CN1862579A - 通过生产线上的操作安排产品批量的时间表的方法和系统 - Google Patents

通过生产线上的操作安排产品批量的时间表的方法和系统 Download PDF

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Abstract

一种用于通过生产线上的操作安排产品批量的时间表的方法和计算机程序产品。该方法包括：选择生产该批量所需的时序操作集合的时序子集；把该产品批量分割成指定批量和非指定批量；以及为进入该时序操作集合的时序子集的一个或多个操作中的每个非指定批量生成一个发布时间表；为进入该时序操作集合的时序子集的每个操作中的每个指定批量生成一个发布时间表，使得对于每个指定批量，从完成该时序操作集合的时序子集的第一个操作到该时序操作集合的时序子集的最后一个操作开始时测量的总时间量，不超过该指定批量的目标时间量。

Description

通过生产线上的操作安排产品批量的时间表的 方法和系统
技术领域
本发明涉及诸如半导体生产设备中使用的生产设备控制的领域，更具体地，涉及一种生产设备中的产品发布和产品流程管理的方法和系统。
背景技术
诸如但不限于半导体制造商的制造商一直在努力增加产量和缩短周期，以使运行成本最低。常规产品发布和产品流程管理方法只能解决诸如周期和交付时间表控制之类的物流问题。有关产量增加的问题由工具改进或者由建立的简单处理窗口/返工时间窗口进行处理。产品发布和产品流程管理方法尚不具有影响产量的能力。
因此，需要用于生产设备的能够提高产量并能改善周期和交付时间表控制的发布和产品流程管理的方法。
发明内容
本发明的第一方面是用于通过生产线上的操作安排产品批量的时间表的方法，该方法包括：选择生产该批量所需的时序操作集合的时序子集；把该产品批量分割成指定批量和非指定批量；以及为进入该时序操作集合的时序子集的一个或多个操作中的每个非指定批量生成一个发布时间表；为进入该时序操作集合的时序子集的每个操作中的每个指定批量生成一个发布时间表，使得对于每个指定批量，从完成该时序操作集合的时序子集的第一个操作到该时序操作集合的时序子集的最后一个操作开始时测量的总时间量，不超过该指定批量的目标时间量。
本发明的第二方面是计算机程序产品，计算机程序产品包括其中含有计算机可读程序代码的计算机可用介质，该计算机可读程序代码包括适合于通过生产线上的操作安排产品批量的时序的方法的算法，该方法包括以下步骤：选择生产该批量所需的时序操作集合的时序子集；把该产品批量分割成指定批量和非指定批量；为进入该时序操作集合的时序子集的一个或多个操作中的每个非指定批量生成一个发布时间表；以及为进入该时序操作集合的时序子集的每个操作中的每个指定批量生成一个发布时间表，使得对于每个指定批量，从完成该时序操作集合的时序子集的第一个操作到该时序操作集合的时序子集的最后一个操作开始时测量的总时间量，不超过该指定批量的目标时间量。
本发明的第三方面是用于通过生产线上的操作安排产品批量的时序的系统，该系统包括：控制区域创建模块，用于初始化生产线的控制区域的控制区域数据库，该控制区域包括生产该批量所需的时序操作集合的时序子集，产品批量被分割成指定批量和非指定批量；控制区域发布模块，用于为进入控制区域的每个操作中的批量的指定批量设计一个发布时间表，以满足总时间量目标，总时间量目标是从完成该控制区域的第一个操作到该控制区域的最后一个操作开始时测量的；控制区域监控模块，用于更新进入该控制区域的每个操作中的指定批量的发布时间表和非指定批量的发布时间表；以及下一个批量模块，用于从指定批量和非指定批量中选择发布到控制区域的每个操作中的下一个批量。
附图说明
所附权利要求书阐述本发明的特征。然而，通过连同附图一起阅读说明性实施方式的下述详细描述，将更好地理解该发明本身，其中：
图1是根据本发明的生产线的一部分的示图；
图2是根据本发明的控制区域系统的系统示图；
图3A-3E说明图2的控制区域系统的文件结构；
图4是根据本发明的发布和产品流程管理的方法的流程图；
图5是图4的步骤215的流程图；
图6是图4的步骤220和225的流程图；
图7是图6的步骤305的流程图；
图8是图7的步骤315和图11的步骤445的流程图；
图9是图4的步骤230的流程图；
图10是图4的步骤235和240的流程图；
图11是图10的步骤425的流程图；
图12是图10的步骤435和图11的步骤480的流程图；
图13是图4的步骤245的流程图；以及
图14是用于实施本发明的通用计算机的示意框图。
具体实施方式
在半导体环境中，人们发现如果几个不同的时序操作在给定时间内完成，则某些产品的产量会增加。该操作序列称为产量管理控制区域(ZOC)，以下称为ZOC。该工具为指定的ZOC工具，要进行产量管理的ZOC产品通过该ZOC工具顺次在一个或多个工具的ZOC批量中运行。其效果不同于影响两个顺序处理步骤的时间窗口效果，其中如果期限到期，则可以重复第一个步骤。尽管可适用于其它条件，但是开发本发明的目的是为了解决多个时序操作的条件，其中每个操作都需要不同的制造工具并且工具内可能有多个操作，任何一个特定操作可能有多个工具，返工是不可能的并且/或者非ZOC批量(其产量不会作为其周期的函数显著变化的批量)可以共享一个或多个ZOC工具。
对本发明来说，一个批量可以包括一件(例如，半导体生产线上的一个晶片)或两件或更多件的组(例如，半导体生产线上的晶片批量中的两个或多个晶片)，尽管在一些工具中，可以一起处理同一批量的多件，而在某些工具中，可以顺序处理同一批量的多件(例如，单一晶片对批量工具)。
图1是根据本发明的生产线的一部分的示意图。在图1中，ZOC100包含多个ZOC操作(操作也称为生产活动)，从第一个ZOC操作105A，第二个ZOC操作105B，第三个ZOC操作105C，到最后一个ZOC操作105N。可以把ZOC操作105A、105B、105C到105N操作表示为ZOC操作1、ZOC操作2、ZOC操作3...到ZOC操作N。为了示例的目的，ZOC操作105A包括处理工具110A和110B，ZOC操作105B包括处理工具115A、115B和115C，ZOC控制105C包括处理工具120A、120B和120C，而ZOC操作105N包括处理工具125A和125B。处理工具110A和110B两者可以执行相同处理，因此ZOC批量可以在ZOC操作105A中的ZOC工具110A或110B上运行。处理工具115A、115B和115C可以执行相同处理，因此ZOC批量可以在ZOC操作105B中的任何一个ZOC工具115A、115B或115C上运行。处理工具120A、120B和120C可以执行相同处理(亦即，为聚集工具)，因此ZOC批量可以在ZOC 105C中任何一个ZOC工具120A、120B或120C上运行。处理工具125A和125B可以执行相同处理，因此ZOC批量可以在ZOC 105N中ZOC工具125A或125B上运行。对于每个ZOC操作，尽管图1示出特定数目的处理工具，但是给定的ZOC操作可以包括1以上的任意数目的ZOC工具。同样，尽管所示的所有ZOC操作都是彼此相邻的，但是可以把ZOC工具放置在生产线的任意位置上。
全部ZOC工具110A、110B、115A、115B、115C、120A、120B、120C、125A和125C都表示为具有连接到自动交付系统135的加载/卸载(L/UL)站130(可能包括存储缓冲器)和用于提供ZOC工具和制造执行系统(MES)145之间的链路的计算机控制/监控站140。MES的一般功能是，通过向现场控制(floor control)系统发布特定执行指令(批量移动指令)，来调度、发布和跟踪到达和通过生产线工具的产品批量。与ZOC 100有关的MES 145的功能是，向现场控制系统发布特定的批量移动和工具指派指令，这些指令如果不是完全由WNM 185A、185B到185N的输入生成则至少在逻辑上基于WNM 185A、185B到185N的输入(参见图2)。
ZOC工具可以是手工工具并且不和交付系统135相连(例如，操作员可以把ZOC批量在ZOC工具之间进行移动)。ZOC工具不需要直接和MES 145相连(例如，操作员可以接收和记录来自在生产线上分布的MES终端的ZOC批量/工具信息)。
图2是根据本发明的控制区域系统的系统示图。在图2中，ZOC系统150包括ZOC创建模块(ZOC CM)155和有关的ZOC CM文件160，ZOC策略发布模块(ZOC GPRM)165和有关的ZOC GPRM文件170，ZOC策略监控模块(ZOC GPMM)175和有关的ZOC GPMM文件180，以及一组what next(下一个批量)模块(WNM)185A、185B到185N(用于相应的ZOC操作1、2到N)和相应的WNM文件(190)。ZOC系统150进一步包括ZOC批量跟踪文件195。ZOC CM155、ZOC GPRM 165和ZOC GPMM 175都产生输出，该输出存储和/或可以从ZOC批量跟踪文件195中检索。应当注意，可以利用技术人员熟知的其它文件系统或数据存储系统替换包括ZOC CM文件160、ZOC GPRM文件170、ZOC GPMM文件180、WNM文件190和ZOC批量跟踪文件195的文件系统。ZOC CM 155可以向ZOCGPRM 165发布命令和/或发送数据，ZOC GPRM 165可以向ZOCWNM 185A发布命令和/或发送数据(第一个ZOC操作)，ZOCGPMM 175可以向ZOC WNMs 185B到185N发布命令和/或发送数据。MES 145(参见图1)和有关的MES文件200不是ZOC系统150的一部分，但是MES 145能够向ZOC CM 155、ZOC GPRM 165和ZOC GPRM 175发布命令和/或发送数据，并且能够向WNM185A、185B到185N发布命令和/或发送数据和/或接收来自WNM185A、185B到185N的数据。如果需要，ZOC GPMM 175可以发布关键动作报告205和警告报告210。
简言之，ZOC CM 155创建定义ZOC的文件，MES 145可以利用该文件以通过ZOC系统150对ZOC批量和非ZOC批量进行调度和路线的设计。ZOC GPRM 165生成满足该ZOC的产量窗口时间限制的ZOC 100(参见图1)的第一个ZOC操作105的发布时间表/工具指派。ZOC GPMM 175生成并更新满足该ZOC的产量窗口时间限制的ZOC 100(参见图1)的各ZOC操作105B、105C到105N的第二个到第n个操作的的ZOC批量优先级。WNM 185A、185B到185N对于它们各自ZOC操作的工具识别ZOC和非ZOC批量，根据预定规则区分ZOC和非ZOC批量的优先次序，并且根据预定算法指派ZOC和非ZOC批量。WNM 185A、185B到185N以实时方式运行。
ZOC系统150生成、跟踪和修改该ZOC中的ZOC批量时间表，因而ZOC批量在防止与延迟有关的产量下降的目标时间窗口内通过ZOC操作开始并完成，这是因为需要考虑可能有几个ZOC批量和几个非ZOC批量将使用相同的工具以及所有批量的时间表必须都满足。
图3A-3E说明图2的控制区域系统的文件结构。在图3A中，ZOC CM文件160包括ZOC操作文件、ZOC工具文件、ZOC批量标识号文件、ZOC允许延迟时间文件、ZOC知识库文件、ZOC所需的周期文件以及非ZOC批量标识号文件。ZOC操作文件列出该ZOC的制造操作。ZOC工具文件列出执行ZOC操作的工具。ZOC批量标识号文件列出将要作为ZOC的一部分进行处理的批量。ZOC允许延迟时间文件给出该ZOC中的各操作之间的最大延迟时间。ZOC知识库文件包括与特定处理有关的时间表信息，例如，如果ZOC需要使用为清洗安排的掩膜进行掩膜操作则掩膜清洗可以延迟多少件。ZOC所需的周期文件给出该ZOC的第一个操作和最后一个操作之间的最大延迟。非ZOC批量标识号文件列出将在ZOC工具上运行的非ZOC批量。
在图3B中，ZOC GPRM文件180包括ZOC批量发布文件，后者列出进入该ZOC的第一个操作中的ZOC的最早批量发布日期/时间。GPRM文件170包括与第一个ZOC操作有关的数据。
在图3C中，ZOC GPMM文件170包括ZOC批量优先级文件、ZOC批量警告文件、ZOC批量关键列表文件、恢复选项文件以及非ZOC批量优先级文件。GPMM文件170包含与第二个到最后一个ZOC操作有关的数据。ZOC批量优先级文件列出ZOC批量的当前的相对优先级。ZOC批量警告文件列出具有危及该ZOC时间窗口的时间安排问题的ZOC批量。ZOC批量关键列表文件列出需要采取恢复动作以便满足该ZOC时间窗口的ZOC批量。恢复选项文件包含可以被选择来把关键列表上的ZOC批量恢复到该ZOC时间窗口中的潜在操作。非ZOC批量优先级文件列出非ZOC批量的当前的相对优先级。不同的ZOC批量和非ZOC批量可以共享相同的优先级，或者可以依靠使用的MES的类型在单一列表中按优先级顺序排列ZOC批量和非ZOC批量。
在图3D中，WNM文件190包括分发列表文件，该文件列出下一步每个ZOC操作要处理哪些ZOC批量和非ZOC批量，以及在哪个ZOC工具上进行处理。
在图3E中，MES文件200包括路线设计文件、工具文件、在制品(WIP)文件和可接受的延迟文件。路线设计文件列出必须在全部生产线上处理的每个批量的所有操作。工具文件列出该生产线上的每个操作可用的工具和状态。WIP文件按照两个类别列出该生产线上的所有批量、可以在每个操作中的每个工具上运行的批量以及或者指派给或者已经在每个操作中的每个工具(或工具缓冲器)中的批量的当前状态。可接受的延迟文件列出在两个时序操作之间不能超过的时间窗口(该时间窗口不是用于全部ZOC操作集合的ZOC时间窗口)。
图4是根据本发明的发布和产品流程管理的方法的流程图。在步骤215中，选择要包含到ZOC控制中的操作1到N(或最后一个操作)，并创建ZOC控制。图5说明步骤215，并且下文将进一步地详细地描述该步骤。在步骤220中，识别可以通过该ZOC的第一个操作处理的所有ZOC批量，并且在步骤225中，为可以在第一个ZOC操作中开始的所有ZOC批量，生成进入第一个ZOC操作的最早发布日期/时间。利用用来生成进入第一个ZOC操作的发布日期/时间的过程，生成进入后续ZOC操作的可能发布日期/时间。图6说明步骤220和225，并且下文将进一步地详细地描述这些步骤。在步骤230中，选择下一步将要分发到第一个ZOC操作的ZOC工具中的特定ZOC批量和非ZOC批量，并且通过MES进行分发。
在步骤235中，对可以通过ZOC的第二个到最后一个操作的每个操作处理的所有ZOC批量进行识别，在步骤240中，为可以在第二个到最后一个ZOC操作的每个操作中开始的所有ZOC批量，生成进入第二个到最后一个ZOC操作的发布日期/时间。图10说明步骤235和240，并且将在下文中进一步地详细地描述这些步骤。在步骤245中，选择将要分发到第二个到最后一个ZOC操作中的每一个的每个ZOC工具中的特定ZOC批量和非ZOC批量，并且通过MES进行分发。
通过步骤220、225和230的处理流程可以和通过步骤235、240和245的处理流程同时发生。存在两个处理流程的原因在于，通过ZOC的第一个操作的时序安排方式与通过该ZOC的后续操作的时序安排方式是不同的。
图5是图4的步骤215的流程图。在步骤250中，通过使用来自MES文件200的数据定义ZOC。ZOC控制由产品型号、该ZOC中的第一个操作、该ZOC中的最后一个操作以及允许此种型号的产品批量从完成该ZOC的第一个操作到进入该ZOC的最后一个操作所花费的最大时间量进行定义。ZOC控制是制造该产品型号的产品时所需的全部操作集的时序操作的子集。
在步骤255中，使用来自MES文件200的数据创建ZOC。该信息是从MES文件200中选择的，其中可以把MES文件200合并到控制该ZOC的文件中。该信息包括每个操作，每个操作的工具，该ZOC中的每个工具的原始处理时间，完成该ZOC中的全部操作的平均累计原始处理时间，以及需要通过该ZOC的每个工具的所有批量类型。创建ZOC的本质是创建路线设计文件。在步骤260中，验证ZOC。本质上，把ZOC路线设计文件比作全部路线设计文件的子集，MES文件200的路线设计文件。在步骤265中，如果ZOC没有验证，则在步骤270中，通知操作员已经发生ZOC创建错误，并且可以指出该问题。在步骤265中，如果ZOC确实已经验证，则在步骤275中，把各种ZOC CM文件写入到ZOC CM文件160中，并且在步骤280中，创建ZOC批量跟踪文件195。ZOC跟踪文件将包括ZOC批量目标日期/时间以及ZOC批量完成估计日期/时间数据。
图6是图4的步骤220和225的流程图。该步骤序列创建进入第一个ZOC操作的ZOC批量的ZOC发布日期/时间以及估计完成日期/时间。在步骤290中，通过使用MES文件200的WIP文件，确定位于第一个ZOC操作上的所有批量的批量标识号。在步骤295中，通过使用该ZOC批量标识号，确定哪个批量标识号为ZOC批量标识号，并且在步骤300中，把该ZOC批量标识号添加到ZOC跟踪文件195以及它们在第一个ZOC操作上的信息中。在步骤305中，生成ZOC批量发布日期/时间并将它写入到ZOC GPRM文件170的ZOC批量发布文件中，根据该ZOC批量发布日期/时间和ZOC CM文件160的ZOC所需的周期文件，生成ZOC批量完成目标日期/时间并将它写入到ZOC批量跟踪文件195中。此时，该ZOC批量完成目标日期/时间也是ZOC批量完成估计日期/时间，并且将ZOC批量完成估计日期/时间写入到ZOC跟踪文件195中。图7说明步骤305，并且下文将进一步地详细地描述该步骤。该方法从步骤305转到图9的连接符A。
图7是图6的步骤305的流程图。在步骤310中，选择进入该ZOC工具的可用发布日期/时间最早的批量。在步骤315中，通过使用最早的可用发布日期/时间和ZOC批量标识号文件、非ZOC批量标识号文件以及ZOC CM文件160的ZOC所需的周期文件，生成第一个ZOC操作的ZOC批量预测发布和完成日期/时间。图8说明步骤315，并且下文将进一步地详细地描述该步骤。在步骤320中，通过使用ZOC的仿真模型，生成通过所有ZOC操作的ZOC完成预测日期/时间。在第一个例子中，仿真模型为随机仿真模型(例如，利用刚好需要安排时序的处理事件的概率)。在第二个例子中，使用确定性模型。在第三个例子中，使用分析模型。在第一个或第三个例子中，ZOC批量完成估计日期/时间可以是最大似然点估计日期/时间或带有关联预测概率密度函数的值的范围。在三个例子的任何一个中，可以把附加时间可选择地添加到按标称方式计算的ZOC批量完成日期/时间中，以便缓冲周期的不确定性。在步骤325中，比较ZOC批量完成预测日期/时间和来自ZOC跟踪文件195的ZOC批量完成目标日期/时间。在步骤330中，如果没有超过该窗口，则在步骤335中，该ZOC批量完成预测日期/时间将变成上面描述的在图6的步骤305中使用的ZOC批量完成估计日期/时间。在步骤330中，如果超过该窗口，则在步骤340中，把ZOC发布日期/时间变成较迟的日期/时间，然后该处理返回到步骤315。
图8是图7的步骤315和图11的步骤445的流程图。在步骤345中，使用指定的当前的ZOC操作来初始化该仿真模型。在步骤350中，通过使用ZOC CM文件160的ZOC批量标识号文件，识别位于当前操作上的所有ZOC批量。在步骤355中，通过使用ZOC GPMM文件180的ZOC批量优先级文件和非ZOC批量优先级文件以及通过使用ZOC CM文件160的ZOC工具文件(具有工具逻辑数据)，运行仿真模型，以生成位于指定ZOC操作上的每个批量的ZOC批量完成预测日期/时间。在步骤365中，该ZOC批量完成预测日期/时间变成ZOC批量完成估计日期/时间，并被写入到ZOC批量跟踪文件195中。
图9是图4的步骤230的流程图。该步骤序列决定进入该ZOC的第一个操作中的ZOC和非ZOC批量的顺序。在步骤380中，通过使用来自ZOC GPRM文件180的ZOC批量发布文件和来自MES文件200的WIP文件，识别可以在该ZOC的第一个操作上运行的所有批量，并且对ZOC批量从仿真模型读取发布日期/时间结果。在步骤385中，根据批量优先级和工具产能对所有批量(ZOC和非ZOC批量)进行排序，目的是根据局部发布算法指派工具并为指派的工具指派发布日期/时间。例如，如果某个批量具有较高优先级但是其最早发布时间并不在不久的将来，则可以为该批量指派一个较迟的发布日期/时间，该较迟的发布日期/时间不晚于来自仿真模型的发布日期/时间。在步骤390中，把工具指派和发布日期/时间写入到WNM文件190的分发列表文件中。在执行步骤380到390时，也可以执行步骤390和400。在步骤395中，从WNM文件190的分发列表文件中选择要发布的下一个批量，在步骤400中，MES向现场控制系统发送执行指令。
图10是图4的步骤235和240的流程图。该步骤序列创建进入第二个到第N个(或最后一个)ZOC操作中的ZOC批量的发布日期/时间。在步骤405中，通过使用MES文件200的WIP文件，识别处于第二个到最后一个操作中的每个ZOC操作上的所有ZOC批量。在步骤410中，对由MES标识为挂起或禁止的ZOC批量进行识别(在MES文件200的WIP文件中标记它们)。可以将某个批量标识为挂起或禁止，因为由于某些技术原因这些批量处理也许不能继续(例如，在该批量继续下一个操作之前，必须检查该批量或分析批量数据)。
在步骤415中，通过比较该ZOC批量的完成估计和相应的ZOC批量完成目标日期/时间，确定是否有ZOC批量处于停止或禁止状态，以及是否处于不满足其ZOC批量完成目标日期/时间的危及状态。对于发现的处于危及状态的所有ZOC批量，在步骤420中发出警告报告，并将它写入到ZOC GPMM文件180的ZOC警告文件中。警告报告也许生成也许不生成需要操作员执行的操作。接着，该方法转到步骤425。对于不处于危及状态的所有ZOC批量，该方法立即步骤425。在步骤425中，把估计的ZOC批量完成估计写入到ZOC批量跟踪文件195中。步骤425的操作类似于在图7中执行的之前针对ZOC的第一个操作进行描述的操作，但是经过修改从而仅仅适用于第二个到最后一个ZOC操作。图11说明步骤425，并且将在下文中进一步地详细地描述该步骤。接着，在步骤430中，确定每个ZOC批量的重新计算的ZOC批量完成估计日期/时间是否满足相应的ZOC批量完成目标日期/时间。如果该ZOC批量完成估计日期/时间满足相应的ZOC批量完成目标日期/时间，则该方法转到图13的连接符B，否则，该方法转到步骤435，在该步骤中，执行用于恢复操作的检查。图12说明步骤435，并且将在下文中进一步地详细地描述该步骤。
图11是图10的步骤425的流程图。在步骤440中，选择进入正在分析的操作的其可用分布日期/时间最早的批量。在步骤445中，通过使用最早的可用发布日期/时间和ZOC CM文件160的ZOC批量标识号文件、非ZOC批量标识号文件以及ZOC所需的周期文件，生成用于当前的ZOC操作的ZOC批量预测发布和完成日期/时间。图8说明步骤445，并且上文已经详细地描述了该步骤。在步骤450中，通过使用ZOC的仿真模型，生成通过所有ZOC操作的ZOC完成预测日期/时间。在步骤455中，比较该ZOC批量完成预测日期/时间和来自ZOC跟踪文件195的ZOC批量完成目标日期/时间。在步骤460中，如果没有超过该窗口，则在步骤465中，该ZOC批量完成预测日期/时间将成为上面描述的在图10的步骤425中使用的ZOC批量完成估计日期/时间。在步骤460中，如果超过该窗口，则在步骤470中确定该ZOC批量是否为最高优先级。如果该ZOC批量为最高优先级，则该方法转到步骤475，否则该方法转到步骤480。在步骤475中，执行用于恢复操作的检查。图12说明步骤480，并且将在下文中详细描述该步骤。在步骤480中，把该ZOC发布日期/时间变成较迟的日期/时间，并且该处理返回到步骤445。
图12是图10的步骤435和图11的步骤480的流程图。在步骤485中，把该ZOC批量放到ZOC关键列表上并且记录到ZOC GPMM文件180的ZOC关键列表文件中。在步骤490中，操作员根据ZOCCM文件160的知识库文件中的信息选择恢复选项。把找到的任何选项都写入到ZOC GPMM文件180的恢复选项文件中。在步骤495中，发布关键动作报告。关键操作通常需要得到认可/由操作员操作。
图13是图4的步骤245的流程图。该步骤序列决定进入ZOC的第二个到最后一个操作的ZOC批量和非ZOC批量的顺序。在下面的步骤中，位于特定ZOC操作上的批量是以组的方式处理的，并且从第二个ZOC操作开始，为每个ZOC操作重复这些步骤。因此，在步骤500中，通过使用来自ZOC GPRM文件170的ZOC批量优先级文件、来自MES文件200的WIP文件和来自ZOC GPMM文件180的恢复选项文件，识别可以在ZOC的第二个到最后一个操作的每个操作上运行的所有批量，并且从仿真模型中读取所有ZOC批量的发布日期/时间结果。在步骤505中，根据批量优先级和工具产能对所有批量(ZOC和非ZOC批量)进行排序，目的是根据局部发布算法指派工具并为指派的工具指派发布日期/时间。例如，如果某个批量具有较高优先级但是其最早发布时间并不在不久的将来，则可以为该批量指派一个较迟的发布日期/时间，该较迟的发布日期/时间不晚于来自仿真模型的发布日期/时间。操作员可以响应于ZOC GPMM文件180的恢复选项文件中的信息，改变其它操作，例如，工具指派和工具的发布日期/时间。在步骤510中，把工具指派和发布日期/时间被写入到WNM文件190的分发文件列表中。在执行步骤500到510时，也可以执行步骤515和520。在步骤515中，从WNM文件190的分发列表文件中选择要发布的下一个批量，在步骤520中，MES向现场控制系统发送执行指令。
通常，可以利用通用计算机实施相对于发布和产品流程管理的方法描述的方法，并且可以把该方法编码为可移动的或硬盘介质上的指令集，以便通用计算机使用。图14是用于实施本发明的通用计算机的示意框图。在图14中，计算机系统600具有至少一个微处理器或中央处理单元(CPU)605。CPU 605经由系统总线610与随机存取存储器(RAM)615、只读存储器(ROM)620、用于连接可移动的数据和/或程序存储设备630和海量数据和/或程序存储设备635的输入/输出(I/O)适配器625、用于连接键盘645和鼠标650的人机接口适配器640、用于连接数据端口660的端口适配器655以及用于连接显示设备670的显示适配器665进行互连。
ROM 620包含用于计算机系统600的基本操作系统。作为选择，操作系统可以驻留在RAM 615中，或驻留在技术人员熟知的其它位置。可移动的数据和/或程序存储设备630的例子包括诸如软盘和磁带的磁性介质以及诸如CD ROM驱动器的光学介质。海量数据和/或程序存储设备635的例子包括硬盘驱动器以及诸如闪存的非易失性存储器。除键盘645和鼠标650之外，诸如跟踪球、书写板、压垫、麦克风、光笔和位置传感屏幕显示器之类的其它输入设备可以和人机接口640相连。显示设备的例子包括阴极射线管(CRT)和液晶显示器(LCD)。
本领域技术人员可以创建带有合适的应用程序界面的计算机程序，并将它存储到系统或数据和/或程序存储设备上，以简化本发明的实现。运行时，把通过数据端口660输入的或通过使用键盘645键入的信息或为运行本发明而创建的计算机程序，加载到适当的可移动的数据和/或程序存储设备630上。
因此，本发明提供一种用于生产设备的能够提高产量并能改善周期和交付时间表控制的发布和产品流程管理的方法。
提供本发明的实施方式的描述是为了理解本发明。可以理解，本发明并不限于此处描述的特定实施方式，相反，它可以是对本领域的技术人员显而易见的各种修改、重新编排和替换，而并不背离本发明的范围。因此，下面的权利要求书旨在覆盖属于本发明之实质和范围内的所有此类修改和变更。

Claims (12)

1.一种用于通过生产线上的操作安排产品批量时间表的方法，包括：
选择生产所述批量所需的时序操作集合的时序子集；
把所述产品批量分割成指定批量和非指定批量；
为进入所述时序操作集合的所述时序子集的一个或多个操作中的每个所述非指定批量生成一个发布时间表；以及
为进入所述时序操作集合的所述时序子集的每个操作中的每个所述指定批量生成一个发布时间表，使得对于每个指定批量，从完成所述时序操作集合的所述时序子集的第一个操作到所述时序操作集合的时序子集的最后一个操作开始时测量的总时间量，不超过所述指定批量的目标时间量。
2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：
根据进入所述时序操作集合的所述时序子集的所有操作中的所述指定批量和所述非指定批量的所有现有发布时间表，生成进入所述时序操作集合的所述时序子集的所述第一个操作中的所述指定批量的每个批量的发布时间表。
3.根据权利要求2所述的方法，进一步包括：
根据进入所述时序操作集合的所述时序子集的所有操作中的所述指定批量和所述非指定批量的所有现有发布时间表，修改进入所述时序操作集合的所述时序子集的所述第一个操作中的所述非指定批量的现有发布时间表。
4.根据权利要求2所述的方法，其中进入所述时序操作集合的所述时序子集的所述第一个操作中的所述指定批量的每个批量的所述发布时间表是通过使用所述时序操作集合的所述时序子集的仿真模型生成的。
5.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：
根据进入所述时序操作集合的所述时序子集的所有操作中的所述指定批量和所述非指定批量的时序安排优先级，并根据进入所述时序操作集合的所述时序子集的所有操作中的所述指定批量和所述非指定批量的所有现有发布时间表，生成进入所述时序操作集合的所述时序子集的第二个到最后一个操作中的所述指定批量的每个批量的发布时间表。
6.根据权利要求5所述的方法，进一步包括：
根据进入所述时序操作集合的所述时序子集的所有操作中的所述指定批量和所述非指定批量的所有现有发布时间表，修改进入所述时序操作集合的所述时序子集的所述第二个到最后一个操作中的所述非指定批量的现有发布时间表。
7.根据权利要求5所述的方法，其中所述生成进入所述时序操作集合的所述时序子集的第二个到最后一个操作中的所述指定批量的每个批量的发布时间表，根据进入所述时序操作集合的所述时序子集的所有操作中的所述指定批量和所述非指定批量的所有指定发布时间表，修改进入所述时序操作集合的所述时序子集的所述第二个到最后一个操作中的所述指定批量的现有发布时间表。
8.根据权利要求5所述的方法，其中进入所述时序操作集合的所述时序子集的所述第二个到最后一个操作中的所述指定批量的每个批量的所述发布时间表是通过使用所述时序操作集合的所述时序子集的仿真模型生成的。
9.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：
根据所述非指定批量的每一个批量的所述发布时间表，发布进入所述时序操作集合的所述时序子集的操作中的所述非指定批量；以及
根据所述指定批量的每一个批量的所述发布时间表，发布进入所述时序操作集合的所述时序子集的操作中的所述指定批量。
10.一种计算机程序产品，包括其中含有计算机可读程序代码的计算机可用介质，所述计算机可读程序代码包括一个算法，该算法适合于实现用于通过生产线上的操作安排产品批量的时间表的方法，所述方法包括权利要求1-9之任一权利要求的步骤。
11.一种用于通过生产线上的操作安排产品批量的时间表的系统，包括：
控制区域创建模块，用于初始化生产线的控制区域的控制区域数据库，所述控制区域包括生产所述批量所需的时序操作集合的时序子集，所述产品批量被分割成指定批量和非指定批量；
控制区域发布模块，用于为进入所述控制区域的每个操作中的所述批量的所述指定批量设计一个发布时间表，以满足总时间量目标，所述总时间量目标是从完成所述控制区域的第一个操作到该控制区域的最后一个操作开始时测量的；
控制区域监控模块，用于更新进入所述控制区域的每个操作中的所述指定批量的所述发布时间表和所述非指定批量的发布时间表；以及
下一个批量模块，用于从所述指定批量和所述非指定批量中选择发布到所述控制区域的每个操作中的下一个批量。
12.根据权利要求11所述的系统，进一步包括：
用于把所述控制区域创建模块、所述控制区域发布模块、所述控制区域监控模块和所述下一个批量模块连接到制造执行系统的装置；以及
用于把所述控制区域数据库连接到所述制造执行系统的制造执行系统数据库的装置。
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WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Open date: 20061115