CN1770454A - 三维存储器系统芯片 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种含有半3D-M层的三维存储器系统芯片(3DM-SoC)。它充分利用了三维存储器(3D-M)可堆叠于衬底电路上的特点,将SoC芯片中嵌入式存储器上的闲置互连线层转化为3D-M。该转化过程以极低的额外工艺成本,在基本不增加芯片面积的前提下能极大地增加SoC的存储容量,提高其性能。本发明还提供了一种具有大3D-M基本阵列的3DM-SoC,它可以避免因3D-M与系统的集成而需要对独立衬底电路块的版图进行改动。
Description
技术领域
本发明涉及集成电路领域,更确切地说,涉及电编程三维存储器系统芯片(3DM-SoC)。
背景技术
集成电路日新月异的进步使芯片功能日益增加。由于现有技术中存储器和数据处理器均基于衬底晶体管1t,故很容易地集成在同一衬底上,这导致系统芯片(system-on-a-chip,简称为SoC)的广泛应用(图1A和图1B)。如图1A所示,一个SoC芯片一般含有嵌入式存储器(embedded memory,简称为eM,其所占的芯片区域称为eM区)0EM和嵌入式数据处理器(embedded processor,简称为eP,其所占的芯片区域称为eP区)0EP。eM含有RAM和/或ROM,它用来存储数据;eP具有逻辑和/或模拟功能,它对数据进行处理。
在SoC芯片中,eM区中所需互连线的层数一般远少于eP区。如图1B所示,该SoC芯片的eP区0EP共使用了4层互连线1EP,即IL1-IL4,而其eM区0EM只使用了2层互连线1EM,即IL1和IL2,故有2层互连线在eM区内未被使用(IL3和IL4)。本发明将这些由未被使用的互连线层(如IL3和IL4)所占据的空间称为闲置空间1DY。对于基于damascene的工艺流程,该闲置空间1DY由哑金属(dummy metal,如30d、40d)填充。
现有的SoC芯片中eM区0EM可能占有多于~50%的芯片面积。同时,eM区0EM所需互连线1EM的层数(~3)远小于eP区0EP所需互连线1EP的层数(~8)。相应地,SoC芯片有很大的闲置空间1DY(在>~50%的芯片面积上>~5层互连线)。为了充分应用该闲置空间1DY,本发明提供了一种含有半3D-M层的三维存储器系统芯片(three-dimensional memorysystem-on-a-chip,简称为3DM-SoC)。它充分利用了三维存储器(three-dimensional memory,简称为3D-M)可堆叠于衬底电路上的特点,将闲置空间1DY转化为3D-M。该转化过程以极低的额外工艺成本,在基本不增加芯片面积的前提下能极大地增加SoC的存储容量,从而提高其功能。
本发明还提供了一种具有大3D-M基本阵列的3DM-SoC。当3D-M与eP、eM集成时,最好使用大3D-M基本阵列,即3D-M基本阵列最好能够覆盖至少一个独立衬底电路块,如eP、eM(至少eM的单位阵列),甚至于整个芯片,这样能够避免因为集成而需要对eP、eM的版图进行改动。
发明目的
本发明的主要目的是提供一种额外工艺成本极低,且在基本不增加芯片面积的前提下,具有更大存储容量、更强功能的SoC芯片。
本发明的另一目的是提供一种能避免对现有SoC芯片中独立电路块的版图设计作较大改动的SoC芯片。
根据这些以及别的目的,本发明提供了多种三维存储器系统芯片(3DM-SoC)。
发明内容
本发明提供了一种含有半3D-M层的三维存储器系统芯片(3DM-SoC)。一般说来,系统芯片(SoC)含有基于衬底晶体管的嵌入式数据处理器(eP)和嵌入式存储器(eM)。由于eP区所需的互连线层数要大于eM区,eM区内一般有多个互连线层未被利用,它们形成一闲置空间。本发明充分利用了三维存储器(3D-M)可堆叠于衬底电路上的特点,将该闲置空间转化为3D-M。该3D-M层由于仅覆盖eM区,而不覆盖eP区,故称为半3D-M层。该转化过程以极低的额外工艺成本(对于某些实施例来说,每个3D-M层仅需一次额外光刻步骤),在基本不增加芯片面积的前提下能极大地增加SoC的存储容量,从而使其具有更强功能。
本发明还提供了一种具有大3D-M基本阵列的3DM-SoC。当3D-M与eP、eM集成时,最好使用大3D-M基本阵列,即3D-M基本阵列最好能够覆盖至少一个独立衬底电路块,如eP、eM(至少eM的单位阵列),甚至于整个芯片,这样能够避免因为集成而需要对eP、eM的版图进行改动。
附图说明
图1A是一种现有系统芯片(SoC)的顶视图;图1B是图1A中现有SoC芯片沿AA’的截面图;
图2是一种三维存储器(3D-M)的截面图;
图3是一种具有半3D-M层的三维存储器系统芯片(3DM-SoC)的截面图;
图4表示第一种在3DM-SoC中使用的3D-M/互连线;
图5A-图5E表示该第一种3D-M/互连线的一种生产工艺流程;
图6表示一种使用电编程三维存储器(EP-3DM)的3DM-SoC;
图7A-图7C表示几种3D-M膜的实施例;
图8表示第二种在3DM-SoC中使用的3D-M/互连线;
图9A-图9C表示该第二种3D-M/互连线的一种生产工艺流程;
图10表示第三种在3DM-SoC中使用的3D-M/互连线;
图11A-图11D表示该第三种3D-M/互连线的一种生产工艺流程;
图12表示第四种在3DM-SoC中使用的3D-M/互连线;
图13A-图13D表示该第四种3D-M/互连线的一种生产工艺流程;
图14A-图14CB表示一种混合型互连线层及其两种生产工艺流程;
图15表示一种具有半3D-M层和全3D-M层的3DM-SoC,该全3D-M层能覆盖eM和eP区域;
图16是一种现有技术采用的小基本阵列3D-M的版图设计;
图17对本发明所定义的3D-M基本阵列作了详细描述;
图18A-图18C是三种具有大3D-M基本阵列的3DM-SoC的版图设计。
具体实施方式
三维存储器(3-dimensional memory,简称为3D-M)将一个或多个存储层在垂直于衬底的方向上相互叠置在衬底电路上(参见中国专利ZL98119572.5、美国专利5,835,396、6,717,222等)。如图2所示,3D-M含有至少一个(最好是两个以上)叠置于衬底电路10上的3D-M层100,3D-M层100上有多条地址选择线(包括字线102a和位线108i、108j)和多个介于字线和位线间的3D-M元,层间连接通道孔100av提供3D-M层100和衬底电路10之间的电连接。
3D-M可以根据其编程的方式来分类(参见美国专利6,717,222):如果其所存储的内容是通过电的形式来编程的,则该3D-M被称为电编程3D-M(EP-3DM);如果其所存储的内容是通过非电的形式(如掩模)来编程的,则该3D-M被称为非电编程3D-M(NEP-3DM)。电编程3D-M(EP-3DM)可以进一步分为三维随机存取存储器(3D-RAM)、三维一次电编程存储器(3-D one-time programmable,简称为3D-OTP)和三维多次电编程存储器(3-Dwrite-many,简称为3D-WM)。另一方面,一种典型的非电编程3D-M(NEP-3DM)是掩模编程三维只读存储器(3D-MPROM)。图2中的3D-M即为3D-MPROM:它以隔离介质106的存在与否来表示逻辑“0”或“1”。
3D-M也可以采用常规半导体存储器的分类法来分类,即它可以分为三维随机存取存储器(3D-RAM)和三维只读存储器(3D-ROM,包含3D-MPROM、3D-OTP、3D-WM等)。由同一发明人提出的中国专利(专利号ZL98119572.5)和中国专利申请(如专利申请02131089.0等)即采取这种分类法。在本申请中,上述分类法被交替使用。
图3表示一种具有半3D-M层的三维存储器系统芯片(3DM-SoC)。在该实施例中,图1B中的闲置空间1DY被转换成一3D-M层3DM。由于该3D-M层只覆盖了eM区,而非整个芯片,故其称为半3D-M层(图15中的3D-M层3DMB由于基本覆盖了整个芯片,包括eM区0EM和eP区0EP,故其称为全3D-M层)。在半3D-M层3DM,互连线层IL3构成位线30m,互连线层IL4构成字线40m,在位线和字线之间有一3D-M膜36。该3D-M膜36含有二极管膜(包括p-n二极管、p-i-n二极管、Schottky二极管等)或其它有源元件(参见中国专利ZL98119572.5、美国专利5,835,396、6,717,222等)。
在该实施例中,eP区0EP和eM区0EM中互连线层数的差别为2(即4-2)。相应地,可以在闲置空间1DY中建成1个3D-M层。如果该互连线层数的差别为6,则可以建成3个3D-M层(如使用分离的3D-M结构)到5个3D-M层(如使用相互交叉的3D-M结构)(对于分离的3D-M和相互交叉的3D-M,可参见美国专利6,717,222中的图9-图10)。
图4表示第一种在3DM-SoC中使用的3D-M/互连线。这里,3D-M/互连线是指在3DM-SoC中相邻两互连线层ILa(包括低层导体30L、30M)、ILb(包括高层导体40L、40M1、40M2)的两种连接方式:
1)在eP区0EP,通过通道孔38形成常规互连线连接,该通道孔38对低层和高层导体提供双向电连接(两个方向的电阻相近);
2)在eM区0EM,通过3D-M膜36形成3D-M元(3D-M元存储的数字信息由,如3D-M膜的存在与否,来表示),该3D-M膜36对低层和高层导体提供单向电连接(两个方向的电阻相差较大)。
注意到,现有技术中,相邻两互连线层一般只具有第1)种连接方式,即通过通道孔的双向电连接。
图5A-图5E表示该第一种3D-M/互连线的一种生产工艺流程。该工艺流程与常规dualdamascene工艺相比,只多了一个额外的光刻步骤(参看图5B)。相应地,其额外工艺成本很低。它含有如下步骤:
1)通过damascene等方法,形成第一布线层ILa。这里,数字31表示低层导体30L、30M之间的层内介质(图5A);
2)淀积并刻蚀3D-M层。在该步骤后,在eM区0EM的逻辑“1”存储元处形成了3D-M柱36(图5B);
3)淀积、平面化并刻蚀第一层间介质33直到在eM区0EM中的3D-M柱36被暴露。紧接着淀积第二层间介质35(图5C)。第一和第二层间介质33、35的结构和构成与常规dual damascene中所用层间介质类似;
4)刻蚀通道孔和沟槽图形,直到:在eM区0EM中的3D-M柱36上表面被暴露;在eP区0EP中的低层导体30L上表面被暴露(图5D)。该步骤与常规dual damascene类似;
5)通过CMP等方法,填充并平面化第二布线层ILb(图5E)。该步骤也与常规dualdamascene类似。
图4、图5A-图5E的实施例以3D-MPROM(掩膜编程)为例。图6的实施例则以EP-3DM(电编程)为例。该EP-3DM与3D-MPROM不同处在于:它不像3D-MPROM一样需要在不同存储元的位置处选择性地刻蚀3D-M膜,而是在每个存储元处形成3D-M膜36P。该3D-M膜36P可以含有二极管-反熔丝膜、或其它有源元件。有关EP-3DM的细节可参看中国专利ZL98119572.5、美国专利5,835,396、6,717,222等。对于熟悉本专业的人士来说,虽然本说明书的大部分实施例均以3D-MPROM为例,但其精神可以很容易地推广到别的3D-M中(如EP-3DM)。
图7A-图7C表示几种3D-M膜的实施例。图7A中的3D-M膜36含有一p膜36a和一n膜36b。在p膜36a和n膜36b之间还可含有一i膜。该i膜可以是轻微掺杂的。图7B中的3D-M膜36还含有一底缓冲膜36d和一顶缓冲膜36c。这些缓冲膜36c、36d含有导体材料,如TiW、W、Cu或强掺杂的半导体材料。它们可与p和n膜36a、36b分别同时形成。底缓冲膜36d可以防止低层导体30M上的缺陷对n膜36b产生不良影响;顶缓冲膜36c可在刻蚀第一层间介质33时保护p膜36a。图7C中的3D-M膜36P还含有一反熔丝膜36e。该3D-M膜36P可用于EP-3DM。对于熟悉本专业的人士,上述3D-M膜的实施例仅代表了极少部分可能的3D-M膜(参见中国专利ZL98119572.5、美国专利5,835,396、6,717,222等)。
图8表示第二种在3DM-SoC中使用的3D-M/互连线。与图4相似,该3D-M/互连线与dual damascene工艺匹配且额外工艺成本极低。其与图4的唯一差别是:高层导体40M2在eM区0EM通过一半通道孔38M与3D-M膜36接触(而不是直接与之接触)。这里,半通道孔38M只穿越了层间介质33的一部分(其深度小于全通道孔38),即从高层导体40M2到3D-M膜36的顶端。与之比较,全通道孔38完全穿越了层间介质33,即从高层导体40M2到低层导体30L。
图9A-图9C表示该第二种3D-M/互连线的一种生产工艺流程。与图5A-图5E类似,在eM区0EM形成多个3D-M柱36(图9A)。在该实施例中,每个3D-M元处均有一个3D-M柱36。接着,第一和第二层间介质33、35被淀积并平面化。与图5C不同的是,在该步骤时,eM区0EM内没有3D-M柱36被暴露。图9B-图9C类似图5D-图5E,即形成通道孔和沟槽并填充高层导体。3D-M中存储的数码信息通过半通道孔38M的存在与否表示。
图10表示第三种在3DM-SoC中使用的3D-M/互连线。该3D-M/互连线是个自对准柱形3D-M,其细节详见美国专利6,717,222。自对准柱形3D-M的3D-M膜36成矩形,其一边长等于低层导体30M的宽度;另一边长等于高层导体40M2的宽度。
图11A-图11D表示该第三种3D-M/互连线的一种生产工艺流程。它包含如下步骤:
1)依次淀积低层导体(30M、30L)和3D-M膜36。接着在eP区0EP除去3D-M膜36。之后,在eM区0EM连续刻蚀3D-M膜36和低层导体30M。接着淀积并平面化一介质膜133(图11A);
2)在eM区0EM刻蚀开口36o、在eP区0EP刻蚀开口38o(图11B)。在该实施例中,这些开口是nF开口。有关nF开口的细节参见序列号为10/230,648、10/230,610的美国专利申请;
3)形成低层导体140(图11C);
4)刻蚀低层导体140。该步骤将刻蚀穿3D-M膜36直到低层导体30M被暴露。
图12表示第四种在3DM-SoC中使用的3D-M/互连线。该3D-M/互连线是个自对准自然结3D-M,其细节详见美国专利6,717,222。3D-M膜36b自然形成在高层导体40M2和低层导体30M的交叉处。
图13A-图13D表示该第四种3D-M/互连线的一种生产工艺流程。它包含如下步骤:
1)依次淀积低层导体(30M、30L)和第一3D-M半膜36a。该3D-M半膜36a可能是图7A中3D-M膜36中的n膜。接着在eP区0EP除去该第一3D-M半膜36a。之后,在eM区0EM连续刻蚀该第一3D-M半膜36a和低层导体30M。接着淀积并平面化一介质膜133,并在eM区0EM形成nF开口36o(图13A);
2)形成第二3D-M半膜36b,并在eP区0EP除去该第二3D-M半膜36b(图13B);
3)在eP区0EP刻蚀nF开口38o,并淀积高层导体140(图13C);
4)刻蚀高层导体140。该步骤类似与图11D(图13D)。
图14A-图14CB表示一种混合型互连线层及其两种生产工艺流程。其中,图14A表示一种混合型互连线层ILx。所谓混合型互连线层ILx,即在同一互连线层的不同区域内使用不同导体。在不同区域内使用不同导体可以满足这些区域内不同器件(如常规互连线、3D-M元等)的不同需求。对于图14A中的实施例,eM区0EM内的eM导体30M含有TiSi2等适用于3D-M的导体材料;eP区0EP内的eP导体30L含有Cu等适用于常规互连线的导体材料。
图14BA-图14BB表示了该混合型互连线层ILx的一种生产工艺流程。首先形成eP导体30L及其覆盖介质32t。接着在其两边形成spacer膜32s(图14BA)。之后,淀积eM导体30M(图14BB)。在刻蚀eM导体30M后,形成所需的混合型互连线层ILx。
图14CA-图14CB表示了该混合型互连线层ILx的另一种生产工艺流程。该工艺流程与damascene工艺匹配。首先,在第一介质31内通过damascene形成eP导体30L。接着在整个硅片表面覆盖一层保护介质32u(图14CA)。之后,刻蚀穿保护介质32u并在第一介质31内形成沟槽32Mt(图14CB)。然后在沟槽32Mt内填充eM导体30M并平面化,形成混合型互连线层ILx。
图15表示一种具有半3D-M层和全3D-M层的3DM-SoC。在该实施例中,除了在eM区0EM的闲置空间中形成3D-M 3DMA,还形成了至少一个全3D-M层3DMB。这里,全3D-M层3DMB是指该3D-M层几乎能覆盖整个芯片,如至少一部分eP区0EP和至少一部分eM区0EM。该3D-M层3DMB也含有多个低层地址选择线50、高层地址选择线60和3D-M元56。由于全3D-M层的加入,3DM-SoC的功能变得更为强大。
图16是一种现有技术采用的小基本阵列3D-M的版图设计。该3D-M芯片00a采用小基本阵列,故含有多个(4×4=16个)基本阵列03A、03B...。虽然3D-M存储元本身不占用衬底面积,但其周边电路(如地址解码器、读出电路等)需要占用衬底。这些周边电路将衬底割裂开来,导致在衬底设计别的电路极大不便。相应地,系统集成较难于实现。
图17对本发明所定义的3D-M基本阵列作了详细描述。3D-M基本阵列03K的范围可通过如下方法得到:在3D-M存储阵列中任选一存储元(如1aa),并在x和y方向分别将与其相连的地址选择线(x方向为88a,y方向为86a)向两端延伸,直到它们遇到第一个占用衬底的3D-M周边电路(x方向为98a、98b,y方向为96a、96b)。这样,3D-M基本阵列03K在x方向的范围介于周边电路98a、98b之间,y方向的范围介于周边电路96a、96b之间。该3D-M基本阵列的定义保证其所覆盖的衬底可以不含任何3D-M电路,从而可以将其用作别的用途(如在该处设计与3D-M集成的eP、eM)。注意,图17的实施例中3D-M基本阵列在x方向的范围大于地址选择线88a的长度,在y方向的范围大于地址选择线86a的长度(当3D-M采取单端读出、单端驱动等设计时,这些情形是可能的,参见美国专利6,717,222等)。
当3D-M与eP、eM集成时,其3D-M基本阵列需要大到能覆盖至少一个具有独立功能的衬底电路块(即独立衬底电路块,如eP、eM或eM单位阵列)的程度。这样,这些独立衬底电路块不会因为与3D-M的集成而需改变版图设计。图18A-图18C是三种含有大3D-M基本阵列的3DM-SoC的版图设计。图18A中的3DM-SoC芯片00b含有一个3D-M基本阵列03X,它能完全覆盖与3D-M集成的eP区0EP和eM区0EM。图18B中的3DM-SoC芯片00c含有两个3D-M基本阵列03Y、03Z,它们能分别覆盖eP区0EP和eM区0EM。图18C中的3DM-SoC芯片00d的eM区含有三个eM单位阵列0EM1-0EM3,其3D-M含有四个3D-M基本阵列03Y、03Z1-03Z3。其中,3D-M基本阵列03Y能覆盖eP区0EP,3D-M基本阵列03Z1-03Z3能分别覆盖一个eM单位阵列0EM1-0EM3。
最后,我们将讨论3DM-SoC的应用。3DM-SoC中的3D-M可以用来存储各种多媒体资料,如音乐文件(如MP3文件)、影像文件(如MPEG文件)、GPS中的地图、电子词典中的文档/发音/图像等。它也可以用来存储被测试芯片的测试矢量。这些可能性是无限的。有关3DM-SoC的应用可参考美国专利6,717,222等。
虽然以上说明书具体描述了本发明的一些实例,熟悉本专业的技术人员应该了解,在不远离本发明的精神和范围的前提下,可以对本发明的形式和细节进行改动。因此,除了根据附加的权利要求书的精神,本发明不应受到任何限制。
Claims (10)
1.一种三维存储器系统芯片,其特征在于含有:
一基于衬底晶体管的嵌入式数据处理器(0EP)和一基于衬底晶体管的嵌入式存储器(0EM);
一半三维存储层(3DM),该半三维存储层堆叠于至少部分所述嵌入式存储器(0EM)上,且不堆叠于至少部分所述嵌入式数据处理器(0EP)上。
2.根据权利要求1所述的系统芯片,其特征还在于:所述半三维存储层含有电编程三维存储器(EP-3DM)(36P)和/或非电编程三维存储器(NEP-3DM)(36)。
3.根据权利要求1所述的系统芯片,其特征还在于:
至少一部分所述嵌入式存储器(0EM)使用的互连线(1EM)的层数小于所述嵌入式数据处理器(0EP);
该半三维存储层(3DM)堆叠于该部分嵌入式存储器(0EM)上。
4.根据权利要求1所述的系统芯片,其特征还在于:
所述嵌入式数据处理器(0EP)含有第一和第二导体(30p、40p);
所述半三维存储层(3DM)含有第一和第二地址选择线(30m、40m);
所述第一导体(30p)和第一地址选择线(30m)处于同一互连线层(IL3),所述第二导体(40p)和第二地址选择线(40m)处于另一互连线层(IL4)。
5.根据权利要求1所述的系统芯片,其特征在于还含有:一全三维存储层(3DMB),该全三维存储层堆叠于至少部分所述嵌入式存储器(0EM)和至少部分所述嵌入式数据处理器(0EP)上。
6.一种集成电路,其特征在于含有:
第一互连线层(IL3)和高于并紧邻于第一互连线层的第二互连线层(IL4);
在该第一和第二互连线层之间具有至少两种连接方式:
1)至少一通道孔(38),该通道孔对所述第一和第二互连线层提供双向电连接;
2)至少一3D-M膜(36),该3D-M膜为所述第一和第二互连线层提供单向电连接。
7.根据权利要求6所述的集成电路,其特征还在于:所述第一或第二互连线层中至少有一层为混合型互连线层(ILx),该混合型互连线层含有第一和第二导线(30L、30M),所述第一和第二导线含有不同导体材料。
8.根据权利要求7所述的集成电路,其特征还在于:所述第一导线(30L)与一通道孔(38)相接触;所述第二导线(30M)与一3D-M膜(36)接触。
9.一种三维存储器系统芯片,其特征在于含有:
至少一三维存储器基本阵列(03X、03Y);
一基于衬底晶体管的嵌入式数据处理器(0EP);
该三维存储器基本阵列(03X、03Y)在衬底的投影能覆盖该嵌入式数据处理器(0EP)。
10.一种三维存储器系统芯片,其特征在于含有:
至少一三维存储器基本阵列(03X、03Z);
一基于衬底晶体管的嵌入式存储器(0EM),该嵌入式存储器含有至少一单位阵列(0EM1-0EM3);
该三维存储器基本阵列(03X、03Z)在衬底的投影能覆盖至少一个所述单位阵列(0EM1-0EM3)。
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