CN1717326A - 液体喷出头和液体喷出装置 - Google Patents

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Abstract

在一个液体喷出装置中，发热元件(发热部分)由一个单个的未被分为多件的基础衬底制成，能够控制液体的喷出方向。液体喷出头具有热能产生元件(22)用于产生使液体喷出的热能。热能产生元件(22)由一个单个的未被分为多件的基础衬底制成，在平面图上大致为弯绕形。在大致弯绕形的回转部位，连接有导体(电极)(36)。这一设置将热能产生元件(22)分为主要部分(22a，22b)，回转部位在其中间，并且主要部分产生导致液体被喷出的热能。在每个热能产生元件(22)上是一个用于喷出液体的喷嘴。

Description

液体喷出头和液体喷出装置
技术领域
本发明涉及一种利用热能喷出液体的液体喷出头，该喷出头用于如喷墨打印机这样的液体喷出装置上，也用于设置有液体喷出头的液体喷出装置。
背景技术
常规的液体喷出装置如喷墨打印机中有热类型的，即被设计为利用加热元件迅速加热液体而产生的气泡的压力来喷出液体。
加热元件可能呈现不同的形式。它可能是一个单个的实体，或者置于一个液室内的两个或更多部件的组合。(见专利文件1(日本专利公开申请第Hei 8-118641号)。)
常规的加热元件可能呈矩形，如图13A到图13C的平面视图所示。图13A所示的加热元件由呈近似方形平面的单个部件1组成。图13B所示的加热元件由两个在近似方形区域内分开的部件1A和1B组成。图13C所示的加热元件由三个在近似方形区域内分开的部件1C、1D和1E组成。
图13A所示的加热元件具有电极2附接于它的两端，所以电流可以通过电极2施加到加热元件上。(电极在图中用①和②指示。)
图13B所示的加热元件具有电极2A和2B附接于其上，如下所述。电极2A(①和③)附接于每个部件1A和1B的一端上，电极2B(②)附接于部件1A和1B的另一端上，这样该电极2B将部件1A和1B连接在一起。
此外，图13C所示的加热元件具有电极2C、2D和2E附接于其上，如下所述。电极2C(①和④)附接于每个部件1C和1E的一端上，电极2D(②)附接于部件1C和1D的端部上，这样电极2D将部件1C和1D连接起来。电极2E(③)附接于部件1D和1E的端部上，这样电极2E将部件1D和1E连接起来。
图13B和13C显示构造由两个或三个部件(1A到1D)组成的加热元件，使得这些部件串连起来。例如，在图13B所示的加热元件中，横跨两个电极2A而施加的电流流过电极2B，从而同时加热两个部件1A和1B。
然而，常规的单个部件组成的加热元件(如图13A所示)受困于电阻低的问题，如下所述。如图13A到13C所示，在三种加热元件各自形成于同一方形区域内的情况下，由单个部件组成的第一个加热元件(图13A)的电阻小于两个部件组成的第二个加热元件(图13B)的四分之一，并且小于由三个部件组成的第三个加热元件(图13C)的九分之一。这意味着，单个部件组成的加热元件更需要与其低电阻相称的低压电流，因此易受功率损耗和电压降的困扰。因而，这种类型的加热元件不适合于并置有多个喷嘴的装置。
注意到图13A到13C所示的加热元件在加电压时不是从整个表面产生热量。对液体喷出有贡献的区域被限定在虚线所示的范围内。结果是由两个分离部件组成的发热元件，如图13B所示，具有一个不存在发热元件的区域(在1A和1B之间的狭缝)。这意味着加热元件的中间部分保持在低温下。
另一方面，并置于衬底上的加热元件受困于一个劣势，就是制造工艺上难于使得它们加热性能均匀。换句话说，它们的性能各不相同。此外，加热元件分为越多的部件，不发热的区域也就越多。为对此补偿，必须提高加热元件的每个单元区域的温度。这结果造成加热元件的迅速劣化。
前面指出除了需要特殊的电源外，方形单件加热元件优于多件加热元件。实践中希望喷出液体均匀。
本申请先前曾提出一种通过将多个加热元件置于一个墨室中来控制喷射方向的方法。(见日本专利公开申请第2002-112947和2002-161928号。)然而，这种方法用于形成类似方形外形的单件加热元件时不易于达到它的目的。
发明内容
本发明人解决前述问题的方法是使用多个加热元件(单件类型的加热元件)，它们形成于单个衬底上以便于控制喷射方向。通过如下所述的方法实现本发明解决问题的目标。
本发明的第一个实施例涉及一种液体喷头，该喷头具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，其中热能产生元件由整体式衬底构成，呈弯折图案(平面图中)，并且在弯折图案的回转部位上连接有导体，每个元件其上具有喷嘴，液体由此喷出。
根据本发明，热能产生元件被形成于弯折图案的回转部位的导体分为多段。换句话说，衬底的这些部分彼此相邻，回转部位位于其间，实际上起到了产生热能以喷出液体的发热部件的作用。由于这一结构，加热元件类似发热部件通过导体串连的效果。
本发明的另一个实施例涉及一种液体喷出装置，该装置具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，其中热能产生元件由整体式衬底构成，呈弯折图案(平面图中)，并且在弯折图案的回转部位有导体连接于其上，这样产生热能以喷出液体的主要部分被弯折图案的回转部位分成至少两个部分，并且每个元件有喷嘴在其上，液体由喷嘴喷出，液体喷出装置还有一主要控制装置，使得热能产生元件产生热能，从而把热能喷出元件上的液体通过喷嘴喷出，和一辅助控制装置，使得至少两个主要部分以不同热能特性产生热能，并改变给予热能产生元件上液体的热能分配，从而控制从喷嘴喷出的液体的喷出方向。
根据本发明，热能产生元件被形成于弯折图案的回转部位的导体分为至少两个产生热能以喷出液体的主要部分。换句话说，那些彼此相邻的部分，以及之间的回转部位，实际上起到了产生热能以喷出液体的发热部件的作用。由于这一结构，加热元件类似主要部分通过导体串连的效果。
主要控制装置控制液体喷出，辅助控制装置使得由主要部分产生的热能的热能特性不同。这样，具有可能改变发热元件上的热能分布并控制从喷嘴喷出的液体的喷出方向。
附图说明
图1是示出喷头的层结构的剖面图。
图2A到2G是示出该喷头的每一制造步骤的层结构的剖面图。
图3是加热元件的平面视图。
图4A和4B是代表加热元件的电阻网络。图4A示出整个结构，图4B示出供分析的等效电路。
图5A和5B是示出发热值分布的图表。这些图表从间距D1为2.5μm的样品中获得。
图6A和6B是示出发热值分布的图表。这些图表从间距D1为1.5μm的样品中获得。
图7是示出改变间距D1和D2(如图6A和6B所示)时，所施加的电功率(W)和墨水喷出速率(m/s)之间关系的曲线图。
图8是一组光学显微照片，示出D1从0.8μm变到3.0μm时加热元件的发热。
图9是示出间距D1从0.8μm变到2.6μm时，所施加的电功率(W)和墨水喷出速率(m/s)之间关系的曲线图。
图10是示出了间距D1和起始喷出的电功率之间关系的曲线图。
图11是示出主要和辅助控制装置的示意图。
图12是示出加热元件的另一个实施例的平面视图。
图13A到13C是示出现有技术的加热元件的平面视图，分别是单件、双件和三件结构的加热元件。
具体实施方式
下面将参照附图给出本发明的一个实施例的描述。
首先描述液体喷出头(从下文起简称为喷头)的配置和制造方法。喷头21具有如图1所示的剖面层结构，它是由如图2A到2G依次所示的几个步骤制造的。
制造由第一步，在p型硅衬底26(晶片)上形成氮化硅膜(Si3N4)开始。硅衬底26经过光刻法和反应蚀刻步骤，因而除了形成有晶体管的区域以外的区域中的氮化硅膜被热氧化作用去除。这样，衬底26上只有形成有晶体管的区域的氮化硅膜得以保留。
在下一个步骤中，在氮化硅膜被热氧化作用去除的区域中形成氧化硅膜。氧化硅膜的作用是作为元件绝缘区域27使晶体管互相绝缘。在晶体管形成区域内，在由硅化钨、多晶硅和热氧化物组成的层结构内形成栅极。硅衬底26经过离子注入和氧化，因而形成源极-漏极区域。这样形成MOS型晶体管28和29。
这里，晶体管28是激励发热元件22(或热能产生元件)的激励晶体管，晶体管29是构成控制晶体管28的集成电路的晶体管。另外，本实施例中的晶体管28在栅极和漏极之间有一个低浓度扩散层，释放由于电子在该区域内加速而产生的电解(electrolysis)，因而保护必要的击穿电压。
如前所述形成于衬底26上的晶体管28和29被顺序以组成第一中间层绝缘膜的PSG膜和BPSG膜30覆盖。PSG膜是一种含有利用CVD工艺加入的硅的氧化硅膜。BPSG膜是一种含硼和磷的氧化硅膜。
光刻之后用C4F8/CO/O2/Ar气体进行反应蚀刻，在硅半导体扩散层(源极-漏极)上制出接触孔31。
依次形成钛层、氮化钛阻挡金属层、钛层和含硅或含铜的铝层。顶层由氮化钛的减反射涂层覆盖。这些层叠的层用于布线构图。通过光刻和干蚀刻有选择地去除布线构图层，因此形成第一布线布线构图32。第一布线布线构图32连接到组成驱动电路的晶体管29上，形成逻辑集成电路。
使用TEOS(四乙氧基硅烷Si(OC2H5)4)的CVD工艺被用于形成氧化硅的中间层绝缘膜33。中间层绝缘膜通过涂敷(用包括SOG的涂层类型的氧化硅)和接下来的蚀回(etchback)工艺而平面化。这一步骤重复两次。这样，中间层绝缘膜33形成在第一布线布线构图32和第二布线构图之间。
在图2B所示步骤中，在中间层绝缘膜33上溅射形成钽膜。通过光刻和使用BCl3/Cl2气体的干蚀刻去除钽膜中不需要的部分。如此而形成发热元件22。
在图2C所示步骤中，通过CVD工艺形成氮化硅膜。该膜用作发热元件22的保护膜23。在如图2D所示的下一个步骤中，通过光刻和利用CHF3/CF4/Ar气体的干蚀刻去除氮化硅膜的特定部分，因此用于连接发热元件22的布线构图(电极)的区域被露出。在中间层绝缘膜33内制出通孔(viahole)34。
在图2E所示步骤中，溅射形成含钛、硅或铜的铝层。该层被用作减反射膜的氮化钛膜覆盖。这样，在喷头21内形成布线布线构图35。
在图2F所示步骤中，用光刻和干蚀刻形成的布线构图35被有选择地去除，因此形成第二布线构图(电极36)。用电极36作掩模形成电源和接地的布线构图，并且形成将晶体管28连接到发热元件22的布线构图。另外，留在发热元件22的上层的氮化硅保护层23在形成电极36的蚀刻步骤中保护发热元件22。
在图2G所示步骤中，由CVD工艺形成氮化硅保护层24(用作防墨层)。在氮气或者含氢气的氮气气体的腔内对衬底进行热处理。该热处理的目的是保证晶体管28和29的稳定使用，并保护与第一布线构图32和第二布线构图36(作为电极36)之间的良好连接，从而降低接触电阻。
执行接下来的步骤以形成如图1所示的几个部件。利用钽溅射在发热元件22上形成抗气穴层(anti-cavitation layer)25。然后，相继形成干膜41和孔片(orifice plate)42。干膜41是一种通过压制附接在所需位置的有机树脂膜；在移除与墨室45和墨水管(未示出)相应的部分后固化。孔片42是一个具有喷嘴44(微小的墨水喷出孔)的平薄片，形成于发热元件22上。它与干膜41粘接。得到的喷头包括喷嘴44，墨室45和将墨水导入墨室45的墨水管。
这样，喷头21的发热元件22具有包括从硅衬底26上的墨室45向下排列的钽抗气穴层25、氮化硅保护层23和24、钽发热元件22和氧化硅膜(中间层绝缘膜33，BPSG膜30和元件绝缘区域27)的层结构。
在如上所述制造的喷头内，每个墨室45有一个发热元件22和一个位于发热元件22上方的喷嘴44。
如图3(平面视图)所示的发热元件22的详细描述将在下面给出。另外，沿X-X线的剖面图如图1所示。
如图3所示，发热元件22包括一个单独的未分割的衬底1，在平面视图中呈弯折图案。该弯折图案可能看起来类似字母Ц、U、N或W，可能是竖直的，反转的，或者倾斜的。如图3所示的弯折图案是一种反转的Ц形，狭缝22c从底边中心向上延伸。
在图3中示出了3个电极(导体)36，其中的两个电极在倒Ц形的下部分叉部位，一个电极在弯折图案的回转部位(或者图3中位于与狭缝22c的上端距离间距D1的上部)处。这些电极36被形成在发热元件22上。
发热元件22的衬底是整体式的；但是，如上所述设置的电极36使衬底与图13B所示的分段发热元件1A和1B类似。图3中被双点划线包围的两个部件是产生热能以喷出墨水的部分2a和22b。(从下文起这些部件将被称作“主发热部件”。)主发热部件22a和22b通过形成于弯折图案的回转部位的电极36彼此相连。
此外，需要将主发热部件22a和22b并置，如图3所示。主发热部件22a和22b的这种设置类似于图13B所示的两件式发热元件1A和1B。
此外，如图3所示，在弯折图案的回转部位处的电极36位于发热元件22的Ц形图案的两个分叉之间狭缝22c的顶端(L)以外的区域内。换句话说，在L和电极36的边缘36a之间有间距D1(大于0mm)。
以下将解释为什么间距应该大于0mm的原因。
制造喷头21的现有技术工艺包括用铝涂敷发热元件22，然后通过化学试剂的溶解作用去除覆盖发热元件的铝。该工艺的缺点是纯铝脆弱而易碎。为保证足够的强度，用含硅或铜的铝合金代替纯铝，从而防止破裂。
然而，这样的铝合金被化学试剂溶解时，硅或铜会在发热元件22上以尘粉的形式残留下来。
作为一种替代办法，干蚀刻被用于去除铝，因为干蚀刻使得硅或铜与氯化铝结合并能吹走所得的残留物。
但是，干蚀刻需要发热元件22被氮化硅保护层23保护，因为它会轻度侵蚀钽发热元件22。当制成通孔34时，干蚀刻还会侵蚀下面没有被发热元件22所覆盖的氧化硅膜部分(例如中间层绝缘膜33)。这些被侵蚀的部分造成不能被保护层23填充的不必要的台阶(step)。这使得绝缘变差。
将铝电极36形成于发热元件22的位于分开Ц形图案两个分叉的狭缝的顶端(L)之外的区域内可以避免所述麻烦。
超过0mm的间距(D1)产生如下效果。施加到发热元件22的电流通过电极36和间距D1从主发热部件22a流到主发热部件22b。当间距D1变大时，电流更集中于这部分，因而改变在发热元件22的该区域内的发热状态。于是，随着间距D1的优化，发热元件22的区域内的发热分布可优化。
不分割而是包括通过间距D1连续的主发热部件22a和22b的发热元件22的优势是施加电流时较少冲击(flush)变化，并且较少伴生物(satellites)。
间距D1的优化值可按如下方法获得。
图4A和4B示出了代表发热元件22的电阻网络。图4A示出了整个结构，图4B则示出了供分析的等效电路。图4A所示的由四方网格的单元电阻组成，整个区域呈方形，中间部分(对应于狭缝22c)被去除。
如本实施例所述的发热元件22具有如下尺寸。间距D1为2.5μm。间距D2为21μm。间距D3为2μm。发热元件22的全宽为20μm。另外，D2是电极36(位于回转部位)和相对的电极36之间的距离，主发热部件22a和22b介于它们之间。换句话说，D2大致是图3中主发热部件22a和22b的长度(在垂直方向上)。D3是狭缝22c的宽度。
假设2V的电压横跨施加在电阻网络的电极A和B之间。电势被平衡，因此在间距D1的中间部分是0。这可用图4B所示的等效电路表示。该等效电路示出在所有连接在一起的零点为地电势的假设下电压(V)加在电极A或B上。
本分析给出允许计算单个电阻产生的电功率的电流分布。所计算的功耗或发热的分布(按比率)如图5A和5B和图6A和6B所示。图5A和5B的结果从间距D1为2.5μm的样品中获得，图6A和6B的结果从间距D1为1.5μm的样品中获得。另外，这些图示出了发热元件22上的发热分布，但是没有示出实际的温度的分布。
如图7所示，所加电功率(W)和墨水喷出速率(m/s)之间的关系根据间距D1和D2(在图3中)的大小而变化。实验中所用的间距D1和D2的尺寸如下：
(1)D1＝0.8μm，D2＝22.5μm
(2)D1＝2.0μm，D2＝22.5μm
(3)D1＝4.0μm，D2＝22.5μm
(4)D1＝6.0μm，D2＝22.5μm
(5)D1＝2.0μm，D2＝23.0μm
(6)D1＝4.0μm，D2＝24.0μm
在所述六次实验中，间距D3保持常值0.8μm。
实验结果表明间距D1为2.0μm的样品比间距D1为0.8μm的样品墨水喷出速率要好大约15％到20％。还要注意到在样品有4.0μm或更大的间距D1情况下，墨水喷出速率大为降低。
实行进一步的实验以找到间距D1的最佳长度。为此目的，研究改变间距D1长度时，加在发热元件22上的电功率和墨水喷出速率的关系，并观察发热元件22上的发热点。
图8是一组光学显微照片，示出D1从0.8μm变到3.0μm，间距D2保持常值20μm时，发热元件22(发热元件22被烘烤时)的发热。
从图8中注意到，间距D1从0.8到1.2μm时，发热点的形状保持几乎相同，但在间距D1超过1.6μm时候开始向上扩展。间距D1为2.2μm或更大时，因为从间距D1中流过的电流占优，发热点呈倒U形。因此，发热点的实质面积(或主发热部件22a和22b的面积)减小。间距D1为2.6μm或更大时，在间距D1中观测到集中电流。
图9示出了间距D1从0.8μm变化到2.6μm时，样品中所施加的电功率(W)和观测到的墨水喷出速率(m/s)之间的关系。
从图9注意到只要间距D1在0.8到1.4μm的范围内，样品的喷射特性不会显著变化。但是，当样品间距D1在1.6到2.0μm的范围内时，随着较小的电功率很快获得高喷出速率。这归因于加热点向间距D1扩展。与此对比，2.2μm及更大的间距D1的样品与那些间距D1在0.8到1.4μm的范围内的样品一样慢而获得同样的喷出速率。当间距D1增加到2.4到2.6μm时，同样大小的电功率下，喷出速率降低。其原因是，从如图8所示的加热点中可以明显看出，从间距D1通过的电流占优，因此加热点的实质面积减小，传给墨水的热能数量减少。
图10是示出了间距D1和开始喷出的电功率之间关系的曲线图。从图10注意到，当间距D1超过2.0μm时，开始喷出需要大量电功率，在间距D1为大约1.8μm时，开始喷出的电功率变得最小。
由前面得出推论，当间距D2为20μm时，发热元件22的间距D1应在1.6μm到2.0μm的范围内。换句话说，间距D1应是间距D2的0.08到0.1倍。
本实施例中，按如下方式控制墨水喷出。
喷头21具有主要控制装置和辅助控制装置用于墨水喷出控制。
主要控制装置使发热元件22产生热能，从而将发热元件22上方的墨水从喷嘴44中喷出。
辅助控制装置使两个主发热装置22a和22b以不同方式产生热能，从而改变给予发热元件22上方的墨水的热能分配并控制从喷嘴44喷出墨水的方向。
在现有技术中，墨水喷出只受主要控制装置的控制(执行开和关)，但是在本发明中，主要控制装置由控制墨水喷出方向的辅助控制装置补充作用。
图11是示出主要和辅助控制装置的示意图。这里示出的例子使用2位控制信号，以便于将流过主发热部件22a和22b的电流设置在四个级别上。这意味着墨水喷出方向在四档上改变。
根据图11所示的实施例，主发热部件22a的电阻比主发热部件22b的电阻小。此外，主发热部件22的构造使得电流流出形成于主发热部件22a和22b之间中部(回转点)的电极36。此外，三个电阻Rd用来偏转墨水喷出方向。晶体管Q1，Q2和Q3用作主发热部件22a和22b的开关。
符号“C”代表输入二进制控制信号(电流代表″1)的组元。符号L1和L2代表输入二进制值的与门。符号B1和B2代表将二进制信号″0或″1输入与门(L1和L2)的组元。另外，与门L1和L2由电源VH提供能源。
当输入代表C＝1且(B1，B2)＝(0，0)的信号时，晶体管Q1工作，不过晶体管Q2和Q3保持闲置(因此没有电流从三个电阻Rd中流过)。此时，等量电流从主发热部件22a和22b流过。在这种情况下，主发热部件22a产生的热量比主发热部件22b少，因为前者的电阻小于后者。该设置下，墨水喷出的方向向左偏转，因此墨滴朝向左端前行。
当输入代表C＝1且(B1，B2)＝(1，0)的信号时，电流从与晶体管Q3串连的两个电阻Rd中流过，不过没有电流流过与晶体管Q2相连的电阻Rd。因此，流过主发热部件22b的电流量比前面的情况((B1，B2)＝(0，0))中要小。但是，在这种情况下，主发热部件22a产生的热量仍然比主发热部件22b少。该设置下，墨水喷出方向向左偏转，但是墨滴比前述情况下略微朝右前行。
当输入代表C＝1且(B1，B2)＝(0，1)的信号时，电流从与晶体管Q2串连的一个电阻Rd中流过，不过没有电流流过与晶体管Q3相连的两个电阻Rd。因此，流过主发热部件22b的电流量比前面的情况((B1，B2)＝(1，0))中要小得多。但是，在这种情况下，主发热部件22a和22b产生等量的热量。该设置下，墨水喷出方向不会偏转。
输入C＝1且(B1，B2)＝(1，1)时，电流从与晶体管Q2和Q3相连的三个电阻Rd中流过。因此，流过主发热部件22b的电流比(B1，B2)＝(0，1)的情况中要小。在这种情况下，主发热部件22a发热量大于主发热部件22b。在这种状态中，墨水喷出的方向向右偏转。
适当调整主发热部件22a和22b和电阻Rd的电阻值，使得墨水喷出方向根据输入的(B1，B2)取不同值(0，0)，(0，1)，(1，0)，(1，1)而发生改变，如上所述。
这样有可能使得墨滴落到打印纸的四个不同位置(共有四个：一个通过垂直射出到打印纸，两个在左侧，一个在右侧)。任何一个位置都可以根据两个输入值B1和B2而选择。
以上的影响是当由于喷头21内的制造缺陷，墨滴未能朝向所需位置前行时，墨水喷出方向可由辅助控制装置校正从而使得墨滴朝向所需位置前行。此外，适当偏转从喷嘴44喷出墨水的方向而提高打印质量。
尽管以上描述了本发明的一个实施例，本发明并不限定于此而是能够进行各种修改。
例如，发热元件22可以有三个或更多主发热部件(不限于两个)设置为平面图的弯折图案。在这种情况下，可以通过在回转部位留下间距(对应于间距D1)而形成电极。这样修改后的发热元件22的实施例如图12所示，其中主发热部件22a到22c形成于一个衬底上。
工业应用性
根据本发明，在一个单独的衬底上的发热元件可以被分为多个发热部件。该结构等效于用导体串连形成发热部件。通过在发热元件上指定导体位置来制造发热部件以产生独立可控制大小的热量。
此外，主要控制装置由辅助控制装置的补充，使得热能按照不同方式产生，因此可以控制墨水从喷嘴喷出的方向。

Claims (18)

1.一种液体喷出头，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成，呈弯折图案(平面图中)，
在所述弯折图案的回转部位处具有连接于其上的导体，并且
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出。
2.一种液体喷出头，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成，呈弯折图案(平面图中)，并且在所述弯折图案的回转部位处具有连接于其上的导体，使得产生热能以喷出液体的主要部分被所述弯折图案的回转部位分为至少两个部分，并且
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出。
3.一种液体喷出头，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成并包括大致U形的部分(平面图中)，
在所述大致U形图案的回转部位处具有连接于其上的导体，
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出。
4.一种液体喷出头，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成并包括大致U形的部分(平面图中)，并且在所述大致U形部分的回转部位处具有连接于其上的导体，使得产生热能以喷出液体的主要部分被所述大致U形部分的回转部位分为至少两个部分，并且
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出。
5.一种液体喷出头，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成，至少包括被形成于所述衬底的部分中的至少一个狭缝分开的主要部分，
在两个主要部分接合在一起的部分处具有连接于其上的导体，并且
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出。
6.一种液体喷出头，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成，包括产生热能以喷出液体的主要部分，所述主要部分被形成于所述衬底的部分中的至少一个狭缝分成至少两个部分，
在两个主要部分接合在一起的部分处具有连接于其上的导体，并且
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出。
7.一种液体喷出头，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成，呈弯折图案(平面图中)，
在所述弯折图案的回转部位的内回转线以外的区域中，具有连接于其上的导体，
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出。
8.一种液体喷出头，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成，呈弯折图案(平面图中)，在所述弯折图案的回转部位的内回转线以外的区域中具有连接于其上的导体，因此产生热能以喷出液体的主要部分被弯折图案的回转部位分成至少两个部分，并且
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出。
9.如权利要求8所述的液体喷出头，
其中，所述热能产生元件在从所述导体超过所述主要部分的相对侧面上，具有其他导体连接于其上，
从所述弯折图案的回转线到所述导体边缘的距离为所述导体和所述其他导体之间距离的0.08到0.10倍。
10.一种液体喷出头，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成，包括大致U形的部分(平面图中)，
在所述大致U形部分的回转部位的内回转线以外的区域中具有连接于其上的导体，
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出。
11.一种液体喷出头，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成，包括大致U形的部分(平面图中)，并且在所述大致U形部分的回转部位的内回转线以外的区域中具有连接于其上的导体，因此产生热能以喷出液体的主要部分被所述大致U形部分的回转部位分成至少两个部分，
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出。
12.如权利要求11所述的液体喷出头，
其中，所述热能产生元件从所述导体超过所述主要部分的相对侧面上，具有其他导体连接于其上，
从所述大致U形部分的回转线到所述导体边缘的距离为所述导体和所述其他导体之间距离的0.08到0.10倍。
13.一种液体喷出头，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成，包括被形成于所述衬底的部分中的至少一个狭缝分成至少两个主要部分的热能产生部分，
在连接所述两个主要部分的部分处的狭缝外的区域中，具有连接于其上的导体，
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出。
14.一种液体喷出头，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成，包括被形成于所述衬底的部分中的至少一个狭缝分成至少两个产生热能以喷出液体的主要部分的热能产生部分，
在连接所述两个主要部分的部分处的狭缝外的区域中，具有连接于其上的导体，
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出。
15.如权利要求13或14所述的液体喷出头，
其中，所述热能产生元件从所述导体超过所述主要部分的相对侧面上，具有其他导体连接于其上，
从所述狭缝的端部到所述导体的边缘的距离为所述导体与所述其他导体之间距离的0.08到0.10倍。
16.一种液体喷出装置，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成，呈弯折图案(平面图中)，并且在所述弯折图案的回转部位具有连接于其上的导体，使得产生热能以喷出液体的主要部分被所述弯折图案的回转部位分为至少两个部分，
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出，
所述液体喷出装置还具有一主要控制装置，使所述热能产生元件产生热能，从而通过所述喷嘴喷出所述热能产生元件上的液体，
一辅助控制装置，使得至少所述两个主要部分以不同的热能特性产生热能，并且改变给予所述热能产生元件上的液体的热能的分配，从而控制从所述喷嘴喷出的液体的喷出方向。
17.一种液体喷出装置，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成，包括大致U形的部分(平面图中)，并且在所述大致U形部分的回转部位具有导体连接其上，因此产生热能以喷出液体的主要部分被所述大致U形部分的回转部位分为至少两个部分，
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出；
所述液体喷出装置还具有一主要控制装置，使所述热能产生元件产生热能，从而通过所述喷嘴喷出所述热能产生元件上的液体，
一辅助控制装置，使得至少所述两个主要部分以不同的热能特性产生热能，并且改变给予所述热能产生元件上的液体的热能的分配，从而控制从所述喷嘴喷出的液体的喷出方向。
18.一种液体喷出装置，具有产生热能以喷出液体的热能产生元件，
其中，所述热能产生元件由整体式衬底构成，并被形成在所述衬底的至少部分中的至少一个狭缝分为产生热能以喷出液体的至少两个主要部分，
在所述两个主要部分接合在一起的部分处具有连接于其上的导体，
每个元件其上具有喷嘴，液体从该喷嘴喷出，所述液体喷出装置还具有一主要控制装置，使所述热能产生元件产生热能，从而通过所述喷嘴喷出所述热能产生元件上的液体，
一辅助控制装置，使得至少所述两个主要部分以不同的热能特性产生热能，并且改变给予所述热能产生元件上的液体的热能的分配，从而控制从所述喷嘴喷出的液体的喷出方向。
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