CN1855358A - 计算机可实现的晶片预约分批的方法及系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提出一种计算机可实现的晶片预约分批的方法，其用于使用多个制程工具进行制造的晶片制造环境中，对于晶片批次进行预约分批。首先，提供耦接于制程工具的数据库。接着，于数据库中，设定晶片批次的分批条件。最后，根据所设定的分批条件，将晶片批次进行分批，得到子晶片批次。
Description
技术领域
本发明涉及晶片制造的方法技术，特别是涉及一种计算机可实现的晶片预约分批的方法。
背景技术
由于集成电路(Integrated Circuit，IC)产品制造技术的进步以及计算机整合制造系统(computer integrated manufacturing system，CIM)的发展，将存放于同一载具(carrier)中的晶片(wafer)批次(lots)进行分批(split)，分别采用不同制程条件(manufacturing recipe)来进行制程操作(operation)，已成为集成电路产品制程中的一重要技术。
分批(split)是指因生产或制程需求，将原有满批的晶片批次分为多个不同的批次。其中未分批前的批次称为母批次(Parent Lot)，而分批后的批次称为子批次(Child Lot)。现行的集成电路产品制造均与制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)相结合，由制造执行系统进行制程管理及控制。分批作业必须于实际执行前先行预测可能进行分批的制造工具，待批次到达时便可据以进行分批，但现行制造执行系统并不具备预约分批的功能。换言之，在制造执行系统未实际执行分批前，无法预知分批的情形。因此目前预约分批作业多以人工方式进行，首先由操作人员根据制造需求填写纸件分批单，而后交由实施制造单位执行，制造单位工作人员便依据纸件分批单，于批次到达时进行分批作业，再将分批后的子批次相关信息，如子批次识别码(Lot ID)等，通知相关制造单位。
然而，以人工方式进行预约分批作业相当耗费人力资源，且以人工方式进行预约分批无法实现生产自动化，大幅降低生产效能。因此，以自动化的方式执行预约分批即为目前集成电路产品制造厂中的一重要课题，且为影响生产效能的重要因素。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的是提供一种计算机可实现的晶片预约分批的方法。本发明所提出的方法可根据晶片制程的需求，于正规制程中预先进行晶片分批流程，以提高了晶片制造厂的生产自动化。
为实现上述目的，本发明提供一种计算机可实现的晶片预约分批的方法，其用于使用多个制程工具进行制造的晶片制造环境中，对于晶片批次进行预约分批。首先，提供耦接于制程工具(manufacturingtool)的数据库，如制造执行系统数据库(MES database)。接着，于数据库中，设定晶片批次的分批条件。然后，根据所设定的分批条件，将晶片批次进行分批，得到子晶片批次。同时可得到每一子晶片批次的一关键码(key No.)，关键码的用途在于，每一子晶片批次可能进行不同处理，因此若能于预约分批的阶段即获得关键码，便可据以进行不同处理及设定。于进行晶片批次分批时，可执行验证程序以确认分批的结果。由于预约分批由系统进行，因此可取代原有的人工操作验证程序，在验证确认后再实际进行分批。
而后，制程工具以分批后的子晶片批次进行制程。或者，制程工具可以关键码对每一子晶片批次进行不同处理。
由上可知，本发明所提出的方法可于正规的制程中预先决定分批的状态，减少制程中的人为操作。其次，由于关键码已预先获得，因此可对不同子晶片批次进行不同处理及设定，增加数据管理的效能。
再者，本发明提出一种晶片预约分批的系统，其用于使用多个制程工具进行制造的晶片制造环境中，对于晶片批次进行预约分批。本发明所提出的系统包括设定模块，其耦接于一数据库，如制造执行系统数据库。数据库耦接于制程工具。
设定模块用以于数据库中，设定晶片批次的分批条件，及根据所设定的分批条件，将晶片批次进行分批，得到子晶片批次。同时，设定模块尚用以得到每一子晶片批次的一关键码。本发明所提出的系统可包括验证模块，用以执行验证程序以确认分批的结果。而后，制程工具以分批后的子晶片批次进行制程。或者，制程工具可以关键码对每一子晶片批次进行处理。
其次，本发明提出一种晶片生产流程，首先于一制造执行系统中，对每一晶片批次预先设定一分批信息，分批信息至少包括子批次识别码、分批站点以及分批片号，每一子批次识别码对应于分批后的一子晶片批次。接着，对分批后每一晶片子批次设定一控制功能。最后，当晶片批次抵达分批站点，则操作制造执行系统依分批信息进行分批。在此晶片生产流程中，当晶片批次的生产流程未依据分批信息，制造执行系统会进行检查，并限制分批步骤的进行。
附图说明
图1示出了本发明所揭示的方法的执行流程图。
图2示出了本发明所揭示的系统的功能方块图。
附图符号说明
20-晶片预约分批的系统；22-设定模块；24-数据库；26-制程工具；28-晶片批次；30-子晶片批次。
具体实施方式
请参照图1，图1示出了本发明所揭示的方法的执行流程图。如图所示，一种计算机可实现的晶片预约分批的方法，其用以于晶片制造环境中，对于晶片批次进行预约分批。首先，提供耦接于制程工具的数据库(步骤S10)，如制造执行系统数据库。制程工具用以对晶片批次进行制程。接着，于数据库中，设定晶片批次的分批条件(步骤S12)。然后，根据所设定的分批条件，将晶片批次进行分批，得到子晶片批次。同时可得到每一子晶片批次的一关键码(步骤S14)。于进行晶片批次分批时，可执行验证程序以确认分批的结果(步骤S16)。由于预约分批由系统进行，因此可取代原有的人工操作验证程序，在验证确认后再实际进行分批。而后，制程工具以分批后的子晶片批次进行制程(步骤S18)。或者，制程工具可依关键码对每一子晶片批次进行不同处理(步骤S20)。
请参照图2，图2示出了本发明所揭示的系统的功能方块图。如图所示，一种晶片预约分批的系统，其用以于晶片制造环境中，对于晶片批次进行预约分批。本发明所提出的系统20包括设定模块22，其耦接于数据库24，如制造执行系统数据库。数据库24耦接于制程工具26，制程工具26用以对晶片批次28进行制程。
设定模块22用以于数据库24中，设定晶片批次28的分批条件，及根据所设定的分批条件，将晶片批次28进行分批，得到子晶片批次30。同时，设定模块22会得到每一子晶片批次30的一关键码。本发明所提出的系统可包括验证模块32，用以执行验证程序以确认分批的结果。而后，制程工具26以分批后的子晶片批次30进行制程。或者，制程工具26可根据关键码对每一子晶片批次30进行处理。
请再参照图2，在一实施例中，应用本发明所提出的方法于晶片制造系统中。如图所示，经由管理者或管理程序可利用设定模块22执行晶片预约分批方法。预约分批后的结果可储存至制造执行系统数据库24中，当晶片批次到达制程工具26时，如果预约分批完成且利用验证模块32完成验证程序，则实际执行晶片分批工作。实际的晶片分批工作可在晶片储存架(stocker)与晶片排列架(sorter)中完成。
请再参照图2，如图所示，由于预约分批已经由管理者或管理程序完成，并将结果储存至制造执行系统数据库24中。当晶片批次到达制程工具26时，如果验证程序的结果为正确，则将晶片批次28加以分割并转换至不同的载具中。在本实施例中，当晶片批次28到达设定的制程工具26时，会被分割为二个不同的子晶片批次30，而放置于不同的载具中。可以是原本具有一装载有晶片批次28的载具和一空载具，或者是两个新载具中。在执行晶片分批后，原本空的载具会被置入分割后的子晶片批次30。而后，子晶片批次30可分别采用不同的制程条件进行后续制程操作。如此一来，原本同一载具中的晶片批次28便可应用到不同的制程工具26上，也就是藉由晶片预约分批，将原本置于同一载具中的晶片批次，分别应用于不同制程条件。
请再参照图2，将本发明所提出的方法应用于晶片生产流程中。首先于制造执行系统中，对晶片批次28预先设定分批信息，并储存至数据库24中。分批信息至少包括子批次识别码、分批站点以及分批片号，每一子批次识别码对应于分批后的一子晶片批次。接着，对分批后子晶片批次设定控制功能。此控制功能的作用是于后续处理时，可针对不同的子晶片批次进行不同的控制，例如后续暂停(Future Hold)、设定合并点(set merge point)、设定批次注意事项(set lot not)以及设定在线制程参数(set on-line recipe)等。最后，当晶片批次28抵达分批站点，即制程工具26，则操作制造执行系统依分批信息进行分批。在晶片生产流程中，当晶片批次28的生产流程未依据分批信息进行，制造执行系统会根据数据库中的数据进行检查，并限制分批的进行，以确保晶片生产流程的正确性。
综上所述，本发明提出一种晶片预约分批的方法。本发明所提出的方法可于晶片制程中，预先获知晶片分批的状态，解决现行技术无法解决的问题，实现本发明所欲达到的目的。
如前所述的方法及系统系针对晶片分批问题提供一动态且健全的解决方案。倘若前述方法及系统在某些条件下有所变更，例如晶片分批子流程必须在不同的制程中被执行，则本发明所揭示的方法及系统可随之调整以适应实际应用时的不同需求。
本发明所提出的方法及系统，或者其中某些部份可能以计算机程序(计算机指令)的方式加以实现，此计算机程序(计算机指令)可能建置于实体储存媒体中，如软盘(floppy diskettes)、光盘(CD-ROMS)、硬盘(hard drives)或其它任何机器可辨读的储存介质中。当前述的计算机程序(计算机指令)经由如计算机等机器加载并执行时，此加载计算机程序(计算机指令)的机器即转换为一用以实现本发明的装置。再者，本发明所揭示的方法及系统可以计算机程序(计算机指令)的方式经由传输媒体进行传输，如电线(electrical wire)、电缆(cable)、光纤(fiber optics)或其它任何可进行传输的传输媒体。当前述经由传输媒体传输的计算机程序(计算机指令)经由如计算机等机器加载并执行时，此加载计算机程序(计算机指令)的机器即转换为一用以实现本发明的装置。另外，本发明所揭示的方法及系统可以计算机程序(计算机指令)的方式可应用于一通用目的(general-purpose)处理器，当前述应用于通用目的处理器的计算机程序(计算机指令)与处理器相结合时，即提供一用以实现本发明的装置，其功能相当于特定功能的逻辑电路(logic circuits)。
虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然其并非用以限定本发明，本领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的前提下可作若干的更动与润饰，因此本发明的保护范围以本发明的权利要求为准。
Claims (18)
1.一种计算机可实现的晶片预约分批的方法，其用于使用多个制程工具进行制造的一晶片制造环境中，包括：
提供一数据库，其耦接于所述制程工具；
于上述数据库中，预先设定一晶片批次的分批条件；以及
根据所设定的上述分批条件，将该晶片批次进行分批，得到至少一子晶片批次。
2.如权利要求1所述的计算机可实现的晶片预约分批的方法，还包括所述制程工具对分批后的该子晶片批次进行制程。
3.如权利要求1所述的计算机可实现的晶片预约分批的方法，其中上述数据库为一制造执行系统数据库。
4.如权利要求1所述的计算机可实现的晶片预约分批的方法，上述进行分批的步骤中，还包括得到每一子晶片批次的一关键码。
5.如权利要求4所述的计算机可实现的晶片预约分批的方法，上述进行分批的步骤中，还包括以上述关键码对每一子晶片批次进行处理。
6.如权利要求1所述的计算机可实现的晶片预约分批的方法，还包括执行一验证程序以确认分批的结果。
7.一种晶片预约分批的系统，其用于使用多个制程工具进行制造的一晶片制造环境中，包括：
一设定模块，其耦接于一数据库，其中该数据库耦接于所述制程工具，且该设定模块用以于该数据库中，预先设定至少一晶片批次的分批条件，并根据所设定的分批条件，在制造流程中将该晶片批次进行分批，得到至少一子晶片批次。
8.如权利要求7所述的晶片预约分批的系统，其中上述晶片批次分批后得到上述子晶片批次并且该制程工具对分批后的该子晶片批次进行制程。
9.如权利要求7所述的晶片预约分批的系统，其中上述数据库为一制造执行系统数据库。
10.如权利要求7所述的晶片预约分批的系统，其中上述设定模块还用以得到每一子晶片批次的一关键码。
11.如权利要求10所述的晶片预约分批的系统，其中上述制程工具还用以以该关键码对每一子晶片批次进行处理。
12.如权利要求1所述的晶片预约分批的系统，还包括一验证模块，用以执行一验证程序以确认分批的结果。
13.一种晶片生产流程，包括：
于一制造执行系统中，对至少一晶片批次中的每一晶片批次预先设定一分批信息，该分批信息至少包括至少一子批次识别码、一分批站点以及一分批片号，其中每一子批次识别码对应于分批后的一子晶片批次；
对分批后每一晶片子批次设定一控制功能；以及
当该晶片批次抵达该分批站点，则操作该制造执行系统依该分批信息进行分批。
14.如权利要求13所述的晶片生产流程，其中当该晶片批次的生产流程未依据该分批信息，该制造执行系统会进行检查，并限制上述分批步骤的进行。
15.如权利要求13所述的晶片生产流程，其中上述控制功能包括后续暂停。
16.如权利要求13所述的晶片生产流程，其中上述控制功能包括设定合并点。
17.如权利要求13所述的晶片生产流程，其中上述控制功能包括设定批次注意事项。
18.如权利要求13所述的晶片生产流程，其中上述控制功能包括设定在线制程参数。
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