CN1815138A - 薄膜检查装置以及薄膜检查方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种对于任何形状的检查对象都能够非破坏地判定形成在其表面上的薄膜的状态的薄膜检查装置以及薄膜检查方法。从照射部(2)照射的测定光通过积分球(22)而入射到检查对象。并且，测定光在检查对象的基底部(52)或者薄膜(54)反射。进而，该反射光入射到积分球(22)，并在积分球(22)内被均匀化。然后，被均匀化了的反射光经由光纤(10)被传到分光部(12)。分光部(12)按照波长的顺序对反射光进行分光，并将与强度光谱对应的电信号传给运算处理部(14)。运算处理部(14)基于从分光部(12)接受的电信号来判定形成在检查对象的表面上的薄膜(54)的状态。

Description

薄膜检查装置以及薄膜检查方法
技术领域
本发明涉及一种判定薄膜的状态的薄膜检查装置以及薄膜检查方法，特别是涉及一种对形成在具有凹凸形状的物体的表面上的薄膜的状态进行判定的薄膜检查装置以及薄膜检查方法。
背景技术
一直以来，在半导体等领域中，为了测定在由玻璃或硅晶片等构成的基板上形成的薄膜的膜厚，人们研究着利用了光的干涉的膜厚传感器。
例如，在专利文献1中公开有一种膜厚传感器，其基于从由多个半导体发光元件构成的光源装置射出的光中的、在测定对象的薄膜反射了的光或者透过测定对象的薄膜的光，来计测膜厚。
图9是以往的膜厚传感器200的概略结构图。
如图9所示，膜厚传感器200由光源装置60、光纤62、66、投受光部64、分光部68、运算处理部74构成。
光源装置60将波长区域宽的白色光作为测定光而生成。
光纤62将光源装置60和投受光部64连接，并将在光源装置60生成了的测定光传到投受光部64。
投受光部64将从光纤62接受的测定光照射到作为测定对象的基板90上的薄膜92。并且，投受光部64接受在基板90或者薄膜92反射了的反射光，并传给光纤66。
光纤66将投受光部64与分光部68连接，并将从投受光部64接受的反射光线传给分光部68。
分光部68将与从光纤66接受的反射光的强度光谱对应的电信号传给运算处理部74。并且，分光部68由对接受的光按照波长顺序进行分光的光滤波器70、和将接受的光转换成与光强对应的电信号的受光部72构成。
运算处理部74从分光部68接受电信号，并输出薄膜92的膜厚的测定值。并且，运算处理部74由将模拟电信号转换成数字信号的A/D(AnalogDigital：模拟/数字)转换部76、基于在A/D转换部76被转换的数字信号而计算薄膜92的厚度的运算部78、输出运算结果的显示部80、以及从外部接受设定值等的输入输出部82构成。
膜厚传感器200中，在测定对象反射的反射光中包括在薄膜92反射的反射光和透过薄膜92而在基板90反射的反射光。因此，在薄膜92反射的反射光与在基板90反射的反射光之间，产生与薄膜92的膜厚对应的光程差。从而，能够通过观测由于该光程差而产生的干涉，即通过观测在波长区域的光强的周期性的变化，来测定薄膜92的膜厚。
另外，近年来进行着这样的研究，即，在PET(PolyEthylene Terephthalate：聚对苯二甲酸乙二醇酯)树脂制的容器(以下称为PET瓶)等的塑料制容器的表面上形成薄膜，从而抑制来自外部的氧的侵入。从抑制来自外部的侵入的意义来说，这样的薄膜被称为“阻隔薄膜”。此外，在阻隔薄膜中采用DLC(Diamond Like Carbon：类金刚石碳)、SiO2等。
通过抑制来自外部的氧的侵入，能够抑制饮用水等内容物的劣化，从而更能够延长品质保证期。其结果，也能够抑制对过了品质保证期的商品进行处理所需的成本。
因此，将来在塑料制容器的制造过程中，预计需要对形成在其表面上的阻隔薄膜的状态进行判定。
专利文献1：国际公开第01/1070号手册。
在塑料制容器的制造过程中，因为需要对阻隔薄膜的状态进行判定，所以重要的是能够非破坏地进行判定。
作为非破坏地判定阻隔薄膜的状态的装置，可以采用上述的膜厚传感器。
可是，为了达到吸引消费者的注意力的目的，通常将塑料制容器做成复杂的形状，因此与半导体的基板等不同，其表面并不平坦。因此，在上述的薄膜传感器中采用塑料制容器作为测定对象时，即使测定光从同一个方向照射，其反射光也会向各个方向反射。从而，很难在投受光部捕获反射光。进而，由于其形状不均匀，所以即使在同一个塑料制容器上，也会由于测定光的照射位置而使测定结果产生偏差。
这样，利用以往的膜厚传感器，无法对形成在塑料制容器的表面上的阻隔薄膜的状态进行判定。
发明内容
本发明是为了解决这样的问题而提出的，其目的在于提供一种对于任何形状的检查对象都能够非破坏地判定形成在其表面上的薄膜的状态的薄膜检查装置以及薄膜检查方法。
根据本发明，是一种薄膜检查装置，具有：照射部，其将测定光照射到检查对象；积分部，其由中空且在内面对光进行反射的扩散构件形成，将测定光中由检查对象反射的反射光，通过开口而接受到中空的空间中并进行空间积分；分光部，其取得在积分部被积分了的反射光的分光特性；运算处理部，其基于在分光部取得的分光特性来判定形成在检查对象的表面上的薄膜的状态。
优选地，运算处理部对与检查对象相同的形状且其表面没有形成薄膜的比较基准的分光特性预先进行存储，并通过与该存储了的分光特性进行比较来判定形成在检查对象的表面上的薄膜的状态。
优选地，积分部包含有使从照射部照射的测定光通过的开口，照射部从相对于与检查对象的被照射面大致垂直的方向而具有规定的角度的方向照射测定光。
优选地，积分部包括用于使分光部不直接取得被积分前的反射光的装置。
另外，根据本发明，是一种薄膜检查装置，具有：照射部，其将测定光照射到检查对象、以及与检查对象相同的形状且其表面上没有形成薄膜的比较基准；第一积分部，其对测定光中由检查对象反射了的反射光进行空间积分；第二积分部，其对测定光中由比较基准反射了的反射光进行空间积分；分光部，其取得在第一以及第二积分部中被积分了的各自的反射光的分光特性；运算处理部，其通过对在分光部取得的检查对象的反射光的分光特性与比较基准的反射光的分光特性进行比较，来判定形成在检查对象的表面上的薄膜的状态。
优选地，检查对象是在表面形成有薄膜的具有光泽的容器。
另外，根据本发明，是一种薄膜检查方法，包括：照射步骤，将测定光照射到作为形成有薄膜且具有光透过性的光泽面的检查对象上；积分步骤，将测定光中由于检查对象的薄膜的干涉而产生的被反射了的反射光，通过用中空且在中空的空间内使光漫反射的扩散构件覆盖，而进行空间积分；分光步骤，取得在积分步骤中被积分了的反射光的分光特性；运算处理步骤，基于在分光步骤中取得的分光特性来判定形成在检查对象的表面上的薄膜的状态。
优选地，检查对象是在表面形成有薄膜的具有光泽的容器，将测定光照射到该检查对象的包含有凹凸的表面上。
根据本发明，从照射部照射的测定光中，与检查对象对应而向多个方向反射的反射光，由积分装置进行空间积分。因此，无论检查对象的形状如何，均能够取得由检查对象反射的反射光的强度光谱。从而，无论检查对象的形状如何，都能够非破坏地判定形成在其表面上的薄膜的状态。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式的薄膜检查装置的概略结构图。
图2是表示积分球中的测定光以及反射光的行迹的图。
图3是本发明的第一实施方式的变形例的薄膜检查装置的概略结构图。
图4是表示利用薄膜检查装置对PET瓶进行检查时的一例的外观图。
图5表示PET瓶的相对反射率特性的一例。
图6是表示判定处理的流程图。
图7是本发明的第二实施方式的薄膜检查装置的概略结构图。
图8是表示薄膜检查装置中的处理的流程图。
图9是以往的膜厚传感器的概略结构图。
具体实施方式
针对本发明的实施方式，参考附图来进行详细说明。此外，对于附图中相同或者相当的部分附上相同的附图标记，并不再重复其说明。
第一实施方式
图1是本发明的第一实施方式的薄膜检查装置100的概略结构图。
如图1所示，薄膜检查装置100由照射部2、积分球22、光纤10、分光部12、运算处理部14构成。另外，检查对象由基底部52与形成在其表面上的薄膜54构成。此外，为了易于理解，以剖面图来表示检查对象。
照射部2向检查对象照射测定光。并且，照射部2由光源部4、光纤6、聚光透镜8构成。
光源部4例如由氙灯或者LED(Light Emitting Diode：发光二极管)等构成，而产生包括可视光区域的测定光，并传给光纤6。
光纤6将光源部4产生的测定光传给聚光透镜8。
聚光透镜8对从光纤6接受的测定光进行聚光，并照射到检查对象上。此外，也可以采用平行透镜取代聚光透镜8，将测定光转换成平行光并进行照射。
积分球22，对所照射的测定光中由检查对象反射了的反射光进行空间积分。并且，积分球22是将硫酸钡等具有高反射率的扩散剂涂敷于内面的球状体。即，入射到积分球22内部的光，在内面反复反射，而无论入射方向如何，在空间上被均匀化。进而，在积分球22的球面与聚光透镜8的光轴的交点上设有测定光通过用的开口，以使从照射部2照射的测定光不在积分球22内积分而被直接照射到检查对象上。另外，积分球22包括抑制来自检查对象的反射光直接输出到分光部的挡板24。
光纤10连接积分球22与分光部12，提取在积分球22被积分了的反射光，并传给分光部12。
分光部12将从光纤10接受的反射光线按照波长顺序进行分光，进而，将该分光了的光利用CCD(Charge Coupled Devices：电荷耦合装置)等接受，并将与每个波长的光强、即强度光谱对应的电信号传给运算处理部14。
运算处理部14基于从分光部12接受的电信号来判定形成在检查对象表面上的薄膜54的状态。并且，运算处理部14由A/D(Analog Digital：模拟/数字)转换部16、运算部18、显示部20构成。
A/D转换部16将从分光部12接受的模拟电信号转换成数字信号，并输出到运算部18。
运算部18基于从A/D转换部16接受的数字信号来判定形成在检查对象表面上的薄膜的状态。并且，运算部18将其判定结果输出到显示部20。
显示部20显示从运算部18接受的判定结果。
如上所述，从照射部2照射的测定光通过积分球22，而入射到检查对象上。并且，测定光的一部分在检查对象的基底部52或者薄膜54上反射。进而，该反射光入射到积分球22，并在积分球22内被均匀化。然后，被均匀化的反射光经由光纤10而被传到分光部12。
在此，照射部2，从相对大致垂直于检查对象的被照射面的方向形成规定的照射角θ的方向，照射测定光。就是说，聚光透镜8的光轴与大致垂直于检查对象的被照射面的方向，形成照射角θ。这样，通过使其具有照射角θ，就能够防止反射光从测定光线通过用的开口漏光到积分球22的外部，从而能够抑制因反射光的损失而导致的判定误差。
(积分装置)
图2是表示在积分球22中的测定光以及反射光的行迹的图。
如图2所示，检查对象的表面上形成有复杂的凹凸形状。因此，即使测定光由聚光透镜8聚光并沿着规定的光轴入射，反射光的反射方向也不会是一个方向。
积分球22邻近于检查对象而配置，从而在检查对象上镜面反射了的几乎所有的反射光入射到积分球22内。入射到积分球22内的反射光具有各种各样的传播方向。但是，这种反射光通过在积分球内部反复进行反射，逐渐被均匀化。并且，被均匀化的反射光经由光纤10被输出到分光部12。
进而，在积分球22中还没有被积分的反射光，与已经被积分后的反射光相比光强更高，因此，若积分前的反射光被输出到分光部12则会发生判定误差。因此，在积分球22的内部配置有挡板24，以使积分前的反射光不能直接输出到分光部12。挡板24的表面涂敷有具有高反射率的物质，入射到挡板24的反射光被挡板反射，并在积分球22被积分。
如上所述，积分球22对入射光中在检查对象上镜面反射了的反射光进行空间积分，因此检查对象优选采用容易发生镜面反射的具有光泽的物质。
进而，运算部18基于分光特性进行判定，该分光特性对应于由形成在检查对象的表面上的薄膜产生的干涉，因此检查对象进一步优选具有光透过性。
(照射部的变形例)
图3是本发明的第一实施方式的变形例的薄膜检查装置102的概略结构图。
参照图3，除了测定光的照射方向以外，薄膜检查装置102具有与图1所示的薄膜检查装置100相同的结构。
在薄膜检查装置102中，照射部2沿着积分球22的中心线垂直向下照射测定光。另一方面，检查对象以其被照射面与照射部2的照射面具有规定的照射角θ的方式来配置。
薄膜检查装置102能够通过使检查对象的配置状态变化来改变照射角θ，因此与薄膜检查装置100相比能够更加自由地设定照射角θ。从而，通过以与检查对象对应的最佳照射角θ照射测定光，而能够抑制判定误差。
图4是表示利用薄膜检查装置102对PET瓶56进行检查时的一例的外观图。
参照图4，将作为检查对象的PET瓶56的中心轴从水平面向下方只倾斜照射角θ而配置。这样，通过将PET瓶56的照射面只错开照射角θ，能够降低反射光线的损失。此外，检查PET瓶56时，优选将照射角θ设定为8°左右。
(判定处理)
参考图4，说明对形成在PET瓶56的表面上的阻隔薄膜的状态进行判定时的步骤。
首先，运算部18，在薄膜检查装置102没有安装任何东西的状态下，使测定光从照射部2照射。并且，运算部18将分光部12输出的强度光谱作为基准暗度(ダ一クレフアランス)D(λ)而进行存储。基准暗度D(λ)是用于除去因从外部侵入积分球22的光或分光部12的偏置成分等导致的误差的初始值。
接着，在具有与检查对象相同的形状且其表面没有形成阻隔薄膜的作为比较基准的PET瓶被安装在薄膜检查装置102的状态下，运算部18使测定光从照射部2照射。并且，运算部18将分光部12输出的强度光谱作为基准光谱R(λ)而进行存储。
进而，在作为检查对象的PET瓶56被安装在薄膜检查装置102的状态下，运算部18使测定光从照射部2照射。并且，运算部18将分光部12输出的强度光谱作为测定光谱S(λ)而取得。进而，运算部18利用测定光谱S(λ)与预先存储的基准暗度D(λ)以及基准光谱R(λ)，由下式计算出相对反射率A(λ)。
相对反射率A(λ)＝(S(λ)-D(λ))/(R(λ)-D(λ))
图5表示PET瓶的相对反射率特性的一例。
参照图5，没有形成阻隔薄膜的PET瓶的相对反射率，在整个波长区域中几乎100％恒定不变。另一方面，形成有阻隔薄膜的PET瓶的相对反射率，随着波长变短而逐渐降低，而在最短波长的380nm处降低到约95％。
这是由阻隔薄膜的干涉导致的，相对于波长的相对反射率的斜率依存于阻隔薄膜的厚度。
因此，运算部18基于相对于波长的相对反射率的斜率、即dA(λ)/dλ是否在规定的范围内，来判定阻隔薄膜的存在与否以及其厚度。
在上述说明中，对于利用光强度光谱作为分光特性的情况进行了说明，但是，也可以利用干涉波形的拟合方法，将重点放在特定波长上，并基于在该波长的光强差或者相对比值等的变化量而进行判定。
另外，也能够基于在多个特定波长之间的光强比进行判定。也就是，能够通过分光特性的变化来进行判定。
图6是表示判定处理的流程图。
如图6所示，运算部18判断是否安装有检查对象(步骤S100)。
当安装有检查对象时(在步骤S100中为“是”)，运算部18等待到检查对象被撤去为止(步骤S100)。
当没有安装检查对象时(在步骤S100中为“否”)，运算部18使测定光从照射部2照射(步骤S102)。并且，运算部18将经由分光部12以及A/D转换部16而取得的强度光谱作为基准暗度而进行存储(步骤S104)。
接着，运算部18判断是否安装有比较基准(步骤S106)。
当没有安装比较基准时(在步骤S106中为“否”)，运算部18等待到比较基准被安装为止(步骤S106)。
当安装有比较基准时(在步骤S106中为“是”)，运算部18使测定光从照射部2照射(步骤S108)。并且，运算部18将经由分光部12以及A/D转换部16而取得的强度光谱作为基准光谱而进行存储(步骤S110)。
进而，运算部18判断是否安装有检查对象(步骤S112)。
当没有安装检查对象时(在步骤S112中为“否”)，运算部18等待到检查对象被安装为止(步骤S112)。
当安装有检查对象时(在步骤S112中为“是”)，运算部18使测定光从照射部2照射(步骤S114)。并且，运算部18将经由分光部12以及A/D转换部16而取得的强度光谱作为测定光谱而取得(步骤S116)。
运算部18利用基准暗度、基准光谱以及测定光谱而计算出相对反射率及其微分值，而判定薄膜的状态(步骤S118)。并且，运算部18将判定结果显示在显示部20(步骤S120)。
进而，运算部18判定是否存在后续的检查对象(步骤S122)。
当存在后续的检查对象时(在步骤S122中为“是”)，运算部18等待到下一个检查对象被安装为止(步骤S112)。
当不存在后续的检查对象时(在步骤S122中为“否”)，运算部18结束处理。
根据本发明的第一实施方式，从照射部照射的测定光中对应于检查对象而向多个方向反射的反射光，通过积分球而被进行空间积分。因此，无论检查对象的形状如何，分光部均能够取得由任一检查对象反射的反射光的强度光谱。从而，无论检查对象的形状如何，都能够非破坏地判定形成在其表面上的薄膜的状态。
另外，根据本发明的第一实施方式，只要将测定光照射到检查对象上即可，因此可在短时间内完成判定。因此，例如在PET瓶的制造生产线上等处能够进行产品的全数检查。从而，能够提高PET瓶等产品的可靠性。
第二实施方式
在上述的第一实施方式中，对这样的构成进行了说明，即，预先将比较基准的强度光谱作为基准光谱而进行存储，通过与该基准光谱的比较来进行判定。
另一方面，在第二实施方式中，对这样的构成进行说明，即，将同一个测定光照射到比较基准以及判定对象上，并通过对各个强度光谱的比较来进行判定。
图7是本发明的第二实施方式的薄膜检查装置104的概略结构图。
参照图7，薄膜检查装置104由照射部30、积分球22.1、22.2、光纤10.1、10.2、光切换部28、分光部12、运算控制部32构成。
照射部30由光源部4、光分配部26、光纤6.1、6.2、聚光透镜8.1、8.2构成。
光源部4已在上面记述过，因此不再重复同样的说明。
光分配部26将光源部4产生的测定光分配成两束光线，并分别传给光纤6.1以及6.2。
光纤6.1以及6.2将从光分配部26接受的测定光分别传给聚光透镜8.1以及8.2。
聚光透镜8.1对经由光纤6.1接受的测定光进行聚光，并照射到检查对象上。还有，聚光透镜8.2对经由光纤6.2接受的测定光进行聚光，并照射到比较基准上。
积分球22.1对照射的测定光中在检查对象上反射了的反射光进行空间积分。还有，积分球22.2对照射的测定光中在比较基准上反射了的反射光进行空间积分。积分球22.1以及22.2具有与上述的积分球22相同的结构，因此不再反复其说明。
光纤10.1以及10.2分别提取在积分球22.1以及22.2被积分了的反射光，并传给光切换部28。
光切换部28响应来自运算部34的指令，而将从光纤10.1以及10.2的任意一方接受的反射光传给分光部12。
分光部12已在上面记述过，因此不再重复同样的说明。
运算控制部32由A/D转换部16、运算部34、显示部20构成。
A/D转换部16以及显示部20已在上面记述过，因此不再重复同样的说明。
运算部34向光切换部28发出指令，而对取得检查对象的强度光谱以及比较基准的强度光谱中的哪一个进行选择。并且，运算部34在每个规定的期间取得比较基准的强度光谱，并对存储的基准光谱进行更新。进而，运算部34基于该基准光谱与检查对象的测定光谱之差，对形成在检查对象的表面上的薄膜的状态进行判定。
图8是表示在薄膜检查装置104中的处理的流程图。
参照图8，运算部34判断是否安装有检查对象或者比较基准(步骤S200)。
当安装有检查对象或者比较基准时(在步骤S200中为“是”)，运算部34等待到检查对象或者比较基准被撤去为止(步骤S200)。
当检查对象以及比较基准的任何一个都没有被安装时(在步骤S200中为“否”)，运算部34使测定光从照射部30照射(步骤S202)。并且，运算部34向光切换部28发出指令，将从积分球22.1经由光纤10.1、光切换部28、分光部12以及A/D转换部16而取得的强度光谱，作为检查对象的基准暗度进行存储(步骤S204)。进而，运算部34向光切换部28发出指令，将从积分球22.2经由光纤10.2、光切换部28、分光部12以及A/D转换部16而取得的强度光谱，作为比较基准的基准暗度进行存储(步骤S206)。
接着，运算部34判断是否安装有检查对象以及比较基准(步骤S208)。
当没有安装有检查对象或者比较基准时(在步骤S208中为“否”)，运算部34等待到检查对象以及比较基准被安装为止(步骤S208)。
当检查对象以及比较基准都被安装了时(在步骤S208中为“是”)，运算部34使测定光从照射部30照射(步骤S210)。并且，运算部34向光切换部28发出指令，将从积分球22.2经由光纤10.2、光切换部28、分光部12以及A/D转换部16而取得的强度光谱，作为基准光谱而取得(步骤S212)。进而，运算部34向光切换部28发出指令，将从积分球22.1经由光纤10.1、光切换部28、分光部12及A/D转换部16而取得的强度光谱，作为测定光谱而取得(步骤S214)。
运算部34利用各自的基准暗度、基准光谱以及测定光谱计算出相对反射率以及其微分值，而判定薄膜的状态(步骤S216)。并且，运算部34将判定结果显示在显示部20(步骤S218)。
进而，运算部34判断是否存在后续的检查对象(步骤S220)。
当存在后续的检查对象时(在步骤S220中为“是”)，运算部34等待到下一个检查对象被安装为止(步骤S208)。
当不存在后续的检查对象时(在步骤S220中为“否”)，运算部34结束处理。
此外，根据被认为是产生光源部、分光部的“波动”的期间，按每个规定的期间对基准光谱进行更新即可，但也可以例如几个小时更新1次左右。
还有，在上述的说明中例举了将在照射部产生的测定光通过光分配部而分配成两束光线的结构，但也可以采用光切换部取代光分配部的结构。与使用光分配部时相比，由于测定光的强度没有下降，因此能够抑制光源部4的成本。
根据本发明的第二实施方式，在第一实施方式的效果的基础上，也可以在所希望的时间内取得比较基准的光谱，因此能够大幅度缩短用于更新基准光谱的时间以及工时。因此，通过频繁更新基准光谱，而能够抑制由光源部、分光部的“波动”等导致的判定误差，从而能够提高其判定精度。
另外，根据本发明的第二实施方式，则不必为了更新基准光谱而将比较基准重新安装在薄膜检查装置上，因此，例如在PET瓶的制造生产线上等，能够在缩短或者维持生产节拍时间的同时提高判定精度。
其他的方式
此外，上述说明中例举了将在积分球内被积分的反射光用光纤传到分光部的结构，但也可以采用直接连接分光部与积分球的结构。
另外，除了照射部点状照射测定光以外，也可以采用与测定光的照射同步并使检查对象移动以及/或者旋转的结构。根据这样的结构，能够在检查对象的全长范围内检查薄膜的状态。
这次公开的实施方式在所有方面只是为了举例而不可视为限定。本发明的范围并非由上述说明示出，而是由权利要求示出，包含在与权利要求相同的宗旨和范围内所作的所有变更。

Claims (8)

1.一种薄膜检查装置，其特征在于，具有：
照射部，其将测定光照射到检查对象；
积分部，其由中空且在内面对光进行反射的扩散构件形成，将上述测定光中由上述检查对象反射的反射光，通过开口而接受到上述中空的空间中并进行空间积分；
分光部，其取得在上述积分部被积分了的上述反射光的分光特性；
运算处理部，其基于在上述分光部取得的上述分光特性来判定形成在上述检查对象的表面上的薄膜的状态。
2.如权利要求1所述的薄膜检查装置，其特征在于，上述运算处理部对与上述检查对象相同的形状且其表面没有形成薄膜的比较基准的分光特性预先进行存储，并通过与该存储了的分光特性进行比较来判定形成在上述检查对象的表面上的薄膜的状态。
3.如权利要求1或2所述的薄膜检查装置，其特征在于，
上述积分部包含有使从上述照射部照射的测定光通过的开口，
上述照射部从相对于与上述检查对象的被照射面大致垂直的方向而具有规定的角度的方向照射上述测定光。
4.如权利要求1～3中任意一项所述的薄膜检查装置，其特征在于，上述积分部包括用于使上述分光部不直接取得被积分前的上述反射光的装置。
5.一种薄膜检查装置，其特征在于，具有：
照射部，其将测定光照射到检查对象、以及与上述检查对象相同的形状且其表面上没有形成薄膜的比较基准；
第一积分部，其对上述测定光中由上述检查对象反射了的反射光进行空间积分；
第二积分部，其对上述测定光中由上述比较基准反射了的反射光进行空间积分；
分光部，其取得在上述第一以及第二积分部中被积分了的各自的反射光的分光特性；
运算处理部，其通过对在上述分光部取得的上述检查对象的反射光的分光特性与上述比较基准的反射光的分光特性进行比较，来判定形成在上述检查对象的表面上的薄膜的状态。
6.如权利要求1～5中任意一项所述的薄膜检查装置，其特征在于，上述检查对象是在表面形成有薄膜的具有光泽的容器。
7.一种薄膜检查方法，其特征在于，包括：
照射步骤，将测定光照射到作为形成有薄膜且具有光透过性的光泽面的检查对象上；
积分步骤，将上述测定光中由于上述检查对象的薄膜的干涉而产生的被反射了的反射光，通过用中空且在中空的空间内使光漫反射的扩散构件覆盖，而进行空间积分；
分光步骤，取得在上述积分步骤中被积分了的上述反射光的分光特性；
运算处理步骤，基于在上述分光步骤中取得的上述分光特性来判定形成在上述检查对象的表面上的薄膜的状态。
8.如权利要求7所述的薄膜检查方法，其特征在于，上述检查对象是在表面形成有薄膜的具有光泽的容器，将上述测定光照射到该检查对象的包含有凹凸的表面上。
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