CN1828054A - 低温泵档板及其制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于抽真空的低温泵,特别是涉及低温泵所用的档板及其制作方法。本发明的低温泵档板,其一级档板(1)及二级档板(2)上镀有镍层。上述一级档板(1)及二级档板(2)上镀有的镍层厚度为20~30μm。本发明一级档板(1)及二级档板(2)的镀镍方法如下:1)清除档板表面的氤纸;2)使用酸浸泡,再用水冲洗;3)将档板表面进行退镀处理,使其原有镀层清除干净,并清洗、烘干;4)小电流慢镀;5)高温烘烤、抽真空除气。本发明的低温泵档板具有良好的耐腐蚀性能,而且加工方便。本发明大大提高了低温泵的效率,使低温泵抽真空效果好,并大大降低了更换挡板的费用。本发明低温泵档板的制作方法简单,操作方便。
Description
1、技术领域:
本发明涉及一种用于抽真空的低温泵,特别是涉及低温泵所用的档板及其制作方法,属于低温泵档板及其制作方法的创新技术。
2、背景技术:
真空管所用排气台经过两年多的使用,其效率大大下降,主要表现在抽气时间长,效率低,产品二次通电的时间多,严重影响灯丝的发射能力,增加了产品的报废率。排气台效率低的原因是多方面的,但是抽真空时间长,是排气台效率低主要矛盾,造成抽真空时间长的主要原因是低温泵效率低。而低温泵中设有的两极档板直接影响了低温泵的效率,低温泵中设有两级档板,第一级由45℃斜面80K(K是温度单位)的档板1和热辐射筒3组成,其档板俗称80K档板;第二级由多层倒杯状的档板2和活性炭组成,温度为15K,俗称15K档板。当用低温泵抽真空管中的气体时,真空管中的气体分子由高真空阀扩散进入低温泵,在穿过45℃斜面80K的档板时,大部分水汽及二氧化碳等熔点高的分子,冷冻在80K的档板上;少部分则凝结在热辐射筒上。其余的气体分子如氮、氩等分子在穿越中失去部分动能,被冻结在15K档板上,最后剩余的氢、氦、氖分子则被活性炭吸附和俘获。从以上原理可知,两极档板除氢、氦、氖三种分子不能凝结外,其它气体都能凝结,氢、氦、氖三种气体分子在大气的含量非常少,所以两级档板的使用状态直接影响排气台的真空度,其对低温泵效率起关键作用。低温泵使用一段时间后,进行保养,拆卸低温泵后,可以看到两级档板腐蚀严重。一般情况下,两级档板需一年半更换一次,在这期间只有清洁,没有其它维护的方法。两级档板腐蚀后,从微观的角度来看,档板的表面凹凸不平,并且氧化物和氯化物覆盖在档板的表面,形成一层导冷差的隔冷层,降低了低温泵凝结气体分子的能力,以至直接影响了低温泵的效率。
3、发明内容:
本发明的目的在于克服上述缺点而提供一种耐腐蚀性能良好,而且机械性能好,在冷、热状态下有良好的压力加工性的低温泵档板。本发明大大提高了低温泵的效率,使低温泵抽真空效果好,并大大降低了更换挡板的费用。
本发明的另一目的在于提供一种制作简单,操作方便的低温泵档板制作方法。
本发明的低温泵档板,其一级档板(1)及二级档板(2)上镀有镍层。
上述一级档板(1)及二级档板(2)上镀有的镍层厚度为20~30μm。
本发明一级档板(1)及二级档板(2)的镀镍方法如下:
1)清除档板表面的氤纸;
2)使用酸浸泡,再用水冲洗;
3)将档板表面进行退镀处理,使其原有镀层清除干净,并清洗、烘干;
4)小电流慢镀;
5)高温烘烤、抽真空除气。
上述步骤2)用稀硫酸浸泡。
上述用稀硫酸浸泡1~2分钟。
上述步骤2)用酸浸泡及用水冲洗2~3次。
上述步骤4)小电流慢镀2~3小时。
上述步骤5)抽真空除气8~10小时。
本发明的低温泵档板采用了在其表面镀有镍层的结构,由于镍熔点高、化学性能稳定,耐腐蚀、机械性能好,在冷、热状态下有良好的压力加工性,易除气等,是真空器件结构材料之一,因此,本发明的低温泵档板具有良好的耐腐蚀性能,而且加工方便。本发明大大提高了低温泵的效率,使低温泵抽真空效果好,并大大降低了更换挡板的费用。本发明低温泵档板的制作方法简单,操作方便。
4、附图说明:
下面结合附图详细说明本发明的具体结构:
图1为低温泵内部的结构示意图。
5、具体实施方式:
实施例:
本发明的低温泵档板,其一级档板(1)及二级档板(2)上镀有镍层。
上述一级档板(1)及二级档板(2)上镀有的镍层厚度为20~30μm。
本发明一级档板(1)及二级档板(2)的镀镍方法如下:
1)清除档板表面的氤纸;
2)使用酸浸泡,再用水冲洗;
3)将档板表面进行退镀处理,使其原有镀层清除干净,并清洗、烘干;
4)小电流慢镀;
5)高温烘烤、抽真空除气。
本实施例中,上述步骤2)用稀硫酸浸泡1~2分钟,浸泡及用水冲洗的次数为2~3次。
本实施例中,上述步骤4)小电流慢镀2~3小时,步骤5)抽真空除气8~10小时。
本实施例中,本发明低温泵档板的基材是铜。此外,在生产使用中因环境和再生情况的不同,其腐蚀程度不同,要求档板在电镀时作相应的调整,使其达到最佳的效果。
Claims (8)
1、一种低温泵档板,其特征在于其一级档板(1)及二级档板(2)上镀有镍层。
2、根据权利要求1所述的低温泵档板,其特征在于上述一级档板(1)及二级档板(2)上镀有的镍层厚度为20~30μm。
3、一种根据权利要求1所述的低温泵档板的制作方法,其特征在于上述一级档板(1)及二级档板(2)镀镍的方法如下:
1)清除档板表面的氤纸;
2)使用酸浸泡,再用水冲洗;
3)将档板表面进行退镀处理,使其原有镀层清除干净,并清洗、烘干;
4)小电流慢镀;
5)高温烘烤、抽真空除气。
4、根据权利要求3所述的低温泵档板的制作方法,其特征在于上述步骤2)用稀硫酸浸泡。
5、根据权利要求4所述的低温泵档板的制作方法,其特征在于上述用稀硫酸浸泡1~2分钟。
6、根据权利要求4所述的低温泵档板的制作方法,其特征在于上述步骤2)用酸浸泡及用水冲洗2~3次。
7、根据权利要求3所述的低温泵档板的制作方法,其特征在于上述步骤4)小电流慢镀2~3小时。
8、根据权利要求3所述的低温泵档板的制作方法,其特征在于上述步骤5)抽真空除气8~10小时。
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CN 200510033351 CN1828054A (zh) | 2005-03-02 | 2005-03-02 | 低温泵档板及其制作方法 |
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WO2022057177A1 (zh) * | 2020-09-16 | 2022-03-24 | 中国科学技术大学 | 一种双阀门结构的低温泵 |
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2005
- 2005-03-02 CN CN 200510033351 patent/CN1828054A/zh active Pending
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