与被显示的拍摄图像重叠。

30.如权利要求27所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的人工数据包含与检查对象的电子零件的部位对应的人工部位数据。

31.如权利要求27所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的人工数据包含与检查对象的电子零件对应的人工零件数据。

32.如权利要求27所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的人工数据包含与检查对象的电子零件被安装的安装基板相对应的人工基板数据。

33.如权利要求28所述的安装基板的检查用数据的作成方法、其特征是：所述的检查对象基板由电子零件被安装的安装基板所构成。

34.安装基板的检查用数据作成装置、其特征是：它是对安装电子零件的安装基板进行拍摄、将拍摄所得的图像与被包含在检查用数据里的基准数据进行核对来进行检查时作成所述检查用数据的装置、它备有以下几部分：

首先是用包含形状示值数据的人工数据作成所述的基准数据的数据作成装置、再有就是把根据所述人工数据而特定的人工图像以图表显示的画面进行显示的图像显示装置；

还有就是以图表显示的人工图像为基础对所述的人工数据进行验证、视其必要再进行修正的验证装置。

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