CN1751974A - 六连杆定位机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种六连杆定位机构，包括一固定件、一平行四连杆机构、以及一驱动模块；固定件固设于洁净容器上罩盖的内壁上，且包括有一垂直滑槽；平行四连杆机构包括彼此依序枢接的一第一连杆、一第二连杆、一第三连杆、及一第四连杆，且第四连杆固设于固定件上，同时，第一连杆与第三连杆彼此平行且长度相等，第二连杆与第四连杆亦彼此平行且长度相等；驱动模块包括一驱动滑块、以及一驱动连杆，驱动滑块滑设于固定件的垂直滑槽内，且驱动连杆的一端枢接于驱动滑块上、另一端则枢接在平行四连杆机构的第一、第二、与第三连杆其中之一上。本发明可使整体机构的自由度为1，避免产生摩擦而造成污染，减少晃动而提高六连杆定位机构移动的顺畅性。

Description

六连杆定位机构

技术领域

本发明关于一种六连杆定位机构，尤指一种适用于洁净容器内的六连杆定位机构，特别适用于可将洁净容器内的多个水平置放的工件整齐排列并固定位置以防止其滑动的六连杆定位机构。

背景技术

目前半导体厂所生产的晶片往往是容纳并水平排列于一晶舟内，此晶舟具有多个支撑凸缘而可用以插置多个晶片，且具有晶片的晶舟可再组设于一晶片盒的底座上，之后再经由晶片盒的上罩盖加以罩合以保护各个晶片不会受到污染。

此外，传统具有晶片的晶舟皆仅是单纯容置于晶片盒内，而由于晶片盒盒内具有比晶舟较大的空间，因此，晶舟上所插置的晶片有可能于晶片盒的搬动过程中而产生滑移。因此，目前于晶片盒盒内皆会组设有一固持组件，此固持组件可先经由一滑块顶抵于晶片盒的底座，之后带动一固持件向前移动而顶推晶舟内的晶片。

另外，于机构学的原理中，所谓自由度即是指机械组件不受约束而能自由运动的程度，若自由度为1时，即表示为约束运动机构，亦即机构受到应有的外力作用时，其所有机件会产生一定方向的确切运动。但若自由度为2、或以上时，即表示为不约束运动机构，亦即机构受到应有的外力作用时，其机件会产生有两方向且可任意运动的不确切性，如此便无法正确掌握机构的运动路径，进而无法判断机构运动的安全性。

于平面机构的连杆组中，其自由度判定计算方式可使用Gruebler判别式，即F＝3(N-1)-2P₁，其中，F为连杆组的自由度，N为连杆总数，P₁为低副的运动副总数，如旋转副、滑动副。

因此，请同时参阅图1是公知晶片盒的立体分解图、图2是公知晶片盒的立体组合图，其显示上述传统的晶片的固持方式，其中显示有一晶片盒9，且此晶片盒9包括有一上罩盖91、以及一底座92，其中的上罩盖91并盖设于底座92上，同时，于上罩盖91内则组设有一公知的固持组件93，其可用以顶推底座92上所承置的晶舟94、其内所插置的晶片941。

请参阅图3公知固持组件的机构的示意图，其由基座杆95(其于本实施例中，即为固定于上罩盖91内壁上的固定件)、上连杆96、前连杆97(于本实施例中，即为用以顶推晶片941的固持件)、下连杆98、以及滑杆99所组合的五连杆曲柄滑块机构，且其共有四个旋转副951，961，971，981、以及一个滑动副991，由上述的Gruebler判别式，F＝3(5-1)-2×5＝2，亦即此机构有2个自由度，为不约束运动机构。

请同时参阅图1、图2、图4是公知的运动示意图之一、图5是公知的运动示意图之二、及图6公知的运动示意图之三，当固持组件93开始运动后，前连杆97因为自由度的关系而会呈现略为倾斜的状态，并因此由下方倾斜朝上而顶推晶片941，此如图5所示，故晶片941即会产生受力不均的现象，相对造成晶片941与前连杆97之间产生摩擦，并因此产生颗粒粉尘的污染，进而影响晶片941的洁净度。

请参阅图7是公知的另一运动方式的示意图，由于前连杆97具有2个自由度而为不约束运动机构，故前连杆97亦有可能产生由上方倾斜、并朝下推抵晶片941的状况，而其所产生的问题即会如同上面所述，并非十分理想。

发明内容

本发明的目的在于提供一种六连杆定位机构，其能够用于可将洁净容器内的多个水平置放的工件整齐排列并固定位置以防止其滑动。

为了达到上述目的，本发明提供了一种六连杆定位机构，该六连杆定位机构组设于一洁净容器内，且此洁净容器包括有一底座、以及一上罩盖，其中的上罩盖盖设于底座上，且于底座上方组设有一卡匣，而卡匣包括有多个横向插槽并横向插置有多个工件。

本发明的六连杆定位机构包括有一固定件、一平行四连杆机构、以及一驱动模块。其中，固定件固设于洁净容器上罩盖的内壁上，且固定件包括有一垂直滑槽，而平行四连杆机构则包括有彼此依序枢接的一第一连杆、一第二连杆、一第三连杆、以及一第四连杆，并且第四连杆固设于固定件上，同时，第一连杆与第三连杆彼此平行且长度相等，第二连杆与第四连杆亦彼此平行且长度相等。

另外，驱动模块则包括有一驱动滑块、以及一驱动连杆，其中，驱动滑块滑设于固定件的垂直滑槽内，且驱动连杆的一端枢接于驱动滑块上、另一端则枢接在平行四连杆机构的第一、第二、与第三连杆其中之一上。

当于运动时，洁净容器的上罩盖由上往下罩合于底座上，此时，驱动滑块的底端会先顶抵于底座上，继而使驱动滑块相对于固定件的垂直滑槽向上滑移，促使平行四连杆机构受到驱动连杆的驱动而向上移动，进而驱动第二连杆作横向平移并顶推卡匣内的每一工件一并作横向移动。

由上述可知，经由固定件、平行四连杆机构、以及驱动模块的设计，可形成六连杆定位机构，其共有平行四连杆机构、驱动连杆、与驱动滑块等六个连杆件，且有六个旋转副与一个滑动副，由Gruebler的判别式，即F＝3(6-1)-2*7＝1，故可使整体机构的自由度为1，亦即可使平行四连杆机构的第二连杆作横向平移运动，并因此顶推卡匣内的每一工件一并作横向移动，如此可以点接触的方式，横向平移并顶推卡匣内的工件而使其作横向移动，以避免产生摩擦而造成污染，同时，经由上述机构，可减少晃动而提高六连杆定位机构移动的顺畅性。

上述的第二连杆可包括有一延伸部，且驱动连杆的另一端可枢接于此延伸部上，或是，驱动连杆的另一端可枢接于第三连杆上。

此外，上述的第二连杆可为一固持件(retainer)，且此固持件的前缘形成有一止推面并对应顶推卡匣内的每一工件作横向滑移。前述的固持件可略呈U字型断面，且于其两侧前缘可分别形成所谓的止推面。

另外，上述的第四连杆可指固定件的其中一段、并固设于固定件上。又固定件的上部两端可分别形成有一锁固孔，且此二锁固孔可分别经由一螺丝以将固定件锁固于洁净容器上罩盖的内壁上。

本发明的六连杆定位机构的另一形式组设于一洁净容器内，此洁净容器包括有一底座、以及一上罩盖，其中的上罩盖盖设于底座上，且于底座上方组设有一卡匣，而卡匣则包括有多个横向插槽并横向插置有多个工件。

上述的六连杆定位机构包括有一固定件、一平行四连杆机构、以及一支撑连杆。其中，固定件固设于洁净容器上罩盖的内壁上，且固定件包括有一垂直滑槽，而平行四连杆机构则包括有彼此依序枢接的一第一连杆、一第二连杆、一第三连杆、以及一第四连杆，并且第四连杆滑设于固定件的垂直滑槽内，同时，第一连杆与第三连杆彼此平行且长度相等，第二连杆与第四连杆亦彼此平行且长度相等。

此外，支撑连杆的一端枢接于固定件上、另一端则枢接在平行四连杆机构的第一、第二、与第三连杆其中之一上。

当于运动时，洁净容器上罩盖由上往下罩合于底座上，此时，第四连杆的底端会先顶抵于底座上，继而使第四连杆相对于固定件的垂直滑槽向上滑移，促使平行四连杆机构向上移动并受到支撑连杆的约束，进而驱动第二连杆作横向平移并顶推卡匣内的每一工件一并作横向移动。

由上述可知，本发明的另一形式亦可使整体机构的自由度为1而为一约束机构设计，而使平行四连杆机构的第二连杆作横向平移运动，并因此顶推卡匣内的每一工件一并作横向移动，如此同样可以点接触的方式，横向平移并顶推卡匣内的工件而使其作横向移动，以避免产生摩擦而造成污染，同时，经由上述约束机构设计，亦可减少晃动而提高六连杆定位机构移动的顺畅性。

上述的第二连杆可包括有一延伸部，且支撑连杆的另一端枢接于此延伸部上，或是，支撑连杆的另一端可枢接于第一连杆上。

此外，第二连杆可为一固持件，且此固持件的前缘形成有一止推面并对应顶推卡匣内的每一工件作横向滑移。前述的固持件可略呈U字型断面，且于其两侧前缘分别形成止推面。

另外，上述的第四连杆可为一驱动滑块，其可滑设于固定件的垂直滑槽内。又固定件的上部两端可分别形成有一锁固孔，且此二锁固孔可分别经由一螺丝以将固定件锁固于洁净容器上罩盖的内壁上。

经由前述约束机构设计，可使整体机构的自由度为1，可以点接触的方式而横向平移并顶推卡匣内的工件而使其作横向移动，以避免产生摩擦而造成污染，同时，利用所谓的约束机构设计，可减少晃动而提高六连杆定位机构移动的顺畅性。

附图说明

图1是公知晶片盒的立体分解图。

图2是公知晶片盒的立体组合图。

图3是公知固持组件的机构的示意图。

图4是公知的运动示意图之一。

图5是公知的运动示意图之二。

图6是公知的运动示意图之三。

图7是公知的另一运动方式的示意图。

图8是本发明第一较佳实施例的立体分解图。

图9是本发明第一较佳实施例的机构的示意图。

图10是本发明第一较佳实施例的运动示意图之一。

图11是本发明第一较佳实施例的运动示意图之二。

图12是本发明第一较佳实施例的运动示意图之三。

图13是本发明第二较佳实施例的立体分解图。

图14是本发明第二较佳实施例的机构的示意图。

图15是本发明第二较佳实施例的运动示意图之一。

图16是本发明第二较佳实施例的运动示意图之二。

图17是本发明第二较佳实施例的运动示意图之三。

图18是本发明第三较佳实施例的立体分解图。

图19是本发明第三较佳实施例的机构的示意图。

图20是本发明第三较佳实施例的运动示意图之一。

图21是本发明第三较佳实施例的运动示意图之二。

图22是本发明第三较佳实施例的运动示意图之三。

图23是本发明第四较佳实施例的立体分解图。

图24是本发明第四较佳实施例的机构的示意图。

图25是本发明第四较佳实施例的运动示意图之一。

图26是本发明第四较佳实施例的运动示意图之二。

图27是本发明第四较佳实施例的运动示意图之三。

图28是本发明第五较佳实施例的立体分解图。

图29是本发明第五较佳实施例的机构的示意图。

图30是本发明第五较佳实施例的运动示意图之一。

图31是本发明第五较佳实施例的运动示意图之二。

图32是本发明第五较佳实施例的运动示意图之三。

图33是本发明第六较佳实施例的立体分解图。

图34是本发明第六较佳实施例的机构的示意图。

图35是本发明第六较佳实施例的运动示意图之一。

图36是本发明第六较佳实施例的运动示意图之二。

图37是本发明第六较佳实施例的运动示意图之三。

其中，附图标记说明如下：

1-洁净容器；11-上罩盖；111-内壁；12-底座；13-卡匣；

130-横向插槽；131-工件；14-固定件；141-垂直滑槽；

142-锁固孔；143-螺丝；2-平行四连杆机构；21-第一连杆；

22-第二连杆；221-延伸部；222-固持件；223-止推面；

23-第三连杆；24-第四连杆；25-驱动模块；251-驱动滑块；

252-驱动连杆；253-底端；258-一端；259-另一端；31-卡匣；

311-工件；33-第三连杆；352-驱动连杆；359-另一端；

4-平行四连杆机构；41-第一连杆；42-第二连杆；421-延伸部；

422-固持件；423-止推面；43-第三连杆；44-第四连杆；

441-底端；442-驱动滑块；45-支撑连杆；458-一端；

459-另一端；5-洁净容器；51-上罩盖；511-内壁；52-底座；

53-卡匣；530-横向插槽；531-工件；55-固定件；

551-垂直滑槽；552-锁固孔；553-螺丝；61-第一连杆；

63-卡匣；631-工件；65-支撑连杆；659-另一端；

71-第一连杆；72-第二连杆；73-第三连杆；74-第四连杆；

741-枢接点；742-枢接点；743-枢接点；75-第五连杆；

7-第六连杆；77-卡匣；771-工件；81-第一连杆；

82-第二连杆；83-第三连杆；84-第四连杆；85-第五连杆；

86-第六连杆；87-卡匣；871-工件；9-晶片盒；91-罩盖；

92-底座；93-固持组件；94-晶舟；941-晶片；95-基座杆；

951-旋转副；96-上连杆；961-旋转副；97-前连杆；971-旋转副；

98-下连杆；981-旋转副；99-滑杆；991-滑动副。

具体实施方式

请同时参阅图8是本发明第一较佳实施例的立体分解图、图9是本发明第一较佳实施例的机构的示意图、图10是本发明第一较佳实施例的运动示意图之一、图11是本发明第一较佳实施例的运动示意图之二、及图12是本发明第一较佳实施例的运动示意图之三，其中显示有一洁净容器1，而本发明的六连杆定位机构则组设于此洁净容器1内，且此洁净容器1包括有一底座12、以及一上罩盖11，其中的上罩盖11并盖设于底座12上，同时，于底座12上方组设有一卡匣13，于本实施例中，卡匣13卡设于底座12上方，此卡匣13包括有多个横向插槽130并横向插置有多个工件131，且于本实施例中，此多个工件131为多个晶片。

此外，上述的六连杆定位机构包括有一固定件14、一平行四连杆机构2、以及一驱动模块25，其中，固定件14固设于洁净容器1上罩盖11的内壁111上，且此固定件14包括有一垂直滑槽141。于本实施例中，于固定件14的上部两端分别形成有一锁固孔142，而此二锁固孔142则分别经由一螺丝143以将固定件14锁固于上罩盖11的内壁111上。

另外，平行四连杆机构2则包括有彼此依序枢接的一第一连杆21、一第二连杆22、一第三连杆23、以及一第四连杆24，其中，第四连杆24固设于固定件14上，于本实施例中，第四连杆24指固定件14的其中一段，并因此固设于固定件14上。请注意，于前所述的平行四连杆机构2中，第一连杆21与第三连杆23彼此平行且长度相等，第二连杆22与第四连杆24亦彼此平行且长度相等。

于本实施例中，上述第二连杆22指一固持件222，且此固持件222略呈U字型断面，并于其两侧前缘形成有一止推面223。

又驱动模块25包括有一驱动滑块251、以及一驱动连杆252，其中，驱动滑块251滑设于固定件14的垂直滑槽141内，且驱动连杆252的一端258枢接于驱动滑块251上、另一端259则枢接在平行四连杆机构2的第二连杆22上，于本实施例中，第二连杆22包括有一延伸部221，且驱动连杆252的另一端259枢接于此延伸部221上。

经计算后，上述机构其自由度为1而为一种约束机构设计，而由图8至图12可知，于运动时，洁净容器1上罩盖11由上往下罩合于底座12上，此时，驱动滑块251的底端253会先顶抵于底座12上，继而使驱动滑块251相对于垂直滑槽141向上滑移，并同时带动驱动连杆252上移，促使平行四连杆机构2受到驱动连杆252的驱动而向上移动，请注意，因平行四连杆机构2的两对平行连杆交互作用，故能驱动第二连杆22、即固持件222作横向平移，并因此以其止推面223对应顶推卡匣13内的多个工件131一并作横向移动，亦即可使晶片受横向移动的顶推而定位。

由上述可知，经由固定件14、平行四连杆机构2、以及驱动模块25的设计，可使整体机构的自由度为1，亦即可使平行四连杆机构2的第二连杆22作横向平移运动，并因此顶推卡匣13内的每一工件131一并作横向移动，如此即可以点接触的方式，横向平移并顶推卡匣13内的工件131而使其作横向移动，以避免第二连杆22与工件131之间产生摩擦而造成污染，同时，经由上述约束机构设计，亦可减少晃动而提高六连杆定位机构移动的顺畅性。

请同时参阅图13是本发明第二较佳实施例的立体分解图、图14是本发明第二较佳实施例的机构的示意图、图15是本发明第二较佳实施例的运动示意图之一、图16是本发明第二较佳实施例的运动示意图之二、及图17是本发明第二较佳实施例的运动示意图之三，其主要结构皆与上述第一较佳实施例相同，唯差别在于驱动连杆352的另一端359直接枢接于第三连杆33上，而经由此种约束机构设计，仍可使整体机构的自由度为1，并因此可以点接触的方式横向平移顶推卡匣31内的工件311而使其作横向移动，以避免产生摩擦而造成污染，同时，亦可减少晃动而提高六连杆定位机构移动的顺畅性。

请同时参阅图18是本发明第三较佳实施例的立体分解图、图19是本发明第三较佳实施例的机构的示意图、图20是本发明第三较佳实施例的运动示意图之一、图21是本发明第三较佳实施例的运动示意图之二、及图22是本发明第三较佳实施例的运动示意图之三，其显示本发明六连杆定位机构的另一种形式，其仍组设于一洁净容器5内，同样的，此洁净容器5包括有一底座52、以及一盖设于底座52上的上罩盖51，同时，于底座52上方则组设有一卡匣53，此卡匣53则包括有多个横向插槽530并横向插置有多个工件531，于本实施例中，此多个工件531同样为多个晶片。

于本实施例中，六连杆定位机构包括有一固定件55、一平行四连杆机构4、以及一支撑连杆45，其中，固定件55同样固设于洁净容器5上罩盖51的内壁511上，且此固定件55包括有一垂直滑槽551。于本实施例中，固定件15的上部两端分别形成有一锁固孔552，且此二锁固孔552分别经由一螺丝553而将固定件55锁固于上罩盖51的内壁511上。

此外，平行四连杆机构4包括有彼此依序枢接的一第一连杆41、一第二连杆42、一第三连杆43、以及一第四连杆44，其中，第四连杆44为一驱动滑块442，其滑设于固定件55的垂直滑槽551内，请注意，第一连杆41与第三连杆43彼此平行且长度相等，第二连杆42与第四连杆44亦彼此平行且长度相等。

上述的第二连杆42为一固持件422，且其略呈U字型断面，并且于其两侧前缘分别形成有一止推面423。

另外，支撑连杆45的一端458枢接于固定件55上、另一端459则枢接在平行四连杆机构4的第二连杆42上。于本实施例中，第二连杆42并包括有一延伸部421，且支撑连杆45的另一端459枢接于此延伸部421上。

经计算后，上述机构其自由度为1而为一种约束机构设计，而由图18至图22可知，于运动时，洁净容器5上罩盖51由上往下罩合于底座52上，此时，第四连杆44、即驱动滑块442的底端441会先顶抵于底座52上，继而使第四连杆44相对于垂直滑槽551向上滑移，促使平行四连杆机构4向上移动并受到支撑连杆45的约束，同时因平行四连杆机构4的两对平行连杆的交互作用，故能进而驱动第二连杆42、即固持件422作横向平移并以其止推面423顶推卡匣53内的多个工件531一并作横向移动。

经由上述约束机构设计，同样可使整体机构的自由度为1，而可以点接触的方式横向平移并顶推卡匣53内的工件531而使其作横向移动，以避免产生摩擦而造成污染，同时，经由上述约束机构设计，亦可减少晃动而提高六连杆定位机构移动的顺畅性。

请同时参阅图23是本发明第四较佳实施例的立体分解图、图24是本发明第四较佳实施例的机构的示意图、图25是本发明第四较佳实施例的运动示意图之一、图26是本发明第四较佳实施例的运动示意图之二、及图27是本发明第四较佳实施例的运动示意图之三，其主要结构皆与上述第三较佳实施例相同，唯差别在于支撑连杆65的另一端659直接枢接于第一连杆61上，而经由此种约束机构设计，仍可使整体机构的自由度为1，并因此可以点接触的方式横向平移顶推卡匣63内的工件631而使其作横向移动，以避免产生摩擦而造成污染，同时，亦可减少晃动而提高六连杆定位机构移动的顺畅性。

请同时参阅图28是本发明第五较佳实施例的立体分解图、图29是本发明第五较佳实施例的机构的示意图、图30是本发明第五较佳实施例的运动示意图之一、图31是本发明第五较佳实施例的运动示意图之二、及图32是本发明第五较佳实施例的运动示意图之三，其仍是本发明的六连杆定位机构的另外一种变化，其包括有第一连杆71、第二连杆72、第三连杆73、第四连杆74、第五连杆75、与第六连杆76，其中，第六连杆76滑设于第一连杆71上，第四连杆74包括有三个枢接点741，742，743分别枢接于第三、第五、与第六连杆73，75，76上，第五连杆75则是枢接于第二连杆72与第四连杆74之间。

同样的，第六连杆76(驱动滑块)受顶推之后，其会带动第三连杆73(固持件)以点接触的方式横向平移顶推卡匣77内的工件771而使其作横向移动，亦即此种约束机构设计方式，仍可使整体机构的自由度为1，并且可因此避免产生摩擦而造成污染，同时，亦可减少晃动而提高六连杆定位机构移动的顺畅性，亦即可达成上述各实施例所述的各种功效。

请同时参阅图33是本发明第六较佳实施例的立体分解图、图34是本发明第六较佳实施例的机构的示意图、图35是本发明第六较佳实施例的运动示意图之一、图36是本发明第六较佳实施例的运动示意图之二、及图37是本发明第六较佳实施例的运动示意图之三，其仍是本发明的六连杆定位机构的另外一种变化，且其同样包括有第一连杆81、第二连杆82、第三连杆83、第四连杆84、第五连杆85、与第六连杆86，其中，第六连杆86滑设于第一连杆81上，且第六连杆86下端枢接在第四连杆84上，第六连杆86上端则经由第五连杆85而与第二连杆82彼此枢接。

同样的，利用上述机构，亦可使整体机构的自由度为1，而使其成为一种约束机构设计，亦即当第六连杆86(驱动滑块)受顶推之后，其会带动第三连杆83(固持件)以点接触的方式横向平移顶推卡匣87内的工件871而使其作横向移动，并可因此避免产生摩擦而造成污染，同时，亦可减少晃动而提高六连杆定位机构移动的顺畅性，亦即亦可达成上述各实施例所述的各种功效。

上述实施例仅为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利范围自应以权利要求书所述为准，而非仅限于上述实施例。

Claims (14)

1.一种六连杆定位机构，组设于一洁净容器内，该洁净容器包括有一底座、及一上罩盖，该上罩盖盖设于该底座上，且该底座上方组设有一卡匣，该卡匣包括有多个横向插槽并横向插置有多个工件；其中，该六连杆定位机构包括：

一固定件，固设于该上罩盖的内壁上，且该固定件包括有一垂直滑槽；

一平行四连杆机构，包括有彼此依序枢接的一第一连杆、一第二连杆、一第三连杆、及一第四连杆，其中，该第四连杆固设于该固定件上，该第一连杆与该第三连杆彼此平行且长度相等，该第二连杆与该第四连杆亦彼此平行且长度相等；以及

一驱动模块，包括有一驱动滑块、及一驱动连杆，其中，该驱动滑块滑设于该固定件的垂直滑槽内，且该驱动连杆的一端枢接于该驱动滑块上、另一端则枢接在该平行四连杆机构的第一、第二、与第三连杆其中之一上；

其中，该上罩盖由上往下罩合于该底座时，该驱动滑块的底端先顶抵于该底座上，继而使该驱动滑块相对于该垂直滑槽向上滑移，促使该平行四连杆机构受到该驱动连杆的驱动而向上移动，进而驱动该第二连杆作横向平移并顶推该卡匣内的所述工件一并作横向移动。

2.如权利要求1所述的六连杆定位机构，其特征是，该第二连杆并包括有一延伸部，且该驱动连杆的该另一端枢接于该延伸部上。

3.如权利要求1所述的六连杆定位机构，其特征是，该驱动连杆的该另一端枢接于该第三连杆上。

4.如权利要求1所述的六连杆定位机构，其特征是，该第二连杆为一固持件，且该固持件的前缘形成有一止推面并对应顶推该卡匣内的所述工件作横向滑移。

5.如权利要求4所述的六连杆定位机构，其特征是，该固持件略呈U字型断面且于两侧前缘分别形成该止推面。

6.如权利要求1所述的六连杆定位机构，其特征是，该第四连杆指该固定件的其中一段并固设于该固定件上。

7.如权利要求1所述的六连杆定位机构，其特征是，该固定件的上部两端分别形成有一锁固孔，且该二锁固孔分别经由一螺丝以将该固定件锁固于该上罩盖的内壁上。

8.一种六连杆定位机构，组设于一洁净容器内，该洁净容器包括有一底座、及一上罩盖，该上罩盖盖设于该底座上，且该底座上方组设有一卡匣，该卡匣包括有多个横向插槽并横向插置有多个工件；其中，该六连杆定位机构包括：

一固定件，固设于该上罩盖的内壁上，且该固定件包括有一垂直滑槽；

一平行四连杆机构，包括有彼此依序枢接的一第一连杆、一第二连杆、一第三连杆、及一第四连杆，其中，该第四连杆滑设于该固定件的垂直滑槽内，该第一连杆与该第三连杆彼此平行且长度相等，该第二连杆与该第四连杆亦彼此平行且长度相等；以及

一支撑连杆，该支撑连杆的一端枢接于该固定件上、另一端则枢接在该平行四连杆机构的第一、第二、与第三连杆其中之一上；

其中，该上罩盖由上往下罩合于该底座时，该第四连杆的底端先顶抵于该底座上，继而使该第四连杆相对于该垂直滑槽向上滑移，促使该平行四连杆机构向上移动并受到该支撑连杆的约束，进而驱动该第二连杆作横向平移并顶推该卡匣内的所述工件一并作横向移动。

9.如权利要求8所述的六连杆定位机构，其特征是，该第二连杆并包括有一延伸部，且该支撑连杆的该另一端枢接于该延伸部上。

10.如权利要求8所述的六连杆定位机构，其特征是，该支撑连杆的该另一端枢接于该第一连杆上。

11.如权利要求8所述的六连杆定位机构，其特征是，该第二连杆为一固持件，且该固持件的前缘形成有一止推面并对应顶推该卡匣内的所述工件作横向滑移。

12.如权利要求11所述的六连杆定位机构，其特征是，该固持件略呈U字型断面且于两侧前缘分别形成该止推面。

13.如权利要求8所述的六连杆定位机构，其特征是，该第四连杆为一驱动滑块并滑设于该固定件的垂直滑槽内。

14.如权利要求8所述的六连杆定位机构，其特征是，该固定件的上部两端分别形成有一锁固孔，且该二锁固孔分别经由一螺丝以将该固定件锁固于该上罩盖的内壁上。

Images